DE2625796A1

DE2625796A1 - Aus metall bestehende dichtvorrichtung an einem hochvakuumverschluss

Info

Publication number: DE2625796A1
Application number: DE19762625796
Authority: DE
Inventors: Gerhard Dipl Ing Ehmig; Karl Vogt
Original assignee: VAT AG fuer Vakuum Apparate Technik
Current assignee: VAT Group AG
Priority date: 1975-07-01
Filing date: 1976-06-09
Publication date: 1977-01-13
Also published as: GB1540401A; ZA763698B; US4136854A; CH600223A5; FR2316497A1

Description

Dip!, ing= H. <i. Hübner

8 9 6O Kempten/AHgäu ο _Juni

Mozartstraße 21 - T*U 0831/28281 '

VAT Aktiengesellschaft für Vakuum-Apparate-Technik, 94-99 Haag (Schweiz)

Anwaltsakte: X 1123

Aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverschluss

Die Erfindung bezieht sich auf eine aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverschluss, insbesondere einem Hochvakuumventil, mit einem ersten, eine ringförmige Kante aufweisenden Dichtorgan und einem zweiten, eine längs eines Kreises verlaufende Dichtfläche aufweisenden Dichtorgan, wobei das eine Dichtorgan bezüglich des andern derart beweglich angeordnet ist, dass die ringförmige Kante des ersten Dichtorgans zum Anliegen an die Dichtfläche des zweiten Dichtorgans kommt.

HE 4635 * 6/ri/34

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Es sind zahlreiche Ganzmetallventile bekannt, bei denen der Ventilteller oder der Ventilsitz als Ringschneide ausgebildet ist, wobei einer der beiden Dichtpartner aus einem weicheren Metall als der andere hergestellt ist. Beim Schliessen des Ventils passt sich der weichere Dichtpartner plastisch an den härteren an, wodurch die Abdichtung erzielt wird. Das Mass der plastischen Verformung hängt von der Genauigkeit der Dichtpartner ab, vor allem auch von der Oberflächenbeschaffenheit·

Diese plastische Anpassung der Dichtpartner muss mit jeder neuerlichen Schliessung erreicht werden, was aber nur möglich ist, wenn die Schliesskraft mit jeder Schliessung erhöht wird. Die Standzeit des Ventils, das ist die Anzahl der Schliessungen, bei welchem das Ventil noch dicht wird, wird durch die ständige Erhöhung der Schliesskraft begrenzt und zwar dann, wenn die Schliesskraft so gross ist, dass sie aus 3?estigkeitsgründen nicht mehr erhöht werden darf oder einfach nicht mehr aufgebracht werden kann·

Als Richtwert ist bekannt, dass ein Ventil dieser Ausführung normalerweise über 100, in Ausnahmefällen maximal über 500 Schliessungen dichtzubringen ist, wobei ein Leck von kleiner als 1.1ο Torrl/sec mit Helium gemessen als dicht gilt.

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Es versteht sich, von selbst, dass es sehr schwierig ist, mit Jeder Schliessung den Dichtdruck so zu erhöhen, dass die gtwünschte Dichtheit erzielt wird·

Ein weiterer Nachteil der bekannten Ganzmetallventile zeigt sich bei Temperaturveränderung des Ventils im geschlossenen Zustand. Durch eine Temperaturveränderung können an der Kontaktstelle der Dichtpartner Verschiebungen auftreten, die eine Beschädigung der Dichtflächen zur Folge haben* Diese Verschiebungen sind die ^olge unterschiedlicher Wärmeausdehnung der Dichtpartner, die ja aus verschiedenen Materialien bestehen müssen. Dieselben Beschädigungen können auch bei Temperaturdifferenzen innerhalb der Partner auftreten· Ein markanter Nachteil sind die hohen Schliesskräfte, welche bei diesen Ventilen aufgebracht werden müssen.

Die vorliegende Erfindung hat zur Aufgabe, eine aus Metall bestehende Dichtvorrichtung an einem Hochvakuumverachluss zu schaffen, die es erlaubt, über eine wesentlich höhere Anzahl von Schliessungen eine bessere Dichtheit ohne Erhöhung Atr Sohliesskraft in Abhängigkeit von bereits erfolgten Schliessungen zu erzielen, die erforderliche

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Schliesskraft herabzusetzen sowie nachteilige Folgen von Temperaturänderringen an der Dichtvorrichtung auszuschliessen. Die Erfindung basiert auf der Erkenntnis, dass eine plastische Verformung der Dichtpartner bei den Schliessvorgängen unter allen Umständen zu vermeiden ist.

Erfindungagemäß ist die Dichtvorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Dichtorgane aus einem praktisch nichtduktilen Werkstoff bestehen und derart ausgebildet sind, dass eine in Richtung senkrecht zur Ebene des in der Dichtfläche des zweiten Dichtorgans enthaltenen Kreises ausgeübte Schliesskraft eine zu dieser angenähert senkrechte^ Dichtkraft erzeugt, deren Grosse ein Mehrfaches der Schliesskraft beträgt und welche die beiden Dichtorgane im Bereich einer ausschliesslich elastischen Verformung ohne Gleitreibung aneinanderdrückt.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der erfindungsgemässen Dichtvorrichtung besteht darin, dass das erste Dichtorgan die Form einer ringförmigen Scheibe aufweist, die im

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Bereich ihres äusseren Umfanges abdichtend festgehalten ist und deren am inneren Umfang befindliche Kante abgerundet ist, und dass das zweite Dichtorgan ein Rotationskörper ist, dessen als Dichtfläche vorgesehener Oberflächenbereich in Richtung der Rotationsachse von dieser einen veränderlichen Abstand aufweist, wobei die Scheibe bezüglich der Dichtfläche des in der Öffnung der Scheibe angeordneten zweiten Dichtorgans eine solche Lage aufweist, dass ihre Kante beim Anliegen an die Dichtfläche mindestens angenähert senkrecht auf diese drückt.

Es zeigt sich, dass sich mit der erfindungsgemässen Dichtvorrichtung eine Dichtheit von 1.10 ^? Torrl/sec, gemessen mit Helium, über mehrere tausend Schliessungen erreichen lässt, ohne dass die Schliesskraft erhöht werden müsste. Hierbei ist die Dichtkraft verglichen mit den bekannten Dichtkonfigurationen bis zu zehnmal kleiner. Es zeigt sich, dass Temperaturänderungen die Dichtvorrichtung in keiner Weise nachteilig beeinflussen.

Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes werden nachstehend anhand der Zeichnung'erläutert. Es zeigen:

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Fig. 1 in einem Längsschnitt eine Dichtvorrichtung mit einer konkaven bzw. konvexen Kugelzonenfläche als Dichtfläche des zweiten Dichtorganes,

Fig. 2 in einem Längsschnitt die eine Hälfte eines Absperrventils mit einem zweiteiligen Ventilgehäuse und mit einer Dichtvorrichtung, bei welchem das zweite Dichtorgan ein Kegelstumpf ist,

Fig. 3 einen Ausschnitt des Absperrventils der Fig. 2 mit einer Variante der Einspannung des ersten Dichtorgans im Ventilgehäuse, und

Fig. 4 in einem Längsschnitt die eine Hälfte eines Absperrventils mit einem einteiligen Ventilgehäuse und mit einer Dichtvorrichtung, deren zweites Dichtorgan ebenfalls ein Kegelstumpf ist.

Die in Fig. 1 dargestellte Dichtvorrichtung weist als erstes Dichtorgan eine ringförmige Scheibe 1 auf, die aus einem ebenen, äusseren Bereich 2 und einem kegelig geformten, inneren Bereich besteht. Der äussere Scheibenbereich 2 ist zwischen zwei Gehäuseteilen 4 und 5 abdichtend eingespannt, wobei als Abdicht-

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mittel Bwei federnde Dichtringe 6 und 7 d^{e aui} einer Seite der Scheibe 1 in entsprechenden Ringnuten 8 bzw. 9 der Gehäuseteile 4 und 5 angeordnet sind. Der innere Bereich 3 stellt eine ksgelig geformte Dichtlippe dar, deren am inneren Umfang befindliche Kante 1o, welche die eine Dichtfläche bildet« geometrisch genau abgerundet ist· Mit 11 ist eine öffnung der Gehäuseteile 4 und 5 bezeichnet, die durch die vorliegende Dichtvorrichtung abzuschliessen ist.

Als zweites Dichtorgan, das in der Schliesslage mit dem ersten Dichtorgan in Berührung steht, ist ein Dichtteller 12 vorgesehen, dessen als die andere Dichtfläche dienende Oberfläche 13 die Form einer konkaven Kugelzonenflache aufweist. Der Dichtteller 12 ist an einem Halter 14 befestigt, der mit einer Betätigungsstange 15» z.B. einer Ventilspindel mit Gewinde, versehen ist, um den Dichtteller 12 in axialer Richtung zu verschieben und in die öffnung der ringförmigen Scheibe 1 einzuführen. Der Radius R der Kugel zonenf lache ist mindestens angenähert gleich gross wie die Länge der Hantellinien der kegelig geformten Dichtlippe 3« d. h. wie der Abstand der Kent· 10 von der Stelle 16, an welcher die Scheibe abgekröpft ist. Dadurch wird erzielt, dass die abgerundete

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Kante 10 mindestens angenähert senkrecht auf die Fläche 13
des Dichttellers 12 drückt, wenn dieser in die Öffnung der
Scheibe 1 eingeführt und in Richtung des Pfeiles 17 auf die
Dichtlippe 3 gedrückt wird. Der Winkel oC der kegelig geformten Dichtlippe 3 beträgt vorzugsweise etwa 10 bis 20°.

Da die Dichtlippe 3 auf der Berührungsseite, d.h. an der Kante 10, geometrisch genau abgerundet ist, ist die Berührungslinie
zwischen der Dichtlippe 3 "und dem Dichtteller 12 ein Kreis-.
Diese Berührungslinie ist gleichzeitig die Dichtlinie der vorliegenden Dichtvorrichtung. Die Dichtheit der "Vorrichtung hängt davon ab, ob es gelingt, dass sich die beiden Dichtorgane, die Dichtlippe 3 und der Dichtteller 12, durchgehend berühren. Die geometrische Voraussetzung hierfür ist durch die kreisförmige
Berührungslinie gegeben. Es kommt in der Praxis deshalb in erster Linie darauf an, unvermeidliche Fertigungsungenauigkeiten zu überbrücken. Dies ist bei der vorliegenden Dichtvorrichtung in vorteilhafter Weise dadurch möglich, dass einerseits grobe
Ungenauigkeiten unter dem hohen Dichtdruck durch die verhältnismässig flexible ringförmige Dichtlippe ausgeglichen werden und dass andererseits eine Mikroungenauigkeit, welche von Unebenheiten auf den beidseitigen Dichtflächen herrührt, durch eine ela*- stische Verformung der für beide Dichtorgane verwendeten Materialien weitgehend kompensiert werden kann.

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Ein wesentlicher Unterschied gegenüber den bekannten Dichtvorrichtungen ist bei der vorliegenden Dichtvorrichtung darin zu sehen, dass Verformungen der beiden Dichtorgane elastisch sind und eine dauernde, plastische Verformung ausgeschlossen wird. Dadurch lässt sich die Standzeit der Dichtvorrichtung bzw. des Ventils, das diese enthält, wesentlich erhöhen, weil im Lauf aufeinanderfolgender Schliessungen die Schliesskraft nicht erhöht werden muss, wie dies bei den bekannten Dichtvorrichtungen der Fall ist. Es hat sich gezeigt, dass sich mit der vorliegenden Dichtvorrichtung eine Dichtheit von 1.10 ⁷ Torrl/sec, gemessen mit Helium, ohne Erhöhung der Schliesskraft über mehrere tausend Schliessungen erzielen lässt.

Als Material für die beiden Dichtorgane, die Dichtlippe 3 und den Dichtteller t2, wird ein harter Werkstoff mit hoher Elastizität bevorzugt. Die ringförmige Scheibe 1 mit der Dichtlippe 3 kann beispielsweise aus einer !Titanlegierung, aus einem insbesondere hartgewalzten hochnickellegierten Stahl oder aus Federstahl bestehen, während der Dichtteller 12 aus einem hochresistenten, kobalt- oder wolframlegierten Stahl ("Stellite" oder sonst einem Edelstahl, Hartbronze oder einem anderen glasharten Material bestehen kann·

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Um beim Anpressen des Dichttellers 12 auf die Dichtlippe 3 die erwähnte elastische Verformung zu erzielen, sind an sich hohe Dichtkräfte erforderlich. Bei deiivorliegenden Dichtvorrichtung hat dies aber nicht eine entsprechend hohe Schliesskraft zur Folge, weil, wie aus Fig. 1 ersichtlich, die Lage der Dichtlippe 3 gegenüber dem Ventilteller 12 eine Übersetzung der Schliesskraft bewirkt. Die längs des Pfeils 17 ausgeübte Schliesskraft ist grössenordnungsmässig um den Faktor tg «^ kleiner als die in der Fläche der Dichtlippe 3 liegende Dichtkraftkomponente, so dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel für eine bestimmte erforderliche Dichtkraft bloss eine 3 bis zu 10 mal kleinere Schliesskraft aufgebracht werden muss.

Beim Anpressen des Dichttellers 12 auf die Dichtlippe 3 wird ferner die Dichtlippe durch den Dichtteller nach unten gepresst, wobei die abgerundete Kante 10 der Dichtlippe 3 auf der kugeligen Oberfläche 23 des Dichttellers 12 abrollt, ohne dass eine nachteilige Verschiebung der Kante 10 auf der Oberfläche 13 auftreten würde. Diese? Abrollvorgang tritt auch in umgekehrter Richtung auf, beispielsweise dann, wenn sich die {Temperatur der vorliegenden Dichtvorrichtung erhöht und demnach thermische Längenausdehnungen entstehen. Eine Beschädigung der Dichtflächen bei Temperaturänderungen ist also ausgeschlossen.

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Die ideale geometrische Form der Dichtfläche des Dichttellers ist die Kugelfläche, wobei statt der in Fig. 1 dargestellten konkaven Kugelzonenf lache 13 auch eine konvexe Kugelfläche vorgesehen werden kann. In Fig. 1 ist gestrichelt eine Kugel 18 als alternatives zweites Dichtorgan dargestellt, wobei der Radiaus R¹ der Kugel 18 angenähert gleich gross wie der Öffnungsradius der Dichtlippe 3 ist, d.h. etwas grosser als dieser, so dass die Verlängerung der Dichtlippe 3 durch das Zentrum der Kugel 18 geht. Eine solche Kugel als Dichtorgan ist deshalb von Vorteil, weil sie selbst zentrierend ist. Nachteilig dagegen ist, dass die Fertigung einer geometrisch exakten Kugel bzw. Kugelfläche aufwendig ist. Um solchen fertigungstechnischen Schwierigkeiten aus dem Weg zu gehen, ist es jedoch möglich, die Kugel- oder Kugelzonenfläche durch die Oberfläche eines anderen Rotationskörpers zu ersetzen, wobei der als Dichtfläche vorgesehene Oberflächenbereich in Richtung der Rotationsachse von dieser einen veränderlichen Abstand aufweist, insbesondere durch die Oberfläche eines Kegelstumpfs, die beispielsweise durch Schleifen ohne besonderen Aufwand geometrisch genau ausgebildet werden kann. In den Fig. 2 bis 4 sind Absperrventile dargestellt, die eine Dichtvorrichtung mit einem Kegelstumpf als zweitem Dichtorgan enthalten.

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Das in Pig. 2 dargestellte Hochvakuum-Absperrventil weist ein aus zwei Teilen 21 und 22 bestehendes Gehäuse auf, wobei das untere Gehäuseteil 22 einen zur Verbindung mit einer Hochvakuumpumpe dienenden Stutzen 23 und das obere Gehäuseteil 21 eine Öffnung 24 zum Anschluss an die zu evakuierende Einrichtung aufweist. Die Gehäuseteile 21 und 22 sind mittels Schrauben 25 dicht miteinander verbunden. Zwischen die einander zugekehrten Flächen der Gehäuseteile 21 und 22 ist mit ihrem äusseren, ebenen Bereich 2 die Dichtscheibe der Fig. 1 eingeklemmt, wobei der kegelig geformte, innere Bereich 3 der Scheibe als Dichtlippe ins Gehäuseinnere ragt. Zur Abdichtung der von den Gehäuseteilen 21 und 22 umschlossenen Räume gegenüber dem Gehäuseäusseren und jedes der genannten Räume gegenüber dem anderen weisen die einander zugekehrten Flächen der Gehäuseteile 21 und 22 je eine ringförmige Nut auf, in welche ein Dichtring 26 bzw. 27 eingelegt ist.

Wie bereits erwähnt, ist als zweites Dichtorgan ein kegelstumpf -förmiger Dicht teller 28 vorgesehen, der an einem !Träger 29 be festigt ist bzw. einstückig mit diesem ausgebildet ist. Zum Anpressen des kegelstumpfförmigen Dichttellers 28 an die Dicht lippe 3 ist der Träger 29 mit einer ein Gewinde aufweisenden

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Spindel verbunden, von welcher in Fig. 2 bloss ihr oberes Anschlussende 30 sichtbar ist. Die Spindel ist in einem Gehäusedeckel 31 gelagert, der mittels Schrauben 32 fest mit dem oberen Gehäuseteil 21 verbunden ist. Zur Abdichtung der Spindel ist auf die obere Öffnung des oberen Gehäuseteils

21 eine Flanschplatte 33 eingelegt, an welcher ein die Spindel umschli ess ender Metallbalg 34- dicht befestigt ist, dessen unteres Ende mit dem Träger 29 dicht verbunden ist. Zwischen der Platte 33 und dem oberen Gehäuseteil 21 ist in einen ringförmigen Absatz ein Dichtring 35 eingelegt.

Die Winkel der kegelig geformten Dichtlippe 3 und des kegelstumpf förmigen Dichttellers 28 sind so gewählt, dass die wiederum abgerundete Kante der Dichtlippe 3 mindestens angenähert senkrecht gegen die Fläche des Dichttellers 28 drückt. Auch die in Fig. 2 dargestellte Dichtvorrichtung weist die anhand der Fig. 1 erwähnten Eigenschaften und Vorteile auf.

Eine Gehäusevariante des Absperrventils der Fig. 2 ist in Fig. 3 dargestellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Abdichtung der beiden Gehäuseteile 21 und 22 getrennt von derjenigen der Dichtscheibe 1 vorgenommen, indem die einander zugekehrten Seiten des oberen und unteren Gehäuseteils 21 bzw.

22 ringförmig gestuft ausgebildet sind, wobei die äussere

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Stufe einen ersten Dichtring 36 zur Abdichtung der Gehäuseteile und die innere Stufe einen zweiten Dichtring 37 zur Abdichtung der Dichtscheibe 1 umfasst. Die übrigen Teile des dargestellten Absperrventils stimmen mit denjenigen der I¹Ig. 2 üb er ein.

Eine weitere Gehäusevariante ist in Fig. 4 dargestellt· Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein einteiliges Ventilgehäuse

38 vorgesehen, so dass der Dichtring 27 in Fig. 2 bzw. der Dichtring 36 in Fig. 3 entfällt. Um die Dichtscheibe 1 gegen einen im unteren Teil des Gehäuses 38 angeordneten Dichtring

39 pressen zu können, damit bei geschlossener Dichtvorrichtung 1, 28 kein Leck zwischen dem oberen und dem unteren Gehäuseinnern vorliegt, ist koaxial zur Längsachse des Ventils eine Presshülse 40 angeordnet, die durch die Flanschplatte 33 bzw. den aufgeschraubten Deckel 31 auf die Dichtscheibe 1 gedruckt wird· Die Presshülse 40 ist natürlich mit einer seitlichen öffnung 24 als Durchgang zur angeschlossenen, zu evakuierenden Einrichtung versehen.

Es ist ferner möglich, die Dichtlippe als Teil des Gehäuses einstückig mit diesem auszubilden, z. B. durch entsprechendes Ausdrehen des Gehäuses.

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Claims

Patentansprüche:

/ 1./Aus Metall bestehende Dichtvorrichtimg an einem Hochvakuumverschluss, insbesondere einem Hochvakuumventil, mit einem ersten, eine ringförmige Kante aufweisenden Dichtorgan und einem zweiten, eine längs eines Kreises verlaufende Dichtfläche aufweisenden Dichtorgan, wobei das eine Dichtorgan bezüglich des andern derart beweglich angeordnet ist, dass die ringförmige Kante des ersten Dichtorgans zum Anliegen an die Dichtfläche des zweiten Dichtorgans kommt, dadurch gekennzeichnet,- dass die beiden Dichtorgane aus einem praktisch nichtduktilen Werkstoff bestehen und derart ausgebildet sind, dass eine in Richtung senkrecht zur Ebene des in der Dichtfläche des zweiten Dichtorgans enthaltenen Kreises ausgeübte Schliesskraft eine zu dieser angenähert senkrechte Dichtkraft erzeugt, deren. Grosse ein Mehrfaches der Schliesskraft beträgt und welche die beiden Dichtorgane im Bereich einer ausschliesslich elastischen Verformung ohne Gleitreibung aneinanderdrückt·
2. Dichtvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
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dass das erste Dichtorgan (1) die Form einer ringförmigen Scheibe aufweist, die im Bereich (2) ihres äusseren Umfanges abdichtend festgehalten ist und deren am inneren Umfang befindliche Kante (10) abgerundet ist, und dass das zweite Dichtorgan (12) ein Rotationskörper ist, dessen als Dichtfläche vorgesehener Oberflächenbereich (15) in Richtung der Rotationsachse von dieser einen veränderlichen Abstand aufweist, wobei die Scheibe (1) bezüglich der Dichtfläche (15) des in der Öffnung der Scheibe angeordneten zweiten Dichtorgans (12) eine solche Lage aufweist, dass ihre Kantee (10) beim Anliegen an die Dichtfläche (15) mindestens angenähert senkrecht auf diese drückt.
5. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die ringförmige Scheibe (1) im Bereich (2) ihres äusseren Umfanges eben ist und im übrigen, den inneren Umfang enthaltenden Bereich (5) einen kegelförmigen Verlauf hat.

4-, Dichtvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die am inneren Umfang befindliche Kante (10) der ringförmigen Scheibe (1) eine im Querschnitt halbkreisförmige Abrundung aufweist.

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5. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan (12) als Dichtfläche die Oberfläche (13) einer konkaven Kugelzone aufweist.
6. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan (12) als Dichtfläche die Oberfläche einer konvexen Kugelzone aufweist.
7. Dichtvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan eine* Kugel (18) ist.
8. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan ein Kegelstumpf (28) ist.
9. Dichtvorrichtung nach Anspruch 3 und einem der Ansprüche 5 bis 7» dadurch gekennzeichnet, dass der Radius (EjE¹) der Kugelzone bzw. der Kugel mindestens angenähert gleich dem radialen Abstand der Kante (10) der ringförmigen Scheibe (1) von der Basislinie (16) des kegelförmig verlaufenden Bereichs (3)der Scheibe ist und dass der kegelförmig verlaufende Bereich (3) der Scheibe (1) mit dem ebenen Bereich (2) der Scheibe einen solchen Winkel

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bildet, dass die Mantellinien des kegelförmigen Bereichs (3) mindestens angenähert durch das Zentrum der Kugelzohe bzw. der Kugel gehen.
10. Dichtvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der kegelförmig verlaufende Bereich (3) der Scheibe (1) mit dem ebenen Bereich (2) der Scheibe und die Mantellinien des Kegelstumpfs (28) mit dessen Längsachse solche Winkel bilden, dass die Mantellinien des kegelförmig verlaufenden Bereichs (3) mindestens angenähert senkrecht auf den Mantellinien des Kegelstumpfs (28) stehen.
11. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ringförmige Scheibe (1) im Bereich (2) ihres äusseren Umfangs zwischen zwei Gehäuseteilen (21,22) des Hochvakuumverschlusses dicht eingespannt ist, z.B. mittels eines in mindestens einer der Gehäuseteile eingelegten Dichtringes (6, 7; 26; 27).
12. Dichtvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ringförmige Scheibe (1) im Bereich (2) ihres äusseren Umfanges zwischen einem inneren Absatz eines einteiligen Gehäuses (38) des Hochvakuumverschlusses und einer an einem Deckel (31) des Gehäuses anliegenden Hülse

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(40) dicht eingespannt ist, z.B. mittels eines in den Absatz des Gehäuses (38) eingelegten Dichtringes (39)·
13· DichtVorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan an einer in einem Gehäuse (21,22; 38) des Hochvakuumverschlusses axial bewegbaren Spindel (30) angeordnet ist.
14. Dichtvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Dichtorgan aus einer Titanlegierung, einem hochnickellegierten Stahl oder aus Federst ahl besteht.

15· Dicht vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Dichtorgan aus einem wolfram- und/oder kobaltlegierten Stahl oder aus Hartbronze besteht.

Der Vertreter:

760517

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