DE2722560A1 - Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken

Info

Publication number
DE2722560A1
DE2722560A1 DE19772722560 DE2722560A DE2722560A1 DE 2722560 A1 DE2722560 A1 DE 2722560A1 DE 19772722560 DE19772722560 DE 19772722560 DE 2722560 A DE2722560 A DE 2722560A DE 2722560 A1 DE2722560 A1 DE 2722560A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
receiver
recoil
gas
pressure transmitter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19772722560
Other languages
English (en)
Other versions
DE2722560C2 (de
Inventor
Claus Dipl Phys Dr Hartung
Rainer Jurgeit
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Akademie der Wissenschaften der DDR
Original Assignee
Akademie der Wissenschaften der DDR
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DD19324176A external-priority patent/DD126041B1/de
Priority claimed from DD19706777A external-priority patent/DD130805B1/de
Application filed by Akademie der Wissenschaften der DDR filed Critical Akademie der Wissenschaften der DDR
Publication of DE2722560A1 publication Critical patent/DE2722560A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2722560C2 publication Critical patent/DE2722560C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
    • G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

Akademie der Wissenschaften der DDR 1199 Berlin-Adlershof, Rudower Chaussee 5
Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Messung von Gasdrücken
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kontinuierlichen Messung von Gasdrücken und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Ein derartiges, nach neuem Verfahrensprinzip arbeitendes Manometer kann im Hochvakuum, im Vorvakuum, bei Atmosphärendruck und bei Überdruck zur Druckmessung verwendet werden. Das Hauptanwendungsgebiet ist die Vakuumtechnik.
Die bisher bekannten Manometer können eingeteilt werden in solche, die direkt den Druck messen und in solche, die druckabhängige Gasparameter messen. Der Vorteil von Manometern der erstgenannten Art liegt darin, daß sie gasartunabhängig sind, wenn die Zustandsgleichungen der zu messenden Gase übereinstimmen. Zu diesen Manometern sind diejenigen zu zählen, bei denen durch den Gasdruck eine Membran deformiert wird, deren Deformation gemessen wird (Membran- und Dosenmanometer) , und diejenigen, bei denen der Gasdruck eine Flüssigkeit gegen die Schwerkraft in die Höhe schiebt, wobei die Höhenverschiebung gemessen wird (Flüssigkeitsmanometer). [[Mönch, Günther Christian, "Neues und Bewährtes aus der Hochvakuumtechnik" 2., berichtigter Nachdruck - VEB Verlag Technik Berlin 1961, S. 549; S. 473 ]
Zu den Manometern der zweiten Art gehören das Piranimanometer, bei dem die druckabhängige Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Druckmessung ausgenutzt wird
709851/0740
[_ebenda, S. 496 J , das Penningmanometer, bei dem die Messung auf der Druckabhängigkeit der Stromstärke einer selbständigen Gasentladung beruht £ ebenda, S. 484 J das Reibungsmanometer, das die Druckabhängigkeit des Reibungskoeffizienten des zu messenden Gases auenutzt
[ebenda, S. 536J und das Ionisationsmanometer, in dem die Abhängigkeit des durch Elektronenetofl bewirkten Ionisationsgrades des Gases vom Druck zur Messung herangezogen wird [^ebenda, S. 510 J .
Membranmanometer haben eine komplizierte Herstellungstechnologie und sind deswegen kostspielig· Ein weiterer Nachteil ist die schlechte Reproduzierbarkeit der Nullpunkteineteilung.
Dosenmanometer sind für Genauigkeitsmessungen ungeeignet.
Flüssigkeitsmanometer haben den Nachteil, daß eich im Meßgefäß der Dampfdruck der MeßflUssigkeit einstellt und daß bei einer kontinuierlichen Messung der Meßbereich sehr klein ist.
Manometer, bei denen die Druckabhängigkeit von Gasparametern zur Druckmessung verwendet wird, haben die Nachteile der Gasartabhängigkeit und der Nichtlinearität des Zusammenhanges des zu messenden Parameters mit dem Druck.
Das Penningmanometer hat den zusätzlichen Nachteil der relativ großen Meßungenauigkeit.
Im Ionisationsmanometer kann sich das zu messende Gas zersetzen. Das Piranimanometer hat nur einen geringen Meßbereich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur kontinuierlichen Messung von Gasdrücken und eine zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung
709851/0740
anzugeben, die eine direkte, von der Gasart unabhängige Messung erlaubt.
Dabei sollen keine Flüssigkeiten verwendet werden. Ferner soll die Messung nicht die Gaszusanunensetzung verändern· Die absolute Meßgenauigkeit soll besser als 2 % sein bei Gasen, deren Zustandsgieichung um weniger als 2 % von der eines idealen Gases abweicht« Die Vorrichtung soll linear messen, damit ihre Eichung an einem Druckpunkt vollständig vorgenommen und für alle Meßbereiche die gleiche Meßskala verwendet werden kann.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der zu messende Gasdruck in einem kleinen Teilvolumen moduliert wird und die so erzeugten Druckschwankungen in elektrische Signale umgewandelt werden, die dem zu messenden Gasdruck proportional sind. Wenn das zu messende Gas in guter Näherung durch die Zustandegleichung für ideale Gase beschrieben werden kann, so gilt'
P · V = K, (1)
wobei ρ der zu messende Druck, K eine Konstante und V das Volumen ist, das moduliert werden soll. Wird das Volumen zwischen zwei Extremen V1 und V2 variiert, so ist die resultierende Druckdifferenz
AP=P1-P2 = K(J -J) . (2) Setzt man für K in (2) den Wert aus (1) ein, so folgt
A). ρ . (3)
V2
Bei konstanter Volumenmodulation ist deswegen die Druckvariation dem Absolutdruck proportional. Der
709851/07*0
-f.
Proportionalitätsfaktor wird durch die geometrischen Verhältnisse gegeben und enthält keine gasartabhängigen Größen.
.Zur Durchführung des Verfahrens wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die in nachstehend beschriebener Weise aufgebaut ist.
In einem Gehäuse, das mit dem Volumen verbindbar ist, welches den zu messenden Gasdruck aufweist, ist eine Modulationskammer gebildet, die eine definierte öffnung hat. Eine Seite der Modulationskammer ist von einem an eine Wechselspannungsquelle angeschlossenen Druckgeber, die andere Seite von einem Empfänger zur Umwandlung eines Druckes in ein elektrisches Signal begrenzt. Die Modulationskammer, in der der Druck moduliert wird, ist mit dem Volumen, in dem der zu messende Gasdruck herrscht, durch die genannte Öffnung im Druckgeber verbunden. Diese Öffnung ist derart bemessen, daß sich der Gasdruck in der Modulationskammer innerhalb einer Modulationsperiode nicht an den Gasdruck des übrigen Volumena angleichen kann. Die Öffnung ermöglicht eine kontinuierliche Druckmessung, da sich der Gasdruck in einer Zeit, die groß gegen die Modulationsperiode ist, an den äußeren Gasdruck angleicht. Der Abstand zwischen Druckgeber und Empfänger ist klein gehalten gegen die Schallwellenlänge bei der Modulationsfrequenz. Auf diese Weise wird der Gleichung für ideale Gase Rechnung getragen. Der Empfängerausgang der Vorrichtung ist an eine elektronische Auswertungsanordnung angeschlossen, die in an sich bekannter Weise ausgebildet ist. Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung hat der Abstand zwischen Druckgeber und Empfänger seinen Maximalwert in der Mitte der Modulationskammer und wird zum Rand hin Null, derart, daß das Verhältnis der Auslenkung des Druckgebers zu dessen Abstand vom Bnpfänger an allen Punkten gleich ist. Außerdem sind Mittel zur
709851/07*0
-a-
Kompensation des Rückstoßes des Druckgebers vorgesehen. Der Maximalwert des Abstandes zwischen Druckgeber und Empfänger beträgt «£ 1,0 mm.
Zweckmäßigerweise besteht der Druckgeber aus einem scheibenförmigen Piezoelement, das auf einer Metallmembran aufgebracht ist.
Der gegenüber dem Druckgeber die andere Seite der Modulationskammer abschließende Empfänger ist vorzugsweise ein Kondensatormikrofon.
Bei einer Ausführungsform des Kondensatormikrofons ist die Kondensatorplatte als Metallnetz ausgebildet. Anstelle des Kondensatormikrofons kann zur Messung von Drücken im Atmosphärenbereich auch ein Piezoelement als Empfänger verwendet werden.
Bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Vorrichtung besteht der Druckgeber aus einem scheibenförmigen Piezoelement auf einer Metallmembran, auf der eine Kunststoffschicht aufgebracht ist, deren der Modulationskammer zugewandte Seite als Hohlfläche ausgebildet ist. Eine Möglichkeit, die Drift der Druckgeberamplitude zu kontrollieren, ist dann gegeben, wenn mechanisch mit dem Druckgeber verbundene metallische Teile, die gemeinsam mit dem Druckgeber schwingen, und die Membran des Empfängers einen Kondensator bilden.
Zur Kompensation des vom Druckgeber verursachten und auf den Empfänger einwirkenden Rückstoßes werden mehrere Maßnahmen vorgeschlagen, die einzeln oder in Kombination anwendbar sind.
Eine Verminderung des Rückstoßes läßt sich beispielsweise durch einen rückstoßunempfindlichen Aufbau des als Empfänger verwendeten Kondensatormikrofons erreichen, indem alle beim Druckempfang wirksamen Kondensatorplatten eine identische Struktur aufweisen und aus gleichem Material bestehen.
70985W0740
Eine weitere Maßnahme zur mechanischen Kompensation des Rückstoßes des Druckgebers ist dadurch gegeben, daß außerhalb der Modulationskammer ein Körper angeordnet ist, der zum Druckgeber in Gegenphase schwingt. Die Gegenkopplung oder Regelung des phasengerechten Rückstoßes des zum Druckgeber in Gegenphase schwingenden Körpers kann durch ein Signal erfolgen, welches mit einem dem genannten Körper zugeordneten rückstoßempfindlichen Mikrofon empfangen wird. Dadurch wird der summare Rückstoß, den der Empfänger mißt, klein gegen das durch die Druckschwankungen verursachte Meßsignal·
Zur elektronischen Kompensation des Rückstoßsignals am als Empfänger verwendeten Kondensatormikrofon ist außerhalb der Modulationskammer ein zweites Kondensatormikrofon angeordnet, das nur den Rückstoß empfängt· Neben der mechanischen übertragung der Schwingungen des Druckgebers auf den Empfänger durch Rückstoß tritt eine mechanische Übertragung der Schwingungen durch elastische Deformation der Halterung des Druckgebers und des Empfängers auf. Als Maßnahme zur Unterdrückung solcher Deformation wird vorgeschlagen, die Metallmembran des Druckgebers topfförmig auszubilden und den Druckgeber am Rand dieser topfrdrmigen Membran zu haltern· Desgleichen kann die der Modulationskammer zugewandte Empfängermembran topfförmige Gestalt haben und ebenfalle an ihre« Rand gehaltert sein.
Die Druckmodulation in der Modulationskammer wird dadurch bewirkt, daß an den piezoelektrischen Druckgeber eine Wechselspannung angelegt wird, so daß dieser sich im Takt der Frequenz der Spannung bewegt· Die auf diese Weise in der Modulationskammer erzeugten Druckschwankungen werden von dem Kondensatormikrofon in ein elektrisches Signal umgewandelt, welches an eine elek-
709851/0740
tronische Auswertungsanordnung weitergeleitet wird. Bei einer läeßbandbreite von 1 Hz kann bei Verwendung eines Kondensatormikrofons als Empfänger und unter der Voraussetzung, daß sich Erschütterungen, die vom Druckgeber aus direkt über das Gehäuse an den Empfänger übertragen werden, kompensieren oder vermeiden lassen, in einem Druckbereich von mehr als 6 Größenordnungen der Druck mit der Genauigkeit, mit der die Zustandsgleichung des zu messenden Gases mit der Zustand8-gleichung für ideale Gase übereinstimmt, linear und gasartunabhängig gemessen werden. Durch Wahl der Größe der Modulationskaramer und der Empfindlichkeit der Membran des Kondensatormikrofons läßt sich der Eineatzbereich der erfindungsgemäßen Vorrichtung in weiten Grenzen verändern. Es lassen sich mehrere Vorrichtungen mit unterschiedlichem Einsatzbereich durch eine elektronische Auswertungsanordnung in einem Gerät zusammenfassen, wodurch der Meßbereich des Gerätes über alle mit dem vorgeschlagenen Meßverfahren erfaßbaren Druckbereiche ausgedehnt werden kann.
Die nach neuem Meßprinzip arbeitende erfindungsgemäße Vorrichtung weist gegenüber bekannten Vakuummeßgeräten wesentliche Vorteile auf.
Mit nur einem Meßkopf sind mit hoher Genauigkeit kontinuierliche Druckmessungen über einen mehrere Größenordnungen umfassenden Meßbereich linear und gasartunabhängig durchführbar.
Eine derartige Vorrichtung gestattet einen lageunabhängigen Betrieb. Sie ist sofort meßbereit und druckeinbruchsicher. Ihre Handhabung ist einfach.
Weitere Vorteile sind ihre geringe Masse, geringe räumliche Abmessungen und ihre einfache Bauweise, die sich günstig auf die Herstellungstechnologie auswirkt.
709851/07AO
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigen:
Fig. 1: den Axialschnitt eines Gasdruck-Meßkopfes nach der Erfindung in schematischer, vergrößerter Darstellung,
Fig. 2: eine alternative Ausführungsform des Systems Druckgeber-Empfänger in einem Meßkopf nach Fig. 1.
Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist innerhalb eines Vakuumdichten Gehäuses 1, das mittels Vakuumschliff 2 mit dem Volumen verbindbar ist, welches den zu messenden Gasdruck aufweist, eine Modulationskammer 3 ausgebildet. Diese Modulationskammer 3 ist einerseits durch einen Druckgeber 4 und andererseits durch einen Empfänger 5 zur Umwandlung des Druckes in ein elektrisches Signal begrenzt. Der Abstand zwischen Druckgeber 4 und Empfänger 5 hat seinen Maximalwert am in der Kammermitte und wird zum Rand der Modulationskammer 3 hin Null. Der Abstand a χ soll 1mm nicht überschreiten. Er beträgt bei dem AusfUhrungsbeispiel 0,3 mm. Der Druckgeber 4 besteht hier aus einem scheibenförmigen Piezoelement 6 auf einer Metallmembran 7, auf der eine Kunststoffschicht 8, z. B. aus Epoxydharz bestehend, aufgebracht ist. Die der Modulationskammer 3 zugewandt· Seite der Kunststoffschicht 8 ist als Hohlfläche ausgebildet.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungshorn der Vorrichtung sind die Membranen des als Empfänger 5 verwendeten Kondensatormikrofons identisch aufgebaut und bestehen aus gleichem Material.
Zur mechanischen Kompensation des Rückstoßes des Druckgebers 4 ist außerhalb der Modulationekammer 3 ein Körper 9, hier eine Piezokeramik, angeordnet, der zum
709851/07*0
Druckgeber 4 in Gegenphase schwingt. Zur Gegenkopplung oder Regelung des phasengerechten Rückstoßes des Körpers 9 kann diesem ein rückstoßempfindliches Mikrofon 10 zugeordnet sein, das hier ebenfalls eine Piezokeramik ist. Um das Rückstoßsignal des Empfängers 5 elektronisch zu kompensieren, ist ein zweites Kondensatormikrofon 11 vorgesehen, das nur den Rückstoß empfängt. Der Gehäusedeckel 1a übernimmt hier die Punktion einer Kondensatorplatte·
In der die Modulationskammer 3 begrenzenden Membran des Fmpfängers 5 befindet sich eine definierte Abpumpöffnung 12, welche über weitere Abpumpöffnungen 13 in der Vorrichtung die Verbindung herstellt zwischen der Modulationskammer 3 und dem den zu messenden Gasdruck aufweisenden Volumen (in der Zeichnung nicht dargestellt). Andere Abpumpöffnungen 14 verbinden das genannte Volumen mit weiteren Zwischenräumen zwischen den einzelnen Funktionselementen des Meßsystems· Die Metallmembranen der Funktionselemente des Meßsystems sind gegeneinander und gegen ihre Aufnahmen durch Isolatoren 15 isoliert· Der Druckgeber 4 ist über die Leitung a an eine Wechselspannung squ eile angeschlossen und seine Metallmembran 7 über die Leitung b mit dem Gegenpol 16 der Wechselspannungsquellen verbunden, welche der Anregung des Druckgebers 4 und des zum Druckgeber 4 in Gegenphase schwingenden Körpers 9 dienen. Der Gegenpol 16 wird für die Kontrollmessung der Druckgeberamplitude an Masse gelegt. Der Körper 9 ist über die Leitung c an eine Wechselspannungsquelle angeschlossen und seine Metallmembran über die Leitung d mit der Leitung b und damit ebenfalls mit dem Gegenpol 16 der Wechselspannungsquellen verbunden. Das Signal, welches das rückstoßempfindliche Mikrofon 10 abgibt, wird über die Leitung e aus dem Gehäuse 1 heraus-
709851/0740
geführt. Die Metallmembran des Mikrofons 10 ist über die Leitung f mit der Metallmembran des Körpers 9 verbunden. Die die Modulationskammer 3 begrenzende Membran des Empfängers 5 ist über die Leitung g an Masse angeschlossen. Zur Kontrolle der Amplitude des Druckgebers 4 wird die Leitung g an eine Gleichspannungsquelle mit hohem dynamischen Innenwiderstand angeschlossen· Die der Modulationskammer 3 abgewandte Membran des Empfängers 5 ist über die Leitung h an eine Gleichspannungsquelle mit hohem dynamischen Innenwiderstand und an eine (hier nicht dargestellte) elektronische Auswertungsanordnung angeschlossen, die das über die Leitung h herausgeführte Meßsignal weiterverarbeitet· Die Membran des der Rücketoßkompensation dienenden Kondensatormikrofons 11 ist über die Leitung i an eine Gleichspannungsquelle mit hohem dynamischen Innenwiderstand angeschlossen· Der elektrische Schirm 17 dient der Abschirmung der anregenden Wechselspannung von den Membranen des Empfängers 5» des der Rückstoßkompensation dienenden Kondensatormikrofons 11 und von den Leitungen g, h, i. Fig. 2 zeigt eine alternative Gestaltung des Druckgebers und des Empfängers 5, die geeignet ist, die mechanische Übertragung der Schwingungen des Druckgebers 4 auf den Empfänger 5 infolge elastischer Deformation der Halterung des Druckgebers 4 und des Empfängers 5 zu unterdrücken. Dabei ist die Metallmembran 7 des Druckgebers 4 topfförmig ausgebildet und der Druckgeber 4 am Rand dieser topfförmigen Membran 7 gehaltert· Desgleichen hat die die Modulationskammer 3 begrenzende Membran des Empfängers topfförmige Gestalt und ist ebenfalls an ihrem Rand gehaltert ·
709851/0740

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    1· Verfahren zur kontinuierlichen Messung von Gasdrücken, dadurch gekennzeichnet, daß der zu messende Gasdruck in einem kleinen Teilvolumen moduliert wird und die so erzeugten Druckschwankungen in elektrische Signale umgewandelt werden, die dem zu messenden Gasdruck proportional sind.
    2. Vorrichtung zur kontinuierlichen Messung von Gasdrücken, dadurch gekennzeichnet, daß in einem Gehäuse (1), das mit dem Volumen verbindbar ist, welches den zu messenden Gasdruck aufweist, eine Modulationskanmer (3) gebildet ist, die eine definierte Öffnung (12) zum genannten Volumen hat, und die einerseits von einem an eine Wechselspannungsquelle angeschlossenen Druckgeber (4) und andererseits von einem Empfänger (5) zur Umwandlung des Druckes in ein elektrisches Signal begrenzt ist, wobei der Abstand zwischen Druckgeber (4) und Empfänger (5) klein gegen die Schallwellenlänge bei der Modulationsfrequenz ist.
    Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfängerausgang an eine elektronische Auswertungsanordnung angeschlossen ist.
    709851/CmO ORIGINAL INSPECTEDi
    Vorrichtung nach Anspruch 2 und 3» dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen Druckgeber (4) und Empfänger (5) seinen Maximalwert in der Mitte der Modulationskammer (3) hat und zum Rand hin Null wird, derart, daß das Verhältnis der Auslenkung des Druckgebers (4) zu dessen Abstand vom Empfänger (5) an allen Punkten gleich ist, und daß Mittel zur Kompensation des Rückstoßes des Druckgebers (4) vorgesehen sind.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Maximalwert des Abstandes zwischen Druckgeber (4) und Empfänger (5) ^ 1,0 mm beträgt.
    6. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckgeber (4) aus einem scheibenförmigen Piezoelement (6) besteht, das auf einer Metallmembran (7) aufgebracht ist·
    Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckgeber (4) aus einem scheibenförmigen Piezoelement (6) auf einer Metallmembran (7) besteht, auf der eine Kunststoffschicht (8) aufgebracht ist, deren der Modulationskammer (3) zugewandte Seite als Hohlfläche ausgebildet ist.
    709851/0740
    8. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Fmpfanger (5) ein Kondensatormikrofon ist.
    9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die der Modulationskanuner (3) abgewandte Membran des Empfängers (5) als Metallnetz ausgebildet ist.
    10. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Empfänger (5) ein Piezoelement ist.
    11. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß mechanisch mit dem Druckgeber (4) verbundene metallische Teile und die Membran des Empfängers (5) einen Kondensator bilden.
    12. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß alle beim Druckempfang wirksamen Kondensatorplatten des ale Empfänger (5) verwendeten Kondensatormikrofone identisch aufgebaut sind und aus gleichem Material bestehen.
    13. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur mechanischen Kompensation des Rückstoßes des Druckgebere (4) außerhalb der Modulationskammer (3) ein Körper (9) angeordnet ist, der zum Druckgeber (4) in Gegenphase schwingt,
    709851/0740
    14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß zur Gegenkopplung oder Regelung des phasengerechten Rückstoßes des zum Druckgeber (4) in Gegenphase schwingenden Körpers (9) ein rückstoßempfindlichea Mikrofon (10) vorgesehen ist.
    15. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur elektronischen Kompensation des Rückstoßsignals am als Empfänger (5) verwendeten Kondensatormikrofon außerhalb der Modulationskammer (3) ein zweites Kondensatormikrofon (11) angeordnet ist, das nur den Rückstoß empfängt.
    709851/0740
DE19772722560 1976-06-08 1977-05-18 Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken Granted DE2722560A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD19324176A DD126041B1 (de) 1976-06-08 1976-06-08 Vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken
DD19706777A DD130805B1 (de) 1977-01-25 1977-01-25 Vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2722560A1 true DE2722560A1 (de) 1977-12-22
DE2722560C2 DE2722560C2 (de) 1987-08-13

Family

ID=25747569

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19772722560 Granted DE2722560A1 (de) 1976-06-08 1977-05-18 Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4154115A (de)
JP (1) JPS5322484A (de)
DE (1) DE2722560A1 (de)
FR (1) FR2354548A1 (de)
GB (1) GB1585567A (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926154A1 (de) * 1978-08-10 1980-02-14 Nissan Motor Drucksensor mit einer halbleitermembran
DE3214672A1 (de) * 1981-04-22 1982-11-25 Ford-Werke AG, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum messen des absoluten drucks in einem gas
DE3325188A1 (de) * 1983-07-13 1985-01-24 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Vorrichtung zur messung des druckes eines gasfoermigen mediums
US4628739A (en) * 1983-07-07 1986-12-16 Robert Bosch Gmbh Device for measuring the pressure of a gas like medium
DE3705901A1 (de) * 1987-02-24 1988-09-01 Siemens Ag Druckmesswandler

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4098133A (en) * 1977-05-16 1978-07-04 Sperry Rand Corporation Vibrating diaphragm fluid pressure sensor device
FR2504265A1 (fr) * 1981-04-15 1982-10-22 Detaint Jacques Dispositif de mesure de la pression d'un gaz
US4535633A (en) * 1983-06-29 1985-08-20 Veb Hochvakuum Dresden Method and apparatus for the protection of analyzers and other sensitive components from soiling and corrosion
US4930357A (en) * 1986-11-21 1990-06-05 Allied-Signal Inc. Fluidic volumetric fluid flow meter
US4949755A (en) * 1986-11-21 1990-08-21 Allied-Signal Inc. Fluidic volumetric fluid flow meter
US5962791A (en) * 1998-07-16 1999-10-05 Balzers Aktiengellschaft Pirani+capacitive sensor
WO2020072938A1 (en) 2018-10-05 2020-04-09 Knowles Electronics, Llc Methods of forming mems diaphragms including corrugations
US11206494B2 (en) 2018-10-05 2021-12-21 Knowles Electronics, Llc Microphone device with ingress protection
DE112019005007T5 (de) 2018-10-05 2021-07-15 Knowles Electronics, Llc Akustikwandler mit einer Niederdruckzone und Membranen, die eine erhöhte Nachgiebigkeit aufweisen
US11528546B2 (en) 2021-04-05 2022-12-13 Knowles Electronics, Llc Sealed vacuum MEMS die
US11540048B2 (en) 2021-04-16 2022-12-27 Knowles Electronics, Llc Reduced noise MEMS device with force feedback
US11649161B2 (en) 2021-07-26 2023-05-16 Knowles Electronics, Llc Diaphragm assembly with non-uniform pillar distribution
US11772961B2 (en) 2021-08-26 2023-10-03 Knowles Electronics, Llc MEMS device with perimeter barometric relief pierce
US11780726B2 (en) 2021-11-03 2023-10-10 Knowles Electronics, Llc Dual-diaphragm assembly having center constraint

