DE2700342A1 - Messwandler - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft piezoelektrischen Messwandler,
insbesondere einen Beschleunigungsaufnehmer, zur Erzeugung eines elektrischen Ausgangs nach Massgabe einer mechanischen
Spannung, welcher der Messwandler ausgesetzt ist.
Es sind Messwandler für die Beschleunigung bzw. Beschleunigungsaufnehmer
vorgeschlagen worden, bei denen ein keramisches piezoelektrisches Element sandwich-artig zwischen
zwei metallischen Massen gefasst ist, so dass bei einer Beschleunigung des Wandlers Trägheitskräfte dem keramischen
Element Dehnungen erteilen, welche aufgrund des piezoelektrischen Effektes zur Erzeugung von Ausgangsspannungen
führen. Solche Messwandler werden umfangreich z.B. für Schwingungsanalysen und dgl. eingesetzt.
Bei einem Typ eines gegenwärtig benutzten Beschleunigungsaufnehmers,
dem sogenannten Druckscheiben-Beschleunigungsaufnehmer, ist eine Scheibe piezoelektrischen Materials
sandwich-artig zwischen zwei metallischen Massen gefasst, und es werden Beschleunigungskräfte in axialer Richtung eingeleitet.
Solche Messwandler haben den Nachteil, dass sie auch unechte Ausgangssignale, also Störsignale, abgeben und dass
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sich ihre Empfindlichkeit in Abhängigkeit von den Umgebungsbedingungen ändert. Bei einem anderen Typ eines Beschleunigungsaufnehmers,
dem sogenannten Scherring-Beschleunigungsaufnehmer, ist ein hohler Zylinder aus piezoelektrischem,
keramischem Material zwischen einem inneren zylindrischen Druckzapfen und einer äusseren zylindrischen Masse montiert,
wobei Scherdehnungen durch axiale Beschleunigungen hervorgerufen werden.
Obwohl Scherring-Beschleunigungsaufnehmer im allgemeinen gegenüber den Umgebungseinflüssen weniger empfindlich
sind, verbleibt doch der Nachteil, dass das piezoelektrische Element gewöhnlich mit den Massen mittels eines Klebers
oder mittels Lötzinn verbunden ist. Daher kann der Messwandler nur bei Temperaturen unterhalb des Schmelzpunktes
des Klebers oder Lötzinns benutzt werden. Jedoch müssen Beschleunigungsaufnehmer
bei vielen Anwendungen, z.B. bei der Untersuchung von Gasturbinen, höheren Temperaturen widerstehen
können.
Entsprechend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen ohne Störsignale arbeitenden und gegenüber Umgebungseinflüssen
weitgehend unempfindlichen Beschleunigungsaufnehmer zu schaffen, welcher auch bei hohen Temperaturen verwendbar
ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäss durch den im Anspruch 1 gekennzeichneten piezoelektrischen Messwandler gelabt.
Bei der erfindungsgemässen Anordnung ist kein Kleber
zur Verbindung des piezoelektrischen Elementes mit dem Druckzapfen und der Hülse erforderlich, weshalb der Messwandler,
der im übrigen die guten Eigenschaften eines Scherring-Beschleunigungsaufnehmers
hat, auch für den Einsatz bei hohen Umgebungstemperaturen geeignet ist.
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Das keramische bzw. piezoelektrische Element des neuen Messwandlers ist bevorzugt gemäss Anspruch 2 gestaltet. Es
ist jedoch auch möglich, dass die Neigungswinkel der Flächen des Elementes gegenüber seiner Achse unterschiedlich sind.
Die Klemmeinrichtung des Messwandlers ist zweckmässigerweise
gemäss Anspruch 3 ausgebildet. Anstatt einer solchen Klemmeinrichtung kann alternativ aber auch eine starke Federklammer
verwendet werden.
Die piezoelektrische Eigenschaft des· keramischen Elementes wird durch Polarisation erhalten, die auf elektrischem
Wege vor der Formung des Elementes erzeugt werden kann. Die Polarisationsrichtung wird dabei von der beabsichtigten
Schwingungsart abhängen. Für Axialschwingungen wird eine Axial-Polarisation bevorzugt. Für Drehschwingungen kann eine
Ring-Polarisation angewandt werden. Letztere kann durch Aufbau des Elementes aus einer Anzahl geeignet polarisierter Segmente
erzielt werden. Bei Axialschwingungen beruht die Wirkungsweise des Messwandlers überwiegend auf Scherung des
Elementes, obwohl, je nach Neigung der Oberflächen, auch eine Druckkomponente vorliegt. Im allgemeinen wird der Messwandler
so verwendet werden, dass der Druckzapfen fest mit der zu beschleunigenden Oberfläche verbunden ist und die Trägheits-Reaktion
der Masse der Hülse die Erzeugung der Ausgangspotentiale bewirkt. Jedoch lässt sich der Beschleunigungsaufnehmer
auch in umgekehrter Weise verwenden, indem die Hülse mit der zu beschleunigenden Oberfläche verbunden ist und das Ausgangssignal
als Ergebnis der entsprechenden Schwingung des inneren Druckzapfens erhalten wird.
Die Hülse besteht bevorzugt aus dem im Anspruch 4 angegebenen Material, das eine hohe Dichte hat und sich gut bearbeiten
lässt. Der Druckzapfen kann aus dem gleichen Material hergestellt sein, besteht besser aber gemäss Anspruch 5
aus rostfreiem Stahl. Ein anderes geeignetes Material für den Druckzapfen ist Titan.
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Im folgenden ist die Erfindung mit weiteren vorteilhaften Einzelheiten anhand eines schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels
näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine auseinandergezogene Seitenansicht eines Messwandlers nach der Erfindung;
Fig. 2 einen Längsschnitt durch den Messwandler nach Fig. 1 im zusammengebauten Zustand.
Der dargestellte Messwandler umfasst einen inneren Druckzapfen 1 aus rostfreiem Stahl mit einem Gewindestutzen 2,
mit welchem sich der Messwandler an einer Fläche anschrauben lässt, deren Beschleunigung gemessen werden soll. Der Druckzapfen
umfasst einen mit dem Gewindestutzen 2 einstUckigen Körper 3, der eine konische Aussenflache 4 besitzt und mit
einem Innengewinde versehen ist.
Ein keramisches piezoelektrisches Element aus Blei-Zirkonat-Titanat,
einem auch als PZT5A bekannten Material, ist als hohler Kegelstumpf 5 mit einer konischen Innenfläche
6 und einer dazu parallelen konischen Aussenfläche 7 ausgebildet. Die Innenfläche 6 hat die gleiche Gestalt und Grosse
wie die konische Aussenfläche 4 des Druckzapfens.
Eine Hülse 8 aus einer Wolfram-Kupfer-Legierung sitzt auf dem Element 5. Die Hülse hat eine konische Innenfläche 9,
welche die gleiche Grosse und Gestalt wie die Aussenfläche 7 des Elementes 5 hat. Der Messwandler ist mittels eines Bolzens
10 zusammengehalten, der durch eine Klemmplatte 11 aus rostfreiem Stahl und eine Isolierscheibe 12 aus Glimmer hindurchreicht.
Der Bolzen 10 ist in den Druckzapfen eingeschraubt, so dass eine Klemmeinrichtung gebildet ist, welche
die Bauteile des Messwandlers mittels axialer Klemmkräfte zusammenhält.
Hierbei ist das Element 4 sandwich-artig zwischen dem Druckzapfen und der Hülse eingespannt, wobei die konischen
Innen- und Aussenflächen in innigem gegenseitigem Kontakt stehen.
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Beim Einsatz wird der Messwandler mittels des Gewindestutzens 2 in ein Aufnahmegewinde eines Körpers eingeschraubt,
dessen Schwingungen analysiert werden sollen. Die Schwingungen des Körpers führen dazu, dass das piezoelektrische Element
aufgrund des piezoelektrischen Effekts Spannungen zwischen seiner Innen- und seiner Aussenflache erzeugt. Das Element 5
ist hierzu in axialer, durch kleine Pfeile angedeuteter Richtung piezoelektrisch polarisiert. Die Spannungen im Element
5 werden durch die Trägheitsreaktion der Hülse 8 hervorgerufen; die der Beschleunigung proportionalen Potentiale werden
durch nicht gezeigten elektrischen Kontakt mit der Hülse 8 abgegriffen und beziehen sich deshalb auf das Potential des
Druckzapfens 1.
Der Schraubbolzen 10 erzeugt eine statische Vorbelastung des Elementes 5. Spannungen, die auf die Beschleunigung zurückgehen
werden im keramischen Element hervorgerufen, wobei die Ansprecheigenschaften teilweise von der relativen Nachgiebigkeit
der piezoelektrischen Anordnung und des aus Stahl bestehenden Schraubbolzens 10 abhängen. Die Spannungen im Element
5 sind teilweise Scherspannungen und teilweise Druckspannungen.
Bei dem genannten piezoelektrischen Material PZT5A ist
die obere Grenze der Arbeitstemperatur dvirch den piezoelektrischen
Curie-Punkt von 38O0C festgelegt. Es können Jedoch
auch andere piezoelektrische Keramikwerkstoffe benutzt werden, z.B. Blei-Metaniobat (Pb Nbp 0/-), bei welchem der Curie-Punkt
bei 5700C liegt.
Nesswandler mit einem konischen piezoelektrischen Keramikelement
der oben erläuterten Bauart können natürlich auch für andere Anwendungen, z.B. als Kraft oder Druckaufnehmer
verwendet werden.
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Leerseite
Claims (6)
- AnsprüchePiezoelektrischer Messwandler mit einem hohlen piezoelektrischen keramischen Element, das sandwich-artig zwischen einem metallischen Druckzapfen und einer metallischen Hülse gefasst ist, dadurch gekennzeichnet , dass das Element (5) eine konische Innenfläche (6) und eine konische Aussenfläche (7) besitzt, dass die Innen- und die Aussenfläche beide gegenüber der Achse des Elementes im gleichen Sinne geneigt sind, dass der Druckzapfen (3) und die Hülse (8) konische Flächen (4; 9) besitzen, welche einen innigen Flächenkontakt mit der konischen Innenfläche bzw. der konischen Aussenfläche des Elementes (5) herstellen, und dass eine Klemmeinrichtung (10, 11) vorgesehen ist, welche den Druckzapfen, das Element und die Hülse mittels einer axialen Kraft zusammenhält.
- 2. Messwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass das keramische Element (5) ein hohler Kegelstumpf ist, dessen beide konischen Flächen (6, 7) den gleichen Neigungswinkel gegenüber der Achse haben.
- 3. Messwandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet ,' dass die Klemmeinrichtung einen Bolzen (10) umfasst, welcher in den Druckzapfen (3) eingeschraubt ist und eine Klemmplatte (11) an die Hülse (8) heranzieht.
- 4. Messwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet , dass mindestens die Hülse (8) aus einer gesinterten Wolfram-Kupfer-Legierung besteht.709828/0766 ORIGINAL INSPECTED- 5» - 48 870' SL
- 5. Messwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurchgekennzeichnet , dass mindestens der Druckzapfen (3) aus rostfreiem Stahl besteht.
