DE2744103C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen
von Wasserstoff aus Wasser gemäß Anspruch 1 des Hauptpatents 26 38 275 und dem Oberbegriff des vorliegenden An
spruchs 1.
Untersuchungen an dieser Wasserstoff-Erzeugungsvor
richtung haben gezeigt, daß lediglich ein Teil des in die Leitung
geblasenen Wasserdampfs zersetzt wird. Unter den im Hauptpatent
beschriebenen bevorzugten Bedingungen werden im Durchschnitt
nur 40% der eingeführten Wasserdampfmenge zersetzt. Es ist daher
notwendig, eine Rückführung für das nicht zersetzte Wasser vor
zusehen, wodurch der Aufbau der Vorrichtung verkompliziert
wird und sein Energiewirkungsgrad abnimmt.
Die Erfindung gemäß Hauptanspruch zielt darauf hin,
die Vorrichtung gemäß dem Hauptpatent derart zu verbessern,
daß eine praktisch vollständige Zersetzung des in die Leitung
eingeblasenen Wasserdampfs erreicht wird.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungs
beispiels unter Bezugnahme auf die einzige Figur
näher erläutert.
Die Figur zeigt im Teilschnitt eine Ausfüh
rungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Die in der Figur dargestellte Vorrichtung umfaßt einen
Ofen mit einer senkrechten isolierten Umhüllung 41, deren Wan
dungen aus Zirkonoxyd- oder Aluminiumoxydwolle bestehen. Die
Umhüllung 41 weist eine obere Öffnung 42 auf, durch die Wärme
energie ins Innere des Ofens eingeführt wird. Im hier beschrie
benen Beispiel handelt es sich bei der Wärmeenergie um einen
Sonnenlichtstrahl 43, dessen Ursprung ein Konzentrationspunkt 44
eines hier nicht dargestellten Spiegelsystems ist. Der Licht
strahl 41 gelangt in den Innenraum eines senkrecht stehenden
zylindrischen Wärmeschilds 45, das in der Umhüllung 41 konzen
trisch untergebracht ist und mit einem seiner Enden auf dem
Boden 46 dieser Umhüllung ruht. Die Energie des Lichtstrahls 43
reicht dazu aus, den Innenraum des Wärmeschilds 45 auf eine
Temperatur von etwa 2200°C aufzuheizen. Unter Berücksichtigung
der Wärmeverluste des Wärmeschilds 45 erreicht der zwischen der
Außenwandung des Wärmeschilds 45 und der Innenwandung der Um
hüllung 41 enthaltene Raum dann eine Temperatur von etwa 1500°C.
Im zylindrischen Innenraum des Hitzeschildes 45 ist
eine Leitung 47 angeordnet, die außen durch ein senkrecht
stehendes sauerstoffdichtes Rohr 48 begrenzt wird, das aus
stabilisiertem Zirkonoxyd hergestellt werden kann. Die Lei
tung 47 wird innen durch ein auf die Achse des Rohrs 48 zen
triertes Rohr 49 begrenzt. Die Rohre 48 und 49 sind an ihrem
oberen Ende verschlossen. Im Innern der Leitung 47 mündet ein
einen kleinen Durchmesser aufweisendes Rohr 52. Die Wandung des
Rohrs 49 bildet eine sauerstoffselektive Membran aus einem
Metalloxyd, das so dotiert ist, daß eine Sauerstoffionenleit
fähigkeit sowie eine Elektronenleitfähigkeit erzielt wird.
Bei dem Metalloxyd handelt es sich vorzugsweise um Zirkonoxyd
ZrO2. Die Dotierung, mit der die Ionenleitfähigkeit erreicht
wird, ist ein Zusatz einer Spur von Yttriumoxyd Y2O3 oder
Kalziumoxyd CaO. Die die Elektronenleitfähigkeit hervorrufende
Dotierung ist ein Zusatz von Eisenoxyd Fe3O4 oder Uranoxyd
UO2 oder Zeroxyd CeO3 oder einer Mischung dieser Oxyde.
Zwischen der Außenwandung des Hitzeschilds 45 und
der Innenwandung der Umhüllung 41 sind senkrechte Rohre ange
ordnet, die an ihrem oberen Ende verschlossen sind, wie bei
spielsweise das Rohr 50, dessen Wandung gegenüber Wasserstoff
und Sauerstoff bei 1500°C dicht ist. Innerhalb des Rohrs 50
ist koaxial ein weiteres Rohr 51 angeordnet, das ebenfalls an
seinem oberen Ende verschlossen ist.
Die Wandung des Rohrs 51 besteht aus einer wasserstoff
selektiven Membran. Diese Membran kann vollständig aus Keramik
wie beispielsweise Aluminiumoxyd gefertigt sein, wird jedoch
vorzugsweise unter Verwendung von Metall hergestellt, indem
beispielsweise ein Substrat aus poröser Keramik (Aluminium
oxyd oder Zirkonoxyd) mit Metall beschichtet wird. Hierzu
kommen Tantal, Wolfram, Molybdän, Palladium oder Nickel oder
Legierungen von Nickel oder Palladium, wie beispielsweise
Nickel-Eisen, Palladium-Silber und Palladium-Kupfer in Frage.
Mit Palladium und seinen Legierungen können im allgemeinen
höhere Wasserstoff-Diffusionsgeschwindigkeiten erzielt werden.
Die Stärke der Metallschicht kann zwischen 20 und 200 Mikron
betragen. Diese Schicht kann beispielsweise mit Hilfe des
Schoopschen Metallspritzverfahrens, durch Aufbringen einer
Metallfarbschicht mit nachfolgendem Wärmesintern, durch Ver
dampfen unter Vakuum, durch Kathodenzerstäubung unter Vakuum
oder chemisches Bedampfen aufgebracht werden. Im Falle einer
rohrförmigen, aus einem Keramiksubstrat mit Metallbeschichtung
gebildeten rohrförmigen Membran kann die Beschichtung auf der
Außen- oder Innenseite der Rohrwandung vorgesehen werden. Das
die wasserstoffselektive Membran bildende Metall bestimmt die
Temperatur, die zwischen Hitzeschild und Innenwandung der Um
hüllung aufrechterhalten werden muß. Bei Palladium beispiels
weise kann, wie weiter oben angegeben, diese Temperatur etwa
1500°C sein.
Der untere Teil der Rohre 48, 49, 50 und 51 ist an
einen beispielsweise aus rostfreiem Stahl hergestellten Metall
sockel 53 angeschlossen und zwar so, daß der Innenraum der
Leitung 47 mit dem zwischen den Rohren 50 und 51 vorhandenen
Raum in Verbindung steht. Der Innenraum des Rohrs 49 steht
über eine Kanalisierung 54 durch die Wandung der Umhüllung 41
mit dem Eingang einer primären Vakuumpumpe 55 in Verbindung,
deren Ausgang über ein Ventil 60 zu einem Behälter 61 führt.
Schließlich verlängert sich das Rohr 52 mit seinem unteren
Teil über eine durch die Wandung des Sockels 53 hindurchgeführte
Kanalisierung. Diese Kanalisierung verläuft an der Sockelsohle
in einer schraubenlinienförmigen Wicklung 62 unter Kontakt mit
dem Boden des Sockels 53 und bildet auch eine Wicklung 63 um
die Kanalisierung 54 und 58, bevor sie außerhalb der Um
hüllung 41 über ein Ventil 64 an einen Anschluß 65 einer hier
nicht dargestellten Wasserzuführungsvorrichtung angeschlossen
wird.
Die Wicklungen 62 und 63 können innerhalb der wärme
isolierenden Wandung der Umhüllung 41 untergebracht sein,
ebenso wie der Sockel 53 und der untere Teil der Rohre 48, 49,
50 und 51.
Die in der Figur dargestellte Vorrichtung arbeitet
folgendermaßen:
Der Innenraum des Hitzeschilds 45 wird unter der Wir
kung des Lichtstrahls 43 auf eine Temperatur von 2200°C gebracht,
woraufhin sich der außerhalb dieses Hitzeschilds liegende Raum
der Umhüllung auf eine Temperatur von 1500°C erhitzt. Bei ge
öffneten Ventilen 56, 60 und 64 werden die Pumpen 55 und 59 in
Gang gesetzt, und man läßt über den Eingang 65 destilliertes
Wasser eindringen. Dieses Wasser wird allmählich erhitzt und
beim Durchgang durch die Wicklungen 63 und 62 in Dampf überführt,
der eine Temperatur von nahe 2200°C erreicht hat, wenn er in die
Leitung 47 am oberen Ausgang des Rohrs 52 mündet. Dieser Dampf
zersetzt sich dann teilweise in Wasserstoff und Sauerstoff; wie
im Hauptpatent bereits beschrieben durchquert der Sauerstoff
die Membran des Rohrs 49 und wird dann im Behälter 47 ge
speichert. Die aus der Leitung 47 austretende Gasmischung wird
den wasserstoffselektiven Membranen beispielsweise in dem
zwischen den Rohren 50 und 51 vorhandenen Raum 66 zugeführt.
