DE2527223C2 - Abtastgitter für einen Schärfedetektor - Google Patents
Abtastgitter für einen SchärfedetektorInfo
- Publication number
- DE2527223C2 DE2527223C2 DE2527223A DE2527223A DE2527223C2 DE 2527223 C2 DE2527223 C2 DE 2527223C2 DE 2527223 A DE2527223 A DE 2527223A DE 2527223 A DE2527223 A DE 2527223A DE 2527223 C2 DE2527223 C2 DE 2527223C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light
- grid
- scanning
- dark
- fur
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
- G02B7/365—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals by analysis of the spatial frequency components of the image
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/04—Prisms
- G02B5/045—Prism arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
3 4
Aperturteile nicht immer gleichzeitig erfolgt. Führt man Verlust an Gesamtdurchlässigkeit sich im wesentlichen
dagegen das Hell-Dunkel-üitter ein, was einer Abdek- auf eine Verringerung der dritten Oberwelle, die ohne-
kung der Spitzen und Täler des Furchenrasters gleich- dies nicht nutzbar ist, auswirkt Es läßt sich zeigen, daß
kommt, so verliert man zwar eine gewisse Lichtmenge, bei kleinen Stegbreiten die Grundwelle des Ortsfre-
erreicht damit aber, daß, wenn auf die Ebene der Abdek- 5 quenzfilters nicht um den oben errechneten Faktor p,
kung fokussiert wird, die aus unterschiedlichen Apertur- sondern nur um etwa 1,25 - p2 geschwächt wird, das sind
bereichen gewonnenen Signale stets gleich und in Phase im genannten Beispiel 2%.
sind. Das Furchenraster in den Fig. 1 und 2 entwirft in
Bei der Ausführungsform der F i g. 1 müssen Abdek- Verbindung mit einer Feldlinse zwei Bilder der Auskungen
sowohl für die Furchenspitzen als auch das Fur- ίο trittsapertur des Objektivs, wobei diese Aperturabbilchental
vorgesehen werden, deren Breite von der Dicke düngen in x-Richtung hintereinander liegen. Es ist jedes
Furchenrasters abhängt, die nicht beliebig klein ge- doch auch möglich, diese beiden Bilder — in x-Richtung
macht werden kann. gesehen — nebeneinander, also in y-Richtung hinterein-
Dieser Nachteil wird bei der Ausführungsform der ander anzuordnen. Dies ist besonders interessant dann,
F i g. 2 vermieden. Bei dieser Ausführungsform ist das 15 wenn die Apertur in Λτ-Richtung groß gemacht werden
Hell-Dunkel-Gitter 3 auf einem besonderen Gitterträ- muß und die Eintrittspupille nicht kreisförmig sein muß
ger 4 angeordnet, und die Spitzen des Furchenrasters 5 oder kann.
liegen in der gezeigten Weise jeweils in der Mitte zwi- F i g. 4 zeigt in perspektivischer Skizze das Objektiv
sehen zwei Gitterstegen auf dem Gitterträger 4 auf. 41, das Abtastgitter 42, die Feldlinse 43, die Auffangflä-
Wenn man den Aperturgesamtwinkel mit χ bezeich- 20 ehe 44 mit den beiden Abbildungen der Apertur 45,46
net, dann ist des Objektivs, wobei innerhalb von 45 und 46 je zwei
Fotoempfänger 47,48 bzw. 49,50 angeordnet sind. Die
1 Auspaltung in die beiden Pupillenbilder 45,46 in y-Rich-
tg oc = -j£, tung wjrcj besorgt durch sägezahnförmige Prismenstrei-
25 fen nach F i g. 5, die mit Plus und Minus bezeichnet sind
worin K die Blendenzahl ist Wenn man weiter voraus- und die jeweils den Schlitzen Plus bzw. Minus in Fi g. 3
setzt, daß die beiden Blendenbilder des Objektivs, die nachgeschaltet sind.
durch je eine nicht dargestellte Feldlinse von der Objek-
tivblende entworfen werden, unmittelbar einander be- Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
rühren dürfen, so müssen die beiden Ablenkwinkel min- 30
destens +«12 und somit die Keilwinkel mindesten^ χ
betragen. Die Furchenrasterhöhe ist damit
destens +«12 und somit die Keilwinkel mindesten^ χ
betragen. Die Furchenrasterhöhe ist damit
h>tgx-4-,
worin g die Gitterkonstante ist Die Breite b des Gittersteges
muß, um die Verwirrungszone auszuschließen,
sein
sein
b > h ■ tg χ
und somit
und somit
b ^ -|- · tg2 χ.
Somit beträgt der Abdeckfaktor
b ^ 1 x , 50
Nimmt man beispielsweise eine Blendenzahl K=2 an,
so ergibt sich ein Abdeckfaktor von 12,5%.
so ergibt sich ein Abdeckfaktor von 12,5%.
Dieser Abdeckfaktor besagt jedoch nicht, daß die Si- 55
gnalamplitude um diesen Prozentsatz verringert wird.
Dies wird deutlich anhand der Fig.3; dort ist eine
Draufsicht auf das Hell-Dunkel-Gitter 2 aus F i g. 1 dargestellt und darüber der Trarismissionsver'iauf des Gitters in x-Richtung. Der negative Transmissionsgrad ω
deutet an, daß die Lichtströme, die durch jeden zweiten
Schlitz der Gittermaske 2 hindurchtreten, elektrisch mit
umgekehrten Vorzeichen verarbeitet werden. Durch die
erfindungsgemäße Einführung der Stege 22,23,24 usw.
erhält der Rechteckverlauf der Transmissionskurve Zo- 65
nen 33, 34, 35 usw. mit dem Transmissionsgrad Null.
Man erkennt, daß ein solcher Verlauf einer Sinuskurve
näherkommt als eine reine Rechteckwelle und daß der
gnalamplitude um diesen Prozentsatz verringert wird.
Dies wird deutlich anhand der Fig.3; dort ist eine
Draufsicht auf das Hell-Dunkel-Gitter 2 aus F i g. 1 dargestellt und darüber der Trarismissionsver'iauf des Gitters in x-Richtung. Der negative Transmissionsgrad ω
deutet an, daß die Lichtströme, die durch jeden zweiten
Schlitz der Gittermaske 2 hindurchtreten, elektrisch mit
umgekehrten Vorzeichen verarbeitet werden. Durch die
erfindungsgemäße Einführung der Stege 22,23,24 usw.
erhält der Rechteckverlauf der Transmissionskurve Zo- 65
nen 33, 34, 35 usw. mit dem Transmissionsgrad Null.
Man erkennt, daß ein solcher Verlauf einer Sinuskurve
näherkommt als eine reine Rechteckwelle und daß der
Claims (1)
1 2
werden einem Differenzverstärker zugeführt, wodurch
{':.y '. * Patentansprüche: eine Verdoppelung der Signalamplitude bei gleichzeiti
ger Unterdrückung des Gleichlichtes bzw. sehr tiefer
1. Abtastgitter, das als Bildabtaster und Ortsfre- Ortsfrequenzen erreicht wird.
quenzfilter dient und das einen Lichtstrom in zwei 5 Infolge der Tiefen der Furchen (in Richtung der opti-
örtlich getrennte Lichtflüsse aufspaltende Ablenk- sehen Achse) hat ein solches Raster keine geometrisch
mittel umfaßt, für einen Schärfedetektor zur Fest- definierte Bildebene. Außerdem zeigt sich, daß, wenn
stellung der Scharfeinstellung eines optischen Sy- der Aperturbereich des optischen Systems zwecks Dar-
stems auf ein Objekt und mit Hilfe dessen in Verbin- stellung einer räumlichen Parallaxe als Phasendifferenz
dung mit einer Feldlinse zwei Abbildungen der Aus- io aufgespalten wird, oft keine identischen Signalverläufe
trittspupille oder Teilen davon des optischen Sy- bei Verschiebung des Furchenrasters auftreten,
stems erzeugt werden, innerhalb derer sich minde- Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein
stens zwei im Gegentakt betriebene Fotoempfänger Abtastgitter anzugeben, das eine geometrisch definierte
befinden, dadurch gekennzeichnet, daß Bildebene aufweist und bei dem diese Umschaltung der
eine lichtundurchlässige Scheibe mit einer Reihe von 15 Aperturbereiche völlig gleichmäßig erfolgt.
Schlitzen mit Zwischenstegen (2, 3) deren Breite Gsmäß der Erfindung ist diese Aufgabe dadurch ge-
10—100% der Schlitzbreite beträgt vorgesehen ist löst, daß eine Iichtundurchlässige Scheibe mit einer Rei-
und daß die Ablenkmittel (1,5) der Scheibe nachge- he von Schlitzen mit Zwischenstegen, deren Breite
ordnet und derart verbunden sind, daß das durch die 10—100% der Schhtzbreite beträgt, vorgesehen ist und
geradzahligen Schlitze hindurchtretende Licht in ei- 20 daß die Ablenkmittel der Scheibe nachgeordnet und
ner ersten Richtung und das durch die ungradzahli- derart verbunden sind, daß das durch die geradzahligen
gen Schlitze hindurchtretende Licht in einer zweiten Schlitze hindurchtretende Licht in einer ersten Richtung
Richtung abgelenkt wird. und das durch die ungeradzahligen Schlitze hindurch-
2. Abtastgitter nach Anspruch I, dadurch gekenn- tretende Licht in einer zweiten Richtung abgelenkt
zeichnet, daß als Ablenkmittel ein Furchenraster (1, 25 wird.
5) vorgesehen ist, dessen Furchenspitzen und Fur- Durch die Anordnung verliert man zwar eine gewisse
fi chentälern gegenüberliegend die Zwischenstege (2, Lichtmenge, erreicht damit aber, daß — wenn auf die
3) angeordnet sind. Ebene des, Hell-Dunkel-Gitters fokussiert wird — die
3. Abtastgitter nach den Ansprüchen 1 und 2, da- Signale aus verschiedenen Aperturbereichen stets
durch gekennzeichnet, daß die Stegbreiten (2) der 30 gleich und in Phase sind. Es liegt somit ein Abtastgitter
lichtundurchlässigen Scheibe unterschiedlich sind. vor, bei dem die Einstellebene durch ein Amplitudengit-
4. Abtastgitter nach Anspruch 1, dadurch gekenn- ter gegeben ist und die wechselseitige Ablenkung des
zeichnet, daß die Scheibe auf einem Träger (4) ange- Lichtes, das durch die Schlitze des Amplitudengitters
ordnet ist und daß die Spitzen des Ablenkmittels (1, durchtritt, von einem dahinter (oder davor) liegenden
5) jeweils in der Mitte zwischen zwei Zwischenste- 35 Prismenraster übernommen wird.
gen (3) auf dem Träger (4) aufliegen, wodurch die Wie anhand der Ausführungsbeispiele gezeigt, ist der
den Spitzen des Ablenkmittels (1, 5) zugeordneten Lichtverlust durch das Amplitudengitter praktisch be-
Zwischenstege (2) zu Null werden. deutungslos.
5. Abtastgitter nach einem der vorhergehenden In der Zeichnung ist die Erfindung in zwei Ausfüh-Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Fur- 40 rungsbeispielen dargestellt. Es zeigt
chen des Ablenkmittels (1,5) derart angeordnet sind, Fig. 1 eine Ausführungsform, bei welcher ein Fur-
daß die beiden Abbildungen der Austrittspupillen chenraster dem Hell-Dunkel-Gitter in Lichtrichtung
(45,46) bezogen auf die Bewegungsrichtung, neben- nachgeordnet ist und die Täler der Rasterfurchen dem
einander erzeugt werden. Hell-Dunkel-Gitter zugekehrt sind,
6. Abtastgitter nach den Ansprüchen 4 und 5, da- 45 F i g. 2 eine Ausführungsform, bei welcher das Furdurch
gekennzeichnet, daß zur Verringerung des chenraster dem Hell-Dunkel-Gitter in Lichtrichtung
Oberwellenanteils des Signals für die dem Träger (4) ebenfalls nachgeordnet ist, das Hell-Dunkel-Gitter sich
der Scheibe zugekehrten Spitzen des Ablenkmittels jedoch auf einem besonderen Träger befindet und die
(1,5) Zwischenstege vorgesehen sind. Spitzen der Rasterfurchen dem Hell-Dunkel-Gitter zu-
50 gekehrt sind,
F i g. 3 eine Draufsicht auf das Schlitzgitter nach
Fig. 1,
F i g. 4 eine perspektivische Darstellung der optischen
Die Erfindung betrifft ein als Orrffrequenzfilter wirk- Anordnung mit Abtastgitter und aufgespaltenem Aperendes
Abtastgitter, das zur Feststellung der Scharfein- 55 turbereich,
stellung eines optischen Systems auf ein Objekt in der F i g. 5 eine weitere Ausführungsform der Erfindung.
Bildebene des optischen Systems angeordnet ist und In F i g. 1 ist mit 1 ein im Querschnitt gezeigtes Fur-
relativ zur Bildstruktur bewegt wird, gemäß dem Ober- chenraster bezeichnet. Auf der planen Seite dieses Furbegriff
des Anspruches 1. chenrasters ist ein Hell-Dunkel-Gitter 2 aufgebracht,
In derartigen Einrichtungen, wie sie beispielsweise in 60 von dem die Stege sowohl den Furchenspitzen als auch
den DE-OS 2156 617 und 23 34181 beschrieben sind den Furchentälern gegenüberstehen. Der Lichteinfall
und die auch unter der Bezeichnung »Schärfedetekto- vom Objektiv her ist dabei als von in der Darstellung
ren« bekannt sind, wird als Abtastgitter vorteilhaft ein links in Pfeilrichtung A kommend angenommen.
Furchenraster verwendet, das neben seiner Funktion als Betrachtet man zunächst den Bildpunkt Pi, der aus
Furchenraster verwendet, das neben seiner Funktion als Betrachtet man zunächst den Bildpunkt Pi, der aus
Ortsfrequenzfilter den vom optischen System kommen- 65 einer Apertur mit dem Winkelbereich ac beleuchtet wird,
den Lichtstrom aufspaltet und in zwei verschiedene und hat nicht das Hell-Dunkel-Gitter 2, so erkennt man,
Richtungen lenkt, in denen je ein lichtempfindliches EIe- daß der Aperturbereich gespalten wird und daß bei Bement
angeordnet ist. Die von diesen gelieferten Ströme wegung des Gitters in ^-Richtung die Umschaltung aller
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2527223A DE2527223C2 (de) | 1975-06-19 | 1975-06-19 | Abtastgitter für einen Schärfedetektor |
US05/695,917 US4195909A (en) | 1975-06-19 | 1976-06-14 | Scanning grating for a focus detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2527223A DE2527223C2 (de) | 1975-06-19 | 1975-06-19 | Abtastgitter für einen Schärfedetektor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2527223A1 DE2527223A1 (de) | 1976-12-30 |
DE2527223C2 true DE2527223C2 (de) | 1985-06-20 |
Family
ID=5949395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2527223A Expired DE2527223C2 (de) | 1975-06-19 | 1975-06-19 | Abtastgitter für einen Schärfedetektor |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4195909A (de) |
DE (1) | DE2527223C2 (de) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE421568B (sv) * | 1980-05-28 | 1982-01-04 | Optisk Forskning Inst | Anordning for uppdelning av en ljusstrale i ett flertal stralar eller omvent |
JPS573235A (en) * | 1980-06-07 | 1982-01-08 | Ricoh Co Ltd | Focus controlling method |
US4384210A (en) * | 1981-02-06 | 1983-05-17 | Honeywell Inc. | Spatial low pass filter for range finding systems |
JPS5859418A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-04-08 | Olympus Optical Co Ltd | 合焦検出装置 |
US4604739A (en) * | 1984-04-16 | 1986-08-05 | International Business Machines Corporation | Optical focus detection employing rotated interference patterns |
US4808807A (en) * | 1986-12-04 | 1989-02-28 | General Signal Corp. | Optical focus sensor system |
US4883955A (en) * | 1987-02-25 | 1989-11-28 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Optical encoder with converging means |
DE3834676A1 (de) * | 1988-10-12 | 1990-04-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Photoelektrische positionsmesseinrichtung |
JP2710967B2 (ja) * | 1988-11-22 | 1998-02-10 | 株式会社日立製作所 | 集積回路装置の製造方法 |
US5175594A (en) * | 1990-04-16 | 1992-12-29 | Allergan Humphrey | Lensmeter with correction for refractive index and spherical aberration |
US5099116A (en) * | 1990-10-25 | 1992-03-24 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical device for measuring displacement |
US5566024A (en) * | 1993-12-23 | 1996-10-15 | Xerox Corporation | Beam separation control and beam splitting by single blazed binary diffraction optical element |
EP2228685B1 (de) * | 2009-03-13 | 2018-06-27 | ASML Netherlands B.V. | Niveausensor für ein lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
US8675210B2 (en) * | 2009-03-13 | 2014-03-18 | Asml Netherlands B.V. | Level sensor, lithographic apparatus, and substrate surface positioning method |
NL2006129A (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-13 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3344700A (en) * | 1961-05-23 | 1967-10-03 | British Aircraft Corp Ltd | Displacement measuring system |
GB1231029A (de) * | 1968-12-13 | 1971-05-05 | ||
DE1921507C2 (de) * | 1969-04-26 | 1971-02-11 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zur Erzeugung phasenverschobener elektrischer Signale |
DE2156617C3 (de) * | 1971-11-15 | 1980-08-21 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur Bestimmung der Lage der Ebene maximaler Amplitude einer Ortsfrequenz, beispielsweise bei einem Entfernungsmesser |
DE2334181A1 (de) * | 1973-07-05 | 1975-01-23 | Leitz Ernst Gmbh | Vorrichtung zum automatischen scharfstellen eines projektors |
-
1975
- 1975-06-19 DE DE2527223A patent/DE2527223C2/de not_active Expired
-
1976
- 1976-06-14 US US05/695,917 patent/US4195909A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4195909A (en) | 1980-04-01 |
DE2527223A1 (de) | 1976-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2527223C2 (de) | Abtastgitter für einen Schärfedetektor | |
DE2431860C2 (de) | Fokussiereinrichtung für optische Geräte | |
DE2102027C2 (de) | Verfahren zur optischen Erkennung der Lage von Grenzlinien und Einrichtungen zur Durchfühung des Verfahrens | |
DE2134943C3 (de) | Optisches Tiefpaßfilter | |
EP0034211A2 (de) | Solarzellenanordnung | |
DE3852231T2 (de) | Anordnungen von infraroten Linsen. | |
DE2532602A1 (de) | Optische vorrichtung zur verbreiterung eines lichtvorhanges | |
DE2137466C3 (de) | Optisches System für eine Farbfernsehkamera mit Farbtrennung | |
DE1921507B1 (de) | Einrichtung zur Erzeugung phasenverschobener elektrischer Signale | |
DE2614377C3 (de) | ||
EP0276337B1 (de) | Blendenanordnung zur optoelektronischen Abtastung von Vorlagen | |
DE3501691C2 (de) | ||
DE1698280B2 (de) | Vorrichtung zur bestimmung und steuerung der lageaenderung eines objektes gegenueber einem bezugssystem | |
DE3317090C2 (de) | Fokussierfeststellvorrichtung für ein optisches Abbildungssystem | |
DE2348025A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur behandlung von werkstuecken mittels laserstrahlung | |
DE2552346C2 (de) | Röntgenbildcodierung | |
DE2828844A1 (de) | Vorrichtung zum beidseitigen bestrahlen eines targets mittels eines beschleunigers fuer geladene teilchen | |
DE1813743C3 (de) | Anordnung zur Abtastung eines Feldes in zwei Richtungen | |
DE2408994C3 (de) | Magnetisches Konvergenzsystem für Farbbildröhren mit drei in einer Ebene und zueinander parallel angeordneten Elektronenstrahlerzeugern | |
DE2649918C2 (de) | Optisches System zur Projektion zweier Bilder eines Objekts | |
DE2653545C2 (de) | Fotoelektrische Auflicht-Wegmeßeinrichtung | |
EP0593961A1 (de) | Optischer Strahlteiler, insbesondere für einen Laserstrahl | |
DE2921857C2 (de) | Optisches Emfangssystem | |
DE2756954A1 (de) | Optisch-elektronische fokussiereinrichtung | |
DE1547344C3 (de) | Elektro-optische Abtastvorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: G02B 27/40 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |