DE2523193A1 - Elektrophotographisches aufzeichnungsmaterial und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Description

Licentia Pa t ent-Verwa Itungs-G. :n.b. II. 6 Frankfurt/Main 70, Theodor-Stern-Kai 1

22.5.1975 FßC 75/15

"Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial und Verfahren zu seiner Herstellung"

Die Erfindung betrifft ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, bei dein Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung als Photoleiter unter Bildung einer photoleitfähigen Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgebracht ist und bei dem der Photoleiter als einen weiteren Bestandteil. Arsen enthält«

;)ie Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Herstellen des genannten Aufzeichnungsaaterials, bei dem der Photoleiter in Vakuum unter Bildung einer photoleitenden Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgedampft wird.

liin elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial wird für elektrophotographische iiopi erver fahr en verwendet, die in der Vervielfältigungstechnik weite Verbreitung gefunden haben. Diese Verfahren beruhen auf der Eigenschaft des photoleitenden Materials, bei Belichtung mit einer aktivierenden Strahlung den elektrischen Widerstand zu ändern.

609849/0834

- 2 - FBQ 75/15

I\ach elektrischer Aufladung und Belichtung mit einer aktivierenden Strahlung läßt sich auf einer photoleitenden Schicht ein latentes elektrisches Ladungsbild erzeugen, das dem optischen Bild entspricht. An den belichteten Stellen findet nämlich eine solche Erhöhung der Leitfähigkeit der photoleitenden Schicht statt, daß die elektrische Ladung über den leitenden Träger - zumindest teilweise, jedenfalls aber stärker als an den unbelichteten Stellen - abfließen kann, während an den unbelichteten Stellen die elektrische Ladung ir.i wesentlichen erhalten bleibt; sie kann ;:<it eine..] öildpulver, einer.; sogenannten Toner, sichtbar gemacht und das entstandene Tonerbild, falls es erforderlich sein sollte, schließlich auf Papier oder eine andere Unterlage übertragen v/erden.

Als elektrophotograpliisch wirksaue Stoffe werden sowohl organische als auch anorganische Substanzen verwendet. Unter ihnen haben Selen, Selenlegierungen und Selenverbindungen besondere Bedeutung erlangt.

An die Mechanischen, optischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften eines elektropliotographiscii wirksamen Stoffes werden für einen erfolgreichen und vorteilhaften praktischen Einsatz verschiedenartige Anforderungen gestellt, die von gebräuchlichen Schichten oft nur teilweise gleichzeitig erfüllt werden können. Es ist jedoch bekannt, daß sich durch Zusätze wie Arsen, Schwefel, Tellur oder Halogene, gewisse Eigenschaften der elektrophotographisch wirksamen Stoffe verbessern lassen, wobei dem Arsen besondere Bedeutung zukommt; es hat in verschiedenen Konzentrationshöhen entweder homogen und über die gesamte Schichtdicke gleichmäßig verteilt oder auch mit einem bestimmten Konzentrationsprofil und wechselnden Anteilen in einzelnen Schichtbereichen vielfache Verwendung gefunden.

609849/0834

3 - KBC 75/15

So wird zum 3eispiel die geringe thermische Stabilität von Schichten aus amorphen Selen, das die Neigung hat, in den - im allgemeinen nicht gewünschten - kristallisierten Zustand überzugehen, durch einen Arsenzusatz verbessert. Ebenfalls läßt sich die geringe Karte von amorphen Selenscliichten durch einen Arsenzusatz verbessern.

Schichten mit höherem Arsengehalt zeichnen sich durch eine höhere Lichtempfindlichkeit aus, wie sie bei homogenen Selen-Arsen-Systemen, bei denen das atomare Mischungsverhältnis bis 1 : 1 geht, bekannt geworden ist. Es sind auch Schichten bekannt geworden, bei denen an der Oberfläche ein höherer Arsengehalt vorhanden ist, der in !Lichtung auf den Schichtträger abnimmt und zu geringen Arsenkonzentrationen in den Schichtbereichen führt, die sich in der Nähe des Schichtträgers befinden. Jadurch lassen sich die Vorteile eines höheren Arsengehaltes mit einen geringen Gesantanteil an Arsen verbinden.

