DE2542849B2 - Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes - Google Patents
Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten SchwingantriebesInfo
- Publication number
- DE2542849B2 DE2542849B2 DE19752542849 DE2542849A DE2542849B2 DE 2542849 B2 DE2542849 B2 DE 2542849B2 DE 19752542849 DE19752542849 DE 19752542849 DE 2542849 A DE2542849 A DE 2542849A DE 2542849 B2 DE2542849 B2 DE 2542849B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- frequency
- excitation
- drive
- vibratory drive
- deflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
- B06B1/0223—Driving circuits for generating signals continuous in time
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
- B06B2201/40—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups with testing, calibrating, safety devices, built-in protection, construction details
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
- B06B2201/50—Application to a particular transducer type
- B06B2201/55—Piezoelectric transducer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes, wie er
im Oberbegriff der Patentansprüche 1 bzw. 2 angegeben ist.
Aus der DE-AS 16 22128 ist ein piezoelektrisch erregter Schwingantrieb bekannt, der von einer von
einem Oszillator erzeugten Wechselspannung angeregt wird. Dabei ist der Oszillator mit dem Schwingungsantrieb
in Rückkopplung verbunden, womit sich bei Belastungsänderungen zwangsläufig eine Frequenzänderung
des Oszillators ergibt. Bei diesem bekannten Schwingantrieb soll die Oszillatorfrequenz größer als
die Antiresonanzfrequenz des Schwingantriebs sein.
Aus dem Stand der Technik, z. B. aus der DE-OS 45 108 oder DE-AS 20 32 433 sind eine Vielzahl von
Biege-Schwingantrieben mit piezoelektrischer Wechselspannungsanregung bekannt. Probleme ergeben sich
bei diesen Schwingantrieben insbesondere dann, wenn wechselnde Belastung vorliegt, wobei speziell bei
Leerlauf die Gefahr einer zu großen Leerlauf-Schwingungsamplitude besteht, die dann zu mechanischer
Zerstörung des Schwingantriebes führen kann. Andererseits wird jedoch angestrebt, bei Belastung
möglichst viel Antriebsleistung aus der piezoelektrischen Anregung zu erhalten, so daß man bestrebt ist, mit
maximal möglicher elektrischer Schwingungsanregung zu arbeiten, d. h. so viel elektrische Spannungsamplitude
anzulegen, wie mit Rücksicht auf elektrischen Durchschlag und Depolarisationseffekte der Keramik zulässig
ist Es ist dort angegeben, die Resonanzfrequenz des schwingfähigen Gebildes höher als die Frequenz der
anregenden Wechselspannung zu wählen.
Zur Lösung des voranstehenden Problems ist bereits in der DE-OS 22 11 750 der Weg beschritten worden, der Schwingungsauslenkung entgegenwirkende progressive Federn vorzugsehen, mit denen eine zu große Schwingungsamplitude abgefangen werden kann, ohne
Zur Lösung des voranstehenden Problems ist bereits in der DE-OS 22 11 750 der Weg beschritten worden, der Schwingungsauslenkung entgegenwirkende progressive Federn vorzugsehen, mit denen eine zu große Schwingungsamplitude abgefangen werden kann, ohne
ίο daß eine Zerstörung des Schwingantriebes erfolgt.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, für einen piezoelektrischen Schwingantrieb mit Biegelamellen ein
solches Betriebsverfahren anzugeben, das gewährleistet, daß dieser Schwingantrieb bei allen in Frage
kommenden Betriebszuständen, insbesondere im Leerlauf keine mechanische Zerstörung erleidet.
Diese Aufgabe wird mit einem wie im Oberbegriff der Patentansprüche angegebenen Verfahren gelöst, wie
dies im Kennzeichen des Patentanspruches 1 oder alternativ im Kennzeichen des Anspruches 2 angegeben
ist.
Mit der Erfindung ist der Weg beschritten worden, eine optimale Betriebsweise des Schwingantriebes zur
Lösung des oben dargelegten Problems zu nutzen. Die in den Ansprüchen 1 und 2 dargelegten Lösungen
betreffen je eine Bemessungsregei, der ein und dasselbe erfindungsgemäße Prinzip zugrunde liegt. Im Anspruch
1 ist angegeben, wie der Wert der als veränderbar angenommenen Anregungsfrequenz bei vorgegebenem
mechanischen Resonanzfrequenzwert des Schwingantriebes zu bemessen ist. Für die Lehre des Anspruches 2
ist davon ausgegangen worden, daß die Frequenz der elektrischen Wechselspannungsanregung festliegt, z. B.
die Netzfrequenz ist, und der mechanische Resonanzfrequenzwert des betreffenden Schwingantriebes danach
erfindungsgemäß bemessen wird.
Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß zwischen der Frequenz der elektrischen Anregungswechselspannung
und dem mechanischen Resonanzfrequenzwert des Schwingantriebes eine Beziehung besteht, die sich sehr vorteilhaft für optimalen Betrieb
ausnutzen läßt, so daß das zur Aufgabe gestellte Problem sogar ohne mechanische Zusatzvorrichtungen
zu lösen ist. Entsprechend der erfindungsgemäßen Bemessung liegt die Anregungsfrequenz immer oberhalb
des Resonanzfrequenzwertes für maximal zulässige Auslenkung, d. h. für den Großsignal-Resonanzfrequenzwert.
Ausgehend von einer vorgegebenen Amplitude der Betriebs-Anregungswechselspannung, wobei
diese Amplitude einerseits die verfügbare Spannung, andererseits die mit Rücksicht auf Depolarisationseffekt
und/oder elektrischen Durchbruch maximal zulässige Spannung sein kann, wird durch die erfindungsgemäße
Wahl des Frequenzabstandes der Anregungsfrequenz von dem Großsignal-Resonanzfrequenzwert erreicht,
daß der variabler Last unterliegende Schwingantrieb mit derjenigen Anregungsfrequenz zu erzwungenen
Schwingungen angeregt wird, bei der bei Leerlauf, d. h. bei Wegfall einer Belastung, nur die maximal zulässige
Schwingungsamplitude, d. h. keine Schwingungsamplitude mit zerstörender Wirkung, bei diesem Antrieb
auftreten kann.
Bei der Erfindung sind die Erkenntnisse ausgewertet, daß eine erzwungene Anregung oberhalb der Eigenresonanz
für Großsignal des Schwingantriebes wesentlich günstiger ist. Dabei ist die festgestellt Nichtlinearität der
Eigenresonanz in Abhängigkeit von der erzwungenen Auslenkung, d. h. von der Signalgröße, besonders
vorteilhaft ausgenutzt
Fig. 1 zeigt in einem Schaubild eine als Kurve 1 dargestellte Abhängigkeit einer auf der Ordinate 2
aufgetragenen Resonanzfrequenz über der zugehörigen, als Abszisse 3 aufgetragenen Auslenkung des
Schwingantriebes.
F i g. 2 zeigt schematisch einen an sich bekannten Biege-Schwingantrieb, auf den die Erfindung anwendbar
ist
Aus der Kurve 1 der F i g. 1 ist ersichtlich, daß für kleine Auslenkung der höchste Resonanzfrequenzwert
vorliegt, der zudem noch bei kleiner Auslenkung von dieser praktisch unabhängig ist. Dieser Resonanzfrequenzwert
wird als K'einsignal-Resonanzfrequenz bezeichnet.
Bei größerer Auslenkung des der Kurve 1 zugrunde gelegten Schwingantriebes stellt man ein
Absinken des Wertes der Resonanzfrequenz fest, wobei 4 der Großsignal-Resonanzfrequenzwert ist, der für die
maximal zulässige Auslenkung 5 des Schwingantriebes gilt. Mit 6 ist in dem Schaubild ein Fr^quenzwert
bezeichnet, der den erfindungsgemäß vorgesehenen
Frequenzabstand von dem Resonanzfrequenzwert 4 hat, wobei im Betrieb die Anregung bei diesem
Frequenzwert 6 mit der wie oben erläuterten vorgegebenen Spannungsamplitude erfolgt.
Eine wie im Schaubild der F i g. 1 angegebene Kurve 1 läßt sich in folgender Weise ermitteln: Ein in der Art
seines Aufbaues vorgegebener Schwingantrieb, wie er z. B. aus der F i g. 2 hervorgeht und wie er beispielsweise
in der Offenlegungsschrift 20 45 108 bis ins einzelne beschrieben ist, wird gemäß einer Möglichkeit mechanisch,
d. h. nicht elektrisch, angeregt, was z. B. auf einem Rütteltisch erfolgen kann. Die Anregung erfolgt für die
einzelnen Meßpunkte der Kurve 1 mit von Punkt zu Punkt unterschiedlich hoher mechanischer Anregungsamplitude (des Rütteltisches), wobei die Frequenz der
Anregung kontinuierlich variiert wird. Für eine vorgegebene Anregungsamplitude ergibt sich jeweils für
einen Frequenzwert eine maximale Auslenkung des mechanisch angeregten Schwingantriebes, wobei der
Zustand dieser maximalen Auslenkung anzeigt, daß bei dieser Anregungsfrequenz und dieser Auslenkung der
Resonanzfrequenzwert des Schwingantriebes vorliegt. Durch unterschiedliche Anregungsamplitude und durch
Frequenzveränderung läßt sich so die Kurve 1 Punkt für Punkt experimentell bestimmen.
Dieselbe Kurve 1 läßt sich auch durch elektrische Anregung — anstelle der vorangehend beschriebenen
mechanischen Anregung — ermitteln, nämlich indem man eine Anregungs-Wechselspannungsamplitude unterschiedlicher
Höhe, und zwar zum Erreichen verschieden großer Auslenkung des Schwingantriebes und
veränderbarer Frequenz, an den Schwingantrieb anlegt. Auch hier ergibt sich für jeden Punkt der Kurve t ein
Resonanzfrequenzwert für die jeweilige erreichte Auslenkung des Schwingantriebes.
Es ist bereits auf den Begriff »Schwingungsmodus« hingewiesen worden. Ein Schwingantrieb kann sowohl
in seiner Grundresonanz als auch in Oberschwingungsformen angeregt werden. Welche Schwingungsform im
einzelnen gewünscht ist, hängt vom jeweiligen Anwendungsfall bzw. vom bestimmungsgemäßen Gebrauch
des Schwingantriebes ab. Die Erfindung gilt sowohl für einen Betrieb des Schwingantriebes im Grundschwingungsmodus
als auch in einem vorgegebenen anderen Schwingungsmodus.
Unter Ausnutzung der vorstehenden erläuterten Erkenntnis geht man in der Praxis für den Fall, daß der
Frequenzwert der Anregungs-Wechselspannung frei wählbar ist (ein solcher Fall liegt z. B. bei Erzeugung der
Wechselspannung aus Gleichstrom-Batterien vor), vorteilhafterweise so vor, daß man bei einem Schwingantrieb
der vorgesehenen Bauforrn, d. h. bei einem Schwingantrieb, bei dem die Resonanzfrequenzwerte
durch die geometrischen Abmessungen festliegen, eine Wechselspannungs-Anregung mit der für den praktischen
Betrieb vorgesehen bzw. vorgegebenen Spannungsamplitude durchführt, jedoch bei diesem Versuch
von einem mit Sicherheit zu hohen Frequenzwen der Wechselspannung ausgeht, der z. B. der Kleinsignal-Resonanzfrequenzwert
ist. Dieser Versuch wird mit Leerlauf, d. h. ohne Belastung des Schwingantriebes,
durchgeführt. Während dieses Versuches verringert man die Anregungsfrequenz, womit eine Annäherung
an den Großsignal-Resonanzfrequenzwert erfolgt. Bei der am Schwingantrieb anliegenden vorgegebenen
Spannungsamplitude und bei Leerlauf des Schwingantriebes ergibt sich bei einem dem Großsignal-Resonanzfrequenzwert
angenäherten Frequenzwert eine Auslenkung des Schwingantriebes, die der Größe der bereits
oben erörterten maxima! zulässigen Auslenkung gleich ist. Der Abstand dieses Frequenzwertes von dem
Großsignal-Resonanzfrequenzwert ist der erfindungsgemäß vorgesehene Frequenzabstand für den praktischen
Betrieb des Schwingantriebes dieser Bauform (für den betreffenden Schwingungsmodus). Für den Fall, daß
die Frequenz der Anregungs-Wechselspannung vorgegeben ist, z. B. die Netzfrequenz ist, geht man prinzipiell
genauso vor wie voranstehend beschrieben, nämlich daß man den erfindungsgemäßen Frequenzabstand bei
einem Muster der vorgesehenen Bauform feststellt. Im allgemeinen Falle wird jedoch der ermittelte Frequenzwert,
bei dem bei vorgegebener Anregungsamplitude maximale Leerlauf-Auslenkung erreicht ist, von dem
vorgegebenen Frequenzwert der zur Verfügung stehenden Anregungsspannung verschieden sein. Die Frequenzabweichung
wird einen bestimmten Prozentsatz betragen. Das Maß des Frequenzabstandes ist aber in
nicht zu weiten Grenzen unabhängig vom jeweils erreichten Frequenzwert und im wesentlichen nur
abhängig von der Bauform. In weiteren Grenzen ändert sich der Wert des Frequenzabstandes proportional dem
relativen Unterschied zwischen dem ermittelten Frequenzwert und der vorgegebenen Frequenz der
Anregungsspannung. Ausgehend von dem ermittelten Maß des Frequenzabstandes werden dann einige oder
mehrere für die vorgesehene Bauform frequenzbestimmende Abmessungen so verändert, daß der Großsignal-Resonanzfrequenzwert
derart verändert ist, daß für diese Bauform in der abgeänderten Bemessung der erfindungsgemäß für den Betrieb mit vorgegebener
Anregungsamplitude vorgesehene Frequenzwert, bei dem dann bei dieser vorgegebenen Anregungsamplitude
und Leerlauf-Betrieb sich, wie dies die Erfindung vorsieht, höchstens die maximale Auslenkung einstellt,
genau auf dem Frequenzwert der zur Verfugung stehenden Spannung, die insbesondere die Netzfre-
bo quenz ist, liegt.
F i g. 2 zeigt einen, wie oben bereits erwähnten, bekannten Schwingantrieb für ein anzutreibendes
Element 41. Dieser Antrieb hat Biegestreifen 42, die mit piezoKeramischen Belegungen 46 und mit Elektroden 47
b'i bzw. 147 und 48 versehen sind. Im Falle dieses Beispiels
ist zwischen den piezoelektrisch aktiven Belegungen 46 ein zugehöriger Trägerstreifen 45 eingefügt, d«r z. B.
aus einem federelastischen Material besteht. Die
Biegestreifen 42 sind in einem vorzugsweise feststehenden Sockel 44 eingesetzt, z. B. eingeklemmt. Beim
dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Biegestreifen 42 auch am anderen (oberen) Ende fest eingeklemmt, so
daß sich für die Biegestreifen 42 im Betrieb eine ebenfalls an sich bekannte S-förmige Auslenkung
ergibt.
Für einen wie in F i g. 2 als Anwendungsbeispiel für die vorliegende Erfindung angegebenen Schwingantrieb
beträgt die maximal zulässige Auslenkung des Elementes 41 gegenüber dem Sockel 44 in den
Richtungen 43 aus der mittleren Ruhelage heraus bei 70 mm freier Länge der Biegestreifen 42 etwa 6 mm. Bei
einer solchen Auslenkung besteht Gewähr dafür, daß keinerlei mechanische Beschädigung der piezokeramischen
Belegungen 46 bei Ausführung der Biegebewegungen auftritt. Für ein Muster dieser Ausführungsform
mit Biegestreifen 42, auf denen sich beiderseits piezokeramische Belegungen 46 mit jeweils einer Dicke
von ca. 0,25 mm befinden, ist beispielsweise eine Großsignal-Resonanzfrequenz, nämlich für die Auslenkung
mit 6 mm, festgestellt worden, die 54 Hz beträgt.
Ein Schwingantrieb dieses Muster soll mit einei Betriebsspannung von 110 Vc//betrieben werden. Ge
maß der erfindungsgemäßen Bemessung des zi wählenden Frequenzabstandes ergibt sich hierfür eir
Wert von 4 Hz, d. h. die Betriebsspannung müßte ein« Frequenz von 58 Hz haben, damit der Schwingantrieb
der die Großsignal-Resonanzfrequenz 54 Hz hat, be dieser Anregungsspannung mit 110 Verr mit 58 Hz irr
Leerlauf eine Auslenkung von höchstens 6 mm hat. Be
ίο Belastung, nämlich kleinerer Auslenkung des Schwingantriebes,
nähert sich dessen Resonanzfrequenz an der Frequenzwert der Anregungsspannung. Wenn eir
solcher Schwingantrieb mit Netzspannung mit 50 Hs betrieben werden soll, ist der Schwingantrieb bezüglich
seines Resonanzfrequenzwertes dann so abzuändern daß die Großsignal-Resonanzfrequenz bei 46 Hz liegt
d.h. der Schwingantrieb auf diesen Frequenzwerl abgestimmt ist. Bei einer Anregung mit 110VeffUnd
50 Hz Frequenz ergibt sich dann für einen se abgestimmten Schwingantrieb bei Leerlauf wiederum
eine maximale Auslenkung von höchstens 6 mm.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Verfahren ssum Betrieb eines piezoelektrisch erregten, in seinen Abmessungen vorgegebenen
Schwingantriebs für variable Last, eingeschlossen Leerlaufbetrieb, mit in einem Schwingungsmodus
erfolgender Wechselspannungsanregung vorgegebener Spannungsamplitude mit einer gegenüber
einer Resonanzfrequenz des Antriebs erhöhten Frequenz, dadurch gekennzeichnet, daß
für einen Antrieb mit piezoelektrischen Biegeelement für die Anregungsfrequenz ein beizubehaltender
Wert gewählt wird, der in einem solchen Frequenzabstand oberhalb des Resonanz-Eigenfrequenzwertes
für maximal zulässige Auslenkung dieses Schwingantriebs in diesem Schwingungsmodus
liegt, daß sich bei Wechselspannungsanregung mit dieser Anregungsfrequenz bei Leerlauf nur
maximal zulässige Auslenkung einstellt.
2. Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes für variable Last, eingeschlossen
Leerlaufbetrieb, mit in einem Schwingungsmodus erfolgender Wechselspannungsanregung
vorgegebener Spannungsamplitude und gegenüber einer Resonanzfrequenz des Antriebs
erhöhter vorgegebener Anregungsfrequenz, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingantrieb mit
piezoelektrischem Biegeelement in bezug auf den gewählten Schwingungsmodus so bemessen wird,
daß der für maximal zulässige Auslenkung geltende Resonanzfrequenzwert dieses Schwingantriebes in
einem solchen Abstand unterhalb der fest vorgegebenen beizubehaltenden Anregungsfrequenz liegt,
daß sich bei Wechselspannungsanregung mit dieser Anregungsfrequenz bei Leerlauf maximal zulässige
Auslenkung einstellt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752542849 DE2542849C3 (de) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19752542849 DE2542849C3 (de) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2542849A1 DE2542849A1 (de) | 1977-03-31 |
DE2542849B2 true DE2542849B2 (de) | 1978-10-12 |
DE2542849C3 DE2542849C3 (de) | 1979-06-13 |
Family
ID=5957435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752542849 Expired DE2542849C3 (de) | 1975-09-25 | 1975-09-25 | Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2542849C3 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6160245A (en) * | 1999-05-19 | 2000-12-12 | Maytag Corporation | Variable volume signaling device for an appliance |
-
1975
- 1975-09-25 DE DE19752542849 patent/DE2542849C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2542849A1 (de) | 1977-03-31 |
DE2542849C3 (de) | 1979-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2727858A1 (de) | Elektrische entstaubungsvorrichtung | |
EP3123534B1 (de) | Ultraschallmotor | |
DE2109063B2 (de) | Piezoelektrischer Antrieb | |
DE102013110356B4 (de) | Ultraschallaktor | |
DE1591330A1 (de) | Keramischer Resonator | |
DE2542849C3 (de) | Verfahren zum Betrieb eines piezoelektrisch erregten Schwingantriebes | |
WO2017129415A1 (de) | Verfahren zur anregung von piezoelektrischen wandlern und schallerzeugungsanordnung | |
DE102013101020B4 (de) | Ultraschallaktor und Ultraschallmotor mit einem solchen Ultraschallaktor | |
DE1260650B (de) | Elektromechanisches Filter | |
DE102013203836A1 (de) | Piezoelektrisches Ultraschall-Vibrationselement | |
DE2107590A1 (de) | Piezoelektrischer Motor | |
DE2613614C3 (de) | Ultraschall-Schwinger, geeignet zur Flüssigkeitszerstäubung | |
DE2143103C3 (de) | ||
DE509162C (de) | Piezoelektrischer Kristall | |
DE2410800A1 (de) | Trockenrasierapparat | |
DE2537772A1 (de) | Ultraschallschwinger | |
DE2238729C3 (de) | In einem elektrischen Uhrwerk als Zeitbasis dienender mechanischer Resonator | |
DE3423492C2 (de) | ||
DE2329502A1 (de) | Zahnsteinentferner | |
DE1416034C (de) | Piezoelektrisches Schaltelement | |
DE1797138C3 (de) | Mechanischer Biegeschwinger | |
WO2023020657A1 (de) | Aktuator | |
DE2032433C3 (de) | Piezoelektrisches Schwingsystem, insbesondere für Flüssigkeitszerstäubung | |
DE2257743C3 (de) | Elektrostatischer Oszillator | |
DE2205160C3 (de) | Piezoelektrischer Längsdehnungsschwinger |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
EHJ | Ceased/non-payment of the annual fee |