DE2720543A1 - Mehrfachdetektor fuer die querachsen-tomographie - Google Patents

Description

Patentanwälte

Dipl.-lng. Dipl.-Chem. Dipl.-lng. E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser 2720543 Ernsbergerstrasse 19

8 München 60

Unser Zeichen; T 2195 3.Mai 1977

THOMSON-CSF

173 Bd.Haussmann

75008 Paris, Frankreich

Mehrfachdetektor für die Querachsen-Tomographie

Die Erfindung bezieht sich auf einen Mehrfachdetektor für ein Röntgengerät zur Querachsen-Tomographie.

Querachsen-Tomographiegeräte enthalten eine Röntgenstrahlenquelle, die ein kollimiertes Strahlenbündel aussendet, das nach dem Durchlaufen eines zu untersuchenden Organs auf einen Detektor auftrifft. Die Quelle und der Detektor sind so beweglich, daß das Strahlenbündel eine durch das Organ verlaufende Ebene beschreibt. Die von dem Detektor im Verlauf dieser Ablenkbewegung empfangenen Informationen werden abgespeichert. Nach dem Durchlaufen der Schnittebene dreht sich die Anordnung aus der Quelle und dem Detektor um einen kleinen Winkel, beispielsweise um 1 Grad, worauf das Strahlenbündel in dieser neuen Stellung erneut eine Schnittebene beschreibt. Ein Rechner verarbeitet die abgespeicherten Informationen, und er erstellt ein Röntgenstrahlenabsorptionsbild gemäß der mit Hilfe der Ablenk-Schw/Ba

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bewegungen des Strahlenbündels in verschiedenen Stellungen definierten Ebene.

Eine Weiterentwicklung bestand darin, die Amplitude der Ablenkbewegungen und somit die Dauer der Untersuchungsvorgänge dadurch zu verringern, daß mehrere Röntgenstrahlenbündel verwendet wurden, die mehreren Detektoren zugeordnet waren. Wenn diese Gruppe von Detektoren die ganze Ablenklinie einnimmt, dann kann die Ablenkbewegung fortgelassen werden.

Vorhandene Detektorgruppen bestehen im allgemeinen aus einer Aneinanderreihung von Gaszellen, die unter einem erhöhten Druck stehen und deren Wände ein starkes Absorptionsvermögen aufweisen. Das Gas wird von den Röntgenstrahlen ionisiert, und die angesammelten Ionen zeigen die Menge der Röntgenstrahlen an, die die Zelle durchlaufen hat. Trotz mancher Vorteile wird bei solchen Detektoren von einer komplizierten Technologie Gebrauch gemacht; ihr Volumen kann nur bei einer Erhöhung des Drucks und folglich der Dicke der Wände der Hülle reduziert werden, was gleichzeitig eine Reduzierung der Wirksamkeit der Detektion mit sich bringt. Außerdem wird die Zeit, die bei der Verwendung eines solchen Detektors gewonnen wird, teilweise durch die lange Dauer der Messungen kompensiert, die von der Zeit der Sammlung der Ionen abhängt, die durch den Durchlauf der Strahlen erzeugt werden.

Mit Hilfe der Erfindung soll ein Mehrfachdetektor geschaffen werden, der diese Nachteile nicht mehr aufweist.

Nach der Erfindung ist der Mehrfachdetektor für die Querachsen-Tomographie gekennzeichnet durch ein Vakuum-

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gefäß mit einem strahlungsdurchlässigen Eintrittfenüeγ eine im dem Gefäß vor dem Eintrittsfenster befesxigxe, lichtdurchlässige Platte, die auf der zum Fenster gerichteten Seite mit einem Szintillatormaterial und auf der anderen Seite mit einer für die von dem Szintillatormaterial ausgesendete Strahlung empfindlichen Photokatodenschicht beschichtet ist, einen vor der Photokatodenschicht in dem Gefäß angebrachten Elektronenvervielfacher, der in mehrereAbteilungen unterteilt ist und die von der Photokatodenschicht ausgesendete!Elektronen empfängt, mehrere in dem Gefäß Jeweils vor den Abteilungen des Elektronenvervielfachers angebrachte Elektronenkollektoren, die die vom Elektronenvervielfacher beschleunigten und vervielfachten Elektronen empfangen, und das Vakuumgefäß durchdringende Leiterdurchführungen, die jeden Elektronenkollektor elektrisch mit einer elektronischen Signalverarbeitungsschaltung verbinden.

Ein in einer gewissen Richtung von der Quelle ausgesendeter Strahl wird beim Durchlaufen des zu untersuchenden Körpers gebeugt, und er wird mehrere Abteilungen oder Zellen des Mehrfachdetektors bestrahlen. Damit nur der von der Quelle in Richtung da? entsprechenden ZeHß des Mehrfachdetektors ausgesendete Strahl diese Zelle bestrahlt, wird so nahe wie möglich bei dem Szintillatormaterial ein Spaltkollimator angebracht, der das das Organ durchlaufende Strahlenbündel in den Zellen des Vervielfachers entsprechende Abteilungen unterteilt. In einer ersten Ausführungsform ist der Vervielfacher des Mehrfachdetektors aus mehreren leitenden Gittern gebildet, die mittels Widerstandsbehafteter Querverstrebungen parallel im Abstand voneinander gehalten werden, die den Vervielfacher in Zellen unterteilen.

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Die Spannung zwischen den Gittern wird von einem Widerstandsspannungsteiler geliefert, der aus einer Hochspannungsquelle mit Strom versorgt wird.

In einer zweiten Ausführungsform sind die Zellen des Vervielfachers von Spalten gebildet, die durch eine Platte aus isolierendem Material führen. Diese Spalte sind mit einer Widerstandsschicht überzogen, die einen guten Sekundärelektronen-Emissionskoeffizient hat; die Vorder- und Hinterflächen der Platte sind dabei mit einer leitenden Schicht überzogen, die an eine Quelle angeschlossen sind, die das Anlegen einer Spannung an die Enden der Spalte gestattet.

Bei einer dritten Ausführungsform sind die Zellen des Vervielfachers von Spalten gebildet, die durch eine Platte aus Halbleitermaterial führen, wobei die Vorder- und Hinterflächen der Platte mit leitenden Schichten überzogen sind, die an eine Quelle angeschlossene Elektroden bilden; eine dieser Elektroden bildet mit dem Halbleitermaterial eine Diode,und die andere Elektrode bildet einen ohmschen Kontakt. Die an die zwei Flächen der Platte angelegten Spannungen sind so gerichtet, daß die Platte eine in Sperrichtung geschaltete Diode bildet.

Bei einer vierten Ausführungsform ist der Vervielfacher von Spalten gebildet, die durch eine Platte aus widerstandsbehaftetem Material mit gutem Sekundärelektronen-Emissionskoeffizient führen, wobei auf jeder Fläche der Platte eine einen ohmschen Kontakt bildende Elektrode an den Enden der Spalte befestigt ist; diese Elektroden sind dabei an eine Quelle angeschlossen.

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-Jt-

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Die Erfindung wird nun an Hand der Zeichnung beispielshalber erläutert. Es zeigen:

Fig.1 und Fig.2 schematische Längs- bzw. Querschnitte des gesamten erfindungsgemäßen Mehrfachdetektors,

Fig.3 eine perspektivische Ansicht einer ersten Ausführungsform des Vervielfachers,

Fig.4 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform eines Vervielfachers mit Elementen,

Fig.5 und Fig.6 Längsschnitte eines Elements des zuvor dargestellten Vervielfachers und

Fig.7 eine perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform des Vervielfachers.

In den Figuren 1 und 2 ist ein aus Blei bestehender Kollimator 1 zu erkennen, der dazu bestimmt ist, das Röntgenstrahlenbündel in feine Bündel oder Elementarbündel entsprechend jedem Detektor zu unterteilen. Ferner ist ein aus Glas oder einem anderen vakuumdichten und für Röntgenstrahlen durchlässigen Material bestehendes Gefäß 2 zu erkennen, bei dem wenigstens an einem Teil das zum Kollimator gerichtete Eintrittsfenster gebildet ist.

Ein aus lichtdurchlässigem Material wie Glas oder Glimmer gebildeter Träger 3 mit länglicher Form und geringer Dicke ist auf der Seite des Kollimators mit einem Szintillator 4 und auf der anderen Seite mit einer Photokatode 5 überzogen. Es ist ferner ein Elektronenvervielfacher 6 zu erkennen, der in Quer-

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richtung in Elementarzellen unterteilt ist und auf jeder seiner Flächen Elektroden 7 und 8 aufweist, die mit einer Quelle verbunden sind, die an sie eine elektrische Spannung anlegt. Eine Gruppe von in einer Linie angebrachten isolierten Leiterdurchführungen ermöglicht es, die von Kollektoren 10 kommenden vervielfachten Elektronen aus dem Gefäß nach außen zu übertragen.

Die Gesamtheit der Bauelemente wird im Innern des Gefässes in bekannter Y/eise mittels einer in Fig.2 schematisch dargestellten Konstruktion 12 an Ort und Stelle gehalten, die sich an der Wand des Gefässes abstützt und insbesondere Gleitführungen 30 zur Aufnahme der Ränder des Trägers 3 enthält.

Dieser Mehrfachdetektor arbeitet folgendermaßen:

Nach dem Durchlaufen des zu untersuchenden Körpers in der Tomographieebene treffen die Röntgenstrahlen nach dem Durchlaufen des für sie durchlässigen Gefässes 2 auf den Kollimator 1 und dann auf den Szintillator 4. Der Kollimator 1 fängt den Hauptteil des im Inneren zu untersuchenden Körpers gebeugten Röntgenstrahlen auf, die als Folge davon nicht aus der Richtung der •Quelle kommen. Der Szintillator 4 gibt in Abhängigkeit von den auf ihn auftreffenden Röntgenstrahlen eine Lichtstrahlung ab. Diese Lichtstrahlung durchdringt den für diese vom Szintillator 4 abgegebenen lichtstrahlendurchlässigen Träger, und sie trifft auf die Photokatode 5, die in Abhängigkeit von diesen Lichtstrahlen Elektronen emittiert.

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Die Materialien des Szintillators 4 und der Photokatode 5 sind so gewählt, daß das Emissionsspektrum der Photokatode das des Szintillators überdeckt.

Für den Szintillator könnte Caesiumiodid (JCs), Natriumiodid (JNa), Calciumfluorid (CaF₂), Calciumwolframat (CaWo^), Oxide oder Sulfide Seltener Erden oder alle anderen Materialien mit szintillierenden Eigenschaften verwendet werden. Dieses Material wird unter Anwendung bekannter Verfahren, beispielsweise durch Sedimentation oder Aufdampfung aufgebracht oder durch eine Nebeneinanderstellung lumineszierender Quader gebildet. Als Photokatode können beispielsweise die Typen S11 oder S20 verwendet werden. Zwischen den Szintillator und die Photokatode können reflexionsverhindernde Schichten eingefügt werden, damit der Wirkungsgrad der Anordnung erhöht wird. Die von der Photokatode emittierten Elektronen treffen auf die vor ihren Emissionspunkten liegenden Zellen des Vervielfachers, wobei die zwischen die Elektroden 5 und 7 angelegte Spannung, die von der Quelle geliefert wird, mit einer ausreichend großen Wirkung gewählt ist, damit die seitliche Streuung der Elektronen auf ein Minimum herabgesetzt wird.

Die von den Zellen des Vervielfachers vervielfachten Elektronen werden von den Kollektoren 10 gesammelt und mittels der Leiterdurchführungen 9 zu Vorverstärkern 15 übertragen, damit sie in einer nicht dargestellten Meßkette verarbeitet werden.

Zur Herstellung dieser Anordnung wird zunächst das Gefäß mit den Leiterdurchführungen 9 und den Kollektoren 10 gebildet; dann werden darin die verschiedenen Elektrodenträger, der Vervielfacher 6 und die Konstruktion 12 angebracht. Die aus Glas oder Glimmer bestehende Träger-

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platte 3 wird auf einer ihrer Flächen mit dem Szintillator 4 versehen, und sie wird dann in einem weiteren Gefäß angrenzend an das Gefäß 2 angebracht. Die zwei Gefässe sind mit Hilfe eines metallischen Pumprohrs 14 miteinander verbunden. Im Vakuum wird dann auf der Trägerplatte 3 die Photokatode 5 erzeugt. Mit Hilfe einer Vakuumdurchführung wird die Baueinheit aus dem Szintillator 4, der Trägerplatte 3 und der Photokatode 5 durch dasPumprohr 14 in das Innere des Gefässes 2 gestossen; es gleitet in die GIeitführungen 13, damit es an der richtigen Stelle blockiert wird. Das Pumprohr wird dann durch Quetschen abgedichtet. An das System wird dann der Kollimator 1 und eine (nicht dargestellte) Einhüllung angepaßt, nachdem zuvor die Leiterdurchführungen 9 an die Klemmenreihe der Vorverstärker 15 angeschlossen worden ist.

In Fig.3 ist schematisch eine Ausführungsform des Elektronenvervielfachers 6 dargestellt. Er besteht aus einer Gruppe von leitenden Gittern 16, die einen guten Sekundärelektronen-Emissionskoeffizient (größer als 1) aufweisen; sie sind durch Querverstrebungen 17 voneinander getrennt, die auf ihren beiden Flächen zum Ableiten von Ladungen eine Widerstandsschicht 18 aufweisen. Diese Verstrebungen halten die Gitter parallel zueinander, und sie begrenzen die Abteilungen der Vervielfacherzellen. Die Gitter bestehen aus einer Legierung aus Kupfer und Beryllium oder aus silber und Magnesium. Die Widerstandsschicht der Verstrebungen ist durch Aufbringen von Germanium, Silizium oder Zinnoxid gebildet.

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Die elektrische Spannung zwischen den Gittern wird von einem Widerstandsspannungsteiler geliefert, der aus einer Hochspannungsquelle mit Strom versorgt wird.

Die von der Photokatode ausgehenden Elektronen treffen auf die Stäbe des ersten Gitters, wo eine erste Vervielfachung durch Sekundäremission erfolgt. Diese Erscheinung wiederholt sich an den nachfolgenden Gittern, wobei die vervielfachten Elektronen durch die widerstandsbehafteten Querverstrebungen kanalartig geführt bleiben.

Fig.4 zeigt in einer perspektivischen Ansicht eine weitere Ausführungsform des Elektronenvervielfachers 6. Die Vervielfacherzellen sind hier durch Spalte 19 in einer Platte 21 aus isolierendem Material gebildet. Diese Spalte durchlaufen die isolierende Platte vollständig. Ihre Tiefe (Dicke der Platte) ist mehrere dutzendmal größer als ihre Breite. Sie sind im Inneren mit einer Widerstandsschicht überzogen, die einen guten Sekundäremissionskoeffizient über 1 aufweist, so daß eine kontinuierliche vervielfachende Sekundäremissionskatode entsteht. Die Vorder- und Hinterabschnitte dieser Spalte, die von den Vorder- und Hinterflächen der isolierenden Platte gebildet sind, sind metallisiert und bilden Elektroden 22, die über Anschlüsse Zk mit einer Quelle 23 verbunden sind, die das Anlegen einer Beschleunigungsspannung an den Elektronenvervielfacher ermöglichen.

Die von.der Photokatode ausgehenden Elektronen treffen auf die Eingänge der Spalte und bewirken die Emission von Elektronengarben, die von dem Längsfeld in den Spalten beschleunigt werden und einer kaskadenartigen Vervielfachung unterliegen, ehe sie von den Kollektoren 10 erfaßt werden.

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-VO-

In den Figuren 5 und6 ist eine Ausführungsform des zuvor beschriebenen Vervielfachers dargestellt, der aus einer isolierenden, von einer Gruppe von Spalten durchdrungenen Platte gebildet ist.

Dieser Vervielfacher wird durch Obereinanderstapeln einer gewissen Anzahl von Elementen hergestellt, die jeweils eine kontinuierliche Sekundäremissionskatode darstellen, die von einem in einem Isoliermaterial gebildeten Spalt gebildet ist, der im Inneren von einer Widerstandsschicht mit gutem Sekundäremissionskoeffizient überzogen ist. In den Figuren 5 und 6 ist ein Element zu erkennen, das aus einem quaderförmigen Träger 26 aus Isoliermaterial besteht. In einer der Flächen ist eine Ausnehmung 27 gebildet, und das Innere dieser Ausnehmung sowie die andere Fläche des Trägers 26 sind mit einer Widerstandsschicht 28 mit gutem Sekundäremissionskoeffizient überzogen. Der Stapel dieser Elemente bildet die von den Spalten durchdrungene isolierende Platte des Vervielfachers. Wie zuvor in Fig.4 angegeben wurde, ermöglichen auf den entgegengesetzten Endflächen der Spalte aufgebrachte Leiterschichten 22 das Anlegen der von der Quelle 23 gelieferten angemessenen Beschleunigungsspannung, über die Verbindungen 24.

In Fig.7 ist eine weitere Ausführungsform des Elektronenvervielfaohers 6 dargestellt, der durch Spalte in einem Widerstandsmaterial oder in einer Halbleiterdiode mit einer ihre ganze Dicke besetzende Raumladungszone angebracht sind..

Ein Vervielfacher dieser Art ist in der FR-PS 1 465 381 und in der Zusatzanmeldung vom 24.Juni 1975 mit dem

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Aktenzeichen 75 19 742 beschrieben.

Bei der hier beschriebenen Ausführungsform sind die Spalte zehn bis zwanzigmal breiter als die Dicke der Platte 31, die aus einem Halbleitermaterial geschnitten ist. Diese Platte enthält auf jeder ihrer Flächen eine Vorspannungselektrode 32, die mit Hilfe der Verbindungsleiter 24 an die externe Quelle 23 angeschlossen sind, die an sie eine Spannung V von einigen Volt anlegen.

Wenn die Platte 31 aus einem schwach dotierten Halbleitermaterial geschnitten ist, bei dem die Vorspannung V gewährleistet, daß die gesamte Plattendecke in eine Raumladungszone übergeht, dann können die Vorspannungselektroden 32 durch thermische Behandlung oder durch Implantation erhaltene PN-Übergänge oder Schottkydioden-Metallisierungen sein.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform eines Elektronenvervielfachers dieses Typs wird eine η-leitende Silizium-

12 platte mit schwacher Dotierung mit 10 Störstoffatomen pro Kubikzentimeter verwendet. Die Platte ist so geschnitten, daß ihre Flächen eine 110-Orientierung dieses Materials aufweisen. In eine dieser Flächen wird Bor implantiert, und in die andere Fläche wird Phosphor implantiert.

Die gesamte Platte wird dann durch Aufbringen von Siliziumoxid überzogen, und dieses Oxid wird dann entsprechend paralleler Stäbchen mit 15 tun in Schritten von 50 um unter Anwendung bekannter Verfahren graviert; dieses Graviermwird so ausgeführt, daß die Stäbchen parallel zu Austrittsebenen der Ebenen 111 auf den 110-

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Flächen verlaufen. Die Plättchen werden dann in eine heiße Kaliumlösung getaucht, die das Plättchen längs der freigelegten Rillen ohne Verbreiterung der Spalte angreift, bis sie an der anderen Fläche austreten. Nach Entfernen des Oxids werden an die mittels der oben erwähnten Diffusionen gebildeten vorder- und rückseitigen Elektroden der Platte Verbindungsleiter angeschweißt.

Unter den Vorteilen dieses Mehrfachdetektors sind zusätzlich vor allem die Kürze der für die Messungen erforderlichen Zeit sowie seine Empfindlichkeit erkennbar. Die Verstärkung des Vervielfachers kann den Wert 1000 erreichen. Da die verschiedenen Zellen des Detektors kein unter Druck stehendes Gas enthalten, haben diese Zellen auch keine Gefäße mit dicken Wänden, die die Detektionsempfindlichkeit herabsetzen. Schließlich führt dieses Fehlen der dicken Wand zu einer beträchtlichen Reduzierung des Platzbedarfs jeder Zelle, was ermöglicht, eine größere Anzahl bei gleichem Platzbedarf nebeneinander anzuordnen, so daß dadurch bei einer Herabsetzung der Anzahl der Stationen die Auflösung des Bildes verbessert wird. Ferner ist zu erkennen, daß bei einer Anbringung der Anordnung aus dem Szintillator und der Photokatode im Inneren der Umhüllung diese Umhüllung nicht lichtdurchlässig, sondern nur durchlässig für die auftreffenden Röntgenstrahlen sein muß; aus diesem Grund besteht sie vorzugsweise aus Metall, so daß die Robustheit im Vergleich zu bekannten Umhüllungen aus Glas erhöht wird, bei denen im übrigen die Gefahr be&eht, daß sie undurchsichtig werden; ferner wird die Herstellung erleichtert.

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Claims (9)

1. Patentanwälte

   Dipl.-Ing. Dipl.-Chem. Dipl.-Ing. '} Π ") (\L· f Λ

   E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser £ ' * U O 4 ,i

   Ernsbergerstras se 19

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   THOMSON-CSF

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   Patentansprüche

   1l Mehrfachdetektor für die Querachsen-Tomographie, gekennzeichnet durch ein Vakuumgefäß mit einem strahlungsdurchlässigen Eintrittsfenster, eine in dem Gefäß vor dem Eintrittsfenster befestigte lichtdurchlässige Platte, die auf der zum Fenster gerichteten Seite mit einem Szintillatormaterial und auf der anderen Seite mit einer für die von dem Szintillatormaterial ausgesendete strahlung empfindlichen Photokatodenschicht beschichtet ist, einen vor der Photokatodenschicht in dem Gefäß angebrachten Elektronenvervielfacher, der in mehrere Abteilungen unterteilt ist und die von der Photokatodenschicht ausgesendeten Elektronen empfängt, mehrere in dem Gefäß jeweils vor den Abteilungen des Elektronenvervielfachers angebrachte Elektronenkollektoren, die die vom Elektronenvervielfacher beschleunigten und vervielfachten Elektronen empfangen und das Vakuumgefäß durchdringende Leiterdurchführungen, die jeden Elektronenkollektor elektrisch mit einer elektronischen Signalverarbeitungsschaltung verbinden.

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2. 2. Mehrfachdetektor nach Anspruch 1 mit einem in der Bahn der Röntgenstrahlen vor dem Szintillatormaterial angebrachten Kollimator, dadurch gekennzeichnet, daß dieser Kollimator Spalte aufweist, die das empfangene Strahlenbündel in Elementarstrahlenbündel entsprechend jeder Abteilung des Vervielfachers auftrennen.
3. 3. Mehrfachdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenvervielfacher von mehreren Gittern aus Leitermaterial gebildet ist, die mit Hilfe von widerstandsbehafteten Querverstrebungen im wesentlichen parallel und im Abstand voneinander gehalten sind, daß diese Querverstrebungen die Gesamtheit der Gitter in Abteilungen unterteilen und daß jedes der Gitter elektrisch an eine aus einer Quelle gespeisten Spannungsteiler angeschlossen ist.
4. 4. Mehrfachdetektcr nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Spannungsteiler von der Gesamtheit der widerstandsbehafteten Querverstrebungen gebildet ist.
5. 5. Mehrfachdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dab der Elektronenvervielfacher von einer Platte aus isolierendem Material gebildet ist, die von Spalten durchdrungen ist, daß diese Spalte mit einer Widerstandsschicht mit gutem Sekundäremissionskoeffizient überzogen sind und daß die Vorder- und Hinterflächen der Platte metallisiert und an eine Quelle angeschlossen sind.

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6. 6. Mehrfachdetektor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus isolierendem Material durch Zusammenfügung von Elementen gebildet ist, die jeweils aus einem Träger aus isolierendem Material in Form eines Quaders gebildet sind, daß die Fläche jedes Trägers, die mit dem benachbarten Träger in Kontakt steht, mit einer Ausnehmung versehen ist, daß das Innere der Ausnehmung und die Fläche des benachbarten Trägers, die mit der mit einer Ausnehmung versehenen Fläche in Kontakt steht, mit einer widerstandsbehafteten Schicht mit gutem Sekundäremissionskoeffizient überzogen sind, und daß die an den Enden der Ausnehmungen liegenden Flächen der Träger jeweils mit einer leitenden Schicht überzogen sind, die Elektroden bilden und an eine Quelle angeschlossen sind.
7. 7. Mehrfachdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenvervielfacher von einer PÜBtte aus Halbleitermaterial gebildet ist, daß die Abteilungen des Vervielfachers in die Platte durchdringenden Fenstern gebildet sind, daß die an den beiden Enden der Spalte liegenden Flächen der Platte mit leitenden Schichten überzogen sind, die an eine Quelle angeschlossene Elektroden bilden, und daß eine der Elektroden mit dem Halbleitermaterial eine Diode bildet, während die andere Elektrode einen ohmschen Kontakt bildet.
8. 8. Mehrfachdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenvervielfacher von einer Platte aus Widerstandsmaterial gebildet, ist, daß die Abteilungen des Vervielfachers aus die Platte durchdringenden Spalten bestehen und daß auf jeder an den Enden der Spalte befindlichen Fläche eine an eine Quelle angeschlossene Elektrode angebracht ist.

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9. 9. Mehrfachdetektor für die Querachsen-Tomographie nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gefäß aus einem für die Strahlung durchlässigen Metall besteht.

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