DE2558335B2 - Verfahren zum aetzen von oeffnungen in duennen metallbaendern - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Ätzen von öffnungen in dünnen Metallbändern, bei dem das Band auf beiden Seiten mit einer gegen Ätzmittel beständigen Schicht überzogen wird, die mit einem gewünschten Muster von öffnungen versehen ist, wonach eine erste der beiden Seiten des Bandes mit einer ununterbrochenen, ebenfalls gegen Ätzmittel beständigen Deckschicht überzogen und dann das Band Eur Bildung von ersten Ausnehmungen auf der zweiten, nicht mit der genannten Deckschicht überzogenen Seite des Bandes mit einem Ätzmittel behandelt wird, worauf die Deckschicht mit einem Lösungsmittel entfernt und dann das Band zur Bildung von zweiten Ausnehmungen auf der ersten Seite des Bandes mit einem Ätzmittel derart behandelt wird, daß die ersten und zweiten Ausnehmungen ineinander übergehen und öffnungen in dem Band bilden.

Ein derartiges Verfahren ist aus der US-Patentschrift 27 50 524 und aus der DT-OS 16 21 466 bekannt und wird z. B. zur Ätzung von öffnungen in einer Metallfolie verwendet, die zur Herstellung einer Lochmaske für eine Farbfernsehbildröhre Anwendung findet. Um sicherzustellen, daß die öffnungen das gewünschte Profil erhalten, wird bei dem bekannten Verfahren zunächst eine der beiden Seiten des Bandes geätzt, wobei auf der anderen Seite eine Deckschicht angebracht ist, wonach die öffnungen auf der anderen Seite durchgeätzt werden.

Bei dem bekannten Verfahren läßt sich schwer eine geeignete Zusammensetzung für die auf der ersten Seite des Bandes angebrachte Deckschicht sowie für das Lösungsmittel für diese Deckschicht finden. Weder die Deckschicht noch das Lösungsmittel für diese Schicht dürfen nämlich die mit öffnungen versehene, gegen Ätzmittel beständige Schicht angreifen. Die letztere Schicht besteht im allgemeinen aus lichtempfindlichem Fischleim, der vor Belichtung wasserlöslich ist und nach Belichtung und Ausheizung mit Natronlauge entfernt werden kann.

Die Erfindung bezweckt, eine Deckschicht und ein Lösungsmittel für die Deckschicht zu schaffen, die insbesondere in Vereinigung mit einer Fischleimschicht verwendet werden können.

Nach der Erfindung soi! dazu die Deckschicht aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff und das Lösungsmittel aus Perchloräthylen bestehen.

Versuche mit einer Vielzahl von Stoffen für die Deckschicht haben ergeben, daß die optimale Kombination mit einem wachsartigen Kohlenwasserstoff und Perchloräthylen erhalten wird. Dabei war es vor allem wichtig, daß sich die Deckschicht entfernen läßt, ohne daß Reste zurückbleiben, weil sonst eine oder mehrere der öffnungen in dem Muster von öffnungen verstopft werden könnten.

Die Erfindung wird nachstehend für ein Ausführungsbeispiel an Hand der Zeichnung näher erläutert, in der jede der Figuren einen Teil einer Metallfolie in aufeinanderfolgenden Bearbeitungsstufen zeigt.

In F i g. 1 ist die Metallfolie 1 mit zwei Schichten 2 und 3 versehen, die gegen Ätzmittel beständig sind und mit je einem Muster von öffnungen wie 4, 5, 6 und 7 versehen sind. Die öffnungen 4 und 6 liegen, gleich wie die öffnungen 5 und 7, übereinander. Die Schichten 2 und 3 bestehen aus Fischleim, in dem die öffnungen 4,5, 6 und 7 durch ein bekanntes photographisches Verfahren angebracht sind.

In Fig.2 ist die Schicht 2 mit einer Schicht 8 überzogen, die auch die öffnungen 4 und 5 abdeckt. Die Schicht 8 besteht aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff, der die Fischleimschicht 2 nicht angreift, und wird mit Hilfe einer Lösung von 16 kg »Apiezon«- Wachs in 1001 Perchloräthylen angebracht. »Apiezon« ist das Handeiswarenzeichen der Firma Apiezon Products Ltd. in England für wachsartige Kohlenwasserstoffe. Das verwendete Wachs kann z. B. vom Typ »Apiezon W«sem.

Anschließend wird ein Ätzmittel auf die Folie 1 mit den Schichten 2, 3 und 8 gespritzt und werden, wie in

F i g. 3 dargestellt ist, über die öffnungen 6 und 7 in der Schich* 3 in die Folie 11 die Ausnehmungen 9 und IO geätzt. Die Tiefe der Ausnehmungen 9 und 10 ist etwa zwei Drittel der Dicke der etwa 0,150 mm dicken Folie 1.

Dann wird, wie in F i ,g. 4 dargestellt ist, die Schicht 8 von der Schicht 2 und aus den öffnungen 4 und 5 mit Hilfe eines Lösungsmittels entfernt. Dieses Lösungsmittel ist wieder Perchloräthylen, das den wachsartigen Kohlenwasserstoff löst, ohne daß Reste zurückbleiben, aber den Fischleim der Schichten 2 und 3 nicht angreift.

Danach wird die Folie wieder mit dem Ätzmittel bespritzt, wodurch über die öffnungen 4 und 5 die Ausnehmungen 11 und 12 in die Folie geätzt werden, 5$ wie in F i g. 5 dargestellt ist. Die Ausnehmungen 9 und 10 werden dabei außerdem etwas vergrößert. Die Ausnehmungen 11 und 12 münden in die Ausnehmungen 9 bzw. 10.

Nach Entfernung der Schichten 2 und 3 mit Natronlauge ist die Folie dann mit den in Fig.6 gezeigten öffnungen 13 und 14 versehen, die die gewünschte Form aufweisen, z. B. derart, daß sie auf der beim Betrieb einer Maükenröhre von den Elektronenstrahlen getroffenen Seite schmal und auf der Schirmseite der Röhre breit sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Verfahren zum Ätzen von öffnungen in dünnen Meteilbändern, bei dem das Band auf beiden Seiten mit einer gegen das Ätzmittel beständigen Schicht Aberzogen ist, die mit einem gewünschten Muster »on öffnungen versehen ist, wonach eine erste der beiden Seiten des Bandes mit einer ununterbrochenen, ebenfalls gegen das Ätzmittel beständigen Schicht überzogen und dann das Band zur Bildung von ersten Ausnehmungen auf der zweiten, nicht mit «Her genannten Deckschicht überzogenen Seite des Bandes mit einem Ätzmittel behandelt wird, worauf die Deckschicht mit einem Lösungsmittel entfernt und dann das Band zur Bildung von zweiten Ausnehmungen auf der ersten Seite des Bandes mit einem Ätzmittel derart behandelt wird, daß die ersten und zweiten Ausnehmungen ineinander übergehen und öffnungen in dem Band bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem Muster von öffnungen versehenen Schichten (2, 3) aus Fischleim bestehen, die Deckschicht (8) aus einem wachsartigen Kohlenwasserstoff besteht und als Lösungsmittel für die Deckschicht Perchloräthylen verwendet wird.