DE2739735A1 - Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen wandlers - Google Patents

Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen wandlers

Info

Publication number
DE2739735A1
DE2739735A1 DE19772739735 DE2739735A DE2739735A1 DE 2739735 A1 DE2739735 A1 DE 2739735A1 DE 19772739735 DE19772739735 DE 19772739735 DE 2739735 A DE2739735 A DE 2739735A DE 2739735 A1 DE2739735 A1 DE 2739735A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
film
piezoelectric
temperature
phn
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19772739735
Other languages
English (en)
Inventor
De Boer Abe Posthuma
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Gloeilampenfabrieken NV filed Critical Philips Gloeilampenfabrieken NV
Publication of DE2739735A1 publication Critical patent/DE2739735A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R31/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
    • H04R31/003Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor for diaphragms or their outer suspension
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/005Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers using a piezoelectric polymer
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/09Forming piezoelectric or electrostrictive materials
    • H10N30/098Forming organic materials
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R31/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

N.V. Philips' G.'ocilaiPpjnfüb.-iik:^ Eindhoven Jw/evh.
- y - 17.8.77.
Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Wandlers
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Wandlers, der mit einer Membran versehen ist, die aus einer Folie aus piezoelektrischem Material besteht und welche Membran an ihrem Rande freiliegend in einem rahmenförmigen gekrümmten Träger befestigt wird.
Unter freiliegend wird dabei verstanden, dass die Membran ausser durch die Befestigung am Träger, nicht weiter unterstützt wird.
80981 1/0784
PHN. 8523.
17.8.77.
Unter gekrümmtem Träger wird verstanden, dass der Befestigungsrand des Trägers nicht in einer Ebene liegt. Die Membran selbst bildet dadurch eine gekrümmte Oberfläche, deren Krümmung zu einer gewissen Steifigkeit der Membran führt, die für akustische Zwecke für erwünscht gehalten wird.
Ein Verfahren wie obenstehend beschrieben ist aus der Deutschen Offenlegungsschrift Nr. 2 508 556 bekannt. Die Folie wird hier z.B. durch Verleimen in einem gekrümmten Rahmen mechanisch befestigt. Meistens erfolgt das Anordnen dieser Folie dadurch, dass in diese Folie eine gewisse mechanische Vorspannung'.gebracht wird, damit der freiliegenden Folie die gewünschte Oberfläche gegeben werden kann.
Die Vorspannung, die durch Dehnung entsteht, führt bei der Montage dieser Folie im Rahmen zu Schwierigkeiten. Es können Wellen entstehen, wodurch das akustische Verhalten der Folie unakzeptierbar wird, während weiter eine ungleiche Spannungsverteilung in der Folie auftritt, die zu Rissbildung führen kann.
Um diese Wellen dann zu entfernen müsste die Folie extra gedehnt werden, wodurch eine erhöhte Gefahr vor Rissbildung in der Folie droht. Insbesondere wenn die Folienoberfläche eine gekrümmte nicht abwickelbare Oberfläche erhalten muss, stellt es sich heraus, dass diese Methode nicht den Anforderungen entspricht.
809811/0784
PHN. 8523.
In der niederländischen Auslegeschrift Nr. ^ $1k wird zur Losung des obengenannten Problems eine vorübergehend unter der Folie angebrachte zweite Folie verwendet, die später entfernt wird.
Die Erfindung gibt eine ganz andere Lösung, mit der bezweckt wird, den obengenannten Mangel zu vermeiden und weist dazu das Kennzeichen auf, dass von einer verstärkten Folie ausgegangen wird, die nach Befestigung im Träger gleichmässig erwärmt wird bis zu einer Temperatur, bei der die Membran zu einer faltenlos gekrümmten Oberfläche schrumpft, welche Temperatur niedriger gewählt worden ist als die, bei der die piezoelektrischen Eigenschaften des polymeren Materials verlorengehen.
Dabei wird unter verstärkter Folie eine Folie verstanden, die unter dem Einfluss mechanischer Spannungen bis über ihre Fliessgrenze hinaus gedennt wird. Sie kann dabei eine Längenänderung von über 10O^ nach der Straffungsbewegung erfahren.
Durch dieses Straffen, das meistens unter gleichzeitiger Erwärmung erfolgt, wird bei Anlegen eines vorpolarisierenden Feldes der gewünschte Wert der piezoelektrischen Konstanten erhalten. Diese piezoelektrische Konstante überwiegt in der Straffungsrichtung.
Die Erfindung benutzt den an sich bekannten Effekt, dass gestraffte Polymerfolien infolge von Warme schrumpfen.
809811/078A
PHN. 8523.
- X - 17.8.77.
Geht man von gestrafften Polymermaterialien aus, so wird gefunden, dass diese Materialien bei Erwärmung eine starke Schrumpfneigung aufweisen in einer Richtung, die der Straffungsrichtung entgegengesetzt ist. Dieses Schrumpfen verursacht eine Längenänderung die in der Grössenordnung von Prozentsätzen liegt. Weil die Folie im geschrumpften Träger gespannt ist, wird sie durch dieses Schrumpfen gestrafft werden, wobei die in der Folie auftretenden mechanischen Spannungen homogen verteilt sind (also die Gefahr von Rissbildung wird minimal), während diese Spannungen gerade in derjenigen Richtung auftreten, in der der piezoelektrische Effekt vorwiegt und das gewünschte akustische Verhalten erhalten wird.
Der Erfindung liegt dabei die Erkenntnis zugrunde, dass dieses Schrumpfen noch gerade erfolgen kann bei einer Temperatur, bei der die piezoelektrischen Eigenschaften des Folienmaterials beibehalten werden.
Für ein Material wie Polyvinylidenfluorid liegt diese Temperatur zwischen 70 und 90°C. Die Geschwindigkeit, mit der erwärmt wird, spielt dabei keine Rolle, wenn die Erwärmung nur gleichmässig erfolgt. Wohl aber die Höhe der Temperatur, von der der Schrumpfeffekt und damit das Ausmass an Straffung der Folie abhängig ist.
Die Dirnensionsänderung der Folie infolge der Schrumpfung ist so gross, dass fast jede gewünschte
809811/0784
PHN. 8523,
- /- 17.8.77.
gekrümmte Oberfläche ohne jegliche Welligkeit erhalten werden kann. Dabei ist es möglich der piezoelektrischen Membran viele Formen mit Minimalenergie-Oberflächen, sogenannten "Seifenflies"-Oberflachen zu geben.
Die Dimensionsänderung infolge des Schrumpfens ist
so klein, dass auch piezoelektrische Folien, die zuvor auf beiden Seiten mit Elektroden versehen wurden, beim erfindungsgemässen Verfahren verwendet werden können. Die meistens nur eine /um dicken Metallschichten der Elektroden be— einflussen das Schrumpfen der Membran durchaus nicht.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den
Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden naher beschrieben, Es zeigen:
Fig. 1 und Fig. 2 Membranen mit einer gekrümmten
Oberfläche in einem gekrümmten Rahmen, die sich nach dem erfindungsgemässen Verfahren herstellen lassen,
Fig. 3 eine schemätische Darstellung der Wärmebehandlung von Membranen nach der Erfindung,
Fig. k und Fig. 5 graphische Darstellungen, in
denen der piezoelektrische Faktor bzw. der Schrumpfwert einer piezoelektrischen Folie als Funktion der Temperatur aufgetragen worden ist.
In Fig. 1 wird eine montierte Membran nach der Erfindung dargestellt. Die Membran 1 besteht aus einer Folie aus Polyvinylidenfluorid, welches Material piezoelektrische Eigenschaften erhalten kann» nachdem es einer
809811/0784
PHN. 8523. _ y_ 17.8.77.
Spezialbehandlung ausgesetzt worden ist. Die Folie ist dazu vorher verstärkt worden, d.h. derart gedehnt, dass es eine bleibende Verformung erfahrt, also bis über die Fliessgrenze hinaus belastet wird. Erfolgt dieses Dehnen in einem senkrecht auf der Straffungerichtung stehenden elektrischen Feld, wobei die Folie gleichzeitig auf eine erhöhte Temperatur gebracht worden ist, z.B. 900C, so stellt es sich heraus, dass sie in der Straffungsrichtung piezoelektrisch geworden ist.
Die Membran ist freiliegend» d.h. mit ihrem Rand in einem nahezu rechteckigen starren.Rahmen 2 befestigt. Sie kann vorher mit'Elektroden versehen sein, z.B. durch Aufdampfen einer geeigneten Metallschicht wie Aluminium. Es stellt sich heraus, dass eine derartige aufgedampfte Schicht trotz der nachfolgenden Bearbeitungen gut an der Folie haftet.
Der Rahmen 2 ist gekrümmt ausgebildet. Jedes Paar einander gegenüber liegender Seiten diese· Rahmens ist auf identische Veise gekrümmt. Das Paar 3 1st nach oben, das Paar k nach unten gekrümmt.
Die Befestigung der Membran 1 in Rahmen 2 geschicht wi· folgt. Zunächst wird die sassgeschnlttene Folie
' mit den Selten 3 und 4 des Rahmens verleimt. Dies geschieht ohne oder mit sehr geringer mechanischer Vorspannung in Folienmaterial. Die Membran nähert dann etwa der gewünschten
809811/0784
PHN. 8523. ♦ # ' 17.8.77.
Form, die durch die Krümmungen der Seiten 3 und k des
Rahmens bestimmt wird.
Es ist dabei unvermeidlich, dass eine oder mehrere Wellen oder Falten in der Folie entstehen,
Nach Trocknen des Leimes wird die Membran einer Wärmebehandlung ausgesetzt, die innerhalb einer Temperaturstrecke von 70 bis 900C erfolgt. Durch die Erwärmung
schrumpft die Folie in der der ursprünglichen Straffungsrichtung entgegengesetzten Richtung, wodurch die ggf. vorhandenen Wellen verschwinden und die Membran im Rahmen
gestrafft wird. Die Membran erhält dann die für akustische Zwecke erforderliche Form und Steifigkeit, wobei die
mechanische Spannung infolge dieses Schrumpfens zugleich für eine Kontraktion in der Querrichtung sorgt, wodurch
15* die Membran die Gestalt einer straff gespannten "Sattelfläche " annimmt.
In Fig. 2 ist eine andere Membran dargestellt, die in einem nahezu kreisförmigen Rahmen angebracht ist. Auch hier sind Teile des Randes dieses Rahmens gekrümmt
und zwar die einander gegenüberliegenden Teile 11 und 12 nach oben und die einander gegenüberliegenden Teile 13 und nach unten gekrümmt.
Bei der obenetehend beschriebenen Wärmebehandlung •rhält die Membran ebenfalls eine straff gespannte
"Sattelfläch·"-Form.
809811/0784
PHN. 8523.
In Fig. 3 wird auf schematische Weise dargestellt, wie eine gerade verleimte Membran aus gestrafftem Polymer-Material zwischen zwei WärmeStrahlern angeordnet wird. Die Wärme wird gleichmässig ausgestrahlt und auf die Folie übertragen. Zugleich wird mit Hilfe der Elektroden ein elektrisches Feld angelegt, das zusammen mit dieser Wärme-' behandlung zu den gewünschten piezoelektrischen Eigenschaften der Folie führt. In diesem Beispiel wird also mittels ein und derselben Wärmebehandlung gleichzeitig erhalten, dass sich die Folie auf die erforderliche Weise schrumpft und piezoelektrisch wird.
Auf diese Weise wurde eine Folie aus Polyvinyliden fluorid mit einer Dicke von 25/Um gedehnt bis zu einer Länge von 320%. Danach wurde die Folie 15 Minuten lang bei 80°C in einem Polarisationsfeld von 500 kV/cm gehalten, wodurch sie die piezoelektrischen Eigenschaften erhielt. Daraufhin wurden auf diese Weise erhaltene Folien während jeweils acht Minuten Temperaturen von 80, 90, 100, 110 und 1250C ausgesetzt.
Der Verlauf des piezoelektrischen Faktors d_1 und der Schrumpfung sind als Funktion der Temperatur in den Fig. k und 5 dargestellt. Dabei ist in Fig. h senkrecht der piezoelektrische Faktor d_1 in pC/N und in Fig. 5 senk recht die Schrumpfung in Prozentsätzen, und in den beiden Figuren waagerecht die Temperatur in Grad Celsius aufgetragen.
809811/0784
PHN. 8523.
/11
Aus Flg. k ist ersichtlich, dass in der Temperaturstrecke von 70 bis 9O0C der piezoelektrische Faktor d„. wenig verläuft, während nach Fig. 5 die Schrumpfung in dieser Temperaturstrecke einige Prozent beträgt, was zum Straffen der Folie in der erforderlichen Sattelform ausreicht.
809811/0784
ORIGINAL INSPECTED

Claims (1)

  1. PHN. 8523. 17.8.77.
    Patentansprüche:
    1./ Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Wandlers, der mit einer Membran versehen ist, die aus Folie eines, piezoelektrischen Polymermaterials besteht und welche Membran an ihrem Rand freiliegend in einem rahmenförmigen gekrümmten Träger befestigt wird, dadurch gekennzeichnet, dass von einer gestrafften Folie ausgegangen wird, die nach Befestigung im Träger gleichmässig bis zu einer Temperatur erwärmt wird, bei der die Membran zu einer faltenlos gekrümmten Oberfläche schrumpft, welche Temperatur niedriger gewählt ist als die, bei der die piezoelektrischen Eigenschaften des Polymermaterials verlorengehen.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran bereits vorher auf beiden Seiten mit einer Elektrode versehen ist.
    3. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass während derselben Wärmebehandlung bei der die Membran bis zur gewünschten Form schrumpft, diese Membran unter dem Einfluss eines angelegten elektrischen Feldes die erforderlichen piezoelektrischen Eigenschaften erhält oder beibehält.
    k. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, angewandt auf eine Folie aus Polyvinylidenfluorid, dadurch gekennzeichnet, dass die Erwärmung innerhalb einer Temperaturstrecke von 70 bis 900C erfolgt.
    809811/0784
    q PHN. 8523.
    17.8.77.
    5. Wandler, insbesondere Lautsprecher, hergestellt nach dem Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche.
    6. Wandler nach Anspruch 5t dadurch gekennzeichnet, dass die Membran durch das angewandte Verfahren eine sattelförmige Oberfläche annimmt.
    80981 1 /0784
DE19772739735 1976-09-13 1977-09-03 Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen wandlers Pending DE2739735A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL7610124A NL7610124A (nl) 1976-09-13 1976-09-13 Werkwijze voor het vervaardigen van een piezo-elektrische transducent.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2739735A1 true DE2739735A1 (de) 1978-03-16

Family

ID=19826878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772739735 Pending DE2739735A1 (de) 1976-09-13 1977-09-03 Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen wandlers

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS5335492A (de)
DE (1) DE2739735A1 (de)
FR (1) FR2364544A1 (de)
NL (1) NL7610124A (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3009068A1 (de) * 1980-03-10 1981-09-24 Reinhard Dipl.-Ing. Lerch Piezopolymer-wandler mit fester membranunterstuetzung
EP0048900A1 (de) * 1980-09-29 1982-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung fokussierender Piezoschwinger
EP0118356A1 (de) * 1983-03-07 1984-09-12 Thomson-Csf Elektroakustischer Wandler mit piezoelektrischer Membran
FR2542553A1 (fr) * 1983-03-07 1984-09-14 Thomson Csf Dispositif d'encastrement d'un diaphragme piezo-electrique, son procede de realisation et transducteur electromecanique utilisant un tel dispositif
EP0174838A2 (de) * 1984-09-11 1986-03-19 Focas Limited Stabilisierte piezoelektrische Vinylidenfluoridpolymere
EP3637487A1 (de) * 2018-10-09 2020-04-15 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Piezoelektrischer scherwandler

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3009068A1 (de) * 1980-03-10 1981-09-24 Reinhard Dipl.-Ing. Lerch Piezopolymer-wandler mit fester membranunterstuetzung
EP0048900A1 (de) * 1980-09-29 1982-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung fokussierender Piezoschwinger
EP0118356A1 (de) * 1983-03-07 1984-09-12 Thomson-Csf Elektroakustischer Wandler mit piezoelektrischer Membran
FR2542552A1 (fr) * 1983-03-07 1984-09-14 Thomson Csf Transducteur electroacoustique a diaphragme piezo-electrique
FR2542553A1 (fr) * 1983-03-07 1984-09-14 Thomson Csf Dispositif d'encastrement d'un diaphragme piezo-electrique, son procede de realisation et transducteur electromecanique utilisant un tel dispositif
EP0119897A1 (de) * 1983-03-07 1984-09-26 Thomson-Csf Vorrichtung zum Einfassen einer piezoelektrischen Membran, Verfahren zu deren Herstellung, sowie elektromechanischer Wandler mit einer solchen Vorrichtung
US4607145A (en) * 1983-03-07 1986-08-19 Thomson-Csf Electroacoustic transducer with a piezoelectric diaphragm
EP0174838A2 (de) * 1984-09-11 1986-03-19 Focas Limited Stabilisierte piezoelektrische Vinylidenfluoridpolymere
EP0174838A3 (de) * 1984-09-11 1989-08-02 Focas Limited Stabilisierte piezoelektrische Vinylidenfluoridpolymere
EP3637487A1 (de) * 2018-10-09 2020-04-15 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Piezoelektrischer scherwandler
WO2020076155A3 (en) * 2018-10-09 2020-06-04 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Shear piezoelectric transducer

Also Published As

Publication number Publication date
FR2364544A1 (fr) 1978-04-07
JPS5335492A (en) 1978-04-01
NL7610124A (nl) 1978-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68919556T2 (de) Schichtartiges piezoelektrisches Element und dessen Herstellungsverfahren.
DE2433888C2 (de) Verfahren zum Polarisieren von Folien aus einem Stoff mit hohem Molekulargewicht
DE2508556A1 (de) Piezoelektrischer elektroakustischer wandler
DE1258940B (de) Verfahren zur Herstellung gedruckter Schaltungen
DE3204231A1 (de) Laminataufbau aus matrix-faser-verbundschichten und einer metallschicht
DE3405985A1 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen praegen der oberflaeche einer thermoplastischen folie mit einer narbung sowie verfahren zur herstellung einer praegewalze dafuer sowie verfahren zur herstellung einer kunststoffolie mit einer narbung
DE2555383C3 (de) Isolierglasscheibe
DE2739735A1 (de) Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen wandlers
DE19605182B4 (de) Verfahren zur Polarisation von mindestens einer Folie aus einem ferroelektrischen Material mit großer Oberfläche
DE872065C (de) Verfahren zur Herstellung von mit deformierbaren Folien versehenen Platten, fuer Fernsehapparate u. dgl.
DE2358495A1 (de) Verfahren zur herstellung von substraten mit verbundenen leiterschichten
DE3438435A1 (de) Gehaeuse aus metall und kunststoff fuer eine halbleiter-vorrichtung, das zur befestigung an einem nicht genau ebenen waermeableiter geeignet ist, sowie verfahren zu dessen herstellung
DE529978C (de) Verfahren zur Herstellung von impraegnierten Gewebemembranen
DE2355091A1 (de) Verfahren zur herstellung optischer elemente
DE69301293T2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Verbandes aus zwei vorgeklebten Stücken, einschliesslich einer Verformungsetappe
DE69805731T2 (de) PTC-Thermistor mit verbessertem Wärmestosswiderstand
DE2506710A1 (de) Piezoelektrischer, elektroakustischer uebertrager
DE2247579B2 (de) Verfahren zum Befestigen von Aufdampfmasken auf Halbleiterscheiben für Solarzellen
DE3129449A1 (de) "verfahren zur regelung des partialdruckes mindestens eines stoffes oder stoffgemisches"
DE2556077B2 (de) Verfahren zum aufspannen eines piezoelektrischen elements auf einen rahmen
DE3131931C2 (de) Verfahren zum superplastischen Formen
DE2163683A1 (de) Halbleitereinheit und verfahren zur herstellung derselben
DE2518550A1 (de) Bildaufnahmeroehre mit pyroelektrischer photokatode
DE102015006078A1 (de) Katalysatorbeschichtete Membran für eine Brennstoffzelle, Verfahren zu deren Herstellung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE2537444C2 (de) Verfahren zum Stabilisieren von Laminaten

Legal Events

Date Code Title Description
OHJ Non-payment of the annual fee