DE2520228A1 - Verfahren zur bestimmung der leckrate evakuierter hohlkoerper - Google Patents

Description

• Verfahren zur Bestimmung der Leckrate evakuierter Hohlkörper Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Leckrate evakuierter Hohlkörper, z.B. der Kammern in Druckmeßwerken, die auf 1...0,01 Torr evakuiert erden.
• Um entscheiden zu können, ob die evakuierten Kammern auch ausreichend dicht sind, wird häufig eine Beobachtung des Nullpunktsignals des Meßgerätes nach längerer Lagerzeit, die sich über Monate erstreckt, vorgenommen, wobei auch versucht wird, nicht ausreichend dichte Kammern durch Temperaturbeeinflussung schneller aufzuspären.
• Der Nachteil dieser Methode ist die lange Lagerzeit. außerdem hat sich gezeigt, daß die aus der Anzeige gezogenen Rückschlüsse auf die Leckrate nicht immer endeutig sind.
• Die Erfindung stellt sich die Aufgabe, hier Abhilfe u schaffen und ein V£rfahren zu entwickeln, das mit möglichst einfa@@@@ Mitteln sichere Aussagen über die Leckrate evakuiert-- Hohlkörper in einem Druckbereich von etwa 1...O,O1 Torr ermöglicht.
• Das erfindungsgemäße Verfahren zur Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß in den Hohlkörper vakuumdicht ein Fühler von der Art eines Wärmeleitungs-Vakuummeters mit elektrisch beheiztem iTiderstandselement eingesetzt und dort belassen wird, und daß nach dem Evakuieren und dem Verschließen des Hohlkörpers in einem bestimmten zeitlichen Abstand aus zwei Vakuummessungen mit dem Fühler, die Leckrate ermittelt wird. Vorzugsweise wird für das Verfahren als Vakuummeter eine Eleinstglühlampe ohne Glaskolben verwendet.
• Anhand der Zeichnung wird das Verfahren im folgenden näher beschrieben.
• In einem durch die Wand 1 angedeuteten Hohlkörper ist vakuumdicht ein Fühler, der eine Kleinstglühlampe ohne Glaskolben ist, als Druckmesser für den Gasdruck im Hohlkörper eingesetzt. Die Kleinstglühlampe besteht aus einer Glassockel-Durchführung 2, den an die Stronzuführungselektroden 3 und 4 angeschweißten Drähten 5 und 6 mit der Glashalterung 7 und dem Glühdraht 8.
• Die in bekannter Weise metallisierte Sockeldurchführung aus Glas wird in ein entsprechend vorbereitetes Loch des Hohlkörpers mit Lot vakkumdicht eingesetzt. ttber die Stromzuführungen wird ein konstanter Strom geschickt, der die Heizwendel erwärmt. Die sich einstellende Wendeltemperatur, die eine Funktion des Gasdruckes in dem Hohlkörper ist, beeinflußt den Wendelwiderstand.
• Bei einer vorausgegangenen Kalibrierung der Kleinstglühlampe als Wärmeleitungsmanometer kann somit durch Messung des Spannungsabfalles an der Wendel der Gasdruck im Hohlkörper bestimmt werden. Durch zwei Druckmessungen nach einer festgelegten Wartezeit, läßt sich die Leckrate des Hohlkörpers bestimmen .
• Es wurde festgestellt, daß auf diese Weise eine sichere Beckratenbestimmung kleiner Hohlräume von 5... 30 cm3 in der Größenordnung 1 10 9 Torr l/s in dem genannten Druckbereich möglich ist. Solche Werte garantieren eine ausreichende Dichtheit des zu prüfenden Hohlkörpers.
• Die für die Druckbestimmung angewandte elektrische Methode der Spannungsmessung durch Einspeisung eines konstanten Stromes, kann auch durch eine Strommessung bei angelegter konstanter Spannung oder eine Widerstandsmessung der Glühwendel ersetzt werden.

Claims (2)

1. Patentansprüche:

   S Verfahren zur Bestimmung der Leckrate evakuierter Hohlkörper9 dadurch gekennzeichnet, daß in den Hohlkörper vakuumdicht ein Fühler von der Art eines Wärmeleitungs-Vakuummeters mit elektrisch beheiztem Widerstandselement eingesetzt und dort belassen wird und daß nach dem Evakuieren und dem Verschließen des Hohlkörpers in einem bestimmten zeitlichen Abstand aus zwei Vakuummessungen mit dem Fühler, die Leckrate ermittelt wird.
2. 2. Verwendung einer Kleinstglühlampe ohne Glaskolben als Vakuummeter zur Ausübung des Verfahrens nach Anspruch 1.