DE2627862C2 - Elektronenstrahler - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 7
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 241000251730 Chondrichthyes Species 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/075—Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
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Description
Die Erfindung betrifft einen Elektronenstrahler zur Erzeugung eines insbesondere zum Schweißen bestimmten Elektronenstrahls, bestehend aus einer me-
chanischen Abstützung zur koaxialen Festlegung und elektrischen isolierung einer indirekt geheizten Kathode, eines Heizdrahtes, eines Wehneltzylinders und einer
Anode innerhalb eines Rahmens.
Ein Elektronenstrahler dieser Art ist z. B. aus der FR-
PS 13 37 385 bekannt. Die Vorteile des Schweißens mit
Elektronenstrahl zur Verbindung von Blechen großer Dicke, wie sie bei der Errichtung von Druckbehältern
verwendet werden, sind bekannt da sie es in bezug auf andere Schweißverfahren insbesondere ermöglichen,
derartige Verbindungen mit einer begrenzten Anzahl von Schweißlagen durchzuführen. Man hat festgestellt,
daß es möglich wäre, zwei Bleche mit einer Dicke von 200 mm in einer einzigen Lage mittels eines Elektronenstrahlers stumpf zu verschweißen, der eine Leistungsab-
gäbe von 100 Kilowatt hat
Die bekannten Elektronenstrahler der angegebenen Art sind in der Regel für einen Spannungsbereich von
150 Kilovolt ausgelegt. Die Isolierung der wirksamen Bereiche des Strahlers wird im allgemeinen in üblicher
Weise derart ausgeführt, daß diese wirksamen Bereiche vollständig unter Vakuum gesetzt werden, wobei sich
jedoch das Problem der Wärmeabfuhr von den Halteeinrichtungen der Kathode und der angrenzenden Bauteile stellt oder ein Kühlkreislauf durch ölumlauf vorge-
sehen sein muß.
Die verschiedenen bekannten Lösungen sind mit dem Nachteil eines großen Raumbedarfs durch große Bauweise behaftet, was für ortsfeste Anlagen bzw. eine Verwendung in Laboratorien oder Arbeitsräumen akzepta-
bei sein mag, nicht jedoch bei einer Verwendung solcher Strahler mit hoher Leistung in bewegbaren oder verfahrbaren Anlagen, die für ein Verschweißen mittels
Elektronenstrahls in Betrieben für den Schwerbehälter-
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bau oder auf Baustellen erforderlich sind. ein Zielfernrohr (nicht dargestellt).
Außerdem gewährleisten die Befestigungssysteme, Der Schieber 7 wird mittels des Zylinders 12 betätigt,
die zur Festlegung der Kathoden verwendet werden, Die Zylinder 11 und 12 wirken auf das Prisma 10 bzw.
und deren Formen bei den bekannten Strahlern hoher den Schieber 7 über Gestänge 13 in der Weise ein. daß
Leistung keine genaue, gegenüber Aufheizung unemp- 5 sie aus dem Weg des Elektronenstrahls im Betrieb des
Findliche Positionierung, woraus sich im Betrieb Ände- Strahlers entfernt werden,
rangen der Parameter ergeben. Der Ringbund 5 weist seitlich eine öffnung 14 auf.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen während die bearbeitete Fläche 15 abdichtend und Iös-
Elektronenstrahler der eingangs genannten Art so aus- bar die Untereinheit, nämlich den Schieber 7 und das
zubilden, daß die Lage der Kathode sich bei Aufheizung io Prisma 10 sowie deren Antriebe, aufnimmt Das Gegen-
nicfe verändert und daß die Erwärmung von der Katho- stück 16 ermöglicht eine einwandfreie mechanische
de zugeordneten und/oder ihr benachbarten Teilen her- Funktion der obigen Anordnung, indem der Überhang
abgesetzt wird, so daß die Abmessungen des Elektro- beseitigt wird,
nenstrahlers verringert werden können. Der Ringbund 5 nimmt eine Platte 17 sowie einen
Diese Aufgabe wird gesnäß der Erfindung ausgehend 15 Rahmen 18 auf, die mittels Schrauben 19 abgedichtet
von einem Elektronenstrahler der eingangs angegebe- befestigt sind. Die Platte 17 bildet eine Abstützung für
nen Art dadurch gelöst, daß die Kathode von mehreren, die Anode 20, die ihrerseits mittels eines Ringbundes 21
aus elektrisch leitfähigetn Material bestehenden Stan- und eines Zwischenträgers 22 gehalten ist Der Rahmen
gen in ihrer koaxialen Stellung gehalten ist und die Stan- 18 besito eine seitliche öffnung 23 für einen Anschluß
gen si! ihrem einen Ende in bezug auf den Rahmen starr 20 an die Pumpenanlage mittels des L-dtungsflansches 24.
befestigt sind und an ihrem anderen Ende *n der seitli- Der Rahmen 18 nimmt ferner mit eftxr abgedichteten
chen Außenwand der Kathode unter Bildung einer Befestigung den Isolierkörper 25 auf, der von einem
Klemmvorrichtung angreifen, durch die die Kathode in Formkörper aus einem organischen Harz gebildet ist
ihrer Stellung gehalten ist Der Isolierkörper 25 dient als Abstützung für eine
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die die 2s Endplatte 26 aus feuerfestem Werkstoff, die mittels ei-
Kathode abstützenden Stangen über eine Endplatte ei- ner Dichtung 27 abgedichtet festgelegt ist
nes Isolierkörpers starr in bezug auf den Rahmen befe- An der Platte 26 sind die Strahlungskathode 40 über
stigt wobei die Endplatte ferner mittels Befestigungs- den Kathodenhalter 28 mittels dreier dichter Durchfüh-
gliedern und unter gegenseitiger Isolierung den Heiz- rungen 29, der Halter 30 des Wehnettzylinders 32 mit-
draht und den Wehneltzylinder abstützt 30 tels dreier dichter Durchführungen 31, wobei der Weh-
Hierbei können zumindest einige der Befestigung^- neltzylinder 32 seinerseits mittels der Mutter 33 gehalglieder
des Heizdrahtes, des Wehneltzylinder und der ten ist und eine dem erzeugten Elektronenstrahl entKathode
die Endplatte des Isolierkörpers durchqueren sprechende Form besitzt, sowie der Halter 34 des pri-
und auf der dem Heizdraht, dem Wehneltzylinder und mären Heizdrahtes 35 befestigt dessen Klemmen einerder
Kathode gegenüberliegenden Seite der Endplatte 35 seits am Halter 34 und andererseits am Teil 36 angean
Stromzuführungsleiter angeschlossen sein. schlossen sind, wobei der Halter 34 mittels der Mutter
Gemäß einer weiteren Ausbildung der Erfindung ist 37 und der Beilagscheibe 38 in durch die Dichtung 39
der Isolierkörper hohl ausgebildet, wobei zumindest ei- abgedichteter Weise an der Platte 26 gehalten ist.
nige der 3efestigungsglieder der Kathode, des Heiz- Die Hochspannung wird mittels eines Kabels 41 mit drahtes und des Wehneltzylinders an ihren in das Innere 40 vier Leitern 411 zugeführt die die verschiedenen wirksades Hohlraums des Isolierkörpers hineinragenden En- men Teile des Strahlers versorgen, d. h. den primären den mit Kühlrippen versehen sind und eine Einrichtung Heizdraht mittels zweier Leiter, den Kathodenanschluß zur Erzeugung eines über die Kühlrippen streichenden mit einer der drei Durchführungen 29 des Kathodenhai-Luftstroms vorgesehen ist ters und den Wehneltzylinderanschluß mit einer der drei
nige der 3efestigungsglieder der Kathode, des Heiz- Die Hochspannung wird mittels eines Kabels 41 mit drahtes und des Wehneltzylinders an ihren in das Innere 40 vier Leitern 411 zugeführt die die verschiedenen wirksades Hohlraums des Isolierkörpers hineinragenden En- men Teile des Strahlers versorgen, d. h. den primären den mit Kühlrippen versehen sind und eine Einrichtung Heizdraht mittels zweier Leiter, den Kathodenanschluß zur Erzeugung eines über die Kühlrippen streichenden mit einer der drei Durchführungen 29 des Kathodenhai-Luftstroms vorgesehen ist ters und den Wehneltzylinderanschluß mit einer der drei
Weitere Ausbildungen der Erfindung ergeben sich 45 Durchführungen 31 für die Befestigung dessen Halters,
aus den weiteren Unteransprüchen. Die elektrischen Verbindungen der vier Leiter 411 mit
Nachstehend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfin- den entsprechenden Anschlüssen 29,31,34 und 36 sind
dung anhand der Zeichnung näher erläutert In der mit Hilfe von Klemmen 42 mit Federn 42i, die an einem
Zeichnung zeigt aus organischem Kunstharz geformten Halter 43 befe-
F i g. 1 einen Schnitt durch einen Elektronenstrahler, so stigt sind, elastisch ausgebildet Der Halter 43 ist an
F i g. 2 einen Teilschnitt des wirksamen Bereichs des einem Silikonisolator 44 befestigt, der den Isolierkörper
Elekironenstrahlers nach F i g. 1 in vergrößertem Maß- des Hochspannungszüiührungskabels bildet
stab, Uev Isolator 44 und das Kabel 41 sind durch die Me-
F i g. 3 eine Ansicht von unten auf die Kathode und tallverkleidung 45 und die Kabelstopfbuchse 45] verei-
deren Befestigung am Elektronenstrahler, und 55 nigt, wobei die Hochspannungszuführungsleitung am
F i g. 4 einen Schnitt nach der Linie A-A der F i g. 3. Rahmen 18 befestigt ist.
Gemäß der Zeichnung dient das Gestell 1 aus norma- Die Anordnung des Kabels 41 in bezug auf den Isola-
lem Flußstahl als Mantel für die Fokussierspulen 2a und tor 44 bringt den Raum 46 einerseits durch die Kanäle
26 und ist durch den Teil 3 aus rostfreiem Stahl, welcher 47 und 48 mit dem Anschlußstutzen 49 und andererseits
den Kanal 4 des Elektronenstrahls ausbildet, vakuum- 60 durch den in den Halter 43 eingearbeiteten Kanal 50 mit
dicht ausgeführt der Zone 51 in Verbindung.
Auf dem Gestell 1 ist ein Bundring 5 abgedichtet befe- Die Verkleidung 45 bildet zwischen den Isolierkör·
stigt, der den optischen Zielbereich 6 und einen Schieber pem 44 und 25 einen spaltförmigen Raum 52 aus, der
7 umschließt, der das Absperren der Beschleunigungs- durch die Kanäle 53 mit der Umgebungsluft und durch
zone 8 des Elektronenstrahls bewirkt, wenn die Arbeit?- 65 den Kanal 54 mit der Zone 51 verbunden ist
zone der freien Luft abgesetzt ist. Ein Trockenlufterzeuger 49i gibt über den Anschluß-
Das optische Zielsystem 6 umfaßt ein Prisma 10, das stutzen 49 einen Luftstrahl ab, der aufeinanderfolgend
mittels des Druckluftzylinders U einziehbar ist, sowie durch die Kanäle 48 und 47, den Raum 46 sowie den
Kanal 50 strömt, die Zone 51 unter Kühlung der Rippen
311,29i und 34, der Durchführungen 31 und 29 bzw. des
Halters 34 bestreicht und sodann in die Umgebungsluft unter Durchsirömung des Kanals 54, des Ringraums 52
und des Kanals 53 entweicht s
Zwischen dem Kanal 50 und der Zone 51 wird der Luftstrom durch eine Leitplatte 55 gelenkt.
In den F i g. 3 und 4 ist die Kathode 40 und ihre Befestigung in bezug auf den Halter 28 dargestellt, die drei
Wolframstangen 56 und die Metallbacken 57 umfaßt, die die Stangen 56 über Blöcke 58 aus feuerfestem Material am Halter 28 festlegen, wobei die Anordnung in
bezug auf die optische Achse 59 des Strahlers rotationssymmetrisch ist
Wie die Zeichnungen zeigen, besitzt die Kathode 40 is
eine Ringnut 40,, in der die drei mit einem gegenseitigen Winkelabstand von 120° angeordneten Stangen 56 tan
nantial ano«lMit einst um »inj»rc»itc /1IA Pincnsηηιιησ Hai
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Kathode zu erreichen und andererseits nur eine punktförmige Berührung der Kathode mit den Stangen her-
beizuführen.
Diese Ausgestaltung des beschriebenen Strahlers ermöglicht es, den Temperaturanstieg der Teile, die der
Kathode zugeordnet und/oder benachbart sind, herabzusetzen, so daß es möglich ist, die Abmessungen des
Strahlers zu verrringern und folglich bewegbare bzw. verfahrbare Schweißanlagen zu schaffen.
Außerdem ermöglicht es diese Ausgestaltung, eine präzise, gegenüber Erwärmung unempfindliche Einstellung der Kathode zu erreichen.
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Claims (14)
1. Elektronenstrahler zur Erzeugung eines insbesondere zum Schweißen bestimmten Elektronenstrahls, bestehend aus einer mechanischen Abstützung zur koaxialen Festlegung und elektrischen Isolierung einer indirekt geheizten Kathode, eines
Heizdrahtes, eines Wehneltzylinders und einer Anode innerhalb eines Rahmens, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (40) von mehreren, aus elektrisch leitfähigem Material bestehenden Stangen (56) in ihrer koaxialen Stellung gehalten
ist und die Stangen an ihrem einen Ende in bezug auf den Rahmen (18) starr befestigt sind und an ihrem
anderen Ende an der seitlichen Außenwand der Kathode unter Bildung einer Klemmvorrichtung angreifen, durch die die Kathode in ihrer Stellung gehalten ist.
2. Strsider nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Kathode (40) abstützenden
Stangen (56) über eine Endplatte (26) eines Isolierkörpers (25,44) starr in bezug auf den Rahmen (18)
befestigt sind und daß die Endplatte ferner mittels Befestigungsgliedern und unter gegenseitiger Isolierung den Heizdraht (35) und den Wehneltzylinder
(32) abstützt.
3. Strahler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einige der Befestigungsglieder des Heizdrahtes (35), des Wehneltzylinders (32)
und der Kathode (40) die Endplatte (26) des Isolierkörpers (?5,44) durchquere;, und auf der dem Heizdraht, dem Wehneltzylinder und der Kathode gegenüberliegenden Seite der F.idplatte an Stromzuführungsleiter (4I1) angeschlossen sind.
4. Strahler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25, 44) hohl ausgebildet ist und zumindest einige der Befestigungsglieder (29, 31, 34) der Kathode (40), des Heizdrahtes
(35) und des Wehneltzylinders (32) an ihren in das Innere des Hohlraums des Isolierkörpers hineinragenden Enden mit Kühlrippen (29i, 31|, 34i) versehen sind und eine Einrichtung zur Erzeugung eines
über die Kühlrippen streichenden Luftstroms vorgesehen ist.
5. Strahler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25, 44) in seinem
Hohlbereich mit einer Halleplatte (43) mit Klemmen (42) versehen ist, die einerseits an die Stromzuführungsleiter (411) und andererseits an die Befestigungsglieder (29,31,34) der Kathode (40) des Heizdrahtes (35) und des Wehneltzylinders (32) angeschlossen sind.
6. Strahler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmen (42) der Halteplatte (43)
für einen elastischen elektrischen Kontakt mit den Befestigungsgliedern mit Federn (42|) versehen sind.
7. Strahler nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25, 44) von
zwei Teilen gebildet ist, von denen der eine (44) die Halteplatte (43) für die Klemmen (42) und der andere (25) die Endplatte (26) abstützt, und daß in der
Haiteplatte (43) ein Kanal (50) vorgesehen ist, während zwischen den beiden Teilen des Isolierkörpers
ein spaltförmiger Raum (52) für einen Kreislauf von Kühlluft über die Kühlrippen (29,, 31,,34|) gebildet
ist.
8. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprü-
ehe 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die die Kathode (40) abstützenden Stangen (56) aus Wolfram
bestehen.
9. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet daß die Endplatte (26) aus feuerfestem Material besteht
10. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet drQ die Kathode (40) eine die Enden der Stangen (56) aufnehmende Umfangsnut(40i) aufweist
11. Strahler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet daß drei Stangen (56) vorgesehen sind, die
mit einem gegenseidgen Abstand von 120° angeordnet sind.
12. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet daß die
Stangen (56) an der Seitenwand der Kathode (40) tangential in Anlage gehalten sind.
13. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 12, dadurch gekennzeichnet daß die
Stangen (56) mit einem Befestigungsorgan an der Endplatte (26) über Blöcke (58) aus feuerfestem Material verbunden sind.
14. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet daß eine
Einrichtung für sinen Kreislauf trockener Luft durch den spaltförmigen Raum (52) vorgesehen ist
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7519604A FR2315766A1 (fr) | 1975-06-23 | 1975-06-23 | Canon a electrons |
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---|---|
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DE2627862C2 true DE2627862C2 (de) | 1986-01-23 |
Family
ID=9156881
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE2627862A Expired DE2627862C2 (de) | 1975-06-23 | 1976-06-22 | Elektronenstrahler |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4057746A (de) |
DE (1) | DE2627862C2 (de) |
FR (1) | FR2315766A1 (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |