DE2606024A1 - Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchen - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchenInfo
- Publication number
- DE2606024A1 DE2606024A1 DE19762606024 DE2606024A DE2606024A1 DE 2606024 A1 DE2606024 A1 DE 2606024A1 DE 19762606024 DE19762606024 DE 19762606024 DE 2606024 A DE2606024 A DE 2606024A DE 2606024 A1 DE2606024 A1 DE 2606024A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- microscope
- photomultiplier
- image
- amplifier
- trigger
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 19
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 2
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 claims description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000013100 final test Methods 0.000 description 1
- ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N gallium;gadolinium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Gd+3] ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH62576A CH593478A5 (https=) | 1976-01-20 | 1976-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2606024A1 true DE2606024A1 (de) | 1977-07-21 |
Family
ID=4191366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19762606024 Pending DE2606024A1 (de) | 1976-01-20 | 1976-02-14 | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchen |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5290266A (https=) |
| CH (1) | CH593478A5 (https=) |
| DE (1) | DE2606024A1 (https=) |
| FR (1) | FR2339167A1 (https=) |
| NL (1) | NL7700025A (https=) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4456374A (en) * | 1981-12-11 | 1984-06-26 | Johnson & Johnson | Detecting the presence or absence of a coating on a substrate |
| DE3422143A1 (de) * | 1984-06-14 | 1985-12-19 | Josef Prof. Dr. Bille | Geraet zur wafer-inspektion |
| US5133019A (en) * | 1987-12-03 | 1992-07-21 | Identigrade | Systems and methods for illuminating and evaluating surfaces |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1498814A1 (de) * | 1963-09-16 | 1969-04-30 | Halbleiterwerk Frankfurt Oder | Verfahren zur Bestimmung der Guete der Struktur von Einkristallen durch lichtoptische Registrierung |
| US3558814A (en) * | 1968-03-08 | 1971-01-26 | Zeiss Stiftung | Method and apparatus for plotting a specific area of an object under an observation instrument |
-
1976
- 1976-01-20 CH CH62576A patent/CH593478A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-02-14 DE DE19762606024 patent/DE2606024A1/de active Pending
-
1977
- 1977-01-04 NL NL7700025A patent/NL7700025A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-01-19 JP JP480577A patent/JPS5290266A/ja active Pending
- 1977-01-20 FR FR7701596A patent/FR2339167A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2339167A1 (fr) | 1977-08-19 |
| NL7700025A (nl) | 1977-07-22 |
| JPS5290266A (en) | 1977-07-29 |
| CH593478A5 (https=) | 1977-11-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3876487T2 (de) | Geraet und verfahren zur detektion und bestaetigung oberflaechenfehler. | |
| EP0095517B1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur automatischen optischen Inspektion | |
| EP0309758B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Feststellen und Auswerten von Oberflächenrissen bei Werkstücken | |
| DE69628240T2 (de) | Verfahren zum Abzählen leicht lumineszierender Teilchen | |
| EP0941600A1 (de) | Einrichtung zur eingabe von informationen | |
| DE1932237B2 (de) | Verfahren und einrichtung zum pruefen eines handgeschriebenen zeichens, insbesondere einer unterschrift | |
| DE3039825A1 (de) | Verfahren und einrichtung zur bestimmung der bewegungsfaehigkeit von spermazellen | |
| DE2558392A1 (de) | Partikelanalysator | |
| DE102016224467A1 (de) | Verfahren zur Erkennung von Defekten und dazugehörige Vorrichtung | |
| DE3505331A1 (de) | Verfahren und geraet zur vermessung des bei der eindringhaertepruefung in einer probe hinterlassenen eindrucks | |
| DE19721313A1 (de) | Proben-KD-Messsystem | |
| DE102007047933B3 (de) | Verfahren zur Inspektion von einer Oberfläche eines Wafers mit Bereichen unterschiedlicher Detektionsempfindlichkeit | |
| EP1850119A1 (de) | Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Inspektion von Oberflächen | |
| DE60313558T2 (de) | Oberflächenuntersuchungsvorrichtung und -verfahren | |
| DE102007039982B3 (de) | Verfahren zur optischen Inspektion und Visualisierung der von scheibenförmigen Objekten gewonnenen optischen Messerwerte | |
| DE19726696A1 (de) | Verfahren zur Fokussierung bei der Abbildung strukturierter Oberflächen von scheibenförmigen Objekten | |
| US4194127A (en) | Process and device for checking substrate wafers | |
| DE10057948A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Benutzerführung in der Rastermikroskopie | |
| DE3732149C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Charakterisieren einer Genauigkeitseigenschaft einer optischen Linse | |
| DE2606024A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von substratplaettchen | |
| DE102008028869A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion eines scheibenförmigen Gegenstandes | |
| DE112012007146T5 (de) | Halbleiterinspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren, das einen geladenen Teilchenstrahl verwendet | |
| DE10331593A1 (de) | Verfahren zur Defektsegmentierung in Strukturen auf Halbleitersubstraten | |
| DE10133846B4 (de) | Messtechnik für optische Proximity-Korrekturserife | |
| DE3237511A1 (de) | Verfahren zur pruefung von glaserzeugnissen |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OHW | Rejection |