Ebenfalls ist es bekannt geworden, da" geringe Zusätze von einem oder mehreren Halogenen zu den Selenschichten von Vorteil sind, weil sie zu einer Verringerung des llestpotentials führen.

Bei bekannten Arsenverteilungen in der photoleitenden Schicht, bei denen der Anteil des Arsens in dichtung von; Substrat zur freien Oberfläche zunimmt, ist als nachteilig anzusehen, daß gerade im Oberflächenbereich ein verhältnismäßig starker Konzentrationsgradient vorhanden ist, dessen gleichmäßig reproduzierbare Erzeugung schwierig ist. Unterschiedliche Gradienten bei der Schichtbildung führen aber auch zu einer größeren Variationsbreite der elektrischen Eigenschaften des erzeugten elektrophotographischen Materials, was für seine spätere Verwendung im Kopierbetrieb nicht erwünscht ist. Ebenfalls muß als nachteilig angesehen werden, daß bei hohem

R09849/0834

- k- - FBiä

Arsen.:: ehalt an eier Oberfläche die aufgebrachten elektrischen Ladungen nicht so ,cut erhalten bleiben und axiLlcrdei:: auch iürmüdungserscheiimnicen ±ir. Jauerbetrieb auftreten.

;.0s sind auch Ileiirschichtanordnungen be'iannt geworden, bei denen eine arsenfreie Selenschicht auf de::: Substrat aufgebracht ist und nur die obere Jeerschient Arsen enthält. Auch bei diesen Anordnungen ist in gleicher Weise die reproduzierbare Einhaltung einer bestir.Ji.iten Arsenkonzentration an der freien Oberfläche schwierig. Als weiterer Nachteil au." angesehen werden, daß die untere arsenfreie Schicht durch ihre Neigung zu einer Kristallisation gefährdet ist, weil ja eine Kristallisation oft gerade vom Substrat her ihren Ausgang nimmt.

Aufgabe der Erfindung ist ein ele'ctrophotographisches Aufzeichnungsmaterial sowie ein einfaches und reproduzierbares Verfahren zu seiner Herstellung, bei dem die Vorteile eines Arsengehaltes, wie die Bewahrung des amorphen Zustandes ohne die Gefahr einer Kristallisation, die Oberflächenhärte und Abriebfestigkeit, gegeben sind, gleichzeitig aber auch die Oberflächenladungen besser erhalten bleiben und bei dem die spektralen Eigenschaften von denen des reinen Selens sich nur wenig unterscheiden.

Diese Aufgabe wird bei einem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial, bei dem Selen, eine Selenlegierungoder eine Selenverbindung als Photoleiter unter Bildung einer photoleitfähigen Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgebracht ist und bei dem der Photoleiter als einen weiteren Bestandteil Arsen enthält, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß es aus glasig-amorphem Selen besteht, daß der Gesamtanteil des Arsens zwischen 0,1 und 5 Gewichts-% beträgt und einen Konzentrations-

609849/0834

- 5 - FBE 75/15

gradienten mit zunehmenden Arsenrnengen von der Oberfläche des leitenden Trägers in Richtung zur freien Oberfläche des Photoleiters bis zu etwa 50 bis 90 % der Dicke der photoleitenden Schicht und danach wieder abnehmende Arsenmengen in solcher Weise aufweist, daß die Arsenkonzentration an der freien Oberfläche des Photoleiters unter 3 Gewichts-Üo liegt.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung enthält das Aufzeichnungsaaterial zur Vermeidung eines Restpotentials und zum Ausgleich von Leitfähigkeitsunterschieden, die zu einer ungünstigen Feldverteilung führen, zusätzlich ein oder mehrere Halogene wie Chlor, Bror.i oder Jod, in einem Anteil von 1 bis 10 000 ppm, vorzugsweise 5 bis 100 ppm. Dieses Halogen oder diese Halogene sind entweder gleichmäßig im Aufzeichnungsmaterial verteilt oder weisen einen Konzentrationsgradienten attf. Bevorsugt befindet sich der Ilalogenanteil in diese:.! Fall überwiegend in einem arsenärireren Teil des Aufzeichiumjsnatcrials.

I-an erreicht ;.iit dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial gemäß der Erfindung, bei dem die höchste Arsenkonzentration im oberen Drittel der Schichtdicke liegt, daß der amorphe Zustand über die gesamte Schichtdicke auch im Dauerbetrieb erhalten bleibt, daß sowohl die Gesa;.it±"estigkeit als auch die Oberflächenhärte gewährleistet sind, dennoch aber wegen der geringeren Arsenkonzentration an der freien Oberfläche die elektrischen Aufladungen dort besser gehalten werden. Insbesondere aber können die geringeren Arsenkonzentrationen an der freien Oberfläche in ihrer vorgesehenen Höhe leichter reproduzierbar eingestellt werden.

Ziiie Lösung der weiteren Aufgabe gemäß der 2rfindung wircl in einem Verfahren zum Herstellen eines elektro-

609849/0834

- 6 - FBC 75/15

photographischen Aufzeichriuiigsr-iaterials gesehen, bei de:.; Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung als Paotoleiter in Vakuu;;; unter Bildung einer photoioitenuen Schickt auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufneda.iplTt wird ιιτίιΐ bei den der Pliotoleiter als vreiteren Bestandteil Arsen enthält, das dadurch gekennzeichnet ist, daß aus einer.i ersten Verdampfungsschiffellen, das r.iit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden I-ienge des Verdanipfungsgutes gefüllt ist, diese Menge des Verdampfuiagsgutes nur bis su einem Anteil von etwa 5o bis 90 ;.j verdampft wird und da-', gleichseitig aus einem zweiten Verda/.ipfungsschiffchen, das noch den restlichen Anteil von etwa 10 bis 4:0 '/j des Verdarr/pfungsgutes aus einer vorangegangenen gleichartigen Verdampfung enthält, bis höchstens etwa 95 % der Schichtdicke der i-'hotoleiterschicht zwiscliengedanipft wird.

Iixt de::; Verfahren remai;, der Ex'findung läßt sich durch entsprechende Auswahl des Verdanpfungsgutes hinsichtlich seines Arsengehaltes eine genaue und reproduzierbare Einstellung des Gesa:::tarsengehaltes im aufgedampften Photoleiter erreichen. Gleichseitig ist aber durch den Abbruch der Verdampfung aus dem ersten Verdampfungsschiffchen zu einem Zeitpunkt, an den die Änderung des Arsengehaltes mit der Schichtdicke noch völlig unkritisch ist, die ilöglichkeit gegeben, auf eine ganz einfache l/eise den stark ansteigenden und nur schwer gleichmäßig reproduzierbaren Konzentrationsgradienten gegen Schluß der Bedämpfung zu vermeiden und insbesondere auch eine Arsenverteilung mit abnehmender Konzentration im Oberflächenbereich bis zu dein vorgesehenen Grenzwert zu erreichen.

Bei einer Bedampfung im Dauerbetrieb wirkt sich noch vorteilhaft aus, daß jeweils immer nur eins der beiden

609849/0834

- 7 - FBE 75/15

Yex"da:npfuiigsscliif ichen mit dem Verdanpfungsgut gefüllt zu werden braucht, wobei dieses dann bis zun Abbruch der Beda:.ipfung zunächst als erstes Verdampfungsschiffchen dient, nach den Abbruch der Bedanpfung aber mit dom restlichen Inhalt in einer weiteren Bedampfung die Rolle des zweiten Verdampfungsschiffchens übernimmt.

Gegebenenfalls kann es auch zweckmäßig sein, als Inhalt des zweiten Verdampfungsschiffchens anstelle des restlichen Anteils des Verdampfungsgutes für die Zwischendampfung Selen mit einem Anteil von Arsen im Bereich von 20 bis 50 Gewichts-%, vorzugsweise Arsenselenid (As_QSe_) zu verwenden, wobei allerdings der Rest des ersten Verdampfungsschiffchens nicht weiter verwendet wird.

Neben Selen können auch Selenlegierungen und Selenverbindungen verwendet werden. So kommt als Selenlegierung zum Beispiel eine Legierung aus 90 Atom-?£ Selen, 9 Atom-So Schwefel und 1 Atom-/6 Arsen in Betracht. Als Selenverbindung ist zum Beispiel Phosphorselenid (P₀Se,) mit einer Arsendotierung anwendbar.

Anhand einiger Ausführungsbeispiele sei das Verfahren gemäß der Erfindung und das mit Hilfe dieses Verfahrens hergestellte elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial noch einmal näher erläutert.

Beispiel 1:

In ein Schiffchen werden zunächst 45 Gramm einer Legierung aus Selen, die 0,5 Gewichts-% Arsen enthält, eingefüllt und im Hochvakuum von etwa 10 Torr auf eine Temperatur von 263 °C gebracht. Die dabei entstehende Verdampfuns wird ^;l5 Minuten aufrecht erhalten und dann abgebrochen. Die Dämpfe vier den auf einer Blindtroinmel bei einer Substratter.iperatur von 65 bis 70 C niedergeschlagen und ergeben etwa 90 '-Ό der Schichtdicke, die bei

609849/0834

- 8 - FBID 75/15

vollständiger Verdampfung niedergeschlagen worden wäre. Das Schiffchen mit den restlichen Inhalt des Verdampfungsgutes dient sodann als Schiffchen 2.

Nun wird ein weiteres Verdampfungsschiffchen mit ^i 5 Gramm einer Le^ierun;; aus Selen mit 0,5 Gewichts-;'· Arsen gefüllt; dieses Schiffchen entspricht bei der nun folgenden Bedampfung dein oben beschriebenen Schiffchen 1. In einer Verdarj-ofuiigsapparatur wird sodann der zu bedampfende leitende Träger, etwa eine Alu:r.iiiiu:::tro:".;::jel ir: Substrathalter, auf eine Temperatur von c"> bis 7C C gebracht, woran sich bei eine:¹. Val:uu:".i "von 10 ^ Torr die Urwärmuiag des Schiffchens 1 auf eine Temperatur von 2Ö5 C für ^!K> ilinuten anschließt und danach abgebrochen wird. V/ährend der Yerdarxpfungszeit des Yerda;.vpfuii;;sschiffchens 1 wird das Verdampfxingsschiffchen. 2 ebenfalls auf 2ö3 C aufgeheizt und mit eine;; 'tonstanten Heizstrom bis etwa zur 4C. iiintite Ie er gedampft, liegen des ansteigenden Arsengehaltes und des damit sinkenden Jar.mftlruc::es steigt in dieser Zeit die Schiffchentei'iperatur auf 2ü5 C an. Jas leergedaupfte Schiffchen

d für die nachfolgende Bedampfung wieder mit der Selen-Arsen-Lcgierung gefüllt und wird dann als Schiffchen 1 verwendet, während das bisherige Schiffchen 1 mit den restlichen Anteilen des Verdarr.pfungsgutes in der nachfolgenden Bedampfuns das Schiffchen 2 darstellt.

Uerden die obengenannten Parameter eingehalten, tritt die höchste Konzentration des Arsens i;n Betrage von etwa 1,5 bis 2 Gewichts-',:) bei etwa 2/3 der Schichtdicke des Photoleiters auf. Falls andere Arsenverteilungen in der photoleitenden Schicht vorgesehen sind, kann das Verdampfungsschiffchen 2 auch schon zu Beginn der Bedämpfung erhitzt und/oder auf andere Zwischenbedainpfungstemperaturen gebracht werden, wodurch sich dann mehr oder weniger große Abweichungen von der beschriebenen Arsenverteilung ergeben.

6 Q 9 8 A 9 / 0 8 3 A

_ Λ _ M¹Ti? 7^/1"

- — ->■ J" {j/ *-j

Jie hergestellte Schicht, deren spel:trale eigenschaften sich von denen des reinen Selens nur wenig unterscheiden, zeichnet sich dtirch hervorragende Aufladbar!:eit und geringe JunTre lent la dung bei gleichzeitiger geringer lirr.iüdung aus. Da praktisch Iceine ilristallisation - auch nicht nach längeren Eopierpauscn. - vorhanden ist, ergibt sich für das ele'itrophotographische Aufzeichnungsmaterial nach der Erfindung eine wesentlich längere Gebrauchsdauer als für ein Aufzeichnungsmaterial aus reinen Selen bei gleich guten elelctrophotographischen Eigenschaften wie dieses.

Beispiel 2:

Nach eines weiteren Beispiel wird die Bedar.ipfung in der './eise durchgeführt, daß in das Schiffchen 1 - wie oben angegeben - h? Grar.ir.j der Legierung aus Selen mit 0,5 Gewichts-.' Arsen eingefüllt x^erden, in das Schiffchen 2 dagegen 3>C Graun Arsenselenid (As 3e„). Diese Verbindung dampft ohne Zersetzung und ohne Änderung der stöchiometrischon Zusammensetzung über. Das Schiffchen 1 wird wie oben 45 Minuten lang auf 263 C gehalten, sodann wird die Bedaupfung abgebrochen. Je nach dem gewünschten Arsenprofil wird schon zu Beginn der Bedampfung oder auch erst in deren Verlauf das Schiffchen 2 auf die Verdampfungstemperatur gebracht. Spätestens nach 95 % der Bedampfungszeit wird das Zwischendampfen aus dem Schiffchen 2 - etwa durch Einfügen einer Blende in den Dampfstrom - wieder abgebrochen. Die Höhe des Arsenmaximums und die Gesamtmenge des Arsens werden durch die Temperatur des Schiffchens 2 bestimmt, die im Bereich von 560 bis 400 C gewählt wird. Bei Anwendung dieser Methode muß das Schiffchen 1 vor einem neuen Arbeitsgang von den Resten der unvollständigen Verdampfung befreit werden; lieste aus Schiffchen 2 lcönnen im nächsten Arbeitsgang weiter verwertet werden. Auch nach dieser

609849/0834

IG - FBE 75/15

I-iethode hergestellte Trommeln mit gleichen Arsenprofii wie in Beispiel 1 neigen äquivalent gvite Eigenschaften rür die elektrophotographische Anwendung.

.,'oiterc r3weck::iä£i:;e und vorteilhafte Ausgestaltungen eier beschriebenen Beispiele 1 \ιη.ά 2 sind dadurch gegeben, da': als Verda:::pfun;;s^ut Selen r.:it eiiie:a Anteil von 0,5 Gewichts-,j Arsen benutzt wird, das zusätzlich einen Ilalogonantcil, etwa einen Chloranteil in Höhe von 20 js-pm, enthält, h'an erzielt dabei hervorragende elektrophotographische Ui^onschaftcn, wobei durch den Ilalogenzusatz eine weitei-e icrlrleinorun,: das an sich schon gerisgon _iestpotentials erreicht wird. Auch das Jotieren des As₉oo„ r.iit eine."; Halogen ist möglich. 3ei:.: Vorgehen nach Beispiel 2 r.:it einer Le£;ioruii£ a^xs Selen mit 0,5 Gewichts-,' Arsen und 20 ppri Chlor ergibt sich eine Ilalo-."enverteilun.r: :,iit eine:.: :[onso.Titrationsgraciienten, wobei sich der ^rö-iere Ilalojenanteil ±r.\ arscnärineren Teil der iGc"ⁿd cht bc^Tii^'Iet ·

Beispiel ^:

In eine:,: weiteren Beispiel für das Verfahren rjo^äii ^_6x. Brfindtv.1·; werden -L". Gra:::::: einer Lejcieruns :nit 2 Gewichts->j Arsen in das Schiffchen 2 eingefüllt und das Verdampfungsgut in einen Vorversuch bei einer Schiffchentenperatur von 295 C und einer 3i:bstratter:iperatur von 75 bis 8ü C während einer Dauer von 25 Minuten cO % der Schichtdicke, die bei vollständiger Verdampfung niedergeschlagen wäre, auf eine Dlindtror.ir.iel aufgedampft. Das Schiffchen 2 mit den restlichen Anteilen des Verdainpfungsgutes wird dann für das Zwischendarvpfen während der 3eda:;:pfung aus de;:·; Schiffchen 1 vertfenclet. Hierzu wird das Schiffchen 1 _;;:it t-5 Gran;:; einer Legierung aus Selen :nit 2 Gewichts-io Arsen gefüllt, auf eine Temperatur von 295 C gebracht und der entwickelte Jar.rpf bei einer Substratteiaperatiu"

6098A9/0834

- 11 - FBE 75/15

von 75 bis ciO C 25 iiinuten lang auf dein leitenden Träger niedergeschlagen. Zu Beginn der o. Minute wird das Schiffchen 2 ebenfalls auf 295 °C aufgeheizt und etwa bis zur 22. Minute leergedarnpf t.

V7ie bereits iu Beispiel 1 bei der Arsenlconzentration von 0,5 Gewichts-% beschrieben, braucht auch hier für die Durchführung eines neuen Bedampfungsvorganges jeweils nur das leergedampfte Schiffchen mit neuein Bedampfungsgut, also hier :nit 45 Gramm Selen mit 2 Gewichts-;ό Arsen, gefüllt zu werden.

Die in diesen 3eispiel gebildete Photoleiterschicht weist einen Gesantarsengehalt von 2 Gewichts-',O auf; die höchste Konzentration des Arsens im Bereich von h bis 5 Gewichts-vo liegt in etwa 2/5 der Schichtdicke des Photoleiters, während sich an der freien überfläche ein Arsengehalt von etwa 0,C Gewickts-',ί ergibt. Auch diese Photoleiterschicht zeichnet sich durch groiie Härte und gute elektrophotographische Eigenschaften aus xind neigt nicht zur kristallisation.

V.^:ie weiter oben beschrieben, läßt sich auch bei diesem letzten Beispiel eine weitere Verringerung des liestpotentials erreichen, wenn der.i Verdair.pfungsgut Halogene zugefügt werden. Als vorteilhaft hat sich als Zusatz zu de;:: Selen :.:it 2 Gewichts-% Arsen ein Anteil von 20 ppm Chlor erwiesen.

Claims (3)

1. - 12 - ?BE 75/15

   Patentansprüche

   /1. yGlekti-ophotograrihisclies Aufzeichnungsmaterial, bei den: Selen, cine Seleiilegierung oder eine Selenverfaindmi^ als Photolciter unter Bildung einer photoleitf ähigeii Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgebracht ist und bei der.i der i^Jhotoleiter a2.s einen v.^reiteren P.cstaiidteil Arsen entlii.il t, dadurch gekeiinzcichnot, da.": es aus glasig-amorphem Selen besteht, dail der Gcsamtaiiteil ues Ai"sens zwischen ü,l und 5 Gewichts-,j beträft und einen Ilonzentrations^radienten mit suneli;-.enden Arse::r.ie:i,^rjen von der Oberfläche des leitenden Trägers in ^ic.llung r:ur freien Oberfläche des Photoleiters bis zu etwa 50 bis >C .i der Dicke der photoleitenden Schicht und danach vrieder abnehmende Arsennengen in solcher vlelse aufweist, daß die Arsenkonsentration an der freien Oberfläche des Photoleiters unter 3 Getrichts-;o liegt.
2. 2. ülektropliotographisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufzeichnungsmaterial zusätzlich ein oder mehrere Halogene enthält.

   5· liiektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufzeichnungsmaterial Halogene mit einem Anteil von 1 bis 10 000 pp;:: enthält.

   -¹L. Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufzeichnungsmaterial Halogene in einem Anteil von fj bis 100 pp;n enthält.

   609849/0834

   - IZ - FJi^ 75/15

   5· ^iektrojhotographischeG Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 bis <: , dadurch gekennzeichnet, daß das Aufzeichnunf'sr.iaterial Halogene mit eine;:: Kor.sentrationsGradienten enthält.

   •j. ^le'rtrophoto^raaüsches Aufseichnungsnaterial nach Anspruch 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet daß sich der Malogenanteil überwiegend in den arsenärr.ieren Teil befindet.

   7. Verfahren zti::i Herstellen eines elektrophotograqhischen Aufzeichnungsmaterials nach Anspruch 1 bis 6, bei dem Selen, eine Selenlcgierung oder eine Seleiwerbindung als Photoleiter im Ya-tuun unter 3ildung einer photoleitenden Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgedampft wird und bei dem der Photoleiter als weiteren Bestandteil Arsen enthält, dadurch gekennzeichnet, daß aus einem ersten Verdainpfungsschiffchen, das mit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge des Verdanpfungsgutes gefüllt ist, diese Menge des Verdampfung s gut es nur bis zu einem Anteil von etwa 6θ bis 90 ;j verdampft wird und daß gleichzeitig aus einem zweiten Verdampfungsschiffchen, das noch den restlichen Anteil von etwa 10 bis kO % des Verdampfungsgutes aus einer vorangeganenen gleichartigen Verdampfung enthält, bis höchstens etwa 95 '/o der Schichtdicke der Photoleiterschicht zwischengedampft wird.
3. 3. Verfahren zum Herstellen eines elelctrophotographischen Aufzeichnungsmaterials nach Anspruch 1 bis 6, bei dem Selen, eine Selenlegierung oder eine Selenverbindung als Photoleiter im Vakuum unter Bildung einer photoleitenden Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgedampft wird -and bei dem der Photoleiter als weiteren Bestandteil Arsen enthält, dadurch gekenn-

   609849/0834

   - 1-ϊ - 1.-B3 75/15

   zeichnet, daC aus eine::i ersten Verdar.:pfungssch.if £chen, das :nit einer bei vollständiger Verdanpfuiig sur Erzeu-"tm™ der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden Menge des Verdann)fun."s "utes gefüllt ist, diese Lenge des Verc!a::;p f un^s jut ο s nur bis su einer.: Anteil von 6ΰ bis 90 .o verdampft wird und dal" gleichzeitig aus einem zweiten Yerdar-ipfungsschiff chen, das Selen ::it eine::i Anteil von Arsen in einer.: Bereich von 20 bis ™C Gewichts-;S enthält, bis höchstens etwa 05 ,'■> der Schichtdicke der Phot ο le it er schicht zvris chenge dampf t wird.

   '/erfahren nach Anspruch 8 suni Herstellen eines elektrophotographischen Anfseichnungsiuaterials nach Anspruch. bis 6, bei dem Selen, eine Selenlejierung oder eine Selenverbindun.·.- als Photoleiter iia Valtuuci unter Bildung einer photoleitenden Schicht auf einen elektrisch leitenden Schichtträger aufgedampft wird und bei dem der Photoleiter als weiteren Bestandteil Arsen enthält, dadurch sekennseichnet, daß aus einem ersten Verdanpfungsschiffchen, das ;;iit einer bei vollständiger Verdampfung zur Erzeugung der vorgesehenen Schichtdicke ausreichenden !!enge des Yerdampfungsgutes gefüllt ist, diese lienge des Verdarjpfungsgutes nur bis zu einem Anteil von etwa oG bis 90 "S verdampft wird und daß gleichzeitig aus einem zweiten Verdampfungsschiffchen, das Arsenselenid (As₂Se„) enthält, bis höchstens ettfa 95 % der Schichtdicke der Photoleiterschicht zwischengedampft wird.

   6098A9/0834