DE2544506A1 - Membran-anordnung fuer druckaufnehmer - Google Patents

Membran-anordnung fuer druckaufnehmer

Info

Publication number
DE2544506A1
DE2544506A1 DE19752544506 DE2544506A DE2544506A1 DE 2544506 A1 DE2544506 A1 DE 2544506A1 DE 19752544506 DE19752544506 DE 19752544506 DE 2544506 A DE2544506 A DE 2544506A DE 2544506 A1 DE2544506 A1 DE 2544506A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
membrane
pressure
elastic
arrangement
transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19752544506
Other languages
English (en)
Other versions
DE2544506C3 (de
DE2544506B2 (de
Inventor
H U Dipl Phys Dr S Baumgartner
Hans Conrad Dipl I Sonderegger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kistler Instrumente AG
Original Assignee
Kistler Instrumente AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kistler Instrumente AG filed Critical Kistler Instrumente AG
Publication of DE2544506A1 publication Critical patent/DE2544506A1/de
Publication of DE2544506B2 publication Critical patent/DE2544506B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2544506C3 publication Critical patent/DE2544506C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/008Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J3/00Diaphragms; Bellows; Bellows pistons
    • F16J3/02Diaphragms
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/04Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0047Diaphragm with non uniform thickness, e.g. with grooves, bosses or continuously varying thickness

Description

Anmelder in: Stuttgart, 2. Okt. 1975
Kistler Instrumente AG _.
Eulachstraße 22 V 3092 1^ CH-8408 Winterthur
Membran -Anordnung flir Druckaufhehmer
Der Wichtigste und zugleich der den schwersten Anforderungen ausgesetzte Teil eines Druckauihehmers stellt dessen Membrane dar. Bekanntlich werden Druckaufhehmer zur Messung von Druckveränderungen in Brennkraftmaschinen, Turbinen, hydraulischen und ballistischen Systemen, in Raketen, Explosionsverformungsmaschrnen usw. verwendet. Dabei wirken die gasförmigen oder flüssigen
609820/0677
Medien oft variierend in Τ« mperatur und Druck aus" die Membrane, welche die resultierende Kraft auf ein mechanisch-elektrisches Wandlerelement übertragen muss. Dieses Element kann ein piezoelektrisches, ein induktives, ein widerstand- oder piezoreslstives oder ein kapazitiv wirkendes element sein. Anschhessend an dieses Element folgen, verbunden über Kabelleitung, elektronische Verstärker oder Messbrücken, deren Ausgangssignale Kathodenstrahl-Oszillographen, Magentbandaufnahmegeräten oder elektronischen Schreibgeräten zugeführt werden.
Infolge der oft gleichzeitigen Einwirkung rascher Druck- und TemperaturstÖsse auf die Membrane ist dieselbe bei Dauerbetrieb schwerster mechanischer Beanspruchung ausgesetzt. Zusätzlich treten, durch den Schwefelgehalt der Brennoder Explosivstoffe bedingt, stark korrodierende Gase auf. Durch die Notwendigkeit, dass bei üblichen Ausführungsformen die Membrane mit der Auflagefläche am Wandlerkörper verschweisst werden muss, besteht die zusätzliche Schwierigkeit, dass die Schweisspartie in der Nähe der höchst beanspruchten Stellen der Membrane liegt. Dadurch entstehen Dauerermüdungsbrüche, insbesondere in nächster Umgebung der Schweissstellen, teilweise gefördert durch Rekristallisationserscheinungen. Die„ schockartigen TemperaturstÖsse z.B. bei Ausbreitung der Flammfront in Explosionskammern bewirken interne Wärmedehnungen, die zu Fehlsignalen führen, die sich dem Drucksignal überlagern. Die Konstruktion der Membranpartie eines solchen Drückaufnehmertypes stellt somit vielfältige und schwer in sich zu vereinigende Anforderungen, und dies ist ein Grund, warum bis heute nur unbefriedigende Lösungen gefunden wurden.
809820/0677
Die Erfindung bezweckt einen Druckaufnehmer zu bauen, der stabilen Kalibrationsfaktor besitzt und der erlaubt genaue Messungen über eine lange Zeitperiode durchzuführen. Insbesonder aber soll die erfindungsgemässe Membrane ermöglichen, dass der Druckverlauf ohne Verfälschung durch Temperaturstösse die während des Messvorganges auf die Membranpartie einwirken, gemessen wird. Ferner soll die neue Membrane auch bei Dauerbetrieb infolge Ablagerungen von Verbrennungsrückständen keine Veränderung der Empfindlichkeit des Druckaufnehmers ergeben. Durch die konstruktive Gestaltung der vorgeschlagenen Membrane sind die notwendigen Schweissverbindungen aus den gefährdeten Zonen, wo hohe Wechselbeanspruchungen auftreten, entfernt und in Zonen niedriger Festigkeitsanforderungen verlegt worden, sodass ein Druckaufnehmer entsteht der für Dauerbetrieb unter schwersten Bedingungen geeignet ist.
Der Gegenstand der Erfindung ist anhand folgender Figuren näher erklärt.
Es zeigen.
Fig. 1; Querschnitt durch einen Druckaufhehmer mit erfindungsgemässer
Membra., Anordnung.
Fig. 2: Querschnitt durch handelsübliche Membrananordnung unter Einfluss
eines sehr raschen Temperaturanstieges.
Fig. 3: Querschnitt durch erfindungsgemässe Membran Anordnung unter Einfluss eines
sehr raschen Temperaturanstieges.
Fig. 4; Querschnitt durch erfindungsgemässe Membran Anordnung unter Einfluss eines Mediumdruckes p.
Rg. 5: Querschnitt durch erfindungsgemässe Membran Anordnung unter Einfluss eines Mediumdruckes ρ bei sehr grosser Deformation.
609820/0677
Fig. 6: Querschnitt durch erfindungsgemässe Membrane nach Korrektur des
inneren Wulstschenkels.
Fig. 7: Querschnitt durch erfindungsgemässe Membrane nach Korrektur des
äusseren Wulstschenkets.
Fig. 8: Wandlercharakteristik zu Fig. 6
Fig. 9: Wandlercharakteristik zu Fig. 7
Fig. 10: Querschnitt durch Variante einer erfindungsgemässen Membran Anordnung. Fig. 11: Querschnitt durch eine weitere Variante einer erfindungsgemässen
Membran Anordnung.
Fig. 12: Querschnitt durch eine weitere erfindungsgemässe Membrananordnung
mit auf Zug beanspruchten elastischen Rohrelementen. Fig. 13: Querschnitt durch Variante von Fig. 12, jedoch mit sehr schmalem Aussenringspalt.
Fig. 14: Querschnitt durch Variante von Fig.l , jedoch mit sehr schmalen Ringnuten. Fig. 15: Querschnitt durch erfindungsgemäsie Doppelringwulst Membrananordnung mit sehr schmalen Ringnuten.
Nach Fig. 1 besteht ein erfindungsgemässer Druckaufnehmer aus dem Aufnehmerkörper 1, der mit Dichtflanschen 2 ausgerüstet ist. in der Körperwand 3 ist das Kraftmesselement 6 mit dem Kraftübertragungsstempel 5 über die elastische Spannhülse 8 und dem Montageflansch 9, nach bekanntea Mitteln unter Vorspannung befestigt. Die zentrale Signalableitung 7 führt vom Kraftmesselement 6 zu einem nicht gezeigten Stecker oder wird direkt als Messableitung benutzt. Das Kraft- messelement ό kann ein piezoelektrisches, piezoresistives, ohmsches, kapazitives oder induktives System sein, Bedingung ist der lineare Zusammenhang zwischen
$09820/0677
aufgegebener Kraft und dem Messrgnal und hohe Steifheit in Messrichtung. Dies ist von besonderer Bedeutung bei der Messung sehr hoher dynamischer Drücke in der Ballistik und Sprengstoffchemie. Die in solchen Anwendungen auftretenden Druckimpulse können 100 bis 10Ό00 bar Amplitude erreichen, ihre Dauer beträgt meist nur wenige Millisekunden. Für sehr hohe Druckamplituden wjrd der Druckmesser D] des Kraftübertragungsstempels 5 meist kleiner als derjenige des Kraftmesselementes 6 gewählt. Der Innendurchmesser der Körperwand 3 wird in solchen Fällen ebenfalls eingezogen zum Durchmesser D3 des Auflageflansches 4. Mit der Dimensionierung dieses Flansches kann die Elastizität der ringförmigen Körperwand 3 derjenigen der Kombination Kraftübertragungsstempel 5 - Kraftmesselement 6 weitgehend angepasst werden. Die erfindungsgemässe Membrane 15 besteht aus einem Stück und ist als beidseitig planbearbeitete Platte hergestellt. Sie kann aber auch aus Teilstücken, die nach bekannten Methoden der Verbindungstechnik zu einem StUck geformt werden, hergestellt sein. Sie wird an der ebenfalls in einer Ebene liegenden Membranauflagefläche 14 in bekannter Weise mit Auflageflansch und Kraftübertragungsstempel 5 verbunden. Die zentrale Ringnut U der Membrane 15 passt auf den Ringspalt 19 zwischen KraftUbertragungsstempel 5 und Auflageflansch 4. Die Dicke "h" der Membrane 15 steht in bestimmtem Verhältnis zum Durchmesser D der Körperwand 3 und ist ferner vom Maximaldruck ρ und dam Herstellungsverfahren abhängig. In den Zeichnungen ist ein Verhältnis von etwa 1:5 gewählt, was jedoch nicht bindend ist. Das Hauptmerkmal der erfindungsgemässen Membran Anordnung besteht nun in der Erreichung der nötigen Elastizität be! gleichzeitiger Wahrung der hohen Druckfestigkeit. Diese wird durch entsprechende Gestaltung der äusseren Ringnut 16, der zentralen Ringnut 17 und der inneren Ringnut 18 erreicht« Je nach Dimensionierung dieser 3 erfindungsgemüssen Nuten 16, \7, 18 entsteht eine Ringwulst 21 mit elastischen Rohrelementen 20, deren Dimensionen durch die Wandstärken S] und S2 genau definiert und leicht
609820/0877
reproduzierbar sind. Die erfindungsgemassen 3 Ringnuten können sowohl durch mechanische, chemische, funkenerosionstechnische oder andere Bearbeitungsmethoden hergestellt werden. Je nach der Bearbeitungstiefe t] und t2 der Ringnuten kann die elastische Länge der Ringwulst 20 den jeweiligen Anforderungen angepasst werden.
Weitere Anpassung der Elastizität kann durch Abstimmung der Dicke S] und S2 der elastischen Rohrelemente geschehen. Die Wandstärken S] und S2 müssen nicht auf Fälle gleich gross sein. Bei Verwendung von besonderen Fertigungsrnt-fhoden können diese Ringnuten sehr schnell und tief gestaltet werden.
In Fig. 2 ist eine Membranpartie eines handelsüblichen Druckaufnehmers für ähnliche Zwecke gezeigt. Zwischen dem Aussenrlng 25 und dem zentral Teil ist die ringförmige Plattenmembrane 26 wie üblich parallel zur Membranoberfläche angeordnet. Unter dem Einfluss eines Temperaturstossus At versucht sich nun die Plattenmembrane 26 entgegen dem Messmedium aufzuwerfen, wodurch sich auf den Zentralteil 27 und damit auf das Kraftmesselement eine Entlastungskraft P auswirkt, was dem gleichzeitig auftretenden Drucksignal als Fehler überlagert wird. Der gemessene Druck ist also kleiner als der effektiv aufgetretene. Da solche Verwerfungen unter Umständen sich erheblich länger auswirken als der aufgetretene Druckvorgang, so werden dem Messignal unliebsame Nullpunkts-Drifterscheinungen
Überlagert.
In Fig. 3 ist der gleiche Vorgang wie in Fig. 2, Jedoch an erfindungsgemässer Membran-Anordnung gezeigt. Unter dem Temperaturstoss Ai" verwerfen sich die elastischen Schenkel 30 der Wulst 31 gegen das Messmedium. Die resultierenden
609820/0677
Kräfte P halten sich jedoch im Gleichgewicht, sodass praktisch keine Störkraff in achsialer Richtung auf das Kraftmesselement wirkt. Ein Explosionsvorgang wird somit ohne Fehler durch einen gleichzeitig im Measmedium auftretenden Temperaturanstieg aufgenommen. Die doppeltschenkI ige Anordnung der rohrförmigen elastischen Glieder 3O7 die senkrecht oder nahezu senkrecht zur Membranoberfläche sind, ergibt somit weitgehend Kompensation von Temperatureinflüssen vom Messmedium her.
In Fig. 4 ist eine erfindungsgemässe Membrananordnung unter Einfluss des Mediumsdruckes ρ gezeiyr.Die Längselastizität der Körperwand 43 ist ideal auf Uebertrugungsteil 45 und Kraftmesselement abgestimmt, sodass die Membranauflageflächen 44 in einer Ebene liegen. Als einzige Deformation biegen sich die elastischen Rohrelemente 40 der Wulst 41 gegeneinander etwas ein. Der Mediumdruck ρ wird in die Messkraft P und in die Sfützkraft T aufgeteilt. Ein lineares Verhältnis zv.ischen ρ und P ist gewährt, der Idealzustand erreicht.
In Fig. 5 ist eine Abweichung vom Idealzustand in starker Vergrößerung gezeigt. Die Abstimmung der Elastizitäten des Ringkörper 53 zum Uebertragungsstempel 55 und Kraftmesselement ist so,dass unter Betriebsdruck ρ die Einsenkung f einige pm beträgt. Eine solche Anpassung kann die Wulst 51 mit den elastischen Rohrelementen 50 ohne weiteres übernehmen. Wird diese Einsenkung "P jedoch grosser als z.B. Ϊ0 μιη, so ergibt sich durch die Auslenkung der Wulst 51 eine Verschiebung des relutierenden Auflagepuntkes,waseine Aenderung der linearen
609820/0S77
Bezeichnung zwischen ρ und P ergeben würde. Ein solcher Fehler kann jedoch mit einer am fertig montierten Aufnehmer durchführbaren Korrektur behoben werden, wie in den folgenden Figuren erklärt wird.
In Fig. 6 ist ein weiterer Tel !schnitt einer erfindungsgemässen Membrananordnung gezeigt, die unter Betriebsdruck ρ steht, ohne dass sich in der Membranauflagefläche 64 eine Einseknung ergeben hätte. Durch ungleiche Wanddickengestlatung der elastischen Rohrelemente 60, der Ringwulst 61, ist z.B. der Innenschenkel S4 wesentlich dünner als der Aussenschenkel S3 ausgebildet. Dadurch wird die Ringwulst 61 ganz wenig nach innen verbogen. Diese Veränderung bewirkt eine Verschiebung des Summenkraftvektors Pr von Durchmesser D5 nach innen auf Durchmesser D4. Dies bewirkt, dass die Messkraft P mit zunehmendem Druck ρ degressiv zunimmt.
In Fig. 7 ist die gegenseitige Korrektur wie Fig. 6 gezeigt. Hier wurde der äussere Schenkel der elastischen Rohrelemente 70 wesentlich dünner gestaltet, wodurch sich unter zunehmendem Druck ρ die Ringwulst 71 nach aussen verschiebt, womit der Summenkrafrvektor Pr ebenfalls nach aussen, also von Dz nach Dy verlegt wird. Dies bewirkt, dass die Messkraft P mit Zunehmendem Druck ρ progressiv zunimmt.
In Fig. 8 ist die zu Fig. 6 passende Wandlercharakteristik gezeigt. Korrektur des inneren Ringwulstschenkels bewirkt Verflachung der Kalibrierkurve, also
609820/0677
2544508
Abnahme der Steigung von o<_l auf <2. Die Ordinate E stellt den Wert der Empfindlichkeit dar, z.B. pC/bar oder mV/bar, Jie Abszisse stellt den Druckbereich ρ z.B. in bar dar.
In Fig. 9 ist die zu Fig. 7 passende Wandlercharakteristik gezeigt. Korrektur des äusseren Ringwulstschenkels bewirkt Aufrichtung der Kalibrierkurve d.h. Zunahme der Steigung von 0Cl auf°(.2.
Fig. 10 zeigt eine Variante der Fig. 1, bei der die üblicherweise parallel ausgebildeten elastischen Rohrelemente unter einem Winkel/* stehen. Sonst ist die Ringwulst der Membrananordnung wie in Fig. 1 gestaltet.
Fig. 11 zeigt eine weitere Variante einer erfindungsgemässen Membrananordnung bei der die zentrale Ringnut 112 mit einem Füllkörper so ausgefüllt ist, dass eine unerwünschte Durchbiegung der elastischen Rohrelemente 116 verhindert wird. Um die innere 110 und äussere Ringnut 113 vor dem Ansetzen von Verbrennungsrückständen zu schützen, können dieselben mit eiti-.m elastischen Metall, z.B. Blei oder Zinn oder mit geeignetem Kunststoff etc. ausgefüllt werden. Zusätzlich ist es aber auch möglich die Membranoberfläche mit einer dünnen Metallfolie 114 abzudecken, die direkt auf der Membranplatte oder mittels Ring 115 nach bekannten Methoden mit der Membrane verbunden wird.
Fig. 12 zeigf eine weitere erfindungsgemässe Anordnung, bei der die Membranplatte gegenüber Fig. 1 um 180° verdreht aufmontiert ist. Die Zentralnut öffnet sich damit gegen das Messmedium und die Ringwulst 121 ist nun gegen den Aufnehmer gerichtet. Die bereits beschriebenen Vorteile gelten auch für diese Variante.
609820/0677
-ΙΟ-Fig. 13 zeigt eine crfindungsgemässe Variante von Fig. 12. Die gegen das Medium gerichtete Ringnut 130 der Ringwulst 131 ist hier als dünner Spalt ausgebildet. Herstellung solcher Formen geschieht vorteilhaft mittels chemischer, funkenerosiver oder schweisstechniscrK Gestaltung,wie allgemein bekannt. Solch schmale Nuten sind besonders geeignet zum Ausgiessen mit halbelastischen Massen.
Fig. 14 zeigt eine weitere erfindungsgemässe Variante der Fig. 1. Alle 3 Nuten 141, 142 und 143 si*.J nach erwähnten Spezialverfahren sehr schmal und tief gestaltet. Auch hier können verschiedene Bearbeitunnstechniken eingesetzt werden, um zu einer einstückigen Membranplatte zu kommen.
Fig. 15 zeigt eine weitere Variante einer erfindungsgemässen Membrananordnung, bei der mehrere im gezeigten Fall zwei Ringwulste 150 und 151 nebeneinander angeordnet sind. Eine solche Anordnung ergibt eine besonders grosse Biegeelastizität der Membrane bei hoher Druckfestigkeit. Die .uhr gedrängte öauart mit den schmalen Nuten erlaubt die Anordnung von zwei oder mehreren Ringwu'sten nebeneinander, wiederum nach erwähnten Methoden hergestellt.
609820/0677
Die in den Figuren beschriebene erfindungsgemässe Membrananordnung ergibt neue Möglichkeifen, indem die biegeelastisten Partien nicht mehr wie "is anhin üblich parallel zur Membranoberfläche angeordnet sind, sondern annähernd bzw. rechtwinklig dazu. Durch die Anordnung von mindestsns zwei gegenüberden rohrförmigen elastischen Partien heben sich Temperatureinflüsse von der Mediumseite der Membrane her fast vollständig auf. Durch ungleiche Gestaltung der Dicken der elastischen Rohrelemente lassen sich die Kalibrierkurven der Druckaufnehmer beeinflussen, es ist somit möglich allfällige Korrekturen der Linearität an fertigen Aufnehmern durch schrittweise Nachbearbeitung zu erreichen. Durch Anwendung neuer Bearbeitungstechniken lassen sich schmale υι j t;efe Nuten von beiden Seiten der Membranfläche erzeugen, die genau repetierbar sind und einwandfrei definierte Auflagepunkte auf den Kraftübertragungsflächen haben. Es hat sich gezeigt, dass das Auffüllen der Aussen-Nuten durch Verbrennungsrückstände keine Veränderung der Messresultate ergibt. Andrerseits Ist es ohne Schwierigkeit möglich dies zu verhindern, indem die Nuten ausgegossen werden. Durch die grossen Haftoberflächen besteht geringe Gefahr, dass die Ausgussmassen, seien es Metalle oder kerarnikgebundene Kunststoffe, sich herauslösen. Es ist aber auch ohne weiteres möglich die Membranfront mit einer dünnen Metallfolie, die flach oder leicht gewellt sein kann zu decken. Durch die Anordnung mehrer Ringwulste in Harmoiiikaform kann fast jede gewünschte Elastizität erreicht werden. Die Erfindung ermöglicht somit völlig neue Möglichkeiten, Druckvorgänge hoher Amplituden mit gleichzeitig uuftretenden hohen Temperaturstössen genau und während langer Zeit repefierbar zu messen.
609 820/067

Claims (10)

  1. Patentansprüche
    Membrananordnung für Druckaufnehmer, dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmig gebildete Membrane von beiden Planseiten her mit einer Reihe von Nuten (16), (17), (18), (152), (153), (154), (155), (156) versehen ist, die so angeordnet sind, dass sie auf die Aufnehmerseite angepasst und mindestens eine Ringwulst (21), (150), (-151) bilden, die jeweils mindestens zwei konzentrische elastische Rohrelemente aufweisen, die weitgehend senkrecht zur Membranoberfläche stehen.
  2. 2. Membrananordnung für Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die elastischen Rohrelemente (20), (60), (70) so angeordnet sind, dass sie am fertig montierten Aufnehmer nachbearbeitet werden können, um eine nachträgliche Korrektur der Aufnehmercharakteristik zu ermöglichen.
  3. 3. Membrananordnung für Druckaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2> dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Ringwulst (21), (150), (151) gegen das Druckmedium gerichtet ist.
    609820/0677
  4. 4. Membrananordnung für Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Ringwulst (121) (131) gegen die Aufnehmerseite gerichtet ist.
  5. 5. Membrananordnung für Druckgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dauurch gekennzeichnet/ dass die elastischen Rohrelemente (100) der Ringwulst (101) annähernd parallel unter einem Winkel /2 stehen.
  6. 6. Membrananordnung für Druckgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mind, eine innere Ringnut (112), (156), (154) mit einem schwachelastischen Ausfüllkörper versehen ist, der verhindert, dass die elastischen Rohrelemente (116) unter dem Mediumdruck einknicken.
  7. 7. Membrananordnung für Druckgeber nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die dem Medium zugekehrten Ringnuten (110), (113), (152), (153), (155) mit einer elastischen temperaturfesten Masse vorzugsweise einem elastischen Metall oder einem Kunststoff ausgegossen sind.
  8. 8. Membrananordnung für Druckaufnehmer nach Anspruch 6 oder 7, und 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ausgegossenen Ringnuten (110, (113) mit einer dünnen Metallfolie (114) abgedeckt sind, wobei
    609820/0677
    diese vorzugsweise über einen Ring (115) fest mit der Membrane verbunden ist.
  9. 9. Membrananordnung für Druckaufr- jhmer nach . einem der vorhergehenden Ansprüche.dadurch gekennzeichnet, dass diu Ringnuten nach den Bearbeitungsmövjlichkeiten gestaltet sind, wobei mechanische metaliverformungstechnische, chemische, funkenerosive und auch metallurgische Bearbeitungsmethoden vorgesehen werden, um zur Montage auf den Aufnehmer eine einstückige Membrane zu bekommen.
  10. 10. Membrananordnung für Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, Jadurch gekennzeichnet, dass die Längselastizität des Kraftübertragungsstempels (5) und der Kraftmesszelle (6) mittels Dimensionierung des Auflageflansches (4) auf die Körperwand (3) so abgestimmt ist, dass die Einsenkung (f) des Stempels (5) von der Auflagefläche (14) höchstens 5 μηι beträgt.
    609820/0677
    Leerseite
DE2544506A 1974-11-08 1975-10-04 Membrananordnung für Druckaufnehmer Expired DE2544506C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1496874A CH587478A5 (de) 1974-11-08 1974-11-08

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2544506A1 true DE2544506A1 (de) 1976-05-13
DE2544506B2 DE2544506B2 (de) 1980-06-04
DE2544506C3 DE2544506C3 (de) 1981-02-19

Family

ID=4405271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2544506A Expired DE2544506C3 (de) 1974-11-08 1975-10-04 Membrananordnung für Druckaufnehmer

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4056009A (de)
JP (1) JPS5169744A (de)
AT (1) AT348793B (de)
CH (1) CH587478A5 (de)
DE (1) DE2544506C3 (de)
DK (1) DK143668C (de)
FR (1) FR2290612A1 (de)
GB (1) GB1489962A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003031926A1 (de) * 2001-10-04 2003-04-17 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches bauelement (auf drucksensormembran) mit balgartiger struktur für temperaturbewegungen
AT518650A4 (de) * 2016-06-07 2017-12-15 Piezocryst Advanced Sensorics Piezoelektrischer drucksensor zum messen hoher drücke

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0115908A3 (de) * 1983-01-10 1984-12-05 Automotive Engine Associates Aufnehmer
US4572204A (en) * 1984-03-21 1986-02-25 Hewlett-Packard Company Pressure dome with compliant chamber
US4606228A (en) * 1985-01-07 1986-08-19 General Signal Corporation Diaphragm for transducer measuring low pressure differentials
EP0230491B1 (de) * 1986-01-22 1989-05-03 Kristal Instrumente AG Aufnehmer, insbesondere für Hochdruckmessungen
CH671632A5 (en) * 1986-11-03 1989-09-15 Oerlikon Buehrle Ag Pressure measuring device recording number of weapon shots - has membrane disc supported by spring bellows cooperating with inductive displacement sensor
US4885983A (en) * 1988-05-24 1989-12-12 Zavoda Manufacturing Co., Inc. Self-retaining diaphragm seal
US5536990A (en) * 1991-03-27 1996-07-16 Thiokol Corporation Piezoelectric igniter
AT399588B (de) * 1991-12-16 1995-06-26 Avl Verbrennungskraft Messtech Drucksensor
US6923068B2 (en) * 2003-06-19 2005-08-02 Dynisco, Inc. Pressure transducer
JP3976015B2 (ja) * 2004-02-04 2007-09-12 株式会社デンソー 圧力センサ
DE102008022465A1 (de) * 2007-05-12 2008-11-13 Marquardt Gmbh Sensor
DE102010022428A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Marquardt Mechatronik Gmbh Sensor
EP2891872B1 (de) * 2012-08-29 2020-09-30 Citizen Finedevice Co., Ltd. Verbrennungsdrucksensor
WO2014034641A1 (ja) * 2012-08-30 2014-03-06 シチズンファインテックミヨタ株式会社 圧力検出装置
US20160153443A1 (en) * 2013-10-30 2016-06-02 Lime Instruments, Llc Sensor assembly for measuring dynamic pressure in reciprocating pumps

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2517056A (en) * 1942-06-02 1950-08-01 Trubert Rene Thermostatic mixer
US3079576A (en) * 1961-02-01 1963-02-26 Rosemount Eng Co Ltd Integral strain transducer
US3079953A (en) * 1962-03-19 1963-03-05 Giannini Controls Corp Pressure responsive element
US3335381A (en) * 1965-07-06 1967-08-08 Stratham Instr Inc Duplex flexure for force transducer
US3456509A (en) * 1966-06-20 1969-07-22 Petur Thordarson Pore pressure
US3505875A (en) * 1968-03-14 1970-04-14 Genisco Technology Corp Pressure transducer
US3645139A (en) * 1970-06-04 1972-02-29 John R Z Self-retaining diaphragm seal for recording instrument

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003031926A1 (de) * 2001-10-04 2003-04-17 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches bauelement (auf drucksensormembran) mit balgartiger struktur für temperaturbewegungen
US6840111B2 (en) 2001-10-04 2005-01-11 Robert Bosch Gmbh Micromechanical component and pressure sensor having a component of this type
AT518650A4 (de) * 2016-06-07 2017-12-15 Piezocryst Advanced Sensorics Piezoelektrischer drucksensor zum messen hoher drücke
AT518650B1 (de) * 2016-06-07 2017-12-15 Piezocryst Advanced Sensorics Piezoelektrischer drucksensor zum messen hoher drücke

Also Published As

Publication number Publication date
US4056009A (en) 1977-11-01
JPS5169744A (en) 1976-06-16
CH587478A5 (de) 1977-04-29
GB1489962A (en) 1977-10-26
DK143668C (da) 1982-03-01
DE2544506C3 (de) 1981-02-19
DK143668B (da) 1981-09-21
AT348793B (de) 1979-03-12
DE2544506B2 (de) 1980-06-04
FR2290612A1 (fr) 1976-06-04
ATA764175A (de) 1978-07-15
FR2290612B1 (de) 1981-05-29
DK493175A (da) 1976-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2544506A1 (de) Membran-anordnung fuer druckaufnehmer
DE4419138B4 (de) Hochtemperaturdrucksensor
EP2446239B1 (de) Drucksensormesselement sowie damit versehener drucksensor zur druckerfassung in einem brennraum einer verbrennungskraftmaschine
EP0090872B1 (de) Hochdruckaufnehmer
DE2544505C3 (de) Druckaufnehmer
EP0090871B1 (de) Hochdruckaufnehmer
DE10252023B3 (de) Drucksensor
EP2786108B1 (de) Druckmesseinrichtung mit zusatzmembran
AT504485B1 (de) Piezoelektrischer drucksensor
DE102013101177B4 (de) Brennraumdruckmessgerät
DE102012204414A1 (de) Drucksensor
DE102010037476B4 (de) Druckmessgerät
DE3640511C2 (de)
DE4234289C1 (de) Drucksensor
DE102008043822A1 (de) Verbrennungsdrucksensor für eine Brennkraftmaschine
DE10162044B4 (de) Druckmessaufnehmer
EP3059567A1 (de) Drucksensor mit einer druckraumseitig angebrachten membran und verwendung eines solchen
DE102004063598A1 (de) Drucksensor
DE3239877A1 (de) Vorrichtung zur dehnungsmessung
DE102009025486B4 (de) Drucksensor, Verwendung des Drucksensors sowie Herstellungsverfahren für den Drucksensor
DE2028927C3 (de) Druckmeßwandler
EP0702783A1 (de) Druckgeber zur druckerfassung im brennraum von brennkraftmaschinen
AT523702B1 (de) Kraftmessdose
DE918597C (de) Piezoelektrischer Druckindikator
DE1260194B (de) Vorrichtung zum Messen von Drucklasten

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee