DE2739527B1 - Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Messeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Messmaschinen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Messeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Messmaschinen

Info

Publication number
DE2739527B1
DE2739527B1 DE19772739527 DE2739527A DE2739527B1 DE 2739527 B1 DE2739527 B1 DE 2739527B1 DE 19772739527 DE19772739527 DE 19772739527 DE 2739527 A DE2739527 A DE 2739527A DE 2739527 B1 DE2739527 B1 DE 2739527B1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
error
measured
standard
normal
errors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19772739527
Other languages
English (en)
Other versions
DE2739527C2 (de
Inventor
Dipl-Ing Lenz Karl Juergen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leica Microsystems Holdings GmbH
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19772739527 priority Critical patent/DE2739527C2/de
Publication of DE2739527B1 publication Critical patent/DE2739527B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2739527C2 publication Critical patent/DE2739527C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/401Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
    • G05B19/4015Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes going to a reference at the beginning of machine cycle, e.g. for calibration

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

  • Die Abnahme von mehren Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen beruht heute üblicherweise noch auf der Messung von Einzelfeleern ohne Definiton eines gemeinsamen Bensystems, da bisher noch keine einfachen Verfahren existieren, um den Gesamtfehler des Eingriffs oder Antastpunktes in Richtung aller Achsen und über den ganzen Arbeitsbereich zu bestimmen. Die Kenntnis der auf diese Art gemessenen Einzelfehler ermöglicht dem Anwender jedoch keine Aussage über den Gesamtfehler der Maschine, wobei jedoch erst dieser Gesamtfehler eine Entscheidung ermöglicht, ob die Arbeits- oder Meßunsicherheit einer Maschine zur Lösung einer vorgegebenen Aufgabe ausreicht.
  • Fehler sind Abweichungen der Ist-Position des Eingriffs- oder Antastpunktes von der Soll-Position.
  • Die Soll-Position wird in bezug auf ein ideales raumfestes Koordinatensystem angegeben. Deshalb müssen auch die Fehler bezogen auf dieses Bezugssystem ermittelt werden, das einen als fehlerfrei definierten Nullpunkt hat.
  • Die Fehlererfassung könnte mit einer im Vergleich zur Werkzeug- oder Meßmaschine hochgenauen Kalibriermaschine erfolgen, wobei diese dann das Bezugssystem vorgibt. Eine derartige Kalibriermaschine, die für den praktischen Einsatz geeignet wäre, gibt es aber nicht. Außerdem tritt das Problem der Abnahme, d. h. der Bestimmung des Gesamtfehlers, bei der Kalibriermaschine selbst auch wieder auf.
  • Eine andere Möglichkeit besteht darin, in den zu vermessenden Arbeitsbereich ein Normal einzubringen, das möglichst viele, über den gesamten Arbeitsbereich verteilte antastbare Punkte mit bekannter Ist-Position aufweist. Während schon bei einem zweidimensionalen Arbeitsbereich ein solches, den gesamten Arbeitsbereich überdeckendes Normal verhältnismäßig aufwendig herzustellen und zu handhaben wäre, werden diese Schwierigkeiten bei einem dreidimensionalen, zu vermessenden Arbeitsbereich noch wesentlich größer, weil eine an sich anzustrebende, ausreichende dichte Anordnung der antastbaren Punkte (z. B. Kugeln) den Zugang zum inneren Bereich verhindert oder zumindest erschwert. Die exakte Vermessung der Ist-Werte bereitet Schwierigkeiten und die Anwendung muß aus Herstellungs- und Handhabungsgründen auf verhältnismäßig kleine räumliche Arbeitsbereiche beschränkt bleiben.
  • Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß die Bestimmung des Gesamtfehlers mit verhältnismäßig einfach aufgebauten und deshalb auch einfach herzustellenden und einfach zu handhabenden Normalen erfolgen kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Normal, dessen Dimensionen geringer sind als die des zu vermessenden Arbeitsbereichs, nacheinander in mehreren unterschiedlichen Lagen im Arbeitsbereich angeordnet und mit der Maschine vermessen wird, wobei bei einem zweidimensionalen Arbeitsbereich das Normal in mindestens drei unterschiedlichen Wukrichtungen zur Anwendung kommt und bei einem dreidimensionalen Arbeitsbereich das Normal in mindestens sechs unterschiedlichen Wirkrichtungen zur Anwendung kommt, von denen höchstens drei in einer Ebene liegen dürfen, und wobei sich jedes Normal in jeder Lage mit mindestens zwei seiner vermeßbaren Punkte einer anderen Lage des Norm als befindet, daß jeweils in den Wirkrichtungen des Normals liegende, bei der VermessungdesNormalsfestgestellte Abweichungen als Projektionen des tatsächlichen Fehlervektors festgestellt und daß an den für einen vorgegebenen Punkt ermittelten Fehlerprojektionen der tatsächlichen Fehler, bezogen auf einen definierten Bezugspunkt, durch Überlagerung errechnet wird.
  • Hierbei können verhältnismäßig einfach aufgebaute Normale auch zur Vermessung von räumlichen Arbeitsbereichen verwendet werden, ohne daß die mehrmalige Lageänderung der Normale es verhindert, den Gesamtfehler auf einen vorgegebenen Bezugspunkt bezogen anzugeben. die verwendeten Normale können beispielsweise sein: a) Flächennormale (z. B. viele antastbare Körper auf einer Platte an genau bekannten Meßpunkten angebracht); b) Längennormale (z. B. viele antastbare Körper auf einer Leiste an genau bekannten Meßpunkten oder mit genau bekannten Abständen angebracht); c) Punktnormale (Kugel, Würfel usw.), bei denen ausschließlich die geometrischen Daten (z. B.
  • Kugeldurchmesser) benötigt werden; d) Normale wie unter a, b oder c angegeben, ohne daß die genaue Lage und Größe der Meßpunkte zueinander bekannt ist; in diesem Fall werden sowohl die zu vermessende Maschine als auch das dabei verwendete Normal während des Verfahrensablaufs vermessen; das vorherige Vermessen des Normals mit anderen Hilfsmitteln entfällt; e) Kombinationen der unter a, b oder c aufgeführten Normale.
  • Die antastbaren Körper der Normale können aus beliebigen, aber eindeutig antastbaren Formelementen bestehen, wie Kugel, Konus, Bohrungskante, Bohrung, Torus, Dreiflächner usw.
  • Bei der Durchführung des Verfahrens wird das jeweils gewählte Normal mit einer geeigneten Sonde oder einer sonstigen, beispielsweise mechanisch oder optisch wirkenden Tasteinrichtung der zu vermessenden Maschine vermessen. Das Normal wird dabei je nach den Abmessungen des zu vermessenden Arbeitsbereichs verschoben. Der Vergleich der gemessenen Abmessungen des Normals mit seinen bekannten, »geeichten« Abmessungen liefert viele Einzelfehler bzw. Fehlerprojektionen, deren Bezug zueinander in dieser Form noch nicht erkennbar ist. Weil sich jedoch erfindungsgemäß das Normal in jeder Lage mit mindestens zwei seiner antastbaren Punkte in der Nachbarschaft von jeweils einem antastbaren Punkt aus einer anderen Lage des Normals befindet und weil man annehmen kann, daß sich der Fehler der Maschine in diesem als »Nachbarschaft« bezeichneten Bereich nicht sprunghaft, sondern allenfalls nur so ändert, daß eine Interpolation mit ausreichender Genauigkeit möglich ist, ergibt sich die rechnerische Möglichkeit, die in den verschiedenen Lagen des Normals ermittelten Einzelfehler oder Fehlerprojektionen durch Überlagerung auf einen Bezugspunkt zu beziehen und als tatsächliche, als Vektor nach Größe und Richtung darzustellende Fehler anzugeben.
  • Betrachtet man die bei den erfindungsgemäß vorgeschriebenen mehreren Lagen des Normals auftretenden Wirkrichtungen, d. h. beispielsweise die Längsrichtung bei einem Stufenendmaß, so erkennt man, daß sich aus diesen Wirkrichtungen in den verschiedenen Lagen des Normals jeweils ein flächiges bzw. räumliches Fachwerk zusammensetzen läßt, dessen Eckpunkte oder Knoten diejenigen Punkte sind, an denen die Wirkrichtungen in zwei oder mehreren Lagen des Normals - mindestens angenähert - zusammentreffen.
  • Eine Bestimmung des auf einen definierten Bezugspunkts bezogenen Gesamtfehlers ist immer dann möglich, wenn das vorstehend genannte »Fachwerk« ein in sich geschlossenes, »stabiles« Gebilde darstellt.
  • Dazu muß das Fachwerk in der Ebene beispielsweise aus drei miteinander verbundenen »Stäben« bestehen. IUm Raum müssen die »Stäbe« mindestens einen Tetraeder bilden. Die Anzahl der notwendigen Wirkrichtungen kann durch Verwendung fester Winkel vermindert werden.
  • Diese angeführten Mindestbedingungen für ein stabiles ebenes oder räumliches Fachwerk entsprechen analog den erfindungsgemäß vorgeschriebenen Lagen bzw. Wirkrichtungen der Normale, wenn eine Bestimmung des Gesamtfehlers bezogen auf einen vorgegebenen Bezugspunkt durch Überlagerung von Einzelfehlern möglich sein soll.
  • Wenn auf diese Weise der Gesamtfehler der zu vermessenden Maschine für eine beliebige Anzahl von Punkten des Arbeitsbereichs bestimmt wurde, können diese Werte in Weiterbildung des Erfindungsgedankens gespeichert und zur prozeßbegleitenden Korrektur der Maschine herangezogen werden. Aus den gespeicherten Werten kann mit ausreichender Genauigkeit der Fehler für jeden beliebigen Zwischenpunkt durch Interpolation bestimmt werden.
  • Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt Fig. 1 im mehreren Stufen die Bestimmung des tatsächlichen Fehlers für einen vorgegebenen Punkt in einem zweidimensionalen Arbeitsbereich mittels eines Stufenendmaßes, Fig. 2 in einem räumlichen Koordinatensystem die Bestimmung des tatsächlichen Fehlers für einen vorgegebenen Punkt, Fig. 3 die verschiedenen Lagen eines Längennormals beim Vermessen eines ebenen Arbeitsbereichs, Fig. 4 in ähnlicher Weise das Vermessen eines ebenen Arbeitsbereichs mittels eines Längennormals und eines Winkelnormals, Fig. 5 das Vermessen eines ebenen Arbeitsbereichs mittels eines Laser-Interferometers, Fig. 6 das Vermessen eines ebenen Arbeitsbereichs mittels eines kleineren Flächennormals und Fig. 7 das Vermessen eines ebenen Arbeitsbereichs mittels einer Winkelmeßeinrichtung.
  • Die Figuren dienen nur der Erläuterung der nachfolgend gegebenen Beschreibung; deshalb wurde auf eine vollständige und ins einzelne gehende Darstellung der verwendeten Normale und Meßeinrichtungen verzichtet.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bestimmung der Fehler soll zunächst an einem Abnahmeverfahren für eine Werkzeug- oder Meßmaschine mit zweidimensionalem, d. h. ebenen Arbeitsbereich an Hand der Darstellungen der Fig. 1 erläutert werden. Als Meßmittel dient ein beliebiges Längeannormal oder Längemeßgerät, im darstellen Beispiel ein Stufenendmaß S. Statt dessen kann beispielsweise auch ein Laser-Interferometer verwendet werden. Ziel des Verfahrens ist es, die Fehler der Maschine in bezug auf ein willkürlich festlegbares Fehlerbezugssystem zu bestimmen.
  • Das Stufenendmaß S wird nacheinander in mehrere verschiedene Lagen gebracht. Bei dem beschriebenen einfachen Beispiel sind es fünf Lagen, die in Fig. 1 a mit 1 bis 5 bezeichnet sind. Im allgemeinen wird es sich um eine wesentlich größere Anzahl von Lagen handeln, wenn mehrere Punkte in einem grS ßeren Arbeitsbereich vermessen werden sollen. In pder dieser fünf Lagen wird des Stufenendmaß S an seinen Antastflächen mit der zu vermessenden Maschine vermessen. Dabei wird vorausgesetzt, daß sich die Fehler in der näheren Umgebung eines beliebigen Punktes des Arbeitsbereichs nur wenig und insbesondere ohne Sprünge ändern. Unter dieser Voraussetzung ist es nur erforderlich, jeweils einen Punkt des Stufenendmaßes S in den Lagen 1, 2 und 3 nach Angenmaß ungefähr in den willkürlich gewählten Punkt P1 zu legen, und bei den Lagen 4, 5 einen Punkt des Stufenendmaßes in den willkürlich gewählten Punkt P2. Die von der zu vermesserenden Maschine angezeigten Abstände zwischen allen in einer Richtung liegenden Meßpunkten vergleicht man mit den Werten, die vom Längennormal, im dargestellten Beispiel vom Stufenendmaß S bekannt sind. Die Abweichungen sind Projektionen der tätsächlichen Maschinenfehler in die Richtung des LängeaornLals, aber zunächst noch ohne Bezug zum Fehlerbezugskoordinatensystem.
  • Fig. 1b zeigt ein beispielsweise mögliches Ergebnis, wobei die Fehlerprojektionen nach Größe und Richtung durch Pfeile dargestellt sind. Dann kann man die Fehler in der nachfolgend beschriebenen Weise auf ein gemeinsames Bezugssystem beziehen Der Punkt P1 wird zum fehlerfreien Bezugspunkt erklärt; der Punkt P2 habe nur Fehler in Richtung P1-P2. Damit lassen sich alle Fehler auf den Punkt P1 und die Achse P1-P2 beziehen. Die von P2 ausgehenden Fehlerprojektionen müssen jetzt um den am Punkt P2 (bezogen auf Pfund die Achse P1-P2) festgestellten Fehler korrigiert werden. Das mögliche Ergebnis zeigt Fig. 1c, wobei die sich ergebenden, bereits korrigierten Fehlerprojektionen nach Größe und Richtung wiederum durch einzelne Pfeile dargestellt sind. In dem schraffierten Bereich B, der zwlschen den Lagen 1 und 2 sowie 4 und 5 des Stufenendmaßes S in Fig. 1c, lassen sich an jedem beliebigen Punkt P durch Interpolation der Fehler an den Kanten des Bereichs (Lagen 1, 1,2 und 4, S) F1-2 und F4-5 des Maschinenfehlers in zwei Richtungen bestimmen. Aus diesen beiden Projektionen F1-2 und F4-5 läßt sich der tatsächliche Felder Ft geometrisch oder rechnerisch in einfacher Weise bestimmen (Fig. 1d). Die Spitze des gesuchten tatsächlichen fehlerverktors Ft liegt auf dem Schnittpunkt der Senkrechten auf die Spitzen der Fehlerprojektions-Vektoren F1-2 und F4-5.
  • An Hand von Fig. 2 wird des Verfahren in der Anwendung für einen dreidimensionalen Arbeitsbereich erläutert. Ein beliebiges Längennormal oder Längeumeßgerät wird nur ungefähr ausgehend von den Punkten P1, P2, P3 und P4 in Fig. 2a durch schrittweises Verändern der Winkel α und ß viermal über den ganzen Arbeitsbereich geführt. Die Winkel a und ß brauchen dabei auch nur ungefähr bekannt zu sein, Dadurch entsteht viermal ein räumliches Netz vom Meßpunkten in Polarkoordinaten, das sich in jedem Fall über den gesamten Arbeitsraum eeteeckt. Die Netzflächenabstände können auch statisch verteilte Werte annehmen. Die von der zu kontrollierenden Maschine angezeigten Abstände zwischen allen in einer Richtung liegenden Meßpunkten vergleich man mit den Werten, die das Kalibriersystem vorgibt. Die Abweichungen sind Projektionen des tatsächlichen Maschinenfehlers in die Richtungen des mals bzw. Längenmeßsystems, aber noch ohne Bei zum Fehlerbezugs-Koordinatensystem. Mögliche Ergebnisse einer solchen Meßserie ausgehend von Punkt P1 zeigt Fig. 2 a. Diese Daten werden zur Auswertung in einem Rechner gespeichert. Die projizierten Fehler an den nicht vermessenen Punkten sind durch Interpolation der gespeicherten Daten bestimmbar.
  • Als nächstes hat man die Fehler auf ein gemeinsames Bezugssystem wie folgt zu beziehen (Fig. 2b): Der Punkt P1 wird zum fehlerfreien Bezugspunkt erklärt; der Punkt P2 habe nur Fehler in Richtung Pl; der Punkt P3 habe nur Fehler in Richtung Pl, P2 und der Punkt P4 habe Fehler in Richtung P1, P2, P3.
  • Das ist eine eindeutige Festlegung zur größenmäßigen Bestimmung eines Fehlerbezugssystems.
  • Die so auf P1 als gemeinsamen Bezguspunkt bezogenen vier Fehlerprojektionen in einem beliebigen Punkt P des Arbeitsbereichs zeigt Fig. 2b. Der tatsächliche Fehler im Arbeitsbereich wird bereits durch drei Projektionen (nicht parallel, nicht in einer Ebene liegend) nach Richtung und Größe festgelegt. Die zunächst überzählig erscheinende vierte Projektion wird aber dennoch für die eindeutige Fehlerbestimmung an einigen Stellen und für die berprüfung der Meßergebnisse an anderen Stellen herangezogen. Das Meßprinzip ist damit beschrieben. Es gilt aber in der hier beschriebenen Form nur für einen bestimmten Punkt des Werkzeug- oder Tastsystems der Maschine.
  • Will man in einem beliebigen anderen Punkt arbeiten, dann müssen zusätzlich im Kalibrierpunkt die rotatorischen Fehler bestimmt werden. Die direkte Messung der rotatorischen Fehler wäre jedoch mit den heute zur Verfügung stehenden Meßmitteln aufwendig.
  • Wesentlich einfacher ist der folgende Weg: Man vermißt drei möglichst weit auseinanderliegende Punkte des Werkzeug- oder Tastsystems (z. B. drei unterschiedliche Tastspitzen eines Sterntasters) und berechnet aus diesen Werten die rotatorischen Fehler über einfache mathematische Gleichungen.
  • Das beschriebene Kalibrierverfahren ermöglicht die Bestimmung aller translatorischen und rotatorischen systematischen Fehler eines beliebigen Punktes des Werkzeug- oder Tastsystems in einer mehrachsigen Maschine. Bei Werkzeug- und besonders bei Meßmaschinen mit eigenem Rechner kann man damit die einmal bestimmten Fehlerdaten abspeichern und zur prozeßbegleitenden Fehlerkorrektur verwenden.
  • Fig. 3 dient der Erläuterung der Arbeitsweise mit einem Längennormal L, das auch seitliche Fehler erkennen läßt, z. B. einem Lineal mit daran angebrachten Kugeln K, die angetastet werden können.
  • Das Längennormal L wird bei einem z. B. quadratischen, zweidimensionalen Arbeitsbereich zunächst nacheinander an zwei gegenüberliegende Kanten gelegt und vermessen, wobei sich für jede anzutastende Kugel K ein bestimmter Einzelfehler ergibt, der in Fig. 3 a jeweils durch einen Pfeil dargestellt ist. Diese Einzelfehler sind noch ohne Bezug zu einem gemeinsamen Fehlerbezugssystem. Sodann wird das Längennormal L nacheinander in der in Fig. 3b gezeigten Weise quer zu den Lagen nach Fig. 3 a angeordnet und ebenfalls vermessen, wobei die sich ergebenden Einzelfehler nur für eine der gezeigten Lagen durch Pfeile nach Größe und Richtung dargestellt sind.
  • Schließlich wird das Längennormal L noch mindestens einmal schräg in den Arbeitsbereich gelegt (Fig. 3c) und vermessen.
  • Das Bestimmen der tatsächlichen Fehler aus den vielen vorerst noch beziehungslosen Einzelfehlern geschieht in der an Hand von Fig. 1 erläuterten Weise, d. h. die zunächst jeweils nur auf die einzelne, nicht genau vorbestimmte Lage des Längennormals L bezogenen Einzelfehler werden so überlagert, daß sich schließlich die auf einen willkürlich festgelegten und damit definierten Bezugspunkt bezogenen Fehler ergeben.
  • Das in Fig. 4 skizzierte Verfahren unterscheidet sich von dem Verfahren nach Fig. 3 nur dadurch, daß das Längennormal L, das in Fig. 4b ebenso wie in Fig. 3b und in Fig. 4c ebenso wie in Fig. 3a gelegt wird, nicht in der in Fig. 3 c gezeigten Weise schräg angeordnet wird. Statt dessen wird wie in Fig. 4a gezeigt, ein Winkelnormal W verwendet, dessen beide Schenkel in einem bestimmten, bekannten Winkel, beispielsweise im rechten Winkel zueinander stehen.
  • Die Seitenflächen der beiden Schenkel des Winkelnormals W werden angetastet, wobei sich Fehlerprojektionen (in Fig. 4 a durch kleine Pfeile dargestellt) quer zur Schenkellängsrichtung ergeben. In Schenkellängsrichtung kann nicht gemessen werden.
  • Auch bei diesem Verfahren ist es durch Überlagerung der einzelnen Fehlerprojektionen möglich, einen auf einen vorgegebenen Beugspunkt bezogenen Gesamtfehler im Arbeitsbereich der Maschine zu bestimmen.
  • In den Fig. 5 a bis 5d ist ein Meßverfahren ähnlich wie in Fig. 4 dargestellt, wobei jedoch als Längen-und Winkelnormal bzw. -meßgerät ein Laser-Interferometer verwendet wird, das mit seinen bekannten Bauelementen in Fig. 5 jeweils nur schematisch dargestellt ist.
  • In Fig. 5 a wird zunächst der Abstand auf der X-Achse gemessen. In Fig. Sb wird die Geradheit der X-Achse an mehreren Stellen bestimmt. In Fig. 5c werden die Abstände in mehreren parallel zur Achse liegenden Linien bestimmt und schließlich wird in Fig. 5d noch die Geradheit jeder dieser parallel zur Y-Achse liegenden Linien bzw. der darauf liegenden Meßpunkte bestimmt. Die Auswertung erfolgt in gleicher Weise wie beim vorstehend beschriebenen Beispiel erläutert.
  • In Fig. 6 ist dargestellt, wie ein größerer zweidimensionaler Arbeitsbereich A mittels eines kleineren Flächennormals FN vermessen werden kann, wobei die Fig. 6a zwei aufeinanderfolgende Lagen des Flächennormals FN und die Fig. 6b ebenfalls zwei aufeinanderfolgende Lagen des Flächennormals FN zeigt. Hierbei kommt es darauf an, daß sich diese einzelnen Lagen des Flächennormals mindestens teilweise überschneiden, damit eine Überlagerung der gemessenen Einzelfehler und ein Abstellen auf ein Bezugssystem möglich ist. Das Flächennormal FN besteht beispielsweise aus einer Platte, an der an allen Meßpunkten Kugeln K angebracht sind.
  • Eine Abwandlung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird in Fig. 7 erläutert. Hierbei wird ein (nicht dargestellter) Theodolit nacheinander an drei verschiedenen Punkten P1, 1>2 und P3 des auszumessenden Arbeitsbereichs oder auch außerhalb von diesem aufgestellt. Mit diesem Theodolit oder einer anderen Winkelmeßeinrichtung werden für zahlreiche Punkte im Arbeitsbereich die Winkelfehler, jeweils bezogen auf den Punkt P1, P2 oder P3 gemessen, wie in den Fig. 7 a bis 7c mit Pfeilen angedeutet ist. Bei einer Überlagerung der so bestimmten Einzelfehler muß in das System noch ein Längenmaß eingeführt werden.
  • Dies geschieht dadurch, daß in dem Arbeitsbereich einmal ein Endmaß in einer beliebigen Lage vermes-Sen und dadurch ein auf eine Längeneinheit bezogener Einzelfehler bestimmt wird.
  • Die beschriebenen Verfahren für zweidimensionale Arbeitsbereiche können auch in mehreren Ebenen eines dreidimensionalen Arbeitsbereichs ausgeführt werden, wobei die verwendeten Normale auch Fehler in der dritten Dimension erkennen lassen müssen.
  • Die durch das erfindungsgemäße Verfahren erhaltenen Gesamtfehler von Werkzeugmaschinen oder Meßmaschinen, die aber auch durch ein anderes Verfahren erhalten sein können, können dazu verwendet werden, eine prozeßbegleitende Fehlerkorrektur durchzuführen. Man muß davon ausgehen daß genaue Mehrachsenmaschinen nur mit sehr hohen Fertigungsaufwand hergestellt werden können, wobei die Kosten auch ohne Steigerung der genauigkeit zunehmen, weil die fertigung sehr arbeitsintensiv ist. Durch eine prozeßbegleitende Fehlerkorrektur läßt sich der Fertigungsaufwand für genaue Mehrachsenmaschinen verringern, ohne daß die genauigkeit abnimmt. Für diese Korrektur genügt es, einmal die Fehler der Maschine in den sechs Fehlerfreiheitsgraden an bestimmten Punkten im Arbeitsbereich mit einem Kalibriersystem zu bestimmen. Die Fehlerdaten könen in einem Kleinrechner gespeichert werden und dienen in Verbindung mit einem Korrekturprogramm zur ständigen, prozeßbegleitenden Berechnung der tatsächlichen Meßwerte aus den fehlerbehafteten Werten.
  • Da man zur Ermittlung der Verteilung der sechs Fehlerfreiheitsgrade (drei translatorische und drei rotatorische Fehler) aus Zeitgründen nicht beliebig viele Punkte im Arbeitsbereich der Maschine vermessen will, erfolgt die Kalibrierung nur an einigen Stellen. Um den ganzen Arbeitsbereich zu erfassen, wird ein räumliches Netz von Punkten definiert, an denen die fehler erfaßt werden. Die Fehler in den Zwischenpunkten werden durch Interpotation bestimmt. E-: Mehrachsenmaschine arbeitet in der Regel mit auswechselbaren Werkzeugen bzw. mit Tasten die mehrere Tastift haben. Durch die verschiedene Lage der Werkzeuge bzw. Taststifte entstehen über die rotatorischen Fehler zusätzliche Maschinenfehler.
  • Diese lassen sich über einfache Transformations gleichungen und Interpolation aus den bekanntem fehlerpunkten bestimmen. Alle diese Fehler werden zur Korrektur der von der Maschine angezeigen, fehlerbehafteten Koordinatenwerte benutzt.
  • Bei Maschinen ohne ein eigenes Tastermeßsystem (z. B. Werkzeugmaschinen) werden Normale verwendetm deren antastbare Körper durch 1-, 2- oder 3 dimensionale Meßsysteme ersetzt werden. Unter »Normalen« sind in diesem Zusammenhang auch Meßmaschinen zu verstehen, deren Meßbereich kleiner als der zu vermessende Arbeitsbereich der Maschine ist. Auch bei der Verwendung dieser Meßmaschine als Normal wird der Meßbereich der Meßmaschine nacheinander so in den zu vermessenden Arbeitsbereich gelegt, daß sich die einzelnen Legen des Meßbereichs teilweise überlappen.

Claims (12)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen an beliebigen Punkten des Arbeitsbereichs der Maschine mittels eines Normal, dadurch gekennzeichnet, daß ein Normal, dessen Dimensionen geringer sind als die des zu vermessenden Arbeitsbereichs, nacheinander in mehreren unterschiedlichen Lagen im Arbeitsbereich angeordnet und mit der Maschine vermessen wird, wobei bei einem zweidimensionalen Arbeitsbereich das Normal in mindestens drei unterschiedlichen Wirkrichtungen zur Anwendung kommt und bei einem dreidimensionalen Arbeitsbereich das Normal im mindestens sechs unterschiedlichen Wirkrichtungen zur Anwendung kommt, von denen höchstens drei in einer Ebene liegen dürfen, und wobei sich jedes Normal in jeder Lage mit mindestens zwei seiner vermeßbaren Punkte in der Nachbarschaft von jeweils einem vermeßbaren Punkt einer anderen Lage des Normals befindet, daß jeweils in den Wirkrichtungen des Normals liegende, bei der Vermessung des Normals festgestellte Abweichungen als Projektionen des tatsächlichen Fehlervektors festgestellt und daß aus den für einen vorgegebenen Punkt ermittelten Fehlerprojektionen der tatsächliche Fehler, bezogen auf einen definierten Bezugspunkt, durch berlagerung errechnet wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fehlerprojektionen für den vorgegebenen Punkt durch Interpolation aus den für benachbrrte Punkte ermittelten Fehlerprojektionen bestimmt und danach der Errechnung des tatsächlichen Fehlers an dem vorgegebenen Punkt zugrundegelegt werden.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 zur Bestimmung der Fehler in einem zweidimensionalen Arbeitsbereich, dadurch gelennzeichnet, daß als Normal ein Stufenendmaß verwendet wird, daß mit dem Stufenendmaß der Fehler des Abstands zweier Punkte voneinander bestimmt wird und daß das Stufenendmaß anschließend in Lagen gebracht wird, die zumindest annähernd von diesen beiden Punkten ausgehen und den zu vermessenden Arbeitsbereich überdecken.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Normal verwendet wird, das mehrere, angenähert auf einer Linie liegende, in Längs- und Querrichtung antastbare Punkte aufweist, daß das Normal in zwei Lagen im Abstand zueinander gebracht und vermessen wird, daß das Normal in mehrere, vorzugsweise parallele und quer hierzu verlaufende Lagen gebracht und vermessen wird und daß jedes Normal in mindestens eine schräg zu den übrigen Lagen verlaufende Lage gebracht und vermessen wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Normal verwendet wird, das mehrere, angenähert auf einer Linie liegende, in Längs- und Querrichtung antastbare Punkte aufweist, daß das Normal in zwei Lagen im Abstand zueinander gebracht und vermessen wird, daß das Normal in mehrere, vorzugsweise parallele und quer hierzu verlaufende Lagen gebracht und vermessen wird und daß zusätzlich ein Winkelnormal verwendet wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Normal ein Laser-Interferometer verwendet wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Normal zur Bestimmung der Fehler in einem zweidimensionalen Arbeitsbereich ein Normal verwendet wird, das in zweidim ensio naler Anordnung mehrere antastbare Punkte aufweist, wobei die Abmessungen des Normals geringer als die des zu vermessenden Arbeitsbereichs sind, und daß das Normal in mehreren, sich mindestens teilweise überlappenden Lagen vermessen wird.
  8. 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Normal eine Wiakelmeßeinrichtung verwendet wird.
  9. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ermittelten tatsächlichen Fehler für eine beliebige Anzahl von Punkten im zu vermessenden Arbeitsbereich der Maschine gespeichert und zur prozeßbegleitenden Korrektur der Maschine herangezogen werden.
  10. 10. Einrichtung zur Durchfiihrung des Verfahrens nach einem der Ansprühe 18, gekennzeichnet durch einen Speicher, dem die in den ein zelnen Lagen der Normale gemessenen projizierten Fehler eingegeben werden, und einen Rechner, gegebenenfalls mit einer Interpolationseinrichtung, der aus den projizierten Fehlern den tatsächlichen Fehler für beliebig vorgebbare Punkte im Arbeitsbereich bestimmt und diese Werte einem Fehlerspeicher zuführt.
  11. 11. Einrichtung nach Anspruch 10 zur Durchführung eines Verfahrens nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß dem Fehlerspeicher ein Rechner nachgeschaltet ist, der auch mit der Meßeinrichtung und mit einer Signalausgabceinrichtung verbunden ist und der jeweils den von der Meßeinrichtung gelieferten Wert mit dem im Fehlerspeicher gespeicherten Fehler korrigiert und das Ergebnis an die Signalausgabeeinrichtung liefert.
  12. 12. Einrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung unterschiedlicher Taster einem Eingang des Rechnees die Lage des verwendeten Tasters bezogen auf ein Tasterkoordinatensystem eingegeben wird und daß der Rechner hieraus den durch den Taster bedingten Fehler ermittelt.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Fehler von mit mehruchsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und McBmaschinen an beliebigen Punkten des Arbeitsbereichs der Maschine mittels eines Normals sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
DE19772739527 1977-09-02 1977-09-02 Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen Expired DE2739527C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772739527 DE2739527C2 (de) 1977-09-02 1977-09-02 Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19772739527 DE2739527C2 (de) 1977-09-02 1977-09-02 Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2739527B1 true DE2739527B1 (de) 1978-08-10
DE2739527C2 DE2739527C2 (de) 1979-04-19

Family

ID=6017932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772739527 Expired DE2739527C2 (de) 1977-09-02 1977-09-02 Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2739527C2 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2471629A1 (fr) * 1979-12-12 1981-06-19 Adepa Procede de reperage de la position d'un organe mobile de machine ou d'appareil et applications a la commande de ces machines ou appareils
EP0275428A3 (en) * 1987-01-20 1988-08-17 The Warner & Swasey Company Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
EP0279926A1 (de) * 1987-01-20 1988-08-31 THE WARNER & SWASEY COMPANY Positionsbestimmungsverfahren innerhalb des Messraumes eines Koordinatenmessgerätes und dergleichen und System dafür
EP1701231A1 (de) * 2005-03-08 2006-09-13 Mydata Automation AB Kalibrierverfahren

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2471629A1 (fr) * 1979-12-12 1981-06-19 Adepa Procede de reperage de la position d'un organe mobile de machine ou d'appareil et applications a la commande de ces machines ou appareils
EP0275428A3 (en) * 1987-01-20 1988-08-17 The Warner & Swasey Company Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
EP0279926A1 (de) * 1987-01-20 1988-08-31 THE WARNER & SWASEY COMPANY Positionsbestimmungsverfahren innerhalb des Messraumes eines Koordinatenmessgerätes und dergleichen und System dafür
EP1701231A1 (de) * 2005-03-08 2006-09-13 Mydata Automation AB Kalibrierverfahren
WO2006099951A1 (en) * 2005-03-08 2006-09-28 Mydata Automation Ab Method of calibration
US7853352B2 (en) 2005-03-08 2010-12-14 Mydata Automation Ab Method of self calibrating a positioning system for positioning an element in a working space
CN101147105B (zh) * 2005-03-08 2012-09-12 麦德塔自动化股份有限公司 校准方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE2739527C2 (de) 1979-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0684447B1 (de) Koordinatenmessung an Werkstücken mit einer Korrektur des durch die Messkraft abhängigen Biegeverhaltens des Koordinatenmessgerätes
DE3805500C2 (de)
DE3637410C2 (de)
EP3049758B1 (de) Reduzierung von fehlern einer drehvorrichtung, die bei der bestimmung von koordinaten eines werkstücks oder bei der bearbeitung eines werkstücks verwendet wird
DE3750885T2 (de) Koordinaten-Messung.
EP1658471B1 (de) Verfahren zur ermittlung systematischer geometrischer abweichungen in technischen mehrkörpersystemen
DE112011104760T5 (de) Fehlermessvorrichtung und Fehlermessverfahren
EP0078984A2 (de) Verfahren zur Kalibrierung von Taststiften an Mehrkoordinaten-Messmaschinen
EP2140254A2 (de) Verfahren und vorrichtung zum dimensionellen messen mit koordinatenmessgeräten
DE4001433A1 (de) Korrekturverfahren fuer koordinatenmessgeraete
DE102014113705B4 (de) Vorrichtung zur Gewinnung der Fehlerkorrekturhöhe
DE102007004934A1 (de) Prüfverfahren für positionierende Maschinen
DE3540649C2 (de) Vorrichtung zum Messen der Profilform von zylindrischen Werkstückflächen
DE102007011603B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Geometriedaten eines konischen Messobjekts
DE10058650A1 (de) Verfahren zur interferometrischen Messung von nichtrotationssymmetrischen Wellenfrontfehlern
DE1473622B2 (de) Verfahren zur selbsttaetigen aufzeichnung der dicke eines gegenstandes und der lage einer fehlerstelle
DE2739527C2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Fehler von mit mehrachsigen Meßeinrichtungen versehenen Werkzeugmaschinen und Meßmaschinen
EP3835900B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur prüfung von werkstücken
EP3708945B1 (de) Auswertung von messdaten aus einer vermessung einer mehrzahl von werkstücken
DE102004003941A1 (de) Bestimmung von Koordinaten eines Werkstücks
DE102019206797B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Faseneigenschaft einer Werkstückfase sowie Programm
DE102022117902A1 (de) Prüfgerät für koordinatenmessvorrichtung und verfahren zum feststellen einer störung
DE102013018364B4 (de) Verfahren zur Detektion und/oder Messung von Oberflächenfehlern eines Bauteils
DE3634688A1 (de) Verfahren und einrichtung zur messung von verzahnungen mit hilfe eines koordinatenmessgeraetes
DE102017119488B9 (de) Verfahren zum Bestimmen der Summenteilungsabweichungen von Positionsverkörperungen eines Werkstücks mit einer Kreisteilung

Legal Events

Date Code Title Description
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ERNST LEITZ WETZLAR GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: WILD LEITZ GMBH, 6330 WETZLAR, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEICA INDUSTRIEVERWALTUNG GMBH, 6330 WETZLAR, DE