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3233461A (en) * 1962-05-23 1966-02-08 Bolt Beranek & Newman Method of and apparatus for measuring pressure and density
US3425281A (en) * 1965-01-15 1969-02-04 Leybold Holding Ag Vacuum gauge apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2978899A (en) * 1956-02-10 1961-04-11 Kritz Jack Ultrasonic system for measuring the physical characteristics of a gas
US3295360A (en) * 1965-04-21 1967-01-03 Dimeff John Dynamic sensor
US3399572A (en) * 1966-12-01 1968-09-03 Gen Precision Inc Vibrating beam pressure transducer
US3557621A (en) * 1969-07-07 1971-01-26 C G S Scient Corp Inc Variable capacitance detecting devices

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3233461A (en) * 1962-05-23 1966-02-08 Bolt Beranek & Newman Method of and apparatus for measuring pressure and density
US3425281A (en) * 1965-01-15 1969-02-04 Leybold Holding Ag Vacuum gauge apparatus

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SU- Urheberschein 491853 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2926154A1 (de) * 1978-08-10 1980-02-14 Nissan Motor Drucksensor mit einer halbleitermembran
DE3214672A1 (de) * 1981-04-22 1982-11-25 Ford-Werke AG, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum messen des absoluten drucks in einem gas
US4628739A (en) * 1983-07-07 1986-12-16 Robert Bosch Gmbh Device for measuring the pressure of a gas like medium
DE3325188A1 (de) * 1983-07-13 1985-01-24 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Vorrichtung zur messung des druckes eines gasfoermigen mediums
WO1985000425A1 (en) * 1983-07-13 1985-01-31 Robert Bosch Gmbh Device for measuring the pressure in a gas medium
JPS60501823A (ja) * 1983-07-13 1985-10-24 ロ−ベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング ガス状媒体の圧力を測定する装置
DE3705901A1 (de) * 1987-02-24 1988-09-01 Siemens Ag Druckmesswandler

Also Published As

Publication number Publication date
DE2722560C2 (de) 1987-08-13
FR2354548B1 (de) 1982-05-21
FR2354548A1 (fr) 1978-01-06
JPS5322484A (en) 1978-03-01
US4154115A (en) 1979-05-15
GB1585567A (en) 1981-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2722560A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken
EP1128172B1 (de) Drucksensor
EP0524550B1 (de) Gasgefüllter Relativdrucksensor
DE3883067T2 (de) Kapazitives Manometer zur Absolutdruckmessung.
DE2505461C2 (de) Meßumformer zum Bestimmen einer ein Substrat verformenden Meßgröße
DE69122009T2 (de) Elektrochemischer Kraftsensor
EP0421394A2 (de) Differenzdruckmessgerät
EP1065488B1 (de) Relativdrucksensor
DE102009035973B4 (de) Anordnung und Verfahren zur kapazitiven Druckmessung
DE69710606T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum elektronischen ausgleich von resonanz-messfehlern in einem kapazitiven druckwandler
DE2330477A1 (de) Durchflussmessystem
EP0015368B1 (de) Luftdruckgeber
WO1992006362A1 (de) Sensor
EP0508517B1 (de) Kompensiertes Differenzdruckmessgerät
DE2236907C3 (de) Gasdruckmesser
DD126041B1 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken
DE1097718B (de) Vorrichtung zum Messen mechanischer Kraefte, insbesondere auf Traegheit ansprechender Beschleunigungsmesser
DE3820878C2 (de)
DE102022101772B4 (de) System und Verfahren zur berührungslosen Ermittlung eines elektrischen Potentials einer Probe
DE3733345A1 (de) Einrichtung zur bestimmung der schwingungsparameter eines bandes
DD130805B1 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen messung von gasdruecken
DE3214672C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des absoluten Drucks in einem Gas
EP0132222B1 (de) Kapazitiver Weg-Frequenz-Messgrössenwandler, insbesondere Druck-Frequenz-Wandler
DE3008573A1 (de) Druckaufnehmer
DE102022126948A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer Spannung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee