DE2708641C2 - Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus Glimmer - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus GlimmerInfo
- Publication number
- DE2708641C2 DE2708641C2 DE19772708641 DE2708641A DE2708641C2 DE 2708641 C2 DE2708641 C2 DE 2708641C2 DE 19772708641 DE19772708641 DE 19772708641 DE 2708641 A DE2708641 A DE 2708641A DE 2708641 C2 DE2708641 C2 DE 2708641C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- mica
- holes
- microsieves
- production
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000010445 mica Substances 0.000 title claims description 10
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical group F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004992 fission Effects 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 244000052769 pathogen Species 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 244000052616 bacterial pathogen Species 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61G—TRANSPORT, PERSONAL CONVEYANCES, OR ACCOMMODATION SPECIALLY ADAPTED FOR PATIENTS OR DISABLED PERSONS; OPERATING TABLES OR CHAIRS; CHAIRS FOR DENTISTRY; FUNERAL DEVICES
- A61G10/00—Treatment rooms or enclosures for medical purposes
- A61G10/02—Treatment rooms or enclosures for medical purposes with artificial climate; with means to maintain a desired pressure, e.g. for germ-free rooms
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
- A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
- A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
- A61M5/165—Filtering accessories, e.g. blood filters, filters for infusion liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Pulmonology (AREA)
- Anesthesiology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Hematology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials For Medical Uses (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung
eines folienförmigen Mikrosiebes aus Glimmer, das eine Vielzahl von Löchern mit einem Radius zwischen 0,5
und 20μιη aufweist, wobei zur Erzeugung der Löcher
die Glimmerfolie zunächst mit Strahlungspartikeln beschossen und anschließend einenvÄizmedium ausgesetzt
wird.
Ein solches Verfahren ist als »Particle Track Etching-Verfahren« beispielsweise aus »Science,
VoI 178(1972), Seiten 255 bis 263« bekannt
Bei diesem bekannten Verfallren werden als Strahlungspartikel
Spaltprodukte eingesetzt
Mit Spaltprodukten lassen sich jedoch nur Glimmerfolien bis max. 10 μηι Dicke perforieren, die äußerst jo
zerbrechlich sind und daher für den praktischen Einsatz kaum AnweiJung finden. Dieses Verfahren wurde
daher bisher hauptsächlich ff.- die Herstellung von Kunststoffmembranen (Mikrosiebe) angewendet Solche
aus Kunststoffolien hci-gestr'iten Mikrosiebe sind
kommerziell erhältlich. Ihre Löcher haben einen definierten Radius zwischen 0,1 und 7 μπι und sind durch
Beschüß mit Spaltprodukten einer Massenzahl >30u (»u« ist die atomare Masseneinheit) und anschließender
Ätzung mit einer Lauge eingebracht worden.
Diese bekannten, aus Kunststoffen bestehenden Mikrosiebe weisen jedoch nur eine äußerst begrenzte
Beständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und hohen Temperaturen auf.
Es ist daher wünschenswert, mechanisch stabile und gegen Säuren-Laugen- und Temperatureinwirkung
resistente Mikrosiebe zur Verfügung zu haben.
Es wurde auch bereits vorgeschlagen, Membranen (Mikrosiebe) aus einem sterilisierbaren Material, wie ein
Dielektrikum herzustellen, indem zunächst durch Laser-Elektronen oder Ionenstrahlen in die Folien
Löcher in einheitlichen Abständen gebohrt werden und danach diese Löcher durch Beschichtung auf die
gewünschte Porengröße verkleinert werden (DE-OS 26 58 405). Demgegenüber besteht die Aufgabe der
vorliegenden Erfindung darin, das eingangs genannte »Particle-Track-Etching-Verfahren« so zu verbessern,
daß auch mit diesem relativ einfachen Verfahren Mikrosiebe mit der gewünschten medizinischen und
chemischen Eigenschaften herstellbar sind.
Diese..Aufgabe wird durch die gekennzeichneten Merkmale des Patentanspruchs gelöst
Durch die Foljendicke von 40 bis ΪΟΟμτπ wird die
erforderliche mechanische Stabilität erreicht
Durch die Verwendung von Schwerionen, wie sie im Kennzeichen definiert sind, anstelle von Spaltprodukten,
ist das »Particle-Track-Etching-Verfahren« auch auf Glimmerfolien bis zu 100 μηι anwendbar. Die Ionen
der erforderlichen Masse und. Energie, n/erden in Schwerionenbeschteunigern erzeugt
Ein geeignetes Ätzmedium ist Flußsäure.
Die Größe der Löcher hängt im wesentlichen von der Wahl des Ätzmediums und von der Dauer der
Exposition ab.
Die erfindungsgemäß hergestellten Mikrosiebe werden auch von agressiven Ätzmedieh nicht angegriffen
und können vor allem auch erhöhten Temperaturen bis ungefähr 7000C ohne Formveränderung oder Rißbildung
standhalten. Diese thermische Stabilität erweist sich insbesondere bei Verwendung als Luftentkeimungsfilter
als außerordentlich wertvoll. Sollte die Folie durch Staub und/oder Erreger mit der Zeit verstopft
werden, so kann man sie einfach durch kurzzeitiges Erhitzen wieder regenerieren. Überhaupt ließe sich das
Sieb ständig unter so hohen Temperaturen betreiben, daß die in der angesaugten Luft enthaltenen Erreger am
Ort der heißen Folie getötet werden. Dieser Effekt sichert auch dann noch eine sichere Sterilisierung der
Luft, wenn man zur Erhöhung der Fördermenge zu größeren Löchern übergeht bei denen nicht mehr alle
Keime abgefangen werden.
Mit einem erfindungsgemäßen Mikrosieb lassen sich neben Luft auch andere Medien wie Wasser entkeimen
oder ganz allgemein von unerwünschten Zusätzen befreien. So ist es beispielsweise auch möglich, aus der
Luft bestimmte Schadstoffe wie Teerteilchen abzufiltern.
Die Erfindung soll nun anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit der Zeichnung näher erläutert
werden. Die Figur zeigi in einer schematischen Perspektivansicht eine besonders einfache Filterausführung,
die zur Erzeugung von keimfreier Luft in Operationsräumen eingesetzt werden könnte. Dabei
sind die Vorrichtungen, mit denen das Sieb auf erhöhte Temperaturen gebracht Werden kann, der Einfachheit
halber nicht eingezeichnet Das dargestellte Filter enthält eine Glimmerfolie I, einen zweiteiligen Spannrahmen
(vorderes Rahmenteil 2, hinteres Rahmenteil 3) sowie ein Stützgitter 4. Die Glimmerfolie enthält
Löcher, das Gitter wabenförmige Durchbrechungen.
Die Folienöffnungen werden auf folgende Weise hergestellt:
Ein Glimmerplättchen mit einer Fläche von ca. 100 cm2 und einer Dicke von 60—80μπι wird ca. 10 see
einem Strahl von Schwerionen ausgesetzt. Die Ionen waren auf etwa 8 MeV/u beschleunigt. Nach dem
Ionenbeschuß wird das Plättchen 30 min lang in ein Bad mit 40%iger Flußsäure getaucht Es entstehen Löcher
mit einem Radius von ca. 4 μπι. Die Lochdichte soll 10s— lO'/cm2 sein.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentanspruch:Verfahren zur Herstellung eines foljenförmigen Mikrosiebes aus Glimmer, das eine Vielzahl von Löchern mit einem Radius.zwischen 0,5 und 20 μπι aufweist, wobei zur Erzeugung der Löcher die Glimmerfolie zunächst mit Strahlungspartikeln beschossen und anschließend mit einem Ätzmedium behandelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß als Strahlungspartikel Ionen mit einem Atomgewicht von mindestens 4Ou (»u« ist die atomare Masseneinheit) und einer Energie zwischen 5 und 15 MeV/u eingesetzt werden.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19772708641 DE2708641C2 (de) | 1977-02-28 | 1977-02-28 | Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus Glimmer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19772708641 DE2708641C2 (de) | 1977-02-28 | 1977-02-28 | Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus Glimmer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2708641A1 DE2708641A1 (de) | 1978-08-31 |
| DE2708641C2 true DE2708641C2 (de) | 1983-05-11 |
Family
ID=6002369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19772708641 Expired DE2708641C2 (de) | 1977-02-28 | 1977-02-28 | Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus Glimmer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2708641C2 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3321964A1 (de) * | 1983-06-18 | 1984-12-20 | Reinhard Prof. Dr. Brandt | Sekundaerelektronenvervielfacher aus metallbeschichteten silikatmikrosieben |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3029153A1 (de) * | 1980-07-31 | 1982-03-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur herstellung einer gaspermeablen polymermembran fuer analysengeraete und nach diesem verfahrrn hergestellte membram |
| DE3445291C1 (de) * | 1984-12-12 | 1986-04-30 | Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, 6100 Darmstadt | Verfahren zum Trennen von gas- bzw. dampffoermigen oder fluessigen Stoffgemischen voneinander mittels Diffusion durch Membranen |
-
1977
- 1977-02-28 DE DE19772708641 patent/DE2708641C2/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3321964A1 (de) * | 1983-06-18 | 1984-12-20 | Reinhard Prof. Dr. Brandt | Sekundaerelektronenvervielfacher aus metallbeschichteten silikatmikrosieben |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2708641A1 (de) | 1978-08-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3200301C2 (de) | ||
| DE3032380A1 (de) | Verfahren zur herstellung hydrophiler mikroporoeser folien | |
| DE2432377A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines elektrets | |
| DE2417420B2 (de) | Verfahren zur herstellung von verstaerkten harzlaminaten | |
| EP0024515B1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Trenndüsenelementen zur Trennung gas-oder dampfförmiger Gemische, insbesondere Isotopengemische, und nach diesem Verfahren hergestellte Trenndüsenelemente | |
| DE3909449C2 (de) | ||
| DE2708641C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben aus Glimmer | |
| EP2403630A1 (de) | Mikrostrukturierter formkörper mit perforierten teilen und verhfahren zu dessen herstellung | |
| DE3232499A1 (de) | Maske fuer die mustererzeugung in lackschichten mittels roentgenstrahllithographie und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE2749501C3 (de) | Mehrschichtmembran für Lautsprecher | |
| DE2425464A1 (de) | Verfahren zur herstellung von duennschicht-aperturblenden fuer korpuskularstrahlgeraete | |
| EP0154796B1 (de) | Verfahren zur Herstellung geschichteter Vielkanalplatten aus Metall für Bilderverstärker und Verwendung der so hergestellten Vielkanalplatten | |
| DE2153760C3 (de) | Verfahren zum Herstellen von Filmelektreten | |
| DE10234614B3 (de) | Verfahren zur Bearbeitung von Trägermaterial durch Schwerionenbestrahlung und nachfolgenden Ätzprozess | |
| DE2818385C3 (de) | Verfahren zum Herstellen eines plattenförmigen Formkörpers aus Polyvinylidenfluorid mit einem Faservlies | |
| DE3631804C2 (de) | ||
| DE2416186A1 (de) | Verfahren zur strukturierung duenner schichten | |
| DE3316118C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer wasserdampfdurchlässigen Materialbahn | |
| DE10058822A1 (de) | Verfahren zur Bearbeitung von Trägerfolien durch Bestrahlen mit Schwerionen | |
| DE3909450C2 (de) | ||
| DE2034200A1 (de) | Vakuumofen | |
| DE2319101A1 (de) | Poroeses makromolekulares material sowie herstellung und anwendung eines solchen materials | |
| DD238468A1 (de) | Kernspurmikrofilter mit integrierterm vorfilter und verfahren zur seiner herstellung | |
| DE4121151C2 (de) | Leuchtschirm | |
| DE3339624A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer maske fuer die mustererzeugung in lackschichten mittels roentgenstrahllithographie |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OD | Request for examination | ||
| 8125 | Change of the main classification |
Ipc: B01D 13/04 |
|
| 8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: ERFINDER IST ANMELDER |
|
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |