DE2510219A1 - Laengenmesseinrichtung - Google Patents
LaengenmesseinrichtungInfo
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Description
Längenmeßeinrichtung
Die Erfindung betrifft eine Längenmeßeinrichtung mit einem Maßstab, dessen Teilung außerhalb der neutralen Faser liegt
und von einer Abtastbaueinheit abgetastet wird, die am zu messenden Objekt angekoppelt ist und an einer von der
Führung des zu messenden Objektes unabhängigen Hilfsführung verschiebbar ist. Das zu messende Objekt kann der Schlitten
einer Bearbeitungs— oder Meßmaschine sein.
Bei bekannten Längenmeßeinrichtungen mit einem Maßstab, dessen Teilung außerhalb der neutralen Faser liegt, bewirken Yer—
biegungen des Maßstabes in seiner Gebrauchslage Meßfehler.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Längenmeßeinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die im Hinblick auf die
Meßgenauigkeit einer Meßeinrichtung mit in der neutralen Faser des Maßstabkörpers liegenden Teilung gleichwertig
ist, sich dabei aber durch eine einfache Bauweise auszeichnet .
Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß die Abtastbaueinheit am zu messenden Objekt bzw. einem daran
angebrachten Mitnehmer unter Zwischenschaltung gelenk— artiger Elemente derart angekoppelt ist, daß eine Kompensation
von durch Deformationen des Maßstabes und/oder Führungsungenauigkeiten der Abtastbaueinheit hervorgerufenen
Fehlern bewirkt wird.
Eine Kompensation von Fehlern, die durch Deformationen des Maßstabes hervorgerufen werden, erfolgt nach der
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Erfindung dadurch, daß sich die Abtasfbaueinheit direkt
an der die Teilung tragenden Fläche des Haßstabes abstützt und am Mitnehmer in Höhe der neutralen Faser
des Maßstabkörpers gelenkig angekoppelt ist«
Eine besonders hohe Meßgenauigkeit kann nach einer weiteren Maßnahme der Erfindung dadurch erzielt werden,
daß die Abtastbaueinheit, an der z.B. eine Gitterab— tastplatte angebracht ist, in einer ersten Ebene in Höhe
der neutralen Faser des Maßstabkörpers gelenkig am Mitnehmer angekoppelt ist und in einer zweiten dazu rechtwinklig
liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse der Teilung der Gitterabtastplatte
gelenkig am Mitnehmer angekoppelt ist. Durch diese Ankopplung wird eine Kompensation von Fehlern bewirkt, die
durch Deformationen des Maßstabes in seiner Gebrauchs— lage und Führungsungenauigkeiten der Abtastbaueinheit
hervorgerufen werden.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen.
In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Längen— meßeinrichtung nach der Erfindung dargestellt.
Es zeigt
Figur 1 schematisch eine erste Ausführungsform der Ankopplung nach der Erfindung,
Figur 2 eine Seitenansicht zu Figur 1,
Figur 3 eine weitere Ausführungsform der Ankopplung
nach der Erfindung,
Figur 4- eine Seitenansicht zu Figur 3»
Figur 5 die Ankopplung nach der Erfindung bei einer gekapselten digitalen Längenmeß—
einrichtung,
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Figur 6 einen Schnitt nach der Linie A—B der Figur 5*
Figur 7 einen Schnitt nach der Linie C-D der Figur 5-
In Figur 1 und 2 ist mit 1 der G-itteraaSstab einer in—
krementalen Meßeinrichtung bezeichnet. Die Abtastbau— einheit 2, die die G-itterabtastplatte 3 trägt, stützt
sich über Gleitschuhe 4 direkt am Gittermaßstab 1 ab.
An der Abtastbaueinheit 2 sind auch die Beleuchtungseinrichtung sowie die photoelektronischen Sauelemente vorgesehen.
In der zur Teilungsebene des Gittermaßstabes 1 senkrechten Ebene ist die Abtastbaueinheit 2 über
Rollen 5/6 am Träger des Gattermaßstabes 1 geführt. Dieser
Träger ist in Figur 5 ein biegesteifer Hohlkörper 24-, an
dem der Gittermaßstab 1 befestigt ist. Die Abtastbaueinheit 2 ist über einen Mitnehmer 7 am zu
messenden Objekt, z.B. einem Maschinentisch, angekoppelt. Die Ankopplung erfolgt nach der Erfindung dadurch, daß
die Abtastbaueinheit 2 in Höhe der neutralen Faser des Gittermaßstabes 1 gelenkig am Mitnehmer 7 angekoppelt ist.
Das Gelenk wird in Figur 1 durch Blattfedern S und 9 gebildet, deren Mittelachse in Höhe der neutralen Faser des
Gittermaßstäbes 1 liegt. Die Blattfeder 8 ist dabei an der
Abtastbaueinheit 2 und an einem winkelförmigen Bauteil 11 befestigt. Die Blattfeder 9 ist zwischen dem Mitnehmer 7
und einem winkelförmigen Bauteil 12 angebracht. Durch diese Ankopplung der Abtastbaueinheit 2 in Höhe der neutralen
Faser des Gittermaßstabes 1 werden Fehler kompensiert, die durch Deformationen des Gittermaßstabes Λ hervorgerufen
werden. Derartige Deformationen können beispielsweise schon beim Befestigen des Gittermaßstabes 1 in seiner Halterung
auftreten.
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Eine besonders hohe Meßgenauigkeit kann durch eine weitere Ankopplungsmaßnahme dadurch erzielt werden, daß die Ab—
tastbaueinheit 2 in einer zweiten, zur vorgenannten An—
kopplungsebene senkrecht liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse M der Gitterteilung
der Abtastplatte 3 bzw. des Gittermaßstabes 1 gelenkig am Mitnehmer 7 angekoppelt ist. Die Gelenke werden wieder
durch Blattfedern 13 und 14 gebildet, die in Höhe der Mittelachse M der Gitterabtastplatte 3 angebracht sind.
Die Blattfedern 13 und 14 sind an einem U—förmigen Ver—
bindungsteil 10 und an den winkelförmigen Bauteilen 11 und 12 befestigt. Durch diese Ankopplung der Abtastbau—
einheit 2 in Höhe der Mittelachse M der Gitterteilung der Abtastplatte 3 können auch Fehler kompensiert werden, die
durch Führungsungenauigkeiten der Abtastbaueinheit 2 in
der zur Teilungsebene des Gittermaßstabes 1 senkrechten Ebene hervorgerufen werden.
Die Figur 3 und 4· zeigt eine Ausführungsform, bei der die
Abtastbaueinheit 2 mittels einer Blattfeder 15 in Höhe der
neutralen Faser des Gittermaßstabes 1 gelenkig an einem Mitnehmer ?' angekoppelt ist. In der anderen, dazu senkrechten
Ebene ist die Abtastbaueinheit 2 aber mittels knick— steifer Drähte 16 und 17 in Höhe der Mittelachse M der Gitter—
teilung der Abtastplatte 3 gelenkig am U—förmigen Mitnehmer 7'
angekoppelt. Die Blattfeder 15 ist an der Abtastbaueinheit
und an einem U—förmigen Bauteil 18 befestigt, an dem auch
die Drähte 16 und 17 befestigt sind.
Die Figuren 5 bis 7 zeigen eine lichtelektrische Längen—
meßeinrichtung in gekapselter Ausführung, bei.der das in Figur 1 dargestellte Ankopplungsprinzip ait besonderem .
Vorteil angewandt ist.
Die Teilung des Gittermaßstabes 1,. und die Teilung der
Die Teilung des Gittermaßstabes 1,. und die Teilung der
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Gitterabtastplatte 3^1 werden mittels einer Lampe über
einen Kondensor beleuchtet. Die Beleuchtungseinrichtung 19, die die Lampe und den Kondensor enthält, ist .
an der Abtastbaueinheit 2* angebracht· Das die
Gitter 1/j/3yi durchsetzende Licht wird auf Photoelemente
20/21 (Figur 6) geworfen. Das elektrische Ausgangssignal der Photoelemente 20/21 wird über die Ausgänge 22/23 direkt
einem elektronischen Vor-/Rückwärtszähler (nicht dargestellt)
der im deutschen Gebrauchsmuster 7 4-13 290 beschriebenen
Art zugeführt wird.
Der Gittermaßstab 1^ und die Abtastbaueinheit 2* sind zur
Abschirmung gegen Umwelteinflüsse in einem biegesteifen Hohlkörper 24 eingebracht, der zweckmäßig aus strangge—
zogenem Aluminium hergestellt ist. Der Gittermaßstab 1,. ist am Hohlkörper 24 durch Kleben befestigt. Die Abtast—
baueinheit 2,. ist über Gleitschuhe 4,. direkt am Gitter—
maßstab 1,- und über Kugellager 5/i/6,, am Hohlkörper 24 geführt.
Ein Kugellager 25, das über eine Blattfeder 26 an
der Abtastbaueinheit 2,» angebracht ist und sich am Hohlkörper 24 abstützt, drückt die Abtastbaueinheit 2,, gegen
die Führungsflächen am Gittermaßstab 1,, und Hohlkörper
Der Hohlkörper 24 ist mittels biegsamer, dachförmig angeordneter Dichtlippen 27/28 verschlossen, durch die ein
schlanker schwertförmiger Mitnehmer 29 hindurchgreift.
Die Ankopplung der Abtastbaueinheit 2^ an den Mitnehmer
erfolgt wie in Figur 1 und 2 durch Blattfedern 8,- und 9*
bzw. 13/j und 14,.. Die Blattfedern 8. und 9^j sind in Höhe
der neutralen Faser des Gittermaßstabes 1^ angeordnet.
Durch diese Ankopplung können Fehler kompensiert werden, die durch Deformationen des Gittermaßstabes Ix. hervorgerufen
werden. Die Blattfedern 13/i und 14- sind in Höhe
der Mittelachse M der Gitterabtastplatte 3/j angeordnet.
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Durch diese Ankopplung können Fehler kompensiert werden, die durch Ungenauigkeiten der Führungsbahn am Hohlkörper
24 hervorgerufen werden. Die Blattfeder 8.. ist
an der 'Abtastbaueinheit 2^. und am winkelförmigen Bauteil
11. befestigt, die Blattfeder 9* am winkelförmigen
Bauteil 12,. und dem vorspringenden Teil 7/j des schwertförmigen
Mitnehmers 29 angeordnet. Die Blattfedern Λ3*
und 14. sind am winkelförmigen Bauteil 11,. und 12^ und
an einem U-förmigen Verbindungsteil 1CL befestigt.
Die Erfindung ist nicht auf die gezeigte lichtelektrische Meßeinrichtung beschränkt, sondern sie ist selbstverständlich
auch bei optischen, induktiven, kapazitiven Meßeinrichtungen anwendbar.
— 7 —
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Claims (10)
1.)) Längenmeßeinrichtung mit einem Maßstab, dessen Teilung
außerhalb der neutralen Faser liegt und von einer Ab— tastbaueinheit abgetastet wird, die am zu messenden
Objekt angekoppelt ist und an einer von der Führung des zu messenden Objektes unabhängigen Hilfsführung
verschiebbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastbaueinheit (2 bzw. 2Λ am zu messenden Objekt
bzw. einem daran angebrachten Mitnehmer (7 bzw. 7' bzw. 7>j) unter Zwischenschaltung gelenkartiger Elemente
(8/9 u. 13/14 bzw. 15 u. 16/17 bzw. 8^/9,, u.
13/i/14vj)derart angekoppelt ist, daß eine Kompensation
von durch Deformationen des Haßstabes (1 bzw. 1yj) und/oder Führungsungenauigkeiten der Abtastbau—
einheit. (2 bzw. 2^.) hervorgerufenen Fehlern bewirkt
wird.
2.) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge—,
kennzeichnet, daß sich die Abtastbaueinheit (2 bzw. 2y.) direkt an der die Teilung tragenden Fläche des
Maßstabes (1 bzw. 1^.) abstützt und am Mitnehmer (7
bzw. 7' bzw. 7/j) in Höhe der neutralen Faser des
Maßstabes (1 bzw. 1-) gelenkig angekoppelt ist.
3·) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abtastbaueinheit (2 bzw. 2*)
in einer ersten Ebene in Höhe der neutralen Faser des Maßstabes (1 bzw. 1„.) gelenkig am Mitnehmer (7
bzw. 7' bzw. 7/j) angekoppelt ist und in einer
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zweiten dazu rechtwinklig liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse (M)
der Teilung gelenkig am Mitnehmer (7 bzw. 71 bzw.
7x]) angekoppelt ist.
4.) Langenmeßeinrichtung nach Anspruch 3* dadurch gekennzeichnet,
daß die Abtastbaueinheit (2) unter Zwischenschaltung einer Blattfeder (15) in Höhe
der neutralen Faser eines Gittermaßstabes (1) am Mitnehmer (71) angekoppelt ist und in der anderen
Ebene unter Zwischenschaltung.von knicksteifen · Drahtstücken (16/17) in Höhe der Mittelachse (M)
der Gitterabtastplatte (3) gelenkig am Mitnehmer (71) angekoppelt ist.
5«) Langenmeßeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Blattfeder (15) an der Ab— tastbaueinheit (2) und an einem U—förmigen ausgebildeten,
den Gittermaßstab (1) umgreifenden Bauteil (18) befestigt ist und daß die zu beiden
Seiten des Gittermaßstabes Ci) vorgesehenen Draht— stücke (16/17) am vorgenannten U-förmigen Bauteil
(18) sowie an einem U-förmig ausgebildeten, den Gittermaßstab (1) umgreifenden Mitnehmer (71)
befestigt sind.
6.) Langenmeßeinrichtung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet,
daß die Abtastbaueinheit (2 bzw. 2,.) unter Zwischenschaltung zweier Blattfederpaare (8/9
u. 13/14 bzw. &Λ/9Λ u. 13^/1^) gelenkig am Mitnehmer
(7 bzw. 7'/29) angekoppelt ist.
7·) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch ge—
kennzeichnet, daß die Blattfedern (8 bzw. 8^.
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u. 9 bzw. 9/j) des einen Paares an einem winkelförmigen
Bauteil (11 bzw. 11^ u. 12 bzw. 12^) und
an der Abtastbaueinheit (2 bzw. 2^) resp. am
Mitnehmer (7 bzw.
7/i/29) befestigt sind und daß die Blattfedern (13 bzw. 13^ u. 14 bzw. 14^)
des anderen Paares am vorgenannten winkelförmigen Bauteil (11 bzw. 11- u. 12 bzw. 12,,) und an einem
IJ-förmigen Verbindungsteil (10 bzw. 10,,) befestigt
sind.
8.) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Maßstab (1^) ein
Gittermaßstab ist, der zusammen mit einer lichtelektrisch arbeitenden Abtastbaueinheit (2^,) in
einem langgestreckten biegesteifen Hohlkörper (24)
eingebracht ist, der mittels biegsamer, dachförmig angeordneter Dichtlippen (27/28), durch die
ein am zu messenden Objekt angebrachter Mitnehmer (29) für die Abtastbaueinheit (2^) hindurch—
geführt ist, verschlossen ist, und daß ferner die die Gitterabtastplatte (3/i) tragende Abtastbau—
einheit (2^) am Gittermaßstab (1^) sowie am
Hohlkörper (24) geführt ist und am Mitnehmer (7/j/ 29) in einer ersten Ebene in Höhe der neutralen
Faser des Gittermaßstabes (1,,) gelenkig angekoppelt
ist und in einer zweiten dazu rechtwinklig liegenden Ebene in Höhe der in Meßrichtung verlaufenden Mittelachse
(M) der Gitterteilung der Abtastplatte (3,,) spielfrei gelenkig angekoppelt ist.
9·) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Abtastbaueinheit (2^) federnd
gegen die Führungsflächen am Gittermaßstab (1^) und
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Hohlkörper (24) gedruckt wird und sich an der Führungsfläche des Gittermaßstabes (1,,) über
Gleitschuhe (4,.) und an der Führungsfläche am
Hohlkörper (24) über Kugellager (5^/6^) abstützt
.
10.) Längenmeßeinrichtung nach Anspruch 9» dadurch gekennzeichnet,
daß eine schräg zur Teilungsebene des Gittermaßstabes (Ix,) liegende, vorzugsweise
als Kugellager ausgebildete Rolle (25) vorgesehen ist, die über eine Blattfeder (26) an der Abtast—
baueinheit (2/.) befestigt ist und sich unter Feder—
wirkung an einer Fläche des Hohlkörpers (24) abstützt und so die Abtastbauexnheit (2,.) mit definierender
Kraft gegen die Führungsflächen am Gitter— maßstab (1^) und Hohlkörper (24) drückt.
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Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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NL7601355A NL180958C (nl) | 1975-03-08 | 1976-02-10 | Lengtemeetinrichting. |
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CS139076A CS232704B2 (cs) | 1975-03-08 | 1976-03-03 | Zařízení k měření délek |
HU76HE706A HU173868B (hu) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Izmeritel'noe dlinu prisposoblenie dlja izmerenija ili ustanovki otnositel'nogo polozhenija dvukh predmetov |
IT1251876A IT1080724B (it) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Dispositivo per la misura di lunghezze |
PL18773276A PL120591B1 (en) | 1975-03-08 | 1976-03-05 | Measuring device for measurement of length |
JP2427076A JPS51113657A (en) | 1975-03-08 | 1976-03-08 | Length measuring device |
US05/815,092 US4152837A (en) | 1975-03-08 | 1977-07-13 | Length measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
DE19752510219 DE2510219C3 (de) | 1975-03-08 | 1975-03-08 | Längenmeßeinrichtung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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DE2510219A1 true DE2510219A1 (de) | 1976-09-16 |
DE2510219B2 DE2510219B2 (de) | 1977-09-01 |
DE2510219C3 DE2510219C3 (de) | 1978-05-18 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752510219 Expired DE2510219C3 (de) | 1975-03-08 | 1975-03-08 | Längenmeßeinrichtung |
Country Status (13)
Country | Link |
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JP (1) | JPS51113657A (de) |
AT (1) | AT357340B (de) |
BE (1) | BE839073A (de) |
CH (1) | CH588681A5 (de) |
CS (1) | CS232704B2 (de) |
DD (1) | DD123626A5 (de) |
DE (1) | DE2510219C3 (de) |
FR (1) | FR2304056A1 (de) |
GB (1) | GB1541285A (de) |
HU (1) | HU173868B (de) |
IT (1) | IT1080724B (de) |
NL (1) | NL180958C (de) |
PL (1) | PL120591B1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2419504A1 (fr) * | 1978-03-10 | 1979-10-05 | Dresden Feinmess | Systeme de mesure de distance a echelle graduee transparente |
DE2844066A1 (de) * | 1978-10-10 | 1980-04-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
EP0062735A1 (de) * | 1981-04-04 | 1982-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Gekapselte, digitale elektrische Positionsmesseinrichtung |
US4492032A (en) * | 1982-01-22 | 1985-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Coupling arrangement for length measuring device |
EP0143773A2 (de) * | 1983-11-22 | 1985-06-05 | EMR Elektronische Mess- und Regelgeräte Gesellschaft m.b.H. | Längenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte Längenmesseinrichtung |
DE3518259A1 (de) * | 1984-05-22 | 1985-11-28 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Wegmessinstrument |
US4982507A (en) * | 1989-02-10 | 1991-01-08 | Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Length measuring system |
CN114279296A (zh) * | 2022-03-04 | 2022-04-05 | 山东丰源汽车科技有限公司 | 一种汽车板簧半长测量装置 |
CN114646260A (zh) * | 2021-12-25 | 2022-06-21 | 力邦测控设备(洛阳)有限公司 | 一种滑靴视觉检测机 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5732407Y2 (de) * | 1976-10-27 | 1982-07-16 | ||
DE2706926C2 (de) * | 1977-02-18 | 1979-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE2712096C2 (de) * | 1977-03-19 | 1979-01-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
DE2712422C2 (de) * | 1977-03-22 | 1978-11-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
JPS5551739U (de) * | 1978-10-02 | 1980-04-05 | ||
US4549353A (en) * | 1982-07-28 | 1985-10-29 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Displacement measuring instrument |
DE3400395C1 (de) * | 1984-01-07 | 1985-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
DE3409298C1 (de) * | 1984-03-14 | 1985-08-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
JPH052804Y2 (de) * | 1986-05-21 | 1993-01-25 | ||
DE3621236A1 (de) * | 1986-06-25 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
JP6074672B2 (ja) * | 2011-10-28 | 2017-02-08 | 株式会社ミツトヨ | 変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラム |
JP6300431B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | エンコーダ、レンズ装置、および、カメラ |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3833303A (en) * | 1972-10-06 | 1974-09-03 | Bausch & Lomb | Measuring apparatus using the moire fringe concept of measurement |
US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
-
1975
- 1975-03-08 DE DE19752510219 patent/DE2510219C3/de not_active Expired
- 1975-11-20 FR FR7536092A patent/FR2304056A1/fr active Granted
- 1975-11-20 AT AT883975A patent/AT357340B/de not_active IP Right Cessation
-
1976
- 1976-01-16 CH CH50476A patent/CH588681A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-01-27 GB GB303076A patent/GB1541285A/en not_active Expired
- 1976-02-10 NL NL7601355A patent/NL180958C/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-02-17 DD DD19127976A patent/DD123626A5/xx unknown
- 1976-03-01 BE BE164759A patent/BE839073A/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-03-03 CS CS139076A patent/CS232704B2/cs unknown
- 1976-03-05 PL PL18773276A patent/PL120591B1/pl unknown
- 1976-03-05 HU HU76HE706A patent/HU173868B/hu unknown
- 1976-03-05 IT IT1251876A patent/IT1080724B/it active
- 1976-03-08 JP JP2427076A patent/JPS51113657A/ja active Granted
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2419504A1 (fr) * | 1978-03-10 | 1979-10-05 | Dresden Feinmess | Systeme de mesure de distance a echelle graduee transparente |
DE2844066A1 (de) * | 1978-10-10 | 1980-04-17 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
EP0062735A1 (de) * | 1981-04-04 | 1982-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Gekapselte, digitale elektrische Positionsmesseinrichtung |
US4492032A (en) * | 1982-01-22 | 1985-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Coupling arrangement for length measuring device |
EP0143773A3 (en) * | 1983-11-22 | 1986-07-23 | Elektron Mess & Regelgeraete | Length-measuringg device, especially an enclosed length-measuring device |
EP0143773A2 (de) * | 1983-11-22 | 1985-06-05 | EMR Elektronische Mess- und Regelgeräte Gesellschaft m.b.H. | Längenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte Längenmesseinrichtung |
US4550505A (en) * | 1983-11-22 | 1985-11-05 | Heinz Rieder | Instrument for measuring lengths |
DE3518259A1 (de) * | 1984-05-22 | 1985-11-28 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Wegmessinstrument |
US4982507A (en) * | 1989-02-10 | 1991-01-08 | Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Length measuring system |
AT394110B (de) * | 1989-02-10 | 1992-02-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesssystem |
CN114646260A (zh) * | 2021-12-25 | 2022-06-21 | 力邦测控设备(洛阳)有限公司 | 一种滑靴视觉检测机 |
CN114646260B (zh) * | 2021-12-25 | 2024-03-22 | 力邦测控设备(洛阳)有限公司 | 一种滑靴视觉检测机 |
CN114279296A (zh) * | 2022-03-04 | 2022-04-05 | 山东丰源汽车科技有限公司 | 一种汽车板簧半长测量装置 |
CN114279296B (zh) * | 2022-03-04 | 2022-05-13 | 山东丰源汽车科技有限公司 | 一种汽车板簧半长测量装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2304056B1 (de) | 1981-03-27 |
AT357340B (de) | 1980-07-10 |
CS232704B2 (cs) | 1985-02-14 |
IT1080724B (it) | 1985-05-16 |
BE839073A (fr) | 1976-07-01 |
ATA883975A (de) | 1979-11-15 |
PL120591B1 (en) | 1982-03-31 |
HU173868B (hu) | 1979-09-28 |
DE2510219C3 (de) | 1978-05-18 |
GB1541285A (en) | 1979-02-28 |
DD123626A5 (de) | 1977-01-05 |
FR2304056A1 (fr) | 1976-10-08 |
JPS5627803B2 (de) | 1981-06-27 |
JPS51113657A (en) | 1976-10-06 |
CH588681A5 (de) | 1977-06-15 |
DE2510219B2 (de) | 1977-09-01 |
NL180958C (nl) | 1987-05-18 |
NL7601355A (nl) | 1976-09-10 |
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