- 6. Messwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet , dass das piezoelektrische
keramische Element (5) axial polarisiert ist.709828/0766
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB241/76A GB1507251A (en) | 1976-01-05 | 1976-01-05 | Accelerometer transducer |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2700342A1 true DE2700342A1 (de) | 1977-07-14 |
DE2700342B2 DE2700342B2 (de) | 1980-01-31 |
DE2700342C3 DE2700342C3 (de) | 1980-10-09 |
Family
ID=9700913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2700342A Expired DE2700342C3 (de) | 1976-01-05 | 1977-01-05 | Piezoelektrischer Meßwandler |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4075525A (de) |
DE (1) | DE2700342C3 (de) |
GB (1) | GB1507251A (de) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2832762A1 (de) * | 1977-10-25 | 1979-04-26 | Kistler Instrumente Ag | Beschleunigungsaufnehmer |
FR2463979A1 (fr) * | 1979-08-23 | 1981-02-27 | Cit Alcatel | Procede et dispositif de frettage d'un anneau cylindrique en ceramique piezoelectrique a section axiale rectangulaire |
DE2906451C2 (de) * | 1979-02-20 | 1981-03-12 | Kistler Instrumente Ag, Winterthur | Piezoelektrisches Wandlerelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE3132738A1 (de) * | 1981-08-19 | 1983-03-10 | Brown Boveri Reaktor GmbH, 6800 Mannheim | Einrichtung zur ermittlung der an den einbauten eines reaktordruckbehaelters auftretenden schwingungen |
US4585608A (en) * | 1982-06-01 | 1986-04-29 | Brown Boveri Reaktor Gmbh | Device for the determination of the vibrations occurring at the internals of a reactor pressure vessel |
EP0260337A1 (de) * | 1986-09-18 | 1988-03-23 | Kistler Instrumente AG | Kraftmessvorrichtung mit einem elektromechanischen Wandler |
EP0413910A1 (de) * | 1989-07-28 | 1991-02-27 | AlliedSignal Inc. | Verfahren zum Aufbau eines Beschleunigungsmessers mit ringförmigem Scherschwinger |
DE19527397A1 (de) * | 1995-07-27 | 1997-01-30 | Telefunken Microelectron | Halter für ein Biegeelement eines Biegesensors und damit ausgerüsteter Biegesensor |
DE102005056705B3 (de) * | 2005-11-28 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Klemmvorrichtung für eine optische Messanordnung und Verfahren für die Klemmvorrichtung |
CN103562696A (zh) * | 2011-05-19 | 2014-02-05 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有压电转换器的传感器元件 |
CN110426142A (zh) * | 2019-07-02 | 2019-11-08 | 大连理工大学 | 基于正、逆压电效应的传感执行器 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4374472A (en) * | 1979-09-29 | 1983-02-22 | Nissan Motor Co., Ltd. | Vibration sensor |
US4987780A (en) * | 1987-11-16 | 1991-01-29 | Litton Systems, Inc. | Integrated accelerometer assembly |
DK169653B1 (da) * | 1992-10-09 | 1995-01-09 | Brueel & Kjaer As | Piezoelektrisk accelerometer af forskydningstypen |
US5677487A (en) * | 1995-10-13 | 1997-10-14 | A/S Bruel & Kjaer | Method and apparatus for measuring acceleration or mechanical forces |
DE502004011678D1 (de) * | 2003-02-05 | 2010-11-04 | Kistler Holding Ag | Messsensor mit vorspannvorrichtung |
US7525238B2 (en) * | 2005-01-26 | 2009-04-28 | Kistler Holding Ag | Ground insulated piezoelectric sensor for the measurement of acceleration or pressure |
GB2443207A (en) * | 2006-02-21 | 2008-04-30 | Transense Technologies Plc | Mounting a sensor to component |
US20080072671A1 (en) * | 2006-09-26 | 2008-03-27 | Eldon Eller | Leveraged shear mode accelerometers |
US7701120B2 (en) * | 2006-12-02 | 2010-04-20 | Omnitek Partners Llc | Piezoelectric generators for munitions fuzing and the like |
US20090242660A1 (en) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | Quatek Co., Ltd. | Medical liquid droplet apparatus |
CA2826558C (en) * | 2011-02-07 | 2021-01-26 | Ion Geophysical Corporation | Method and apparatus for sensing underwater signals |
US9360495B1 (en) | 2013-03-14 | 2016-06-07 | Lockheed Martin Corporation | Low density underwater accelerometer |
EP3124947B1 (de) * | 2015-07-31 | 2018-12-05 | Kistler Holding AG | Drucksensor |
CN206906417U (zh) * | 2017-06-09 | 2018-01-19 | 西人马(厦门)科技有限公司 | 三轴压电式传感器 |
USD889292S1 (en) * | 2018-04-16 | 2020-07-07 | Fatri (Xiamen) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor bolted and connected |
USD890004S1 (en) * | 2018-04-16 | 2020-07-14 | Fatri (Xiamen) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric accelerometer sensor with side output and bolt installation |
USD907573S1 (en) * | 2018-05-11 | 2021-01-12 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Acceleration sensor magnetic mounting base |
USD883827S1 (en) * | 2018-05-11 | 2020-05-12 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Medium and high frequency piezoelectric acceleration sensor with bolt installation |
USD936506S1 (en) * | 2019-06-21 | 2021-11-23 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor |
USD936507S1 (en) * | 2019-06-21 | 2021-11-23 | Fatri United Testing & Control (Quanzhou) Technologies Co., Ltd. | Piezoelectric acceleration sensor |
CN110617914B (zh) * | 2019-08-30 | 2022-01-11 | 华为技术有限公司 | 一种压电传感器的信号校正方法及电子设备 |
JP7515528B2 (ja) * | 2021-03-22 | 2024-07-12 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 圧電トランスデューサ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2216966A (en) * | 1939-01-31 | 1940-10-08 | Rca Corp | Piezometer |
US3727084A (en) * | 1970-06-29 | 1973-04-10 | Becton Dickinson Co | Accelerometer utilizing shear responsive x-cut lithium niobate |
-
1976
- 1976-01-05 GB GB241/76A patent/GB1507251A/en not_active Expired
- 1976-12-14 US US05/750,415 patent/US4075525A/en not_active Expired - Lifetime
-
1977
- 1977-01-05 DE DE2700342A patent/DE2700342C3/de not_active Expired
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2832762A1 (de) * | 1977-10-25 | 1979-04-26 | Kistler Instrumente Ag | Beschleunigungsaufnehmer |
DE2906451C2 (de) * | 1979-02-20 | 1981-03-12 | Kistler Instrumente Ag, Winterthur | Piezoelektrisches Wandlerelement und Verfahren zu seiner Herstellung |
FR2463979A1 (fr) * | 1979-08-23 | 1981-02-27 | Cit Alcatel | Procede et dispositif de frettage d'un anneau cylindrique en ceramique piezoelectrique a section axiale rectangulaire |
DE3132738A1 (de) * | 1981-08-19 | 1983-03-10 | Brown Boveri Reaktor GmbH, 6800 Mannheim | Einrichtung zur ermittlung der an den einbauten eines reaktordruckbehaelters auftretenden schwingungen |
US4585608A (en) * | 1982-06-01 | 1986-04-29 | Brown Boveri Reaktor Gmbh | Device for the determination of the vibrations occurring at the internals of a reactor pressure vessel |
US4800760A (en) * | 1986-09-18 | 1989-01-31 | Kistler Instrumente Ag | Force measuring device with an electromechanical transducer |
EP0260337A1 (de) * | 1986-09-18 | 1988-03-23 | Kistler Instrumente AG | Kraftmessvorrichtung mit einem elektromechanischen Wandler |
EP0413910A1 (de) * | 1989-07-28 | 1991-02-27 | AlliedSignal Inc. | Verfahren zum Aufbau eines Beschleunigungsmessers mit ringförmigem Scherschwinger |
DE19527397A1 (de) * | 1995-07-27 | 1997-01-30 | Telefunken Microelectron | Halter für ein Biegeelement eines Biegesensors und damit ausgerüsteter Biegesensor |
DE19527397C2 (de) * | 1995-07-27 | 1998-03-26 | Telefunken Microelectron | Halter für ein Biegeelement eines Biegesensors und Verwendung eines solchen Halters |
DE102005056705B3 (de) * | 2005-11-28 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Klemmvorrichtung für eine optische Messanordnung und Verfahren für die Klemmvorrichtung |
CN103562696A (zh) * | 2011-05-19 | 2014-02-05 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有压电转换器的传感器元件 |
CN103562696B (zh) * | 2011-05-19 | 2016-10-26 | 罗伯特·博世有限公司 | 具有压电转换器的传感器元件 |
CN110426142A (zh) * | 2019-07-02 | 2019-11-08 | 大连理工大学 | 基于正、逆压电效应的传感执行器 |
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