DE2740764A1 - Verfahren zum herstellen einer halbleitervorrichtung - Google Patents

Verfahren zum herstellen einer halbleitervorrichtung

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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P76/00—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography
    • H10P76/20—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography of masks comprising organic materials
    • H10P76/204—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography of masks comprising organic materials of organic photoresist masks
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US4508952A (en) * 1983-02-17 1985-04-02 University Patents, Inc. Electron beam cutting

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
US-Z.: IEEE Transactions on Electron Devices, Bd. ED-17, 1970, Nr. 6, S. 450-457 *
US-Z.: Proceedings of the IEEE, Bd.62, 1974 Nr. 10, S. 1367-1375 *

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