DE2828844A1 - Vorrichtung zum beidseitigen bestrahlen eines targets mittels eines beschleunigers fuer geladene teilchen - Google Patents
Vorrichtung zum beidseitigen bestrahlen eines targets mittels eines beschleunigers fuer geladene teilchenInfo
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- G21K1/08—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means
- G21K1/093—Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means by magnetic means
Description
Patentanwälte
Dipl.-Ing. Dipl.-Chem Dipl.-Ing.
E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser
Ernsbergerstrasse 19
8 München 60
30. Juni 1978
G.G.R.-MeV
Route de Guyanoourt
78550 B ü C /Frankreioh.
Unser Zeichen: C 3187
Vorrichtung zum beidseitigen Bestrahlen eines Targets mittels eines Beschleunigers für geladene Teilchen
Für verschiedene Anwendungen ist es vorteilhaft, ein Target (oder Auffänger) bestimmter Form, beispielsweise ein in
einem.parallelepipedförmigen oder zylindrischen Kanal strömendes Fluid, gleichzeitig von beiden gegenüberliegenden Seiten mittels
eines Beschleunigers für !geladene Teilchen zu bestrahlen. Begrenzt
man nämlich die Teilchenergie z.B. auf 10 MeV um jegliches
Risiko sekundärer Radioaktivität zu vermeiden, so kann, wenn die geladenen Teilchen Elektronen sind, eine Fluiddicke
von ungefähr 4 cm durch einseitiges ,Bestrahlen des Targets behandelt werden. Ein gleichzeitiges Bestrahlen des Fluidkanals
von vorne und hinten ermöglicht demzufolge, die Fluiddicke auf ungefähr 8cm zu vergrößern.
Die erfindungsgemäße Bestrahlungsvorrichtung gestattet das
gleichzeitige Bestrahlen zweier sich gegenüberliegender Seiten eines Targets.
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Nach der Erfindung ist eine Vorrichtung zum beidseitigen
Bestrahlen eines Targe.ts, das mindestens zwei sich gegenüberliegende
Seiten aufweist, mit einem Beschleuniger für geladene Teilchen, einen Höchstfrequenzgenerator, der ein
HP-Signal erzeugt, einer Einrichtung zum Anlegen dieses Signals an die beschleunigende Struktur des Beschleunigers,
einer vakuumdichten Abtastkammer, einer Einrichtung, um
aus dem Strahl der beschleunigten Teilchen einen Abtaststrahl mit einem Abtastwinkel zum Bestrahlen des Targets
zu erhalten, das auf einem Teil des Weges des Abtaststrahls dergestalt angeordnet ist, daß der Abtaststrahl
in einem ersten Teil Θ. des Abtastwinkels θ auf die eine
Seite des Targets trifft, einem magnetischen Ablenksystem mit zwei in Strahlrichtung gesehen hinter dem Target angeordneten
Polschuhen, die einen Luftspalt begrenzen, wobei die Polschuhe, die parallel zur Ebene des Abtaststrahles
angeordnet sind, eine Länge aufweisen, die wenigstens gleich der Gesamtamplitude des im Abtastwinkel abgelenkten
Abtaststrahles ist, wobei die Abtastkammer mit wenigstens einer Öffnung versehen ist, die das Anbringen des Targets
in einem Teil des Weges des dem ersten Teil ©2 des Abtastwinkels
θ entsprechenden Strahles ermöglicht, wobei die Öffnung mit wenigstens einem vakuumdichten fenster versehen ist, das
für den Abtaststrahl durchlässig ist, und wobei der nicht auf das Target auftreffende Abtaststrahl im zweiten Teil
des Abtastwinkels vom magnetischen Ablenksystem abgelenkt wird und auf die gegenüberliegende Seite des Targets gerichtet
wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Polschuhe eine wirksame Fläche mit solchen Krümmungen aufweisen, daß
der Strahl bei seinem Eintritt in und bei seinem Austritt aus dem Spalt im wesentlichen senkrecht zu dieser wirksamen
Fläche verläuft.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert,
in der bevorzugte Ausführungsbeispiele dargestellt
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sind. Es zeigen:
Figur 1 schematisch ein erstes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel
einer Bestrahlungsvorrichtung;
Figur 2 eine perspektivische Detailansicht der in Figur gezeigten Vorrichtung;
Figur 3 verschiedene Wege des Abtaststrahles in der in Figur 2 gezeigten Vorrichtung;
Figuren
4 bis 8
4 bis 8
fünf andere Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Bestrahlungsvorrichtungen und die
Figuren
9 bis 11
9 bis 11
Einzelheiten der in der erfindungsgemäßen Vorrichtung
verwendeten Polschuhe.
Das in Figur 1 dargestellte Ausführungsbeispiel einer Bestrahlungsvorrichtung
weist einen Beschleuniger 1 für geladene Teilchen (z.B. Elektronen) auf, der mit einem Höchstfrequenzgenerator
2 verbunden ist, der ein HF-Signal liefert, das dem beschleunigenden Teil 3 zugeführt wird. Am Ausgang
des Beschleunigers 1 ist in dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel eine Ablenkeinrichtung 5 für den Strahl F
angeordnet. Am Ende des Beschleunigers 1 ist eine vakuumdichte trichterförmige Abtastkammer 6 befestigt. Im weiten
Teil der Abtastkammer 6 ist eine öffnung 7 vorgesehen, die mit zwei sich gegenüberliegenden Fenstern8 und 9 versehen ist,
wobei die Fenster 8 und 9 vakuumdicht sind und für Elektronen
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durchlässig sind. Die öffnung 7 ist dazu bestimmt, eine Probe
oder ein zu bestrahlendes Target C aufzunehmen. Das Target C kann, wie es Figur 2 zeigt, ein Teil eines parallelepipedförmigen
Kanals mit rechtwinkligem Querschnitt sein.
Der jeweils der öffnung 7 liegende Teil der Abtastkammer 6 ist zwischen den Polschuhen 11, 12 (Figur 2) eines mit einer
Spule 14 versehenen Elektromagneten 13 angeordnet, während das zu bestrahlende Target C in der Öffnung 7 angeordnet ist und von
einem Teil des Abtaststrahls F getroffen wird. Die Polschuhe 11 und 12 weisen für den Strahl F eine wirksame Fläche ü auf,
die derart augestaltet ist, daß der Strahl F in den Spalt 10 der Polschuhe 11, 12 (Figur 2) ungefähr senkrecht zur wirksamen
Fläche TT eintritt und daraus auch, ungefähr senkrecht austritt, nachdem er eine Ablenkung um einen Winkel erlitten hat, der
wenigstens gleich ff ist. Eine Bleiabschirmung 15 schützt
die Spule 14 des Elektromagneten 13 vor Bestrahlungen und ein
Abstandshalter 16 sorgt für einen geeigneten Abstand zwischen den Polschuhen 11 und 12.
In Figur 3 ist im einzelnen dargestellt, wie im Betrieb die Be
strahlung der Seiten A und B des Targets C erfolgt. Die Teilohenwege
ti, t2, t3 ...,entsprechend einem Abtastwinkel & 1
treffen auf die Seite A des Targets C, während die Teilchenwege
t4, t5, t6 , die durch das vom Elektromagneten 13
zwischen den Polschuhen 11, 12 erzeugte Magnetfeld H abgelenkt werden, auf die Seite B des Targets C treffen.
Bei dem in Figur 3 gezeigten Ausführungsbeispiel weist die wirksame Fläche U zwei Absohnitte S11, S12 mit unterschiedlichen
Krümmungsradien auf, wobei der erste Absohnitt S11 die Form
eines Kreisbogens aufweist, dessen Krümmungsmittelpunkt mit dem Ausgangspunkt S des Abtaststrahles F zusammenfällt und der
zweite Abschnitt S12 geradlinig ist.
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Bei dem in Figur 4 gezeigten Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Bestrahlungsvorrichtung ist das zu bestrahlende Target C ein Teil eines Kanals 'mit kreisförmigem Querschnitt. Die wirksame
Fläche ü der Polschuhe 30, 31 (von denen in Figur 4 nur der Polschuh 30 dargestellt ist), weist einen ersten konkaven
Abschnitt s- auf, mit einem Krümmungsradius R1 und einem
Krümmungsmittelpunkt S,sowie einem zweiten Abschnitt s- mit
einem Krümmungsradius R2 = k.R., wobei 0,4 <■ k <:0,6 ist
und der Krümmungsmittelpunkt des Abschnitts S2 auf der Geraden
SN1 liegt, die eine Tangente zum Target C ist und eine
Normale zur nutzbaren Fläche U1 im Berührungspunkt N:. der Abschnitte
S1 und S2 ist. Das Fenster der Abtastkammer ist eine
zylindrische Hülle M mit einem Durchmesser D > 2RQ, wobei Rq
der Krümmungsradius des das Target C bildenden Kanals ist.
Während des Betriebs trifft der Abtaststrahl mit dem Winkel Θ" 1
auf die Seite A1 , die durch die tangentiellen Teilchenwege
t1, t3 begrenzt ist, während der Abtaststrahl mit dem Winkel 0 2,
der von dem zwischen den Polschuhen 30, 31 erzeugten Magnetfeld H abgelenkt wird f auf die Seite B1 des Targets C trifft.
Um jedoch die Ausführung zu vereinfachen, können für einen genügend kleinen Abtastwinkel θ die Polschuhe 30, 31 eine wirksame Fläche TJp (Figur 5) mit im wesentlichen konstanter Konkavität des Radius R = k,,r aufweisen, wobei r der Krümmungsradius
der Teilchenwege im Luftspalt zwischen den Polsohuhen 30, 31
ist, während k1 ein Faktor zwischen 2, und 4 ist; der Krümmungsmittelpunkt P1 befindet sich dann auf der Winkelhalbierenden SN-des
Abtastwinkels 0
Bei dem in Figur 6 dargestellten Auführungsbeispiel weist der
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' Elektromagnet zwei Polschuhe 32 und 33 auf (von denen in Figur 6 nur der Polschuh 32 sichtbar ist) und dessen wirksame
Fläche U3 drei Abschnitt S1, S3, S3 aufweist. Die Abschnitte
S-T und s2 sind Kreisbögen mit den Radien R* bzw. R-
und einem Krümmungsmittelpunkt S/ während der dritte sich an
den Abschnitt S3 anschließende Abschnitt s-j eine Kreisbogenform
aufweist mit einem Radius P^ = kR_, wobei k im wesentlichen
gleich 0,45 ist und der Krümmungsmittelpunkt P2 auf
einer Normalen zur wirksamen Fläche U3 liegt, die durch den Berüh
rungspunkt N2 der Abschnitte S3, s-j \erläuft und eine
Tangente zum Kreis ist, der den Querschnitt des Kanals C begrenzt. Verwendet man einen Teilchenstrahl F , dessen Energie
eine Eindringtiefe ermöglicht, die gleich dem Radius RQ
des kreisförmigen KanalquerSchnitts C ist, so erhalten die schraffierten Zonen Z1, z~ in Figur 6 eine doppelte Bestrahlungsdosis.
Bei dem in Figur 6 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Abtastwinkel 0 = θ ^ + θ 2 des Strahls im
wesentlichen gleich _+ 15°.
im Vorstehenden würfle für die Bestimmung öer Pol
schuhprofile das Austreten des Magnetfeldes außerhalb der Polschuhe der Ablenkeinrichtung nicht berücksichtigt.
Bei einem anderen in Figur 7 dargestellten Ausführungsbeispiel ermöglicht die erfindungsgemäße Bestrahlungsvorrichtung das
Bestrahlen einer Anzahl von η Kanälen (n = 4) C.., C3, C3, C4
mit kreisförmigem Querschnitt. Die Ablenkeinrichtung für den Strahl weist einen Elektromagneten auf, der mit Polschuhen
40 und 41 versehen ist (von denen in Figur 7 nur der Polschuh 40 sichtbar ist) und deren wirksame Flächen U. eine Folge von
Profilen aufweisen, die denjenigen in den Figuren 4 bis 6 dargestellten und beschriebenen ähnlich sind und die jeweils einem
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der Kanäle C1 bis C* zugeordnet sind. Die Abtastkammer 6 kann
entweder ein dichtes Fenster großer Länge (nicht dargestellt) aufweisen, das oberhalb der Kanäle C1 bis Ca angeordnet ist
oder dichte,als zylindrische Hüllen M1 bis M4 ausge
bildete Fenster (Figur 6) aus einem für die beschleunigten
Teilchen durchlässigen Material (beispielsweise Titan geringer Dicke), während der unterhalb der Kanäle C. bis C. liegende
Teil der Vakuumkammer 6 zwischen den Polschühen 40 und 41 (wobei letzterer in Pig. 7 nicht dargestellt ist) des Elektromagneten
angeordnet ist; die Breite h des Luftspalts wird mittels eines Abstandhalters konstant gehalten, der ähnlich dem in
Figur 2 dargestellten Abstandhalter 16 ist.
Die beschriebenen und dargestellten Ausführungsbeispiele sind keineswegs erschöpfend. So wurde insbesondere unter der Annahme
eines kleinen Luftspalts das über den Rand hinaustretende Magnetfeld niöht berücksichtigt. Soll für bestimmte Anwendungen der
Luftspalt größer sein (z.B. 1 > 5/θη>, so muß einerseits
der Ablenkwinkel öC , den die Teilchenwege in ihrer Ebene vor
dem Eintritt in den Spalt zwischen den Polschuhen erleiden, berücksichtigt werden und andererseits der senkrechte
Divergenzeffekt korrigiert werden, der in einer Ebene senkrecht zur Wegebene auftritt und der aus der Wirkung des aus den
Polsohutien austretenden magnetise hen Feldes resultiert.
Figur 8 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Bestrahlungsvorrichtung, mit der die Korrektur dieses
Divergenzeffekts ermöglicht wird. Die Polschuhe 11, 12 (von denen nur der Polschuh 11 in Figur 8 sichtbar ist) weisen eine
wirksame Fläche ü gegebenen Profils auf (beispielsweise das Profil der wirksamen Fläche ü der in Figur 3 dargestellten Polschuhe)
. Die Dicke 1 der Polschuhe 11, 12 wird derart ge-
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v/ählt und das im Spalt zwischen diesen Polschuhen 11, 12
herrschende Magnetfeld H weist einei derartigen Wert, daß
die Teilchenwege t. bis tfi des Abtaststrahles über die der
• wirksamen Fläche U der Polschuhe 11, 12 gegenüberliegende
Fläche V hinaustreten und dem austretenden Magnetfeld H unterliegen, das den Divergenzeffekt auf dm Strahl F in
der senkrechten Ebene gemäß Figur 9 korrigiert. Danach durchlaufen die Teilchenwege t. bis tß erneut den
Spalt zwischen den Polschuhen 11, 12 und treten aus ihm auf
der Seite U der Polschuhe 11, 12 aus, um auf die Seite B des
zu bestrahlenden Targets C aufzutreffen.
Der Korrektureffekt für die senkrechte Defokussierung, die im Strahl in der Zone D1 auftritt, wird also erhalten , wenn
die Dicke 1 der Polschuhe (d.h. der Abstand zwischen den Flächen U und V der Polschuhe) kleiner als der Krümmungsradius
r der Teilchenwege im Spalt dieser Polschuhe ist.
So ist beispielsweise, wenn der Spalt eine Höhe h von 30 cm aufweist und wenn das Magnetfeld H in den Polschuhen 11,
eine Stärke von ungefähr 700 Gauss aufweist, entsprechend einem mittleren Krümmungsradius r der Teilchenwege in der
Größenordnung von 50 cm für beschleunigte Elektronen mit einer Energie von 10 MeV1 die Dicke 1 der Polschuhe ungefähr 30 cm.
Unter diesen Voraussetzungen dringt der Strahl einige Zentimeter in die Zone D3 ein und der Abstand zwischen den Eintrittsund
Austrittstellen eines gegebenen Teilchenweges auf der wirksamen Fläche ü beträgt ungefähr 110 cm.
Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die beschriebenen und dargestellten Ausführungsbeispiele. Insbesondere kann die
Korrektur der senkrechten Defokussierung des Strahls in der Zone D1 mittels eines Luftspalts erfolgen, dessen Höhe mit dem
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Abstand der Fläche U von der Fläche V veränderlich ist,
wodurch eine Veränderung deB Magnetfeldes in den Polsohuhen 11, 12 erzeugt wird. Die Breite h des Luftspalts kann von der Fläche TJ zur Fläche V stetig oder stufenförmig zunehmen, wie es in den Figuren 11 und 10 dargestellt ist.
wodurch eine Veränderung deB Magnetfeldes in den Polsohuhen 11, 12 erzeugt wird. Die Breite h des Luftspalts kann von der Fläche TJ zur Fläche V stetig oder stufenförmig zunehmen, wie es in den Figuren 11 und 10 dargestellt ist.
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Claims (1)
- Dipl.-Ing Dipl.-Chem. Dipl.-Ing.E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. LeiserErnsbergerstrasse 198 München 6050. Juni 1978C.G.R.-MeVRoute de Guyancourt78550 BUC /FrankreichUnser Zeichen: 0 5187Pa tentaneprücher1.) Vorrichtung zum beidseitigen Bestrahlen eines Targets, das mindestens zwei sich gegenüberliegende Seiten aufweist, mit einem Beschleuniger für geladene Teilohen, einen Höchstfrequenzgenerator, der ein HF-Signal erzeugt, einer Einrichtung zum Anlegen dieses Signale an die beschleunigende Struktur des Beschleunigers, einer vakuumdlohten Abtastkammer, einer Einrichtung, um aus dem Strahl der beschleunigten Teilohen einen Abtaststrahl mit einem Abtastwinkel zum Bestrahlen des Targets zu erhalten, das auf einem Teil des Weges des Abtaststrahls dergestalt angeordnet lot, daß der Abtaststrahl in einem ersten Teil O1 des Abtastwinkels θ auf die eine Seite des Targets trifft, einem magnetischen Ablenksystem mit zwei in Strahlriohtung gesehen hinter dem Target angeordneten Polschuhen, die einen Luftspalt begrenzen, wobei die Polsohuhe, die parallel zur Ebene des Abtaststrahles angeordnet sind, eine Länge aufweisen,809883/0892Le-i/Gl ORIGINAL INSPECTEDdie wenigstens gleich der Gesaratamplitude des im Abtastwlnkel abgelenkten Abtaststrahles ist, wobei die Abtast-' kammer mit wenigstens einer Öffnung versehen ist, die das Anbringen des Targets in einem Teil des Weges des dem ersten Teil θ2 des Abtastwinkels θ entsprechenden Strahles ermöglicht, wobei die Öffnung mit wenigstens einem vakuumdiohten Fenster versehen ist, das für den Abtaststrahl durchlässig ist, und wobei der nicht auf das Target auftreffende Abtaststrahl im zweiten Teil des Abtastwinkels vom magnetischen Ablenksystem abgelenkt wird und auf die gegenüberliegende Seite des Targets gerichtet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Polschuhe eine wirksame Fläche (U) mit solchen Krümmungen, aufweisen, daß der Strahl (F) bei seinem Eintritt in und bei seinem Austritt aus dem Spalt (10) im wesentlichen senkrecht zu dieser wirksamen Fläche (U) verläuft.2. Bestrahlungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (C) in der Abtastebene einen rechtwinkligen Querschnitt aufweist, daß die Abtastkammer (6) eine Seitenöffnung (7) zur Anbringung des Targets (G) im Weg des Abtaststrahles (F) aufweist, daß die Öffnung (7) im Weg des Abtaststrahles mit zwei vakuumdiohten, gegenüberliegenden Fenstern (8, 9) versehen ist, die für den Teilchenstrahl (F) durchlässig sind, daß die in Strahlriohtung gesehen hinter dem Target (C) angeordnete wirksame Fläche (U) der Polschuhe (11, 12) ein aus zwei Abschnitten (S11, S12) unterschiedlicher Krümmungen bestehendes Profil aufweist, wobei der unter dem Target liegende Abschnitt (s12) geradlinig ist und der andere Abschnitt (S11) einen Krümmungsradius R aufweist, der im wesentlichen gleioh dem Abstand zwischen dem Ausgangspunkt des Abtaststrahles und dem geradlinigen Abschnitt (s12) ist.809883/0892Vorrichtung nach. Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (C) in der Abtastebene einen kreisförmigen Querschnitt mit dem Radius RQ aufweist, daß die wirksame Fläche (TJ2) der Polschuhe (30) konkav ist und einen Krümmungsradius Rg = k2r aufweist, wobei r der Krümmungsradius der Teilchenwege in den Polsohuhen ist und kg eine Konstante zwischen 2 und 4 ist, daß der Krümmungsmittelpunkt (P1) auf der Winkelhalbierenden des Abtastwinkels (Θ) liegt und daß das Fenster eine zylindrische Hülle (M) mit dem Durohmesser D>2RQ ist, wobei die Aohse der mit zwei gegenüberliegenden Wänden der Abtastkammer fest verbundenen Mülle (M) senkrecht zur Abtastebene verläuft und die Hülle (M), die für den Strahl durchlässig ist, konzentrisch zum kreisförmigen Querschnitt des Targets (C) ist.Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (C) in der Abtastebene einen kreisförmigen Querschnitt mit dem Radius Rq aufweist, daß das Fenster eine konzentrisch zum Target (C) angeordnete, zylindrische Hülle (M) mit dem !Durchmesser D>2RQ ist, dessen Achse senkreoht zur Abtastebene verläuft, daß die Hülle (M) aus einem für den Abtaststrahl (F) durchlässigen Material besteht, daß die wirksame Fläche (U1) der Polsohuhe (30) ein aus zwei konkaven Absohnitten (S1, S2) unterschiedlicher Krümmungen bestehendes Profil aufweist, wobei der Abschnitt (s2) unterhalb des Targets (C) einen Krümmungsradius R2 = k1 R1 aufweist, wobei R1 der Krümmungsradius des ersten Abschnittes (S1) ist und k1 eine Zahl zwischen 0,4 und 0,8, und wobei der Krümmungsmittelpunkt des ersten Abschnittes (S1) der Ausgangspunkt (S) des Strahles ist, während der Krümmungsmittelpunkt des zweiten Abschnittes (s2)ein Punkt (P1) ist, der im wesentlichen auf einer809883/0892tangential zum Target (G) verlaufenden Geraden liegt, die eine Normale-zur wirksamen Fläche (TJ1) im Berührungspunkt (IT1) der Abschnitte (S1, S2) ist.5. Vorrichtung nach Anspruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (C) in der Abtastebene einen kreisförmigen Querschnitt mit dem Radius R0 aufweist, daß die wirksame Fläche (U,) der Folsohuhe (32) ein aus drei Absohnitten (S1, S2, s,) unterschiedlicher Krümmungen bestehendes Profil aufweist, wobei zwei erste Abschnitte (s2 und s,), die jeweils einem Abtastwinkel entsprechen, der im wesentlichen gleich Θ/4 ist, einen gemeinsamen Krümmungsmittelpunkt S aufweisen, der mit dem Ausgangspunkt (S) des Abtaststrahles zusammenfällt und deren Radien R2 und R, der Beziehung R* = qR2 genügen, wobei q zwisohen 0,8 und 1 liegt, während der dritte Abschnitt (S1), der einem Abtastwinkel Θ/2 entspricht, einen Krümmungsradius R1 = ^R2 aufweist, mit 0,4<k1<0,8 und dessen Krümmungsmittelpunkt auf der Normalen zur wirksamen Fläche (U,) im Berührungspunkt (N2) des zweiten und des dritten Abschnitts (S1, S2) liegt und daß das dichte Fenster eine zylindrische Hülle (M) mit dem Durchmesser D >2RQ ist, dessen Achse senkrecht zur Abtastebene verläuft und das aus einem für den Abtaststrahl durchlässigen Material besteht.6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zu bestrahlende Target aus η Kanälen (C1, C2 .... Cn) besteht, die in der Abtastebene kreisförmige Querschnitte gleichen Surohmessers aufweisen, daß ihre Krümmungsmittelpunkte (O1, O2 .... On) auf einer Geraden angeordnet sind, die in der Abtastebene verläuft809883/0892und senkrecht zum mittleren Teilchenweg des Abtaststrahles verläuft,und daß die wirksame Fläche (U^) der Polschuhe (40) η identische Profile vorgegebener Form aufweist.7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastkammer η vakuumdichte Fenster in Form von η zylindrischen Hüllen (ML, M_ ...M) aufweist, die zu den entsprechenden Kanälen (C1, C2— CR) konzentrisch sind und deren Achsensenkrecht zur Abtastebene verlaufen.8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Target aus einem Kanal besteht, in dem ein zu bestrahlendes Fluid strömt, wobei die Strömungsrichtung des Fluids senkrecht zur Abtastebene des Strahls ist.9. Vorrichtung nach Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein zu bestrahlendes Fluid in den Kanälen strömt, wobei die Strömungsrichtung des Fluides senkrechts zur Abtaatebene des Strahls ist.10. Vorrichtung naoti Ansprüchen 1 und 2, dadaroh gekennzeichnet, daß die Dicke (1) der Polsohuhe zwischen der wirksamen Fläche (U) und der ihr gegenüberliegenden Fläche (V) kleiner als der mittlere Krümmungsradius (r) der Teilohenwege ist und daß die Sicke (1) im wesentlichen gleich der Breite (h) des,luftSpaltes zwischen den Polschuhen ist·11. Vorrichtung nach Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Polsohuhe einen Luftspalt begrenzen, dessen Breite (h) von der wirksamen Fläohe (U) zur entgegengesetzten Fläche (V) hin zunimmt.809883/089212. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite (h) des Luftspaltes stetig zunimmt.13. Vorrichtung nach Anspruoh 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite (h) des Luftspaltes stufenförmig zunimmt,809883/0892
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