DE2502973B2 - Abnehmertaster - Google Patents

Abnehmertaster

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Fumio Moriguchi Osaka; Wasa Kiyotaka Nara; Hayakawa Shigeru Hirakata; Nagai Takeshi Neyagawa; Osaka; Hosomi (Japan)
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Description

Die Erfindung betrifft einen Abnehmertaster, der einer Rille in einer Aufzeichnungsplatte folgt, die eine elektrisch leitende Oberfläche und einen dielektrischen Überzug auf der elektrisch leitenden Oberfläche aufweist, und der mit der Aufzeichnungsplatte zusammenwirkt und kapazitive Änderungen zwischen dem Taster und der elektrisch leitenden Oberfläche liefert, wenn eine relative Bewegung zwischen dem Taster und der Aufzeichnungsplatte hergestellt wird, und der aus einem länglichen Stab aus Tonerde reit einem elektrisch leitenden Überzug aus einem Metall, einem Metallnitrid, einem Metallsilicid, einem Metallborid, einem Metallcarbid oder einem daraus zusammengesetzten Material besteht.
Eine Tonerde wie z. B. Saphir oder Rubin, deren chemische Hauptsammensetzung ein A-Al2O1 ist und die einen leitenden Überzug aufweist, wird in großem Maße z. B. dazu verwendet, einen Abnehmer für ein Videoplatten-Wiedergabesystem mit Kapazitätsänderung und einen veränderlichen Widerstand mit einem dünnen Metallfilmüberzug für eine elektrische Schaltung herzustellen. Der leitende Überzug haftet jedoch wegen der hohen chemischen Stabilität schlecht auf der Oberfläche der Tonerde. Es wuroen viele Versuche unternommen, um die Haftfestigkeit des leitenden Überzuges auf der Tonerde zu verbessern. Zum Beispiel wurde versucht, mit einer unregelmäßigen Oberfläche der Tonerde die Haftfestigkeit des leitenden Überzuges auf der Tonerdeoberfläche zu verbessern. Diese Tonerden haben jedoch den Nachteil einer Ungleichförmigkeit der Oberfläche des leitenden Überzuges.
Aus der DT-OS 21 16 310 ist ein Verfahren zur fto Herstellung von Verbindungen zwischen Metallen und Oxidkeramik bekannt, nach dem unter Verwendung eines metallischen Aktivators Bindiingsbrücken /wischen einer Oxidkeramik und einem leitenden Metallslab gebildet werden, wobei der metallische Aktivator 6<s zwischen die Oberfläche des Keramikteils und die Oberfläche des Metallstabs gebracht wird und die Reaktion zur Reaktivierung der Oberflächenvalenzen
ist.
Der E findung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Abnehmertaster zur Verfugung zu stellen, der einen glatten elektrisch leitenden Überzug aufweist, welcher fest an einem das Grundmaterial des Tasters bildenden Tonerdestab haftet.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht gemäß der Erfindung darin, daß eine Bimleschicht zwischen dem elektrisch leitenden Überzug und dem Tonerdestab vorhanden ist, die aus einem Metalloxid, einem Metallnitridoxid, einem Metallsilicidoxid, einem Metallboridoxid, einem Metallcarbidoxid oder einem daraus zusammengesetzten Material besteht.
Durch die Erfindung wird erreicht, daß der elektrisch leitende Überzug sehr fest auf der Oberfläche des Tonerdestabs haftet. Die Haftfestigkeit des elektrisch leitenden Überzugs auf dem 1 onerdestab ist, gemessen nach einem Zugtestverfahren, höher als 5 kg/mm2.
In der Zeichnung ist
Fig. 1 eine Querschnittsansichi eines Tonerdestilbs mit einem leitenden Überzug und einer Bindeschicht gemäß der Erfindung,
Fig.2 ein Querschnitt eines Abnehmers für ein Videoplatien-WiediTgäbesystem der Type mit Kapazitätsänderung.
In der Fig. 1 enthält ein Tonerdestab 10 einen elektrisch leitenden Überzug 1 und eine Bindeschicht 2 zwischen dem leitenden Überzug und einer Oberfläche des Tonerdestabs 3.
Die Tonderde ist nicht beschränkt auf reine Tonerdckristalle oder -keramik. Alle Kristalle oder Keramikmaterialien, die aus Λ-ΑΙ2Ο1 bestehen, sind für den Tonerdestab verwendbar, wie Saphir, Rubin, Sternrubin und Sternsaphir.
Der elektrisch leitende Überzug und die Bindeschicht können unter Anwendung einer herkömmlichen kathodischen Aufsprühtechnik hergestellt werden; der leitende Überzug kann durch kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz von einer Elektrode aus dem leitenden Material für den elektrisch leitenden Überzug in einer nicht reagierenden Atmosphäre z. B. Argongas bei 10~2 bis 10 ' Torr hergestellt werden. Die Bindeschicht kann durch kathodisches Aufsprühen bei Hochfrequenz von
der Elektrode aus einem geeigneten Material in einer oxidierenden Atmosphäre wie Sauerstoffgas bei 10~2 bis 10-' Torr oder durch kathodisciies Aufsprühen bei Hochfrequenz von einer Elektrode aus einem geeigneten Metalloxid in einer nicht reagierenden Atmosphäre wie Argongas in Verbindung mit anschließender Wärmebehandlung in Luft bei 600 bis 1200°C für 1 bis 3 Stunden hergestellt werden.
Der in der Fig.2 gezeigte Abnehmer 30 für ein Videoplatten-Wiedergabesystem besteht aus einem länglichen Stab 3 aus Tonerde, z. B. einem Saphirkristallstab, mit einem elektrisch leitenden Überzug 1 hoher Abnutzungsfestigkeit aus Tantal und mit einer Bindeschicht 2 aus einer Tantaloxidschicht 4 und einer Schicht 5 einer festen Lösung von Al2O3-SiO2. Die Dicke des Tantals, des Tantaloxids und der festen Lösung Al2O3-SiO; beträgt vorzugsweise 0,01 bis 1,0,0,01 bis 0,2 bzw. 0,01 bis 0,3 μπι. Wie F i g. 3 zeigt, soll der Abnehmer 30 in einer Nut der !'latte 6 laufen, die eine leitende Oberfläche 7 um! einer: dielektrischen Überzug 8 über der leitenden Oberfläche aufweist, und der Abnehmer soll weiterhin mil der Platte 6 zusammenwirken und kapazitive Änderungen /wischen dem Abnehmer und der leitenden Oberfläche aufgrund geometrischer Veränderungen im Boden der Nut liefern, wenn eine relative Bewegung zwischen dem Abnehmer oder Taster und der Platte hergestellt wird. Für den elektrisch leitenden Überzug 1 können verwendet werden ein schwer schmelzbares Metall wie Ta, Hf, Ti. Zr, Nb, Mo und Legierungen davon, ein schwer schmelzbares Metallnitrid w;e Tantalnitride, Hafniumnilrid';, Titannitride, Zirkonnitride, Niobiumnitride, Molybdännitride und eine Verbindung davon, ein schwer schmelzbares Metallsilicid wie Tantalsilicide, Hafniumsilicide, Tiiansilicide, Zirkonsilicide. Niobiumsilicide. Moäybdänsilicide und Verbindungen davon, ein schwer schmelzbares Metallborid wie Tantalboride Hafniumboride, Titanboride, Zirkonboride, Niobiumboride, Molybdänboride und Verbindungen davon und ein schwer schmelzbares Metallcarbid wie Tantalcarbide, Hafniumcarbide, Titancarbide. Zirkoncarbide, Niobiumcarbide, Molybdäncarbide und eine Verbindung davon. Der Tonerdestab 3 ist so geformt, dall, wenn er die Plattennut berührt, eine Kante des leitenden Momentes nahe dem dielektrischen IJber/ug liegt.
Ilier/u 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Abnehmertaster, der einer Rüle in einer Aufzeicnnungsplatte folgt, die eine elektrisch leitende ; Oberfläche und einen dielektrischen Oberzug auf der elektrisch leitenden Oberfläche aufweist, und der mit der Aufzeichnungsplatte zusammenwirkt und kapazitive Änderungen zwischen dem Taster und der elektrisch leitenden Oberfläche liefert, wenn eine relative Bewegung zwischen dem Taster und der Aufzeichnungsplatte hergestellt wird, und der aus einem länglichen Stab aus Tonerde mit einem elektrisch leitenden Oberzug aus einem Metall, einem Metallnitrid, einem Metallsilicid, einem i$ Metallborid, einem Metallcarbid oder einem daraus zusammengesetzten Material besteht, dadurch gekennzeichnet, daß eine Bindeschicht zwischen dem elektrisch leitenden Oberzug und dem Tonerdestab vorhanden ist, die aus einem Metalloxid, einem Metallnitridoxid, einem Metallsilicidoxid, einem Metallboridoxid, einem lvfetallcarbidoxid oder einem daraus zusammengesetzten Material besteht.
    25 der Oxidkeramik als Feststoff-Reaktionen ablaufen. Der Aktivator diffundiert in die Oxidkeramik und den leitenden Metallstab unter Bildung einer Zone aus Suboxidgemisch und einer Legierungszone an den Oberflächen der Oxidkeramik und des leitenden Metallstabs. Eine ausreichende starke Haftfestigkeit zwischen einem leitenden Überzug und einem Tonerdestab kann nach diesem Verfahren nicht erzielt werden.
    Die DT-OS 20 61 678 beschreibt einen Abnehmertaster mit einem Kern und einem elektrisch leitenden Überzug darauf, der wenigstens ein Metall der 3. bis 6. Gruppe des Periodensystems und wenigstens eines von deren harten und elektrisch leitenden Nitriden, Bonden, Siliciden oder Carbiden enthält Der Kern besteht nach dem dortigen Ausführungsbeispiel aus Diamant. Der Kern kann auch aus Glas oder Keramik bestehen, dessen bzw. deren Zusammensetzung nicht näher angegeben ist. Die Verwendung eines Tonerdestabs als Kern wird dort nicht beschrieben. Nachteilig an diesem bekannten Abnehmertaster ist, daß eine starke Haftfestigkeit zwischen dem Diamantkern und dem leitenden Überzug nicht erzielt werden kann und auch bei Verwendung eines Tonerdestabs eine genügende Haftfestigkeit zwischen diesem und dem leitenden Überzug nach der dortigen Technik nicht zu erreichen
DE19752502973 1974-04-04 1975-01-22 Abnehmertaster Expired DE2502973C3 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3860074 1974-04-04
JP49038600A JPS511398A (de) 1974-04-04 1974-04-04

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2502973A1 DE2502973A1 (de) 1975-10-09
DE2502973B2 true DE2502973B2 (de) 1977-06-16
DE2502973C3 DE2502973C3 (de) 1978-02-02

Family

ID=

Also Published As

Publication number Publication date
US4052738A (en) 1977-10-04
FR2266930B1 (de) 1980-06-20
FR2266930A1 (de) 1975-10-31
GB1487260A (en) 1977-09-28
DE2502973A1 (de) 1975-10-09
JPS511398A (de) 1976-01-08

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