DE2546331B2 - Messondenvorrichtung zur pruefung von aufgeladenen fotohalbleiterschichten - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßsondenvorrichtun; zur Prüfung von aufgeladenen Fotohalbleiterschichtei mit einer durch einen Antrieb vor einem Fenste rotierbaren, abwechselnd mit durchgehenden Felden und Unterbrechungen ausgeführten Segmentscheibi aus elektrisch leitendem Material.

Fotohalbleiterschichten sind beispielsweise Zink oxydschichten auf Papieren oder Selenschichten au Zylindern. Es sind Kopierverfahren bekannt, dii Zinkoxydpapiere verwenden, auf denen eine Abbildunj erzeugt wird, sowie Übertragungsverfahren, die Selen zylindc verwenden, von denen ein entwickeltes Bild au ein Empfangsblatt übertragen wird.

Die Materialien, die vorstehend angegeben sind, sin< nicht einschränkend, sondern nur beispielsweise ge nannt.

Es ist erforderlich, zur Gewährleistung gleichbleiben der und guter Kopierergebnisse Eigenschaften de Fotohalbleiterschichten zu kontrollieren. Eine solchi Kontrolle wird einerseits dadurch erreicht, daß dii Aufladehöhe, ein Abfall der aufgebrachten elektro-stati sehen Ladungen im Dunkeln in Abhängigkeit von de Zeit und andererseits ein solcher Abfall unte Belichtung mit verschiedenen Lichtquellen gemessei wird. Letzteres gilt als Maß für die Empfindlichkeit de Fotohalbleiterschichten. Die Messung des Abfalls unte Belichtung wirft bei bekannten Vorrichtungen Schwie rigkeiten auf. Beispielsweise sind diese Vorgänge in den Buch »Electrophotography«, R. M. Schaffert, 1966 S. 175 bis 178, sowie auch Apparaturen zur Durchfüh rung der Messung beschrieben.

Bei einer Vorrichtung der eingangs angegebenen Ar wird vor der Fotohalbleiterschicht mit einem gehörigei Abstand eine Sonde in Form einer metallischen Flächt angebracht und die Feldlinien, die von den Ladungei der aufgeladenen Halbleiterschichten auf die metalli sehe Fläche auftreffen, werden in schneller Folgi fortlaufend unterbrochen, indem vor der metallischer Fläche bzw. zwischen dieser Fläche und der Fotohalb leiterschicht eine geerdete Segmentscheibe in Umlau gesetzt bzw. geerdete Schneiden in Vibrationsschwin gungen gebracht werden. Durch solche Unterbrechun gen wird in der metallischen Fläche eine Wechselspan nung erzeugt, die durch Verstärkung und Gleichrich tung in ein Meßsignal umgewandelt wird. Untei Einbeziehung des Abstandes der metallischen Fläche zi den aufgeladenen Fotohalbleiterschichten ergibt sict ein den elektro-statischen Ladungen proportionale: Meßsignal, das durch den Abstand zwischen dei metallischen Fläche und der Fotohalbleiterschich beeinträchtigt sein kann.

Mit dieser Ausführung kann man elektrostatisch« Ladungen an Isolatoren und Fotohalbleitern bzw. auch

den Abfall dieser Ladungen im Dunkeln messen. Für die Aufnahme der Belichtungskurve, d. h. Empfindlichkeit von Fotohalbleitern, ist eine solche Vorrichtung ungeeignet, weil die Undurchsichtigkeit der metallischen Fläche und ihr Abstand von der halbleiterschicht eine gleichzeitige Belichtung ausschließen.

Es ist auch bekannt, die ladungsempfangende Fläche, d. h. die sogenannte Sondenfläche, aus einem teildurchsichtigen Material, insbesondere einem elektrisch leitfähig gemachten Glas, auszuführen. Durch dieses kann zwa.· auch wahlweise eine Belichtung erfolgen; eine solche Belichtung wird jedoch stark beeinträchtigt durch die Eigenschaft der durchscheinenden Sonde, zumal eine solche Sonde nicht die gesamte Lichtmenge in voller spektraler Breite durchläßt. Diese Methode unterliegt daher Beschränkungen.

Aus der »Zeitschrift für angewandte Physik«, X. Band, ,958, Heft 9, S. 419 bis 424, ist eine Prüfapparatur für Fotohalbleiter bekannt, bei welcher eine drehbare Modulationsscheibe in der Ausführung als rotierende Lochscheibe lediglich zur Modulation des Lichtes angeordnet ist, mit dem der Fotohalbleiter belichtet wird. In diesem wird eine frequenzabhängige Signalerzeugung kontrolliert. Dazu sind besondere Schaltungen vorgesehen.

Auch gemäß »Solid-State Electronics«, Vol. 9,1966, S. 303 bis 310, ist eine Segmentscheibe lediglich zur Unterbrechung des auffallenden Lichtes angeordnet. Gleiches gilt für eine Lichtunterbrechungsscheibe gemäß Aufsatz »Electronics and Communica'ion in Japan«, Vol. 53-C, Nr. 10,1970, S. 175 bis 183.

Diese bekannten Scheiben brauchen nicht einmal aus elektrisch leitendem Material zu bestehen, weil lediglich eine Modulation bzw. Unterbrechung des einfallenden Lichtes vorgesehen ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, welche ermöglicht, sowohl den Abfall der Ladungen im Dunkeln zuverlässig zu messen als auch mit den gleichen Mitteln unter Einbeziehung von Lichtquellen den Abfall unter Belichtung mit verschiedenen Lichtquellen zuverlässig festzustellen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Segmentscheibe gegen Masse isoliert gelagert und zur unterbrochenen Aufnahme und Abführung von Meßwerten und als Sondenscheibe mit einem elektrisehen Anschluß zu einem Verstärker und einer Auswerteinrichtung versehen ist, daß vor dem Fenster die aufgeladene Fotohalbleiterschicht angeordnet ist und daß hinter der Sondenscheibe und hinter diesem Fenster eine gerichtete Lichtquelle zur in Abhängigkeit von der Bewegung der Sondenscheibe intermittierenden unmittelbaren Belichtung der Fotohalbleiterschicht vorgesehen ist.

Während bei der oben beschriebenen Vorrichtung von der aus elektrisch leitendem Material bestehenden Segmentscheibe geredet ist und somit Ladungen abführt, sieht die Erfindung vor, daß die Segmentscheibe als Sonde für eine Messung dient und zwei Aufgaben erfüllt, nämlich die einer Unterbrechung der Feldlinien und die eines Empfanges der Feldlinien als Sondenscheibe, wobei die Ausführung der Sondenscheibe selbst als Segmentscheibe die Möglichkeit gibt, ohne Zwischenfügung nachteiliger Materialien auch die Fotohalbleiterschichten praktisch während der Messungen zu belichten. Durch die Erfindung wird erreicht, daß die eigentliche Sonde in unmittelbarer Nähe der aufgeladenen Fotohalbleiterschicht angeordnet werden kann. Der Ausdruck »gerichtete Lichtquelle« bezieht ein, daß gegebenenfalls auch ein Lichikanal mit auswechselbaren Lichtquellen angeordnet ist.

In der Ausführung mit einem Lichtkanal ergibt sich dabei der Vorteil, daß bei der Messung des Abfalls unter Belichtung eine Belichtung dann stattfindet, wenn die Unterbrechungen der Sondenscheibe vor der Halbleiterschicht vorbeigehen. Weil in diesem Zusammenhang kein durchscheinendes Material angeordnet zu sein braucht — und übrigens auch keine anderen beweglichen blinden Elemente, die auch Aufladungen zugänglich sind — wird hierbei die Belichtung in verschiedenen Formen, d. h. entweder mit verschiedenen Lichtquellen oder durch verschiedene, jeweils einschaltbare Filter in vollem Spektrum auf die Fotohalbleiterschicht gebracht. Durch eine solche Meßsondenvorrichtung sind zuverlässige Meßergebnisse in vereinfachter Ausführung erreichbar.

Bevorzugt wird, daß an der vom Fenster abgekehrten Seite der Sondenscheibe eine an Masse liegende Abschirmscheibe aus elektrisch leilendem Maleria) und mit Feldern und Unterbrechungen angeordnet ist, welche zu den entsprechenden Abschnitten der Sondenscheibe ausgerichtet sind. Eine solche Abschirmscheibe hat den Zweck, etwaige, von hinten kommende Aufladungen, die also nicht von der Entladung der Fotohalbleiterschicht stammen, abzufangen. Dadurch wird die Genauigkeit des Meßergebnisses gewährleistet und wesentlich verbessert.

Vorteilhaft sind Sondenscheibe und Abschirmscheibe zueinander fest, aber voneinander isoliert auf der Welle eines Elektromotors angeordnet und die Abschnitte mit Unterbrechungen und geschlossenen Feldern in gleichen Umfangsabschnitten vorgesehen. Beide Scheiben sind eng nebeneinander angeordnet.

Die Anordnung auf der Welle eines Elektromotors verwirklicht eine besonders günstige und raumsparende Ausführungsform. Es bleibt natürlich einbezogen, beide Scheiben schiebeartig anzuordnen und durch einen hin- und hergehenden Antrieb hin- und herzubewegen.

Insbesondere bei der Drehung, wie angegeben, können die abwechselnden Unterbrechungen und Felder in einem Ringscheibenabschnitt ausgebildet sein. Bevorzugt wird aber, daß die Sondenscheibe und Abschirmscheibe als Segmentscheibe ausgeführt sind, die nach außen offene Unterbrechungen aufweisen. Auch hierdurch wird eine verhältnismäßig einfache Ausführungsform geschaffen. Hierbei versteht sich, daß jede Scheibe ein, zwei oder mehr Segmente aufweisen kann, wobei jedoch beide Scheiben gleichförmig ausgebildet sind. Die Anzahl bzw. Verteilung zwischen Segmenten und Unterbrechungen richtet sich auch nach der Antriebsgeschwindigkeit der Scheiben.

Zweckmäßig besteht der elektrische Anschluß aus einer federnd angedrückten Kohlenbürste, die auf eine Erhöhung im Zentrum der drehbaren Sondenscheibe drückt. Hierdurch wird eine einfache Abnahme der empfangenen Energie erreicht.

Vorteilhaft sind in dem Lichtkanal mehrere Filter vorgesehen, die in die Projektion des Fensters einstellbar sind. Dadurch können verschiedene Meßreihen mit einfachen Mitteln ausgeführt sein. Bevorzugt weist dabei ein Filterrad, das von einem Motor antreibbar ist, eine Schrittschalteinrichtung auf, die eine Fortschaltung von Filter zu Filter in bezug zum Fenster bewirkt.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist im Lichtkanal, insbesondere in der von der Sondenscheibe abgelegenen Seite der Filter eine

Lichtquelle angeordnet. Hierbei handelt es sich zweckmäßig um eine stabilisierte Glühlampe.

Einbezogen wird jedoch auch, daß der Uchtkanal durchgeht, d. h. das Gehäuse der Meßsondenvorrichtung durchsetzt und an seiner vom Fenster abgekehrten Öffnung verschiedene Lichtquellen einstellbar vorgesehen sind, beispielsweise Lichtquellen für monochromatisches Licht, UV-Licht oder ein Licht, welches dem im Kopiergerät entsprechenden Licht entspricht.

Die Genauigkeit von Meßergebnissen wird noch dadurch erhöht, daß die Sondenscheibe hinter einer metallischen und an Masse liegenden Abdeckung, in der das Fenster vorgesehen ist, angeordnet ist.

Gemäß einer abgewandelten Ausführungsform mit verschiedenen Filtern hat ein Gehäuse für die Meßsonde im Bereich der Filtcranordnung einen Schlitz, durch welchen wahlweise verschiedene Filter einführbar sind.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen erläutert, die in der Zeichnung dargestellt sind. In dieser zeigt

Fig. 1 eine Seitenansicht einer einfachen Meßsondenvorrichtung teilweise im Schnitt, in prinzipieller Darstellung,

F i g. 2 eine Draufsicht auf die Sondenscheibe,

Fig. 3 eine Seitenansicht einer abgewandelten Ausführungsform einer Meßsondenvorrichtung, ebenfalls im Teilschnitt,

Fig. 4 eine Draufsicht auf ein Einzelteil von Fig. 3 mit schematischer Zuordnung anderer Elemente, wobei dieser Einzelteil ein sogen. Filterrad ist,

F i g. 5 eine Anordnung einer Meßsondenvorrichtung in einer Einrichtung zum Prüfen eines Zylinders in Seitenansicht und teilweise im Schnitt.

In allen Figuren sind gleiche oder sich entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.

Gemäß Fig. 1 hat die Meßsondenvorrichtung ein Gehäuse 1, das zweckmäßig an Masse liegt und in dessen Rückwand 2 die Welle 3 eines Synchron-Elektromotors 4 eingeführt ist. Dieser Motor ist für eine konstante Umdrehungszahl vorgesehen, da diese Voraussetzung für vergleichsfähige Messungen ist. Die Drehzahl dieses Motors ist so gewählt, daß in Abhängigkeit von der Anzahl von geschlossenen Feldern einer noch zu beschreibenden Sondenscheibe 7 mehr als 1500 Impulse je Minute in der Sondenscheibe entstehen.

Das Gehäuse ist an seiner Vorderseite mit einer metallischen, beispielsweise aus Blech bestehenden Abdeckplatte 5 versehen, die ein Fenster 6 exzentrisch zur Achse der Welle 3 aufweist. Das Gehäuse liegt im ganzen an Masse. Vor dem Fenster 6 wird die Probe 61 angeordnet. Diese Probe 61 liegt im nahen Abstand und parallel zum Fenster 6. Sie ist ein Mehrschichtkörper mit leitfähigem Substrat und Fotohalbleiter, der dem Fenster zugekehrt ist.

Auf der Motorwelle 3 ist, von dieser isoliert, eine Sondenscheibe 7 angeordnet, die in der vorteilhaften Ausführungsform als Sektorscheibe ausgeführt ist und zum Umfang hin abwechselnd Unterbrechungen oder geschlossene Felder aufweist. Diese Sondenscheibe besteht aus einem elektrisch leitenden Material, beispielsweise Metall. Sie ist über einen Isolierkörper 8 auf der Welle befestigt.

Beispielsweise ist in F i g. 2 eine solche Sondenscheibe 7 gezeigt. Sie hat im Anschluß an eine Nabe 9 zwei als Sektoren ausgeführte durchgehende Felder 10, 11, die sich jeweils über 90° erstrecken. Es versteht sich, daß auch andere um den Umfang gleichmäßige Unterteilungen in Felder und Unterbrechungen einbezogen werden.

Die Sondenscheibe 7 hat in ihrem mittleren Teil einen elektrischen Anschluß, welcher aus einer federnd angedrückten Kohlenbürste 12 und einer mittleren Erhöhung 13 im Zentrum der Sondenscheibe 7 besteht. Die Kohlenbürste 12 ist an einem Federarm 14 angeordnet, der mit einem Kabel 15 zu einer Verstärker- oder Auswerteinrichtung verbunden ist. Es versteht sich, daß der Federarm durch den Isolierkörper 16 gelrennt von leitenden Elementen des Gehäuses 1 gehalten ist. Der Federarm kann aus Federbronzc bestehen. Die mittlere Erhöhung 13 hat beispielsweise einen Silberbelag.

Wenn über dem Fenster 6 eine in bekannter Weise aufgeladene Schicht aus Fotohalbleitern angeordnet ist, ergeben sich durch die Drehungen der Sondenscheibc 7 und ihre sektorförmige Unterteilung Wechselstrom-Signale, die über das Kabel 15 abgeführt werden. Hierbei ist die geerdete Abdeckplatte 5 von Bedeutung, da sie verhindert, daß etwaige Aufladungen außerhalb des Fensters 6 auf die Sondenscheibe 7 treffen.

In gleicher Weise profiliert wie die Sondenscheibe 7 ist hinter dieser, jedoch von ihr isoliert, auf der Welle 3 eine Abschirmscheibe 17 aus elektrisch leitendem Material angebracht. Diese Abschirmscheibe soll verhindern, daß von der Rückseite, d. h. von der von dem Fenster 6 abgekehrten Seite, Ladungsimpulse auf die Sondenscheibe 7 treffen. Diese Abschirmscheibe 17 ist leitend mit der Welle 3 verbunden. Diese Welle steht über einen zentrischen Kontakt 18 mit Masse in Verbindung, so daß etwaige Aufladungen der Abschirmscheibe abgeführt werden.

Gemäß F i g. 1 ist in der Projektion des Fensters 6 an der vom Fenster abgekehrten Seite der Scheiben 7, 17 ein Lichtkanal 31 vorgesehen, der in der Rückwand 2 des Gehäuses eine öffnung 32 aufweist. An der Außenseite dieser öffnung sind verschiedene Lichtquelle len 34 einstellbar geführt, um sie in Ausrichtung zum Lichtkanal zu bringen und dadurch verschiedene Belichtungsbedingungen einzuführen.

An dem der Sondenscheibe 7 zugekehrten Ende des Belichtungskanals 31 kann zusätzlich ein auswechselbares Filter 20 vorgesehen sein. Eine Auswechslung kann beispielsweise durch einen Filterschlitz 21 im Gehäuse erfolgen, um verschiedene Lichteinwirkungen auf eine Halbleiterschicht über dem Fenster 6 herbeizuführen, wenn unter dem Fenster Unterbrechungen der Scheiben 7, 17 durchgehen. Fig. 1 zeigt die Anordnung lediglich schematisch. Es versteht sich, daß für Filter besondere Führungen angeordnet sind, um ein Filter jeweils an der gezeichneten Stelle zu halten. Solche Filter können auch zweckmäßig sein, wenn verschiedenartige Lichtquellen durch die beschriebene Anordnung untergebracht werden können. Eine Lichtquelle 34 ist in einer Fassung 33 auf einer Konsole 36 angeordnet. Diese Lichtquelle 34 ist gegen andere Lichtquellen auswechselbar.

W) Es wird darauf hingewiesen, daß die Vorrichtung ohne Filter 20 und Lichtquelle schon vorteilhaft arbeiten kann, um den Abfall im Dunkeln zu messen. Die Ausstattung mit dem Filter 20 und wenigstens einer Lichtquelle zeigt, daß auf engstem Raum eine · zusätzliche Ausgestaltung möglich ist, um alle erforderlichen Messungen durchzuführen.

Fig.3 zeigt eine ausführlichere Darstellung einer Meßsondenvorrichtung nach Fig. 1 mit einer weiteren

vorteilhaften Ausgestaltung. Gleiche Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Es ist jedoch auch in Verbindung mit Fig.4 erkennbar, daß mehrere Filter 22, 22', 22" ... auf einem besonderen, im ganzen mit 24 bezeichneten Filterrad angeordnet sind, das verdrehbar auf einem Stutzen 25 gelagert ist, durch den die Welle 3 des Elektromotors 4 geführt ist. Das Filterrad 24 ist mit einem konzentrischen Zahnrad 75 versehen, mit welchem ein Ritzel 26 kämmt, das an einem besonderen Antriebsmotor 27 für das Filterrad 24 angeordnet ist. Das Filterrad hat in radialer Anordnung einen Permanentmagneten 28, dem außerhalb des Filterrades mehrere Reedschalter 29, 23 ... im Gehäuse zugeordnet sind. Die Reedschalter sind so verteilt, daß sie über eine Steuerbaugruppe 30 den Motor 27 schrittweise steuern, so daß immer bei Einschaltung ein weiteres Filter unter das Fenster 6 bewegt wird. Die F i g. 4 zeigt das Filterrad 24 in Draufsicht mit den zugeordneten Reedschaltern.

Die Fig. 3 zeigt eine besonders kompakte Ausführung. Dabei ist in der Projektion des Fensters 6 unterhalb einer öffnung 54 in einer Gehäusewand eine Lichtquelle 19, insbesondere eine stabilisierte Glühlampe angeordnet. Dadurch ergibt sich eine kompakte Ausführung, in welcher insbesondere in Verbindung mit 2^r> dem Filterrad 24 unter Verwendung nur einer Lichtquelle verschiedene Lichtbedingungen hergestellt werden können.

F i g. 5 zeigt eine Anwendung der erfindungsgemäßen Einrichtung zum Prüfen eines Zylinders 37 mit einer so Fotohalbleiterschicht, beispielsweise einer Selenschicht. Auf einer Grundplatte 38 ist ein im ganzen mit 39 bezeichneter Träger für den Zylinder angeordnet. Dieser Träger besteht aus einem Zylinderlager 40, einer unteren auf diesem angeordneten Konusscheibe 41, einem Zahnrad 42 zwischen Zylinderlager 40 und Konusscheibe 41, einer Welle 43 und einer zweiten oberen Konusscheibe 44. Diese Baugruppe ist mittels der Welle 43 in dem Zylinderlager verdrehbar. Die Welle 43 hat oben einen Gewindeabschnitt, mit welchem die zweite Konusscheibe 44 mittels einer Spannmutter 45 zur Einfassung des oberen Endes des Zylinders angebracht werden kann.

Auf der Grundplatte 38 ist ein Antriebsmotor 46 mit einem Antriebsritzel 47 angeordnet, das mit dem Zahnrad 42 kämmt. Axial durch das Zylinderlager und auch die Welle 43 ist ein elektrischer Anschluß 48 eingeführt, welcher an der unteren Konusscheibe 41 abgestützt ist und mit einer Kontaktfeder 49 die Innenwand des Zylinders 37 berührt. Der elektrische Anschluß ist mit einem Umschalter 50 verbunden, der in der gezeigten Stellung mit der an Masse gelegten Grundplatte 38 verbindbar ist, oder aber mit einem Anschluß 51, der mit einer Eichspannungsquelle 52 in Verbindung steht.

Auf der Grundplatte 38 sind um den Umfang verteilt eine Meßsondenvorrichtung gemäß Fig. 1 oder 3, im ganzen mit 53 bezeichnet, eine Aufladeeinrichtung und eine Entladungslampe angeordnet. Alle drei Elemente sind an parallel zur Welle 43 verlaufenden Säulen 56 in der Höhe einstellbar vorgesehen, so daß verschiedene Mantelabschnitte des Zylinders getrennt abgetastet werden können. Dabei sind die Vorrichtungen mit Rastmitteln 57 versehen, die mit Rasten 58 an den Säulen 56 zusammenwirken.

Die Säulen selbst sind in radial zur Welle 43 angeordneten Schienen 59 auf der Grundplatte verschiebbar, wobei der Abstand der geführten Vorrichtungen zur Mantelfläche des Zylinders 37 durch Einstellwellen 60 einstellbar ist.

Die Steuerung erfolgt im Hinblick auf die winkelmäßige Versetzung durch Schalt- und Anschlagnocken. Bei der Durchführung einer Messung wird zunächst der Motor 46 eingeschaltet, so daß der Zylinder angetrieben wird. Mittels einer Aufladeeinrichtung wird der Zylinder aufgeladen. Dann wird der Zy'inderantrieb unterbrochen und eine Messung durchgeführt. Dabei können laufend an einem Schreibgerät über das Kabel 15 Meßwerte abgenommen werden. Nach Ablauf des Zeitglieds wird automatisch z. B. die Belichtungsquelle 19 in der Meßsondenvorrichtung für eine vorbestimmte Zeit eingeschaltet. Nach einer gesteuerten Zeit wird nach Erlöschen der Belichtungslichtqueile die Entladungslampe eingeschaltet, die elektrische Zuleitung zum Motor 46 unter Phasenumkehrung wieder hergestelli und der Rücklauf in die Ausgangsstellung eingeleitet.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen 709 547/4

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Meßsondenvorrichtung zur Prüfung von aufgeladenen Fotohalbleiterschichten mit einer durch einen Antrieb vor einem Fenster baren,

abwechselnd mit durchgehenden Fl η und Unterbrechungen ausgeführten Segment.-.cheibe aus elektrisch leitendem Material, dadurch gekennzeichnet, daß die Segmentscheibe gegen Masse isoliert gelagert und zur unterbrochenen Aufnahme und Abführung von Meßwerten und als Sondenscheibe (7) mit einem elektrischen Anschluß zu einem Verstärker und einer Auswerteinrichtung versehen ist und daß vor dem Fenster (6) die aufgeladene Fotohalbleiterschicht (61) angeordnet ist und daß hinter der Sondenscheibe (7) L-nd hinter diesem Fenster (6) eine gerichtete Lichtquelle (19, 33) zur in Abhängigkeit von der Bewegung der Sondenscheibe (7) intermittierenden unmittelbaren Belichtung der Fotohalbleiterschicht vorgesehen ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Lichtkanal (31) mit auswechselbaren Lichtquellen vorgesehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der vom Fenster (6) abgekehrten Seite der Sondenscheibe (7) eine an Masse liegende Abschirmscheibe (17) aus elektrisch leitendem Material und mit Feldern und Unterbrechungen angeordnet ist, weiche zu den entsprechenden Abschnitten der Sondenscheibe (7) ausgerichtet sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß Soncienscheibe (7) und Abschirmscheibe (17) zueinander fest, aber voneinander isoliert auf der Welle (3) eines Elektromotors (4) angeordnet sind und die Abschnitte mit Unterbrechungen und geschlossenen Feldern in gleichen Umfangsabschnitten vorgesehen sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Sondenscheibe (7) und Abschirmscheibe (17) als Segmentscheibe ausgeführt sind, die nach außen offene Unterbrechungen aufweisen.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrische Anschluß aus einer federnd angedrückten Kohlenbürste (12) besteht, die auf eine Erhöhung (13) im Zentrum der drehbaren Sondenscheibe (7) drückt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Lichtkanal (31) mehrere Filter (20—23) vorgesehen sind, die in die senkrechte Projektion zu dem Fenster (6) einstellbar sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Filterrad (24), das vom Motor (27) antreibbar ist, eine Schrittschalteinrichtung (28—30) aufweist, die eine Fortschaltung von Filter zu Filter in bezug zum Fenster (6) bewirkt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Filterrad (24) ein Magnet (28) vorgesehen ist, welchem an mehreren Umfangsstellen Reedschalter (23, 29) zugeordnet sind, die einen besonderen Motor (27) für das Filterrad schrittweise schalten.

10. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Lichtkanal (31), insbesondere an der von der Sondenscheibe (7) abgelegenen Seite der Filter eine Lichtquelle (19) angeordnet ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sondenscheibe (7) hinter einer metallischen und an Masse liegenden Abdeckung (5 in der das Fenster (6) vorgesehen ist, angeordnet ist.

12. Vorrichtung nach e'nem der Ansprüche 1 bis ( dadurch gekennzeichnet, daß ein Gehäuse (1) für di Sondenscheibe (7) hinter der Sondenscheibe zu Anordnung eines auswechselbaren Filters (20) eine Schlitz (21) aufweist, durch welchen wahlweis verschiedene Filter (20) einführbar sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch ge kennzeichnet, daß verschiedene Lichtquellen (33,34 wahlweise zu dem Lichtkanal (31) einstellbar sind.