DE2714709B2

DE2714709B2 - Elektroakustischer Wandler mit einer hochpolymeren piezoelektrischen Membran

Info

Publication number: DE2714709B2
Application number: DE19772714709
Authority: DE
Inventors: Nobuhisa Atoji; Satoru Ibaraki; Michio Matsumoto; Hiroyuki Naono; Masaki Suzumura; Hiroshi Yamamoto
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1976-04-02
Filing date: 1977-04-01
Publication date: 1979-09-27
Also published as: NL176992B; GB1565860A; NL176992C; NL7703582A; DE2714709C3; DE2714709A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen elektroakustischen Wandler mit einer hochpolymeren piezoelektri-

2"> sehen Membran gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

In der DE-OS 25 06 711 sowie in der Zeitschrift Radio Mentor Elektronik, 1974, Heft 8, Seite 318 sind elektroakustische Wandler mit einer hochpolymeren

ic piezoelektrischen Membran beschrieben, die in einer Richtung vorgereckt ist, in Richtung ihrer Dicke polarisiert ist und an ihren entgegengesetzten Oberflächen mit einem leitfähigen Film beschichtet ist. Bei diesen Wandlern liegt die Membran auf einem

y> elastischen Stützelement aus beispielsweise Polymurethanschaum auf. Dieses Stützelement ergibt jedoch eine Dämpfung der Membran, wodurch der Wirkungsgrad des Wandlers verringert wird.

In der DE-OS 25 08 556 ist ein elektroakustischer

4» Wandler gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 beschrieben, bei dem der Wirkungsgrad gegenüber den vorstehend genannten Wandlern dadurch gesteigert ist, daß unter Weglassen des Stützelements die Membran auf einen Rahmen gespannt ist und dieser Rahmen in 3 eine Gehäuseöffnung eingesetzt ist. Damit entfällt die Dämpfung der Membran durch den mechanischen Widerstand des Stützkörpers, so daß der Wirkungsgrad des Wandlers verbessert ist, jedoch treten bei einem derartigen Wandler ausgeprägte Re:sonanzspitzen im

■'<· Bereich höherer Frequenzen auf.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Wandler gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 so auszugestalten, daß er einen flachen Frequenzgang hat.

v> Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 genannten Mitteln gelöst.

Demnach werden mit dem nahe hinter die Membran gesetzten gewölbten Gebilde höhere Tonfrequenzen

bo gedämpft, so daß sich ein falcher Frequenzgang über nahezu den ganzen Tonfrequenzbereich ergibt. Zugleich ist jedoch die Membran selbst nicht direkt mechanisch gedämpft, so daß der Wirkungsgrad hoch ist.

Bei dem bekannten Wandler gemäß der DE-OS

*>■> 25 08 556 entstehen Resonanzspitzen im Bereich höherer Frequenzen dadurch, daß durch die Masse der Membran, die Steifheit der Membran und die Steifheit der hinter der Membran liegenden Kammer ein

akustischer Reihen-Resonanzkreis gebildet ist der in Reihe zu der durch die Membran gebildeten akustischen Energiequelle geschaltet ist. Demgegenüber ist bei dem erfindungsgemäßen Wandler in einen derartigen Reihen-Resonankreis durch das Einsetzen des gewölbten ■■> Gebildes ein akustischer Widerstand eingefügt, durch den der Resonanzkreis gedämpft wird und damit die Resonanzspitzen unterdrückt werden. Dadurch, daß die akustische Steifheit der vorderen Kammer im Vergleich zur akustisch-:si Steifheit der hinteren Kammer vernach- ι η lässigbar klein gehalten ist, ist im in Frage stehenden Frequenzbereich die Entstehung eines neuen Resonanzkreises aus der Membran und der vorderen Kammer unter Umgehung des gewölbten Gebildes und der hinteren Kammer vermieden. Der erfindungsgemäße η Wandler hat somit bei gutem Wirkungsgrad einen über dem ganzen Tonfrequenzbereich flachen Frequenzgang.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Wandlers sind in den Unteransprüchen angeführt

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung an Ausführungsbeispielen näher erläutert

F i g. 1 ist eine auseinandergezogene Darstellung eines Ausführungsbeispiels des elektroakustischen Wandlers;

F i g. 2 zeigt ein typisches Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung einer gerahmten Membran fü' das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1;

F i g. 3 ist eine Seitenansicht der gerahmten Membran, wobei der Pfeil eine Dehnungsrichtung anzeigt; jo

F i g. 4 ist eine vergrößerte Schnittansicht eines Teils einer bevorzugten Form der gerahmten Membran;

F i g. 5 bis 7 und 9 zeigen Formen von akustischen Absorbern für das Ausführungsbeispiel;

F i g. 8 ist eine grafische Darstellung des Frequenz- y> gangs des Wandlers gemäß dem Ausführungsbeispiel im Vergleich mit dem eines herkömmlichen Wandlers;

Fig. 1OA ist eine auseinandergezogene Darstellung eines modifizierten akustischen Absorbers;

Fig. 1OB ist eine Querschnittsansicht des Absorbers ίο nach F i g. 1OA nach dem Zusammenbau;

F i g. 11 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel, das ein Paar von gerahmten Membranen aufweist, die einander gegenüber so befestigt sind, daß Signale ausgeschaltet werden, die von einem mechanischen Stoß herrühren; 4:>

F i g. 12A zeigt die Einzelheiten der Konstruktion der gerahmten Membranen innerhalb eines Gehäuses nach Fig.ll;

Fig. 12B zeigt die Wirkungsweise der Membranen nach F ig. 12A;

Fig. 13A ist eine Modifikation der Membranen nach Fig. 12A;

Fig. 13B zeigt die Polarisationsrichtung der beiden Membranen nach F i g. 13A;

Fig. 14A bis 14C zeigen eine Folge von Verfahrensschritten für die Herstellung der gerahmten Membranen nach der F ig. 13 A.

In F i g. 1 ist in einer Schnittansicht ein elektroakustischer Wandler bzw. ein Mikrophon 10 dargestellt. Das Mikrophon 10 besitzt ein Gehäuse 12 mit einer öffnung m> 14 und eine Membraneinheit 16, die in Nuten 18 angeordnet ist, die an den Seitenwänden des Gehäuses 12 ausgebildet sind. Ein akustischer Absorber 20 ist in dem Raum hinter der Membraneinheit 16 angeordnet. Die Membraneinheit 16 besitzt einen rechtwinkligen Rahmen 15 und eine hochpolymere piezoelektrische Membran 17, die am Rahmen 15 befestigt ist. Die piezoelektrische Membran, die bei dem Wandler verwendet wird, wird dadurch vorbereitet daß eine Folie aus einem hochpolymeren Material wie beispielsweise Polyfluoridvinyliden auf ungefähr das Dreifache ihrer ursprünglichen Länge gedehnt wird, bis eine Dicke von 5,S μΐη bis 30 μπι erreicht ist Eine Metallbeschichtung wird dann durch Verdampfen des Metalls in einer Vakuumkammer auf jeder Seite der piezoelektrischen Folie angebracht Die piezoelektrische Folie wird dann in der Richtung ihrer Dicke durch Anlegen eines elektrischen Feldes von ungefähr lOOOkV/cm polarisiert so daß dem Material eine piezoelektrische Konstante zwischen 20 χ 10-'²CVN und 30 χ ΙΟ"¹² C/N erteilt wird.

Eine Mehrzahl von Rahmenaufbauten 24 kann in der in Fig.2 gezeigten Weise an der metallbeschichteten piezoelektrischen Folie 22 mittels einer Klebverbindung befestigt werden, um eine Massenproduktion von Membraneinheiten 16 durchzuführen. Die Folie wird dann entlang der Kanten eines jeden Rahmens geschnitten, so daß eine Mehrzahl solcher gerahmter piezoelektrischer Membranen erzeugt wird.

Beim Einbau in das Gehäuse 12 wird die Membraneinheit 16 gebogen, so daß sie die Form eines Bogens annimmt und eine gekrümmte Oberfläche hat, wobei die Richtung ihres Umfangs mit der Richtung der Dehnung übereinstimm·, die in F i g. 3 durch den Pfeil dargestellt ist. Diese mechanische Spannung wird verändert, sobald die Membran 17 durch an ihr wirkenden Schalldruck gebogen wird, und ein elektrisches Signal erzeugt, das dem Unterschied in der Durchbiegung zwischen den entgegengesetzten Seiten der gebogenen Membran proportional ist Die Metallbeschichtungen dienen als Elektroden für die Aufnahme des erzeugten Signals.

Der Rahmen 15 ist vorzugsweise aus einem plastischen Material wie beispielsweise einem Hochpolymer aus Acrylnitril-Butadien-Styrol-Copolymer (ABS), das einen ähnlichen linearen Ausdehnungskoeffizienten wie das Material der piezoelektrischen Membran 17 aufweist, und einer Metallbeschichtung gebildet, die durch Galvanisieren des plastischen Rahmenaufbaus geschaffen werden kann.

Fig.4 zeigt im einzelnen einen Teil des Aufbaus der Membraneinheit 16 mit einem kunststoffgeformten Rahmen 26 mit galvanischen Metallbeschichtungen 28, an eine von Metallbeschichtungen 176, die an der piezoelektrischen Folie 17a abgeschieden ist, fest angeklebt ist. Wegen der ähnlichen linearen Ausdehnungskoeffizienten wird die Krümmung der zylindrischen Oberfläche der Folie über einen wesentlichen Temperaturänderungsbereich aufrechterhalten. Dies ist insbesondere wegen des Frequenzgangs und der akustischen Empfindlichkeit wichtig, da eine Resonanzstelle bei einer Frequenz auftritt, die dem Krümmungsradius der Folie umgekehrt proportional ist während die Empfindlichkeit dem Krümmungsradius proportional ist.

Das Mikrophon 10 neigt zur Ausbildung einer oder mehrerer Resonanzstellen bei Frequenzen an dem Ende des hörbaren Frequenzspektrums mit den höheren Frequenzen. Um einen flachen Frequenzgang zu erreichen, ist es notwendig, die Resonanzstellen zu unterdrücken, indem die in der Kammer hinter der piezoelektrischen Membran 17 erzeugten akustischen Wellen gedämpft werden. In dem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist der akustische Absorber 20 an den Boden und die Seitenwände des Gehäuses 12 fest angeklebt so daß die obere Fläche des Absorbers 20 fHnpn AHstanH 711 t\t*\~ ™>**⁷Q£!£ktf!SChen MfimbrSf! 17

aufweist und unter jeglichen Umweltbedingungen an einer Berührung mit der Folie gehindert wird.

F i g. 5 zeigt eine Modifikation des vorstehend genannten Ausführungsbeispiels. In dem Ausführungsbeispiel ist eine zylindrisch gekrümmt.; Metallstruktur 30 mit einer öffnung 31 hinter der piezoelektrischen Membran 17 unter einem vorbestimmten Abstand befestigt, so daß eine vordere akustische Kammer 32 und eine hintere akustische Kammer 34 geschaffen werden. Die hintere Kammer 34 ist mit dem akustischen Absorber 20 gefüllt. Bei dieser Anordnung konzentriert sich die in der vorderen Kammer 32 erzeugte akustische Welle in derln der Metallstruktur 30 gebildeten öffnung 31. Die Luftmasse in der öffnung 31 wird durch den in der vorderen Kammer 32 entwickelten Schalldruck mit einer Geschwindigkeit nach unten bewegt, die der Querschnittsfläche der öffnung 31 umgekehrt proportional ist. Die Luftmasse strömt in die hintere Kammer 34 mit einer höheren Geschwindigkeit als es bei einem Fehlen der Metallstruktur 30 der Fall ist und trifft auf den akustischen Absorber 20 mit großer Geschwindigkeit auf. Deshalb wirkt der Teil des akustischen Absorbers 20, der sich im unmittelbaren Bereich der öffnung 31 befindet, für die erzeugten akustischen Wellen als akustischer Widerstand. Die Größe der öffnung 31 und der Abstand zwischen der Membran 17 und der Metallsfuktur 30 sind in bezug auf das Volumen der hinteren Kammer 34 so gewählt, daß für die Resonanzstellen ein gewünschter Dämpfungsgrad geschaffen wird. Die zylindrisch gekrümmte Struktur 30 ist aus Metall gebildet und im Gehäuse 12 in elektrischem Kontakt mit dem Membran-Stützrahmen 15 angeordnet, so daß sie auch als Elektrode dienen kann. Es sei bemerkt, daß ein akustischer Absorber 36 gemäß der Darstellung in Fig.6 in einem der öffnung 31 benachbarten Bereich oder gemäß der Darstellung in Fig. 7 in der öffnung vorgesehen sein kann. Im letzteren Fall besitzt die Struktur 30 genügende Dicke, um einen gewünschten Dämpfungsgrad zu schaffen. Die den Widerstand bildende Struktur 30 mit der Öffnung 31 braucht nicht notwendigerweise mit zylindrischer Oberfläche ausgebildet sein, sondern kann vielmehr so geformt sein, daß sie eine ebene Oberfläche bildet; es kann eine Mehrzahl derartiger öffnungen 31 vorgesehen sein.

Fig.8 zeigt den Frequenzgang des Mikrophons gemäß der Konstruktion in Fig. 5. Wie durch eine gestrichelte Linie klar dargestellt ist, sind die Resonanzstellen am hochfrequenten Ende des hörbaren Frequenzbereichs wesentlich unterdrückt, so daß ein flacher Frequenzgang geschaffen wird, der im Vergleich mit dem durch eine durchgehende Linie dargestellten Frequenzgang eines herkömmlichen Mikrophons günstig ist.

F i g. 9 zeigt eine andere Ausführung der in den F i g. 5 bis 7 gezeigten Ausführungsbeispiele. In F i g. 9 sind die Struktur 30 und der akustische Absorber 20 der vorhergehenden Ausführungsbeispiele durch ein poröses Gebilde bzw. Element 33 ersetzt, das eine von der Membran 17 in Abstand stehende teilzylindrische Oberfläche aufweist Das Element 38 kann aus einer Lamellenstruktur aus Filz aufgebaut sein, die mit einem flüssigen Härtemittel imprägniert ist Während des Aushärtevorgangs wird die Lamellenstruktur zu einem teilzylindrischen Gebilde vorbestimmter Dicke geformt wobei die Krümmung mit der Krümmung der Membran 17 übereinstimmt Das Element 38 erhält somit einen gewissen Grad einer strukturellen Einheitlichkeit während es porös bleibt. Es wird in dem Gehäuse 12 so befestigt, daß seine obere Fläche von der benachbarten Oberfläche der Membran 17 in gleichmäßigem Abstand steht.

^r) Andererseits kann die Dämpfungswirkung auch durch eine in Fig. 1OA und 1OB dargestellte Anordnung erreicht werden, bei der das poröse Element 38 des vorhergehenden Ausführungsbeispiels durch ein Paar identisch geformter teilzylindrischer Elemente 40 und

κι 42 ersetzt ist, die mittels eines Paars von Abstandstükken 44, die jeweils eine Dicke von einigen ΙΟμηι aufweisen, miteinander verbunden sind. Das obere Element 40 ist mit einer Mehrzahl von öffnungen 46 und das untere Element 42 mit einer Mehrzahl von Öffnungen 48 versehen, die so angeordnet sind, daß die Öffnungen eines Elements nicht mit den öffnungen des anderen Elements übereinstimmen, wenn beide Elemente miteinander verbunden sind.
Im Betrieb wird die Luftmasse in der vorderen Kammer durch den Schalldruck aus den öffnungen 46 des oberen Elements 40 hinausgedrückt und die akustische Energie der Luftmasse wird gedämpft oder abgeschwächt, wenn die Luftmasse durch den engen Raum zwischen dem oberen und dem unteren Element fließt. In diesem Fall fließt die Luftmasse in dem Raum zwischen den beiden Elementen als eine laminare Strömung, wobei der Verlust an akustischer Energie infolge der vergrößerten Berührungsfläche der benachbarten Elemente erhöht wird. Somit bilden das obere

JH und das untere gelochte Element einen akustischen Widerstand einer solchen Größe, daß der akustische Absorber, wie er im vorhergehenden Ausführungsbeispiel verwendet wird, entfallen kann.

Fig. 11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei

J5 dem ein Mikrophon 50 ein Paar identischer piezoelektrischer Membraneinheiten 52 aufweist, die an entgegengesetzten Seiten eines Mikrophongehäuses 51 befestigt sind. In Fig. 12 sind Einzelheiten der Konstruktion des Mikrophons 50 dargestellt. In Fig. 12A ist ein Metallrahmen 54 mit einem Paar entgegengesetzt gekrümmter konkaver Oberflächen vorgesehen, die jeweils in elektrischem Kontakt mit einer piezoelektrischen Membraneinheit 52a bzw. 52b sind. Beim Zusammenbau werden die inneren Oberflächen der Membraneinheiten 52a und 52f> über das dazwischenliegende Gehäuse 54 elektrisch verbunden.

Elektrische Anschlüsse 56 bzw. 57 befinden sich an den äußeren Seiten der Membraneinheiten. Es ist notwendig, daß die Polarisationsrichtung einer jeder

5u Membran derart ist daß sich die einzelnen Signale summieren, wenn ein gleicher Schalldruck an beide Membrane in entgegengesetzten Richtungen angelegt wird. In Fig. 12B ist die Membran 52a an der äußeren Seite positiv dargestellt während die Membran 526 an der äußeren Seite negativ ist Nach einem Verbiegen beider Membrane nach innen, was durch entgegengesetzt anliegende akustische Wellen, die durch die Pfeile Pbezeichnet sind, bewirkt wird, stimmt die Polarität der so erzeugten Spannungen mit der durch die Vorzeichen dargestellten Polarität der Membranen überein, so daß sich die einzelnen Signale summieren und das vereinte Ausgangssignal das Doppelte der Amplitude eines jeden Signals ist

Es sei angenommen, daß ein mechanischer Stoß auf das Mikrophon 50 in einer durch den Pfeil M in F i g. 12B bezeichneten Richtung ausgeübt wird; dabei werden die Membranen 52a und S2b infolge ihrer Neigung, stationär zu bleiben, in der gleichen Richtung verbogen.

wie es durch die unterbrochenen Linien dargestellt ist. Unter diesen Umständen ist die Polarität der an beiden Membranen entwickelten Spannungen so, daß sich diese an den Ausgangsanschlüssen 56 und 57 aufheben, so daß keine Spannung entsteht.

Fig. 13A zeigt eine Modifikation des Ausführungsbeispieis in Fig. 12A, die für die Massenproduktion bevorzugt wird. Identische piezoelektrische Membranen 66 und 68 sind an Metallrahmen 60 bzw. 62 fest angeklebt, die durch Elemente 64 einstückig verbunden sind. Beide Membranen sind in der gleichen Richtung gebogen, wie es in Fig. 13B deutlich zu sehen ist. Bei dieser Modifikation sind die Polarisationsrichtungen zueinander entgegengesetzt, so daß in diesem Beispiel die äußeren Seiten beider Membranen in bezug auf die inneren Seiten positiv gepolt sind. Bei einem Durchbiegen beider Membranen nach innen in Abhängigkeit von einem akustischen Signal ist die an der Membran 66

entwickelte Spannung umgekehrt gegenüber den in Fig. 13B eingezeichneten Vorzeichen, während die Spannung an der Membran 68 mit den Vorzeichen übereinstimmt.

Das Mikrophon gemäß der Darstellung in Fig. I3A kann in einer Folge von Verfahrensschritten hergestellt werden, die in den Fig. 14A bis 14C dargestellt ist. Da die Außenseiten der Membranen 66 und 68 die gleiche Polarität aufweisen, können die Rahmen 60 und 62 gemäß der Darstellung in F i g. 14A mit Klebverbindungen an eine Seite einer polarisierten piezoelektrischen Folie 74 befestigt werden. Die Folie wird dann entlang der Kanten der Rahmen geschnitten (siehe F i g. 14B), zu einem Paar zylindrischer Flächen gepreßt und an den Verbindungsstellen zwischen den Rahmen und den Verbindungselementen 64 unter einem rechten Winkel in die Richtungen gebogen, die in Fig. 14C durch die Pfeile bezeichnet sind.

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Elektroakustischer Wandler mit einer hochpolymeren piezoelektrischen Membran, die durch Dehnung in einer Richtung vorbereitet ist, in Richtung ihrer Dicke polarisiert ist und an ihren entgegengesetzten Oberflächen mit einem leitfähigen Film beschichtet ist, wobei die Membran an einem Rahmen angebracht und in Bogenform gehalten ist, deren Umfangsrichtung mit der Dehnungsrichtung übereinstimmt, und wobei der Rahmen in eine öffnung eines Gehäuses eingesetzt ist, gekennzeichnet durch ein gewölbtes Gebilde (20, 30, 31, 36; 38; 40, 42, 44), das einfallender akustischer Energie im Bereich höherer Frequenzen des Tonfrequenzbereichs akustischen Widerstand entgegensetzt, das einen mit dem Krümmungsradius der Membran (17) übereinstimmenden Krümmungsradius hat und das hinter der Membran in der Nähe derselben so angebracht ist, daß es mit der Membran eine vordere Kammer (32) und mit den Innenwänden des Gehäuses (12,51) eine hintere Kammer bildet, wobei der Abstand zwischen der Membran und dem gewölbten Gebilde so gewählt ist, daß die akustische Steifheit der vorderen Kammer im Vergleich zur akustischen Steifheit der hinteren Kammer vernachlässigbar klein ist.

2. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das gewölbte Gebilde ein teilzylindrisches Flächenelement (30) mit einer öffnung (31) aufweist, in der oder hinter der ein akustisches Widerstandselement (20,36) angebracht ist.

3. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das gewölbte Gebilde (38) aus einem faserigen Material besteht, das in teilzylindrische Form mittels eines Härtemittels so geformt ist, daß es porös ist.

4. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das gewölbte Gebilde ein Paar in Abstand stehender halbzylindrischer Plattenelemente (40,42) mit jeweils einer Mehrzahl von öffnungen (46, 48) aufweist, wobei die öffnungen eines Plattenelements gegenüber den öffnungen des anderen Plattenelements versetzt sind und der Abstand zwischen den Plattenelementen so gewählt ist, daß zwischen ihnen im Ansprechen auf eine Bewegung der Membran (17) eine laminare Luftströmung entsteht.

5. Wandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (51) gegenüber der ersten öffnung eine zweite öffnung aufweist und daß eine zweite hochpolymere piezoelektrische Membran (52b; 68), die mit der ersten Membran (52a; 66) identisch ist, an einem zweiten Rahmen (62) angebracht ist, der mit dem ersten Rahmen (60) identisch ist, wobei die zweite Membran zusammen mit dem zweiten Rahmen in dem Gehäuse in der Nähe der zweiten öffnung befestigt und mit der ersten Membran elektrisch verbunden ist und die Richtungen des Bogens und der Polarisation der Membranen so gewählt ist, daß ein Ausgangssignal entwickelt wird, das im wesentlichen das Doppelte der Amplitude des von jeder Membran entwickelten Signals ist, wenn beide Membranen in entgegengesetzte Richtungen durchgebogen werden, und im wesentlichen kein Ausgangssignal entsteht, wenn beide Membranen in die gleiche Richtung durchgebogen werden.

6. Wandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Membran (52a) und die zweite Membran (526,Mn entgegengesetzte Richtungen gebogen und in gleicher Richtung polarisiert

> sind.

7. Wandler nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Membran (52a) und die zweite Membran (52b) durch ein dazwischenliegendes seitlich offenes Metallgehäuse (54) elektrisch

ι» verbunden sind.

8. Wandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Membran (66) und die zweite Membran (68) in der gleichen Richtung gebogen und in entgegengesetzter Richtung polarisiert sind.

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9. Wandler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Rahmen (60) und der zweite Rahmen (62) mittels eines brillenähnlichen Aufbaus (60,64,62) gebildet sind.