Die wasserstoffselektiven Membranen 51 sind ausreichend heiß,
um für Wasserstoff durchlässig zu sein. Der sich im Raum be
findende Wasserstoff diffundiert daher durch die Wandung des
Rohrs 51 und diese Diffusion wird durch den auf der dem Raum 66
gegenüberliegenden Membranseite durch die Vakuumpumpe 59 ge
schaffenen Unterdruck beschleunigt. Schließlich wird der Wasser
stoff im Behälter 61 gespeichert.
Wie hier festzustellen ist, ist die Gleichgewichts
verschiebung der Zersetzungsreaktion des Wassers stark durch
das Vorhandensein der wasserstoffselektiven Membranen begünstigt.
Daraus ergibt sich eine vollständige Zersetzung des zugeführten
Wasserdampfes.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann zur Erzeugung
von Wasserstoff unter Druck oder in flüssiger Form eingesetzt
werden, um beispielsweise ein Gasturbinenkraftwerk oder Wasser
stoffmotoren zu speisen oder ganz allgemein eine Verbrennung zu
unterhalten.
Claims (7)
1. Vorrichtung zur Erzeugung von Wasserstoff aus Wasser
- - mit Heizmitteln zur Erhitzung des Wassers auf eine Tempera tur, bei der Wasserdampf zumindest teilweise in Wasserstoff und Sauerstoff aufgespalten wird,
- - mit einer Membran aus einer Metalloxid, die selektiv für Sauerstoff durchlässig ist und den Raum mindestens teilweise umgrenzt, in dem die Aufspaltung erfolgt,
- - und mit Mitteln zur Beschleunigung des Durchgangs des Sauer stoffs durch diese Membran, wobei
- - die Membran als ein nach unten offenes Rohr ausgebildet ist und aus einem so dotierten Metalloxid besteht, daß eine Sauerstoffionenleitung und eine Elektronenleitung stattfindet,
- - wobei ein weiteres nach oben geschlossenes Rohr das Membran Rohr koaxial umgibt, wobei der Ringraum zwischen den beiden Rohren den Raum bildet, in dem die Aufspaltung erfolgt, während Sauerstoff aus dem Inneren des Membranrohrs abziehbar ist,
- - wobei das Innere des Membranrohrs mit einer Vakuumpumpe in Verbindung steht, die das Mittel zur Beschleunigung des Durchgangs des Sauerstoffs durch die Membran bildet,
- - wobei eine Dampfeinlaßleitung durch den Ringraum bis in die Nähe der geschlossenen Rohrseite verläuft und dort in diesen Raum mündet, während der Wasserstoff aus diesem Raum durch eine Vakuumpumpe abgezogen wird, die an diesen Raum über eine Leitung angeschlossen ist, welche die beiden Rohre an der offenen Seite verschließen de Basis durchdringt,
- - wobei die beiden Rohre in einen Ofen hineinragen, der durch Sonnenstrahlung auf die nötige Temperatur erhitzt wird,
- - und wobei die Dampfeinlaßleitung vor ihrem Eintritt in den Ringraum entlang den heißen Sauerstoff- und Wasser stoffleitungen geführt ist und dort Wärme aufnimmt,
- gemäß Hauptpatent 26 38 275,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Wasserstoff aus dem Raum (47) über eine
wasserstoffselektive Membran (51)
abgezogen wird, und daß
Mittel (43, 45) vorgesehen sind, mit denen diese wasserstoffselektive Membran
(51) auf eine Temperatur erhitzt wird, bei der sie für Wasser
stoff durchlässig wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die wasserstoffselektive
Membran (51) metallisch ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die wasserstoffselektive
Membran aus einem porösen Keramiksubstrat mit Metallbeschich
tung besteht.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die wasserstoffselektive
Membran ein erstes Rohr (51) ist, das an einem seiner Enden
verschlossen ist, und von einem zweiten Rohr umgeben wird, das
wasserstoffdicht ist, wobei diese beiden Rohre koaxial zuein
ander angeordnet sind und wobei das zweite Rohr (50) an einem
seiner Enden an derselben Seite wie das erste Rohr verschlossen
ist, wobei die die Leitung (47) verlassenden Gase in den zwischen
diesem ersten und zweiten Rohr vorhandenen Raum (66) geleitet
werden.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Mittel, mit denen diese
wasserstoffselektive Membran (51) auf eine Temperatur erhitzt
wird, bei der sie für Wasserstoff durchlässig ist, dieselben
Mittel (43) sind, die die Erhitzung des in der Leitung (47)
vorhandenen Wasserdampfs auf eine zu seiner Zersetzung in
Wasserstoff und Sauerstoff ausreichend hohe Temperatur bewirken.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Mittel (43), mit denen der
in der Leitung (47) enthaltene Wasserdampf zu seiner Zersetzung
in Wasserstoff und Sauerstoff auf eine hohe Temperatur gebracht
wird, eine wärmeisolierte Umhüllung (41) umfassen, die die Lei
tung (47) und die wasserstoffselektive Membran (51) umgibt
sowie eine Öffnung (42) aufweist, ferner einen Hitzeschild (45),
der innerhalb der Umhüllung (41) angeordnet ist und die Leitung (47)
umgibt, wobei die wasserstoffselektive Membran (51) zwischen der
Außenwandung dieses Wärmeschilds (45) und der Innenwandung der
Umhüllung (41) untergebracht ist, sowie Mittel (43) zur Er
hitzung des Innenraums des Wärmeschilds durch die Öffnung (42)
der wärmeisolierten Umhüllung (41) hindurch umfassen.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7629730A FR2366216A2 (fr) | 1976-10-04 | 1976-10-04 | Dispositif generateur d'hydrogene |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2744103A1 DE2744103A1 (de) | 1978-04-06 |
DE2744103C2 true DE2744103C2 (de) | 1988-01-21 |
Family
ID=9178326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772744103 Granted DE2744103A1 (de) | 1976-10-04 | 1977-09-30 | Vorrichtung zum erzeugen von wasserstoff aus wasser |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
BE (1) | BE858769R (de) |
DE (1) | DE2744103A1 (de) |
FR (1) | FR2366216A2 (de) |
GB (1) | GB1532403A (de) |
IT (1) | IT1114429B (de) |
NL (1) | NL7710892A (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IL102064A (en) * | 1992-06-01 | 1995-03-30 | Yeda Res & Dev | Method and apparatus for the separate recovery of a high molecular weight gas and a low molecular weight gas from a gaseous starting mixture |
FR2839713B1 (fr) * | 2002-05-17 | 2005-03-11 | Creative Services | Dispositif pour la production des gaz purs, en particulier d'hydrogene et d'oxygene, a partir des melanges de gaz ou des liquides, pour l'approvisionnement mobile et stationnaire d'energie |
PT1828050E (pt) * | 2004-12-16 | 2012-11-20 | H2 Power Systems Ltd | Reactor para separação simultânea de hidrogénio e oxigénio a partir da água |
FR2902416B1 (fr) * | 2006-06-15 | 2008-09-26 | Creative Services Sarl | Un reacteur avec gradient thermique controle pour la production d'hydrogene pur |
DE102014212972A1 (de) | 2013-07-04 | 2015-01-08 | Technische Universität Dresden | Verfahren und Anlage zur Wasserstoffherstellung |
WO2016107868A1 (en) | 2014-12-30 | 2016-07-07 | Gunnar Sanner | Thermal reactor |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR581673A (de) * | 1924-12-03 | |||
US549765A (en) * | 1895-11-12 | William calver | ||
US3400054A (en) * | 1966-03-15 | 1968-09-03 | Westinghouse Electric Corp | Electrochemical method for separating o2 from a gas; generating electricity; measuring o2 partial pressure; and fuel cell |
US3901669A (en) * | 1973-11-05 | 1975-08-26 | Sun Ventures Inc | Manufacture of hydrogen from high temperature steam |
-
1976
- 1976-10-04 FR FR7629730A patent/FR2366216A2/fr active Granted
-
1977
- 1977-09-16 BE BE1008384A patent/BE858769R/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-09-23 GB GB39802/77A patent/GB1532403A/en not_active Expired
- 1977-09-30 DE DE19772744103 patent/DE2744103A1/de active Granted
- 1977-10-04 NL NL7710892A patent/NL7710892A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-10-04 IT IT28248/77A patent/IT1114429B/it active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2366216A2 (fr) | 1978-04-28 |
GB1532403A (en) | 1978-11-15 |
DE2744103A1 (de) | 1978-04-06 |
BE858769R (fr) | 1978-03-16 |
IT1114429B (it) | 1986-01-27 |
FR2366216B2 (de) | 1979-03-23 |
NL7710892A (nl) | 1978-04-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
AF | Is addition to no. |
Ref country code: DE Ref document number: 2638275 Format of ref document f/p: P |
|
AF | Is addition to no. |
Ref country code: DE Ref document number: 2638275 Format of ref document f/p: P |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8340 | Patent of addition ceased/non-payment of fee of main patent |