DE2710785A1 - Laserstrahlimpulsteiler - Google Patents

Laserstrahlimpulsteiler

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DE2710785A1
DE2710785A1 DE19772710785 DE2710785A DE2710785A1 DE 2710785 A1 DE2710785 A1 DE 2710785A1 DE 19772710785 DE19772710785 DE 19772710785 DE 2710785 A DE2710785 A DE 2710785A DE 2710785 A1 DE2710785 A1 DE 2710785A1
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prism
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cathetus
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Jean-Claude Dr Diels
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Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

  • Laserstrahlimpulsteiler
  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aufteilung eines Laserstrahlimpulses in zwei aufeinanderfolgende Teilimpulse mit einstellbarem Zeitabstand, bei welcher der ankommende Strahl an einer teildurchlässigen Spiegel fläche in zwei Teilstrahlen aufgeteilt und über verschieden lange Wege entsprechend der gewünschten Laufzeitdifferenz geführt wird.
  • Die Aufteilung von Laserstrahlimpulsen in zwei aufeinanderfolgende Teilimpulse hat man bisher mit einer Spiegelanordnung durchgeführt, bei welcher ein ankommender Impuls mittels eines teildurchlässigen Spiegels in zwei Teilimpulse zerlegt wird, deren einer den Spiegel durchdringt und dann mit Hilfe von vier weiteren Spiegeln mehrfach umgelenkt wird, während der andere an dem zuerst erwähnten Spiegel umgelenkt und dann mit Hilfe zweier weiterer Spiegel nochmals umgelenkt wird, um dann mit dem ersten Teilstrahl in einem zweiten halbdurchmassigen Spiegel wieder in ein und denselben Strahlengang eingeblendet zu werden, in welchem dann die beiden Teilimpulse entsprechend den von ihnen durchlaufenen verschiedenen langen Wegen zeitlich aufeinanderfolgen. Die verwendeten Spiegelflächen halten jedoch im allgemeinen keine höhere Leistung aus, wie sie in Laserstrahlen auftreten, und halten daher nicht lange. Außerdem läßt sich praktisch die erwünschte Starrheit der gegenseitigen Anordnung der einzelnen Spiegel in ihren Halterungen nicht im gewünschten Maße erreichen, da bereits geringfügige Schwingungen unerwünschte Laufzeitmodulationen bewirken. Schließlich ist die Justierung der einzelnen Spiegelabstände auf Bruchteile von Wellenlängen des verwendeten Laserlichtes praktisch nicht durchführbar, und wegen der großen Anzahl einzelner Spiegel ist die Justierung der Anordnung insgesamt sehr mühselig und zeitraubend.
  • Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung eines Strahlteilers, der sich nicht nur durch einen kompakten Aufbau auszeichnet und eine starre Position der einzelnen Spiegelflächen gewährleistet, sondern der sich auch sehr einfach und reproduzierbar hinsichtlich der unterschiedlichen Weglängen, also des zeitlichen Abstandes der beiden Teilimpulse, einstellen läßt, und außerdem eine Einstellbarkeit der Aufteilung der Impulsleistung auf die beiden Teilimpulse erlaubt.
  • Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichenteil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
  • Durch die Verwendung von Spiegelflächen, bei welchen das Prinzip der sogenannten verhinderten Totalreflexion ausgenutzt wird, läßt sich eine sehr viel höhere Strahlenbelastbarkeit erreichen. Die erfindungsgemäße Anordnung hat also eine wesentlich längere Lebensdauer. Ferner läßt sie sich für einen größeren Wellenlängenbereich verwenden als die bisherigen Apparaturen. Der optische Weglängenunterschied für die beiden Strahlen läßt sich mit einer Genauigkeit von einem Bruchteil von Wellenlängen bestimmen und einstellen, was ebenfalls bisher nicht möglich war. Der Aufbau ist räumlich kompakt und in sich sehr starr, daß Schwingungseinflüsse der Spiegelflächenhalterungen nicht mehr zu befürchten sind. Auch lassen sich mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung Störungen vermeiden, die durch statistische Brechungsindexschwankungen der zwischen den einzelnen Spiegeln der bisherigen Apparaturen befindlichen Luft aufgetreten sind. Vielmehr hat man es nun mit konstanten Verhältnissen zu tun, die sich bei der Einjustierung von vornherein berücksichtigen lassen. Für die Einstellung des Laufzeitunterschiedes, also des Impulsabstandes, genügt bei der erfindungsgemäßen Anordnung ein einziger Justierknopf, während die bisherigen Spiegelapparaturen nicht weniger als sechzehn verschiedene Einstellungen erfordert hatten. Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht ferner darin, daß sich in relativ einfacher Weise das Verhältnis der Leistungsaufteilung der Strahlleistung auf die beiden Teilimpulse praktisch beliebig variieren läßt. Auch besteht die Möglichkeit, die erfindungsgemäße Vorrichtung so auszugestalten, daß die beiden Teilimpulse nicht wieder miteinander vereinigt werden und in derselben Richtung austreten, sondern in getrennten Austrittsrichtungen zur Verfügung stehen. Wenn es jedoch erwünscht ist, in diesen beiden Austrittsrichtungen jeweils Doppel impulse zur Verfügung zu haben, so ist auch dies mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung durchführbar.
  • Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind anhand der nachfolgenden Beschreibung eines in den beiliegenden Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 eine Draufsicht auf die prinzipielle Anordnung der einzelnen Prismen zur Veranschaulichung des Strahlengangs; Fig. 2 eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Veranschaulichung näherer Einzelheiten des Aufbaus; Fig. 3 einen schematischen Schnitt längs der Linie III-III in Fig. 2; und Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie IV-IV in Fig. 3.
  • Die Schemazeichnung der Fig. 1 läßt eine Anzahl von Prismen erkennen, mit Hilfe deren der ankommende Laserstrahl E in zwei Teilstrahlen T1 und T2 aufgeteilt wird, welche mehrfach umgelenkt werden, um dann in Form eines oder zweier Austrittsstrahlen A1 bzw. A2 zur Verfügung zu stehen, welche jeweils durch einen oder zwei Impulse einstellbaren Abstandes und Leistungsverhältnisses gebildet werden. Der Eintrittsstrahl E tritt zunächst in eine Kathetenfläche eines rechtwinkligen gleichschenkligen Eingangsprismas 2 ein und trifft auf dessen Hypotenusenfläche auf. Diese Hypotenusenfläche liegt an einer Kathetenfläche eines weiteren Prismas 3 an, und diese beiden Prismenflächen bilden eine teildurchlässiae Grenzfläche. durch -- - welcher welche ein Teilstrahl T1 hindurchtritt undAein zweiter Teilstrahl T2 gespiegelt wird. Das Leistungsverhältnis zwischen diesen beiden Teilstrahlen T1 und T2 läßt sich mit Hilfe des Druckes P verändern, mit welchem die beiden Prismenflächen aneinanderliegen. Ist dieser Druck sehr gering, dann wird der gesamte Eingangsstrahl E reflektiert und als Strahl T2 umgelenkt. Bei höherem Druck liegen die beiden Prismenflächen so dicht aneinander, daß eine Totalreflexion des Strahles verhindert wird, die gebildete Spiegelfläche also teildurchlässig wird und ein Teilstrahl T1 vom ankommenden Strahl abgezweigt wird. Über den Druck zwischen diesen beiden Spiegelflächen, also über deren mikroskopischem Abstand, läßt sich das Verhältnis der Strahlaufteilung wählen und einstellen.
  • Der Teilstrahl T1 wird an der zweiten Kathetenfläche des Prismas 3 wiederum umgelenkt und tritt durch dessen Hypotenusenfläche aus. Der austretende Strahl durchläuft nun ein Stück freie Weglänge, die in der Zeichnung mit der Bezugsziffer 40 angegeben ist, und wird dann in einem ebenfalls rechtwinkligen Prisma 5 zweimal umgelenkt und durchläuft in Gegenrichtung wiederum die freie Weglänge, um dann in ein dem Prisma 3 entsprechendes Prisma 3a einzutreten. Mit Hilfe des mit G bezeichneten Doppelpfeils läßt sich der Abstand des Umlenkprismas 5 von den Prismen 3 und 3a verändern. Bei der hier beschriebenen Ausführungsform der Erfindung geschieht dies mit Hilfe einer Gewindespindel, die über einen Mikrometertrieb betätigt wird und eine sehr genaue und reproduzierbare Einstellung der freien Weglänge 40 gestattet. Auf diese Weise läßt sich der Laufzeitunterschied zwischen dem Teilstrahl T1 und dem über das Umlenkprisma 1 laufenden Teilstrahl T2 sehr gut einstellen.
  • In einer der beiden freien Wegstrecken ist zum Ausgleich etwaiger geringfügiger Keilfehler der Prismen eine Keilscheibe 41 eingefügt, die sich verdrehen läßt und auf diese Weise die Eliminierung restlicher Keilfehler der Anordnung erlaubt. Das verschiebbare Umlenkprisma 5 ist ebenfalls mit Hilfe einer noch zu beschreibenden feinmechanischen Justiereinrichtung um einen geringen Winkelbetrag kippbar, so daß auch hiermit durch die Montage bedingte geringfügige Winkelfehler kompensiert werden können. Im Prisma 3a wird der Teilstrahl T1 wieder in seine ursprüngliche Richtung umgelenkt und trifft auf die ebenfalls unter einem Druck mit der Hypotenusenfläche des Ausgangsprismas 2a zusammenliegende Kathetenfläche auf, wobei wiederum eine Grenzfläche gebildet wird, an welcher je nach Einstellung des Druckes P eine Aufteilung in zwei Ausgangs strahlen A1 und A2 erfolgt.
  • Der vom Eingangsstrahl abgezweigte zweite Teilstrahl T2 tritt in ein Umlenkprisma 1 ein, durchläuft dieses unter zweimaliger Umlenkung und tritt dann in eine hierfür vorgesehene Kathetenfläche des Ausgangsprismas 2a ein, wo er ebenfalls auf die bereits erwähnte Grenzfläche zwischen den Prismen 2a und 3a, allerdings von der anderen Seite her, auftrifft. Auch der Teilstrahl T2 teilt sich hier wiederum je nach Einstellung des Druckes P in zwei weitere Teilstrahlen auf, die sich in den Ausgangsstrahlen A1 bzw. A2 wiederfinden. Bei sehr geringem Druck wird der Teilstrahl T2 vollständig zum Ausgangsstrahl Al umgelenkt, während der Teilstrahl T1 vollständig zum Ausgangsstrahl A2umgelenkt wird. Wählt man den Druck P dagegen so groß, daß eine Totalreflexion an der Grenzfläche verhindert wird, dann treten die Strahlen T1 und T2 teilweise durch die Grenzfläche hindurch, und es finden sich in beiden Ausgangsstrahlen A1 und A2 Anteile der beiden Teilstrahlen T1 und T2, deren Leistungsverhältnis sich mit Hilfe der auf die beiden Prismen 2 und 2a einwirkenden Drücke beliebig wählen läßt.
  • Stellt man diese Drücke beispielsweise so ein, daß jeweils eine 50%-ige Leistungsaufteilung erfolgt, dann hat man in den beiden Ausgangsstrahlen A1 und A2 jeweils gleich große Teilimpulse, deren zeitlicher Abstand sich über eine Veränderung der freien Wegstrecke 40, also durch Verschiebung des Umlenkprismas 5, einstellen läßt.
  • Außer der mechanischen Verschiebung des Umlenkprismas 5 läßt sich eine Feineinstellung der Laufzeit mit Hilfe des in der freien Wegstrecke 40 herrschenden Gasdruckes erreichen. Zu diesem Zweck ist die in Fig. 1 schematisch dargestellte Anordnung in ein angedeutetes Gehäuse 28 eingebaut, wie aus Fig. 2 im einzelnen ersichtlich ist, in welchem sich ein gewünschter fein regulierbarer Gasdruck einstellen läßt, und entsprechend der damit geringfügig veränderbaren Ausbreitungsgeschwindigkeit für den Laserstrahl erhält man ebenfalls eine Laufzeitdifferenz zu dem im festen Medium des Prismas 1 verlaufenden Teilstrahl T2.
  • Fig. 2 läßt die Konstruktionseinzelheiten der in Fig. 1 nur im Prinzip dargestellten Vorrichtung besser erkennen. Innerhalb des evakuierbaren Gehäuses 28 sind die einzelnen Prismen auf einer Bodenplatte 27 montiert und gehaltert. Die Prismen 1 und 4 (das Prisma 4 hat für den Strahlengang keine besondere Funktion) sowie das aus den Teilen 3 und 3a bestehende Doppelprisma sind zwischen der Bodenplatte 27 und einer Deckplatte 33 eingeklemmt. Die Prismen 2 und 2a werden mit ihren Hypotenusenflächen gegen die beiden äußeren Kathetenflächen des Prismas 3, 3a gedrückt, indem eine Druckschraube 43 über einen Druckverteiler 25 auf die rückwärtige Kante des betreffenden Prismas drückt.
  • Die Druckschrauben sitzen mittels eines Gewindes jeweils in einer Stütze 34, die an der Bodenplatte 27 befestigt ist und eine zum Einstellen des gewünschten Druckes zwischen den Prismenflächen geeignete Elastizität hat. Am rückwärtigen Ende haben die Druckschrauben eine Rändelscheibe 43a, mit deren Hilfe der auf die Prismen 2 bzw. 2a über deren Druckverteiler 25 ausgeübte Druck eingestellt werden kann. Auf diese Weise läßt sich das Energieverhältnis der aufgespaltenen Teilimpulse in gewünschter Weise einstellen.
  • Innerhalb des Stückes freier Weglänge 40 ist auf der Bodenplatte 27 eine Keilscheibenhalterung 41a befestigt, welche zwei kreisbogenförmige Ausnehmungen aufweist, in die je nach Erfordernis die drehbare Keilscheibe 41 eingelegt wird, die zum Ausgleich von Keilfehlern bis zu deren Eliminierung verdreht und dann in geeigneter Weise (Klebstoff) festgelegt wird.
  • Das Umlenkprisma 5 ist auf einem Schlitten 7 befestigt, der in den Fig. 3 und 4 in seiner Funktion erkennbar ist. Der Schlitten 7 läßt sich auf einer Schlittenplatte 8 mittels eines Gewindetriebes hin und her schieben. Der Gewindetrieb ist über eine Kardankupplung 44 mit einer Mikrometerschraube 45 verbunden, mit Hilfe deren der Schlitten 7 um sehr genaue Wegstrecken in Richtung des Doppelpfeils (Fig. 3) verschiebbar ist. Dieser Antrieb ist durch eine vakuumdichte Durchführung 46 des Gehäuses 28 hindurchgeführt. Über diese Mikrometerschraube wird die freie Weglänge 40 verändert und damit der Impulsabstand der beiden Teilimpulse eingestellt.
  • Die Neigung des Prismas 5 gegenüber dem rechts in Fig. 1 dargestellten feststehenden Prismensatz läßt sich mit Hilfe einer Doppelhebelanordnung ebenfalls sehr feinfühlig einstellen, welche in den Fig. 3 und 4 veranschaulFcbt ist. Ein Einstellrad 30, welches mit Magneten 31 versehen ist, die bei geschlossenem Gehäuse eine Einstellung von außen durch Mitnahmemagneten gestatten, greift mit einer Spindel 32 in ein Gewinde 35 ein, welches im Endstück 14 eines Hebels 10 angeordnet ist, der mit seinem anderen Ende mit Hilfe eines Federblattes 13 zwischen Klemmstücken 11 und 12 gelagert ist. Bei einer Drehung der Einstellschraube 30 wird das in Fig. 4 linke Ende des Hebels 10 aufwärts bzw. abwärts bewegt. Dabei drückt entsprechend der Hebelübersetzung ein dem rechten Einspannende benachbarter Teil des Hebels über eine Kugel 36 auf ein Endstück 9 der Schlittenplatte 8, welche dabei ebenfalls um einen geringen Winkelbetrag um ihr in Fig. 3 rechtes Einspannende bewegt wird. Die Schlittenplatte 8 ist ebenfalls mit Hilfe einer Blattfeder 17 und Klemmstücken 15,16 für eine solche geringfügige Kippung gelagert.
  • Durch lese doppelte Hebelübersetzung (Hebel 10 und Schlittenplatte 8) ist über die Einstellschraube 30 eine sehr feinfühlige Winkeleinstellung des Prismas 5 möglich, so daß dieses sich exakt innerhalb einiger Bogen sekunden gegenüber den übrigen Prismen justieren läßt.
  • Das Gehäuse 28 ist mit einem Evakuierungsstutzen 47 versehen.
  • Ferner ist ein Gasstutzen 48 vorgesehen, über welchen sich ein Arbeitsgas, beispielsweise SFs einführen läßt, das dann mittels einer geeigneten Einrichtung unter einem gewünschten Druck gehalten wird, der sich zur Feinjustierung des Impulsabstandes wählen läßt. Ferner sind eine Eintritts- und eine Austrittsöffnung 49 bzw. 50 in Form von Rohrstutzen vorgesehen, durch welche der Laserstrahl E in die Vorrichtung eintritt bzw. der eine Austrittsstrahl A1 diese Vorrichtung wieder verläßt. Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist für den Strahl 2 keine Austrittsöffnung vorgesehen, jedoch läßt sich dies durch eine entsprechende Abwandlung der Konstruktion ohne weiteres machen. Die Strahllaufrichtung kann natürlich auch umgekehrt werden, also der Eingangsstrahl kann durch die offnung 50 und der Ausgangsstrahl durch die öffnung 49 geführt werden. Das Eingangsprisma wäre dann das Prisma 2a und das Ausgangsprisma das Prisma 2.
  • Eine in der Zeichnung nicht sichtbare gläserne Abdeckplatte, welche der Bodenplatte 27 gegenüberliegt und die Vorrichtung nach oben verschließt, erlaubt eine Beobachtung der einzelnen Teile beim Einjustieren und des Strahlengangs im Betrieb.
  • Eine spezielle Ausgestaltung besteht darin, daß die Prismen nicht unmittelbar auf der Bodenplatte 27 befestigt sind, sondern auf einer eigenen Grundplatte 6, welche vorzugsweise aus dem gleichen Glas wie die Prismen besteht und mittels eines federnden Klemmstückes etwas nachgiebig gegenüber der Bodenplatte 27 gelagert ist. Auf diese Weise erhält man eine stabile Prismenzusammenstellung, in der keine unerwünschten Spannungen oder Bewegungen infolge von Temperatureinflüssen zu befürchten sind.
  • Die federnde Lagerung nimmt Ausdehnungsunterschiede zwischen der metallischen Bodenplatte und den Glasteilen auf. Die federnde Lagerung der Prismengrundplatte 6 ist auf der in Fig. 2 oberen Seite vorgesehen und besteht aus Klemmstücken 19, 20 und 21 sowie einer zwischen diesen Klemmstücken eingespannten Blattfeder 20a. Auf der gegenüberliegenden Seite (also in Fig.2 unten) liegt die Prismengrundplatte 6 unmittelbar an einem Lagerplättchen 18 an.
  • Die vorstehend beschriebene Vorrichtung eignet sich besonders gut für die Aufteilung von Lasernadelimpulsen und von im angelsächsischen Sprachgebrauch mit mode locked pulses" bezeichneten Impulsen in Doppelimpulse, wobei deren Abstand einschließlich des Abstandes Null und ihr Energieverhältnis kontinuierlich einstellbar sind. Auch für Anwendungsgebiete mit polarisiertem (Laser) Licht eignet sich die Vorrichtung, wobei man die beiden Teilstrahlen durch Einfügung eines 900 Drehers in ihrer Polarisationsebene um 900 gegeneinander verdrehen kann.
  • Ein solcher Dreher kann in das Stück freie Weglänge 40 eingefügt werden, günstigerweise durch Einsetzen einer A/2-Scheibe in eine der kreisbogenförmigen Ausnehmungen der Keilscheibenhalterung 41a. Durch Veränderung der Verzögerung der beiden in ihren Polarisationsebenen gegeneinander verdrehten Teilstrahlen läßt sich eine gewünschte Überlappung der Impulse beider Strahlen erreichen, mit deren Hilfe sich beispielsweise extrem kurze Lichtimpulse durch Oberwellenanregung eines geeigneten Halbleiterkristalls erzeugen lassen (wie dies beispielsweise in den Applied Physics Letters vom 1. Januar 1967, Band 10, Nr. 1 auf den Seiten 16 bis 18 im Artikel "Measurement of Picosecond Laser Pulse Widths" von J.A. Armstrong beschrieben ist.

Claims (15)

  1. Patentansprüche Vorrichtung zur Aufteilung eines Laserstrahl impulses in zweaufeinanderfolgende Teilimpulse mit einstellbarem Zeitabstand, bei welcher der ankommende Strahl an einer teildurchlässigen Spiegelfläche in zwei Teilstrahlen aufgeteilt und über verschieden lange Wege entsprechend der gewünschten Laufzeitdifferenz geführt wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h -n e t , daß die Spiegel fläche durch zwei derart angeordnete und aneinanderliegende Prismenflächen (Prismen 2,3 bzw. 2a,3a) gebildet wird, daß keine Totalreflexion des Laserstrahls eintritt.
  2. 2) Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Prismenflächen unter einstellbarem Druck (P) aneinanderliegen.
  3. 3) Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch mindestens ein im Strahlengang eines der beiden Teilstrahlen (T1) liegendes, zur einstellbaren Veränderung der Weglänge dieses Strahls in seiner Lage veränderbares erstes Umlenkprisma (5).
  4. 4) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das mit zwei Umlenkflächen ausgebildete erste Umlenkprisma (5) mittels eines Mikrometertriebs (45) verschiebbar gelagert ist.
  5. 5) Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang des anderen Teilstrahls (T2) ein festes zweites Umlenkprisma (1) angeordnet ist.
  6. 6) Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, gekennzeichnet durch folgenden Strahlengang: Der ankommende Strahl (E) tritt durch eine Kathete eines rechtwinkligen Eingangsprismas (2) ein und teilt sich an dessen an der Kathetenfläche eines dritten Umlenkprismas (3) anliegenden Hypotenusenfläche in zwei Teilstrahlen (T1,T2) auf; der erste Teilstrahl (T1) tritt durch die zusammenliegenden Prismenflächen in das dritte Umlenkprisma (3) ein und wird an dessen anderer Kathetenfläche umgelenkt, um dieses Prisma durch seine Hypotenusenfläche wieder zu verlassen; dieser Teilstrahl (T1) durchlauft eine freie Strecke (40) einstellbarer Länge und tritt in das erste Umlenkprisma (5), welches als rechtwinkliges Doppelumlenkprisma ausgebildet ist, durch dessen Hypotenusenfläche ein und verläßt es nach zweimaliger Umlenkung wieder; der Teilstrahl (T1) durchläuft in umgekehrter Richtung wieder eine freie Strecke (40) gleicher Länge wie die erste, tritt in ein dem dritten Umlenkprisma (3) entsprechendes Umlenkprisma (3a) durch dessen Hypotenusenfläche ein und wird an dessen einer Kathetenfläche auf die andere Kathetenfläche zu umgelenkt; an dieser Kathetenfläche liegt die Hypotenuse eines dem Eingangsprisma (2) entsprechenden Ausgangsprismas (2a) an, und der erste Teilstrahl (T1) teilt sich an dieser Fläche wiederum in einen reflektierten und einen in das Ausgangsprisma (2a) eintretenden und dieses durch eine seiner Kathetenflächen verlassenden weiteren Teilstrahl auf; der an der Hypotenusenfläche des Eingangsprismas (2) reflektierte zweite Teilstrahl (T2) verläßt dieses Prisma durch dessen andere Kathetenfläche und tritt in das zweite Umlenkprisma (1) ein, das ebenfalls als Doppelumlenkprisma ausgebildet ist; nach zweimaliger Umlenkung verläßt der zweite Teilstrahl (T2) dieses Prisma (1) wieder und tritt durch die andere Kathetenfläche des Ausgangsprismas (2a) in dieses ein, wo er sich an dessen Hypotenusenfläche ebenfalls in zwei weitere Teilstrahlen aufteilt, deren einer (A1) nach Reflexion an dieser Hypotenusenfläche das Ausgangsprisma (2a) durch dessen andere Kathetenfläche in gleicher Richtung wie der eine der beiden weiteren Teilstrahlen des ersten Teilstrahls (T1) verläßt, während der andere (A2) durch die Hypotenusenfläche in das dem dritten Umlenkprisma (3) entsprechende Umlenkprisma (3a) eintritt und dieses in gleicher Richtung wie der andere der beiden weiteren Teilstrahlen des ersten Teilstrahls (T1) verläßt.
  7. 7) Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Umlenkprisma (5) auf einem mittels eines Spindeltriebes verschiebbaren Tisch (7) gelagert ist.
  8. 8) Vorrichtung nach Anspruch<7, dadurch gekennzeichnet, daß der Tisch (7) um eine zur Richtung des ankommenden Strahles (E) parallele Achse mittels eines Feintriebes (Mikrometerschraube 45) justierbar ist.
  9. 9) Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Eingangs- und Ausgangsprisma (2,2a) jeweils mittels einer Einstellschraube (43) gegen die UmlenkprismenO,3a)andrückbar sind.
  10. 10) Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Umlenkprismen (3,3a) zu einem einzigen Doppelprisma zusammengefaßt sind.
  11. 11) Vorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine im Strahlengang in einer der beiden freien Strecken (40) angeordnete einstellbare Keilscheibe (41).
  12. 12) Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Prismen (1,2,3,5) und ihre Halterungs- und Einstellorgane innerhalb eines evakuierbaren Gehäuses (28) angeordnet sind.
  13. 13) Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Spindelantrieb für den Prismenschlitten (7) über eine Kardankupplung (44) mit dem äußeren Einstellorgan (Mikrometerschraube 45) gekuppelt ist.
  14. 14) Vorrichtung nach Anspruch 12, gekennzeichnet durch eine Gasdruckjustiervorrichtung zur Einstellung eines gewünschten Gasdruckes im Inneren des Gehäuses (28).
  15. 15) Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Umlenkprisma (5) mittels einer Hebelanordnung (8, 10) gegenüber den übrigen Prismen (1,2,2a,3,3a,4) justierbar ist und daß die Hebelanordnung (8,10) mittels einer über Mitnahmemagnete (31) antreibbaren Einstellschraube (30,32) betätigbar ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100470217C (zh) * 2005-08-18 2009-03-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 大剪切量横向剪切分束方法及实现该方法的横向剪切分束器

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CN100470217C (zh) * 2005-08-18 2009-03-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 大剪切量横向剪切分束方法及实现该方法的横向剪切分束器

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