DE2460683C3 - Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements - Google Patents
Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-StimmgabelelementsInfo
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- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 title claims description 26
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 26
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 26
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 17
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 210000002414 Leg Anatomy 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 230000002035 prolonged Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000003608 Feces Anatomy 0.000 description 2
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000927 Ge alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N Methyl 2-cyanoacrylate Chemical compound COC(=O)C(=C)C#N MWCLLHOVUTZFKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 101700034531 con-13 Proteins 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- -1 gold-germanium Chemical compound 0.000 description 1
- 239000005355 lead glass Substances 0.000 description 1
- 239000010871 livestock manure Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000001702 transmitter Effects 0.000 description 1
- 210000000689 upper leg Anatomy 0.000 description 1
Description
•ie Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Halte-
» eines Quarzkristall-Stimmgabelelements mit
683 zwei Armen oder Schenkeln, die jeweils praktisch die
gleichen Abmessungen besitzen, und einem die be nachbarten Enden der beiden Arire miteinander ver
bindenden, gemeinsamen Verbindungsteil.
Aus der DT-OS 2210766 ist ein Mikrosender bekannt, der ebenfalls die Gestalt einer Stimmgabel besitzt
und der an einer seiner Flachseiten im Bereich des gemeinsamen Verbindungsteils der Stimmgabelarme
auf einem Substrat mittels eines eutektisch angeschweißten Sockels befestigt werden kann. Dei
Sockel kann eine Goldschicht aufweisen, die auf der Oberseite eines Anschlußteils des Mikroresonators
abgeschieden ist oder durch diese gebildet ist. Weiterhin ist eine Siliciumschicht und eine Goldschicht vorgesehen,
die einstückig mit dem Sockel verbunden ist oder auf dem Substrat abgeschieden ist. Werden die
drei Schichten erwärmt, so schmelzen sie und bilden einen festen Sockel zur festen Halterung des Mikroresonators
auf dem genannten Substrat. Zur Vermeidung von Schwingungsenergieverlusten ist der genannte
Sockel entlang einer Knotenlinie des gemeinsamen Verbindungsteils angeordnet. Gemäß einer
weiteren Ausführungsform kann der Mikroresonator auch an dem genannten gemeinsamen Verbindungsteil
einfach auf einem geeigneten Sockel unter Verwendung eines Epoxydharzes oder eines anderen geeigneten
Bindemittels angebondet werden oder kann mil Hilfe eines metallischen Systems befestigt werden,
was zur Vermeidung von Energieverlusten entlang der genannten Knotenlinie erfolgt.
Aus der FR-PS 2080814 ist ebenfalls ein Quarzkristall-Stimmgabelelement
bekannt, welches an seinem unteren Bereich bzw. im Bereich des gemeinsamen Verbindungsabschnitts sich gegenüberliegende
seitliche Ausnehmungen aufweist, durch die eine akustische Entkopplung des oberen Abschnitts vom unteren
Abschnitt des Stimmgabelelements erreicht wird. Dieses bekannte Stimmgabelelement wird über ein
schmales T-förmiges Verbindungselement an der unteren Fläche an einem Halterungssockel befestigt,
wobei die Verbindungsstelle des schmalen T-förmigen Verbindungselemente an dem Stimmgabelelement an
einer Knotenpunktstelle bzw. Knotenlinie erfolgt.
Ein derartiges bekanntes System ist beispielsweise in Fig. 2 dargestellt. Das Quarzkristallelement 13 ist
praktisch in der Mitte der Unterseite des Verbindungsteils 13 c mit Hilfe eines feinen Haltestabs 16
aus einem geeigneten elastischen Werkstoff, wie Gold oder Kupfer, zusätzlich mit dem Sockelglied 11 verbunden.
Das Quarzkristall-Stimmgabelelement 13 der vorstehend beschriebenen Konstruktion ist im wesentlichen
zur Durchführung mechanischer Schwingungen in der sogenannten Stimmgabel-Schwingungsart ausgelegt,
bei welcher die beiden Arme 13a und 136 des Elements 13 in jeweils praktisch gleichem Ausmaß
in entgegengesetzte Richtungen schwingen. Bei einem ideal ausgelegten Quarzkristall-Stimmgabelelement,
bei dem die beiden Arme mit jeweils gleichen Abmessungen ausgebildet sind, sollte die bei der genannten
Biegeschwingung des Elements 13 erzeugte mechanische Schwingungsenergie daher eigentlich nicht auf
die Mitte der Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils 13c des Elements 13 übertragen werden.
Die Halterungsvorrichtung gemäß Fig. 2 vermag somit das Element 13 in einem stabileren Zustand zu
halten, wobei die genannten elektrischen Eigenschaften des Elements 13 vor und nach seiner Anbrineune
m Sockelglied 11 sowie nach längerem Betrieb des Zuleitungen 15a und 15b mit den Stabelektroden 12a
Elements 13 im wesentlichen unverändert bleiben. bzw. 12b verbunden ist. Infolgedessen wird ein Teil
Die tatsächlich hergestellten Quarzkristall-Stimm- der durch die beiden Arme 13a und 13b des Elements
gabelelemente mit der vorstehend umrissenen Kon- 13 erzeugten mechanischen Schwingungsenergie über
struktion weisen jedoch im allgemeinen zwei Arme 5 die beiden Zuleitungen auf die Stabelektroden 12a
oder Schenkel unterschiedlicher Abmessungen auf, so und 12 b sowie auf das Sockelglied 11 übertragen. Au-
daß einTeU der durch die beiden Arme oder Schenkel ßerdem kann hierbei das Element 13 nicht nur durch
des Quarzknstallelements erzeugten mechanischen äußere mechanische Schwingungen und Stöße, son-
Schwingungsenergie auf den gemeinsamen Verbin- dem auch durch die freie Schwingfrequenz der beiden
dungsteil der beiden Arme übertragen wird. Aus die- 10 Zuleitungen 15a, 15 b beeinflußt werden Ersichtli-
sem Grund besitzt die Halterungsvorrichtung gemäß cherweise unterliegen die elektrischen Eigenschaften
Fig- 2 ebenfalls noch die folgenden Merkmale: dieses Quarzkristallelements, wie Schwingfrequenz
a) Die elektrischen Eigenschafter, des betreffenden und Effektivwiderstand, beträchtlichen Schwankun-Quarzknsiallelements
13, etwa seine Schwing- gen zwischen den Bedingungen vor und nach der Anfrequenz
und sein Effektivwiderstand, sind vor 15 bringung dieses Elements an den beiden Stabelektro-
und nach der Anbringung des Elements 13 am den sowie nach längerem Betrieb dieses Elements.
Sockelglied 11 immer noch gewissen Änderun- Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe begen
unterworfen, da die am gemeinsamen Ver- steht darin, eine Vorrichtung zur Halterung eines
bindungsteil 13c der beiden Arme oder Quarzkristall-Stimmgabelelements der eingangs defi-Schenkel
13a, 13b des Elemente anliegende 20 nierten Art zu schaffen, mit deren Hilfe die elektrimechanische
Schwingungsenergie, wie natürlich sehen Eigenschaften dieses Quarzkristallelements mit
zu erwarten ist, über den Haltestab 16 auf das höchstmöglicher Präzision und Stabilität in den Zu-Sockelglied
11 übertragen wird. ständen vor und nach seiner Anbringung an einem
b) Da der Haltestab 16 mit Punktberührung prak- es tragenden Halterungsmittel sowie auch während
tisch in der Mitte des gemeinsamen Verbin- 25 eines längeren Betriebs aufrechterhalten werden köndungsteils
13 c der beiden Kristallarme oder nen, wobei diese Vorrichtung zudem auch eine Minia-
-schenkel 13a, 13b angebracht wird, erfordert turisierung erlaubt.
die Befestigung des Haltestabs 16 am Kristallele- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gement
13 ein hohes Maß an Fertigkeit und Ge- löst, daß das Quarzkristall-Stimmgabelelement an der
schicklichkeit, wobei zudem Abweichungen in 30 Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils mit eider
Befestigungsstelle zu Abweichungen der nem Klebemittel an einem Halterungsmittel befestigt
elektrischen Eigenschaften zwischen den einzel- ist, wobei das Klebemittel eine gegenüber dem Quarznen
Kristallelementen führen. kristall-Stimmgabelelement unterschiedliche akusti-
c) Weiterhin neigt der Haltestab 16 zu einer Ver- sehe Impedanz besitzt.
formung während einer längeren Zeitspanne, so 35 Im Gegensatz zu dem Bekannten wird es dadurch
daß in längerem Betrieb des Kristallelements 13 ermöglicht, das Quarzkristall-Stimmgabelelement
Änderungen seiner elektrischen Eigenschaften nicht nur im Bereich eines Knotenpunktes oder einer
auftreten. Knotenlinie an einem Halterungsmittel zu befestigen,
Ein weiteres bekanntes System zur Halterung eines sondern auch an einer Stelle, bei der sich kein Knoten
solchen Quarzkristall-Stimmgabelelements umfaßt 40 bzw. Knotenlinie befindet, wobei jedoch trotzdem die
die in Fig. 1 dargestellte Anordnung. Dabei ist ein Schwingungsenergieverluste äußerst gering gehalten
Sockelglied 11 vorgesehen, auf dem zwei gleichzeitig werden können, etwa vergleichbar mit der bekannten
als Außenelektroden dienende Stabelektroden 12a Konstruktion nach Fig. 3.
und 12b mit einem vorbestimmten Abstand vonein- Auch wird dann, wenn ein Teil der durch die paarander
in der Weise montiert sind, daß sie sich gegen- 45 weise vorgesehenen Arme oder Schenkel des Quarzüber
dem Sockelglied 11 sowohl aufwärts als auch ab- kristall-Stimmgabelelements erzeugten mechanischen
wärts erstrecken. Ein praktisch U-förmiges Quarzkri- Schwingungsenergie auf den gemeinsamen Verbinstall-Stimmgabelelement
13 der noch näher zu dungsteil der beiden Arme übertragen wird, ein geerläuternden
Konfiguration ist in einem vorbestimm- wisser Teil der übertragenen Schwingungsenergie
ten Abstand über dem Sockelglied 11 auf die in Fig. 1 50 durch die Klebemittelschicht absorbiert oder unterdargestellte
Weise zwischen den beiden Stabeleketro- drückt und wird mithin nicht auf das Halterungsmittel
den 12a und 12b angeordnet. Das Element 13 weist übertragen. Außerdem ist das Kristallelement dabei
zwei Arme 13a und 13b mit jeweils praktisch gleichen stabiler und fester mit dem Halterungsmittel verbun-Abmessungen,
d.h. Querschnitt und Länge sowie ei- den als bei den bekannten Konstruktionen, ohne daß
nen gemeinsamen Verbindungsteil 13c auf, welcher 55 dafür spezielle Techniken erforderlich wären, so daß
die benachbarten Enden der beiden Arme 13a und die elektrischen Eigenschaften dieses Elements voi
13b miteinander verbindet. Bei dieser Anordnung ist und nach der Anbringung am Halterungsmittel sowie
das Element 13 über zwei flexible Zuleitungen 13 a auch nach längerem Betrieb mit höchstmöglicher Ge-
und 13b aus z.B. Phosphorbronze mit den beiden nauigkeit und Stabilität aufrechterhalten werden.
Stabelektroden 12a bzw. 12 b verbunden, indem zwei 60 Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen und Wei-Knotenpunkte 14a und 14b an zwei im voraus auf terbildungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 die Oberfläche des Quarzkristallelements 13 aufge- bis 6 beschrieben.
Stabelektroden 12a bzw. 12 b verbunden, indem zwei 60 Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen und Wei-Knotenpunkte 14a und 14b an zwei im voraus auf terbildungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 die Oberfläche des Quarzkristallelements 13 aufge- bis 6 beschrieben.
dampften Kristallelektroden mittels der Zuleitungen Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformer
15a und 15b an die betreffende Stabelektrode 12a der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technil
bzw. 12b angelötet sind. 65 an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigi
Die Halterungsvorrichtung gemäß Fig. 1 besitzt Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstel-
jedoch den Nachteil, daß das Quarzkristallelement 13 lung einer bekannten Halterungsvorrichtung für eir
sehr instabil gehaltert ist, weil es nur mittels der beiden Quarzkristali-Stimmgabelelement,
Fig. 2 eine Fig. 1 ähnelnde Darstellung einer anderen bekannten Halterungsvorrichtung für ein solches
Stimmgabelelement,
Fig. 3 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Vorderansicht zur Veranschaulichung des Schwingverhaltens
des Kristallelements gemäß Fig. 2,
Fig. 4 A und 4 B zwei schematische perspektivische Darstellungen zur Veranschaulichung einer Vorrichtung
und eines Verfahrens gemäß der Erfindung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements,
Fig. 5 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Vorderansicht zur Veranschaulichung des Schwingverhaltens
des Kristallelements gemäß Fig. 4B und
Fig. 6A bis6B bis 11 Abis 11B schematische perspektivische
Darstellungen abgewandelter Ausführungsformen der Erfindung.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Vorrichtung und des Verfahrens gemäß der Erfindung
an Hand der Fig. 4 bis 11 näher erläutert.
Die Fig. 4 A und 4B veranschaulichen gemeinsam in perspektivischer Darstellung eine spezielle Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Halterungsvorrichtung, bei welcher ein Sockelglied 21 aus einem
elektrisch isolierenden Material, wie Glas, die noch näher anzugebenden Abmessungen besitzt.
In das Sockelglied 21 sind zwei Außenelektroden 22a und 226 mit einem vorbestimmten Abstand voneinander
in der Weise eingelassen, daß sie an der Oberseite des Sockelglieds 21 freiliegen. Ein noch näher
zu erläuterndes, im wesentlichen U-förmiges Quarzkristall-Stimmgabelelement 23, im folgenden
einfach als Element 23 bezeichnet, ist auf die noch zu beschreibende Weise am Sockelglied 21 befestigt.
Das Element 23 weist zwei Arme bzw. Schenkel 23a und 236 mit jeweils praktisch gleichen Abmessungen,
d.h. Querschnitt und Länge sowie einen gemeinsamen Verbindungsteil bzw. Steg 23 c auf, welcher
die benachbarten Enden der beiden Arme 23 a, 236 miteinander verbindet. Die Unterseite des Verbindungsteils
23c des Elements 23 ist dabei mit dem Sockelglied 21 mit Hilfe des noch näher zu beschreibenden,
speziellen Klebmittels 24 verbunden, das eine von der akustischen Impedanz des Elements 23 abweichende
akustische Impedanz besitzt. Bei dieser Anordnung sind zwei Knotenpunkte 25 a und 256 an
zwei im voraus auf die Oberfläche des Elements 23 aufgedampften Kristallelektroden mittels zweier flexibler
Zuleitungen 26a bzw. 266 aus z.B. Phosphorbronze und mit vorbestimmter Länge an den eingelassenen
Enden der beiden Außenelektroden 22a bzw. 226 angelötet.
Selbst wenn bei dieser Anordnung ein Teil der mechanischen Schwingungsenergie, die - wie in Fig. 5
in gestrichelten Linien angedeutet — bei der Schwingung der beiden Arme 23a und 236 des Elements
23 in praktisch gleichem Ausmaß in entgegengesetzten Richtungen erzeugt wird, auf den gemeinsamen
Verbindungsteil 23cder beiden Arme 23a, 236 übertragen
wird, wird bei der Halterungsanordnung für das Element 23 gemäß den Fig. 4 A und 4 B die übertragene
Schwingungsenergie durch die Klebemittelschicht 24, welche eine gegenüber dem Element 23
unterschiedliche akustische Impedanz besitzt, absorbiert oder unterdrückt, so daß diese Energie kaum
auf das Sockelglied 21 übertragen wird. Außerdem kann infolge dieser Anordnung das Element 23 im
Vergleich zur bekannten Halterung gemäß Fig. 2 stabiler und fester am Sockelglied 21 angebracht werden.
ohne daß hierfür spezielle Techniken erforderlich wären, wie dies bei Verwendung des Haltestabs 16 gemäß
Fig. 2 nötig ist.
Aus diesem Grund bietet die Halterungsanordnung gemäß den Fig. 4 A und 4B zur Anbringung des Kristallelements
23 den Vorteil, daß die elektrischen Eigenschaften des Elements 23, beispielsweise seine
Schwingfrequenz und seine Effektivimpedanz, vor und nach der Anbringung des Elements 23 am Sockelglied
21 sowie über längere Betriebszeiträume desselben hinweg mit höchst möglicher Genauigkeit und
Stabilität aufrechterhalten werden, ohne daß Änderungen oder Abweichungen der elektrischen Eigenschaften
der jeweiligen Halterungseinrichtung auftreten, wie dies beim Haltestab 16 gemäß Fig. 2 der Fall
ist.
In diesem Zusammenhang ist zu erwähnen, daß ein in einem Frequenzbereich von etwa 1 kHz bis etwa
1 MHz schwingendes Quarzkristall-Stimmgabelelement gewöhnlich eine akustische Impedanz von etwa
1 x 105 bis 2 X 10" μbar/cm/s besitzt, die bei zunehmenden
Frequenzen noch höher wird. Das genannte Klebmittel 24 kann daher aus einem elektrisch isolierenden
Klebmittel mit einer akustischen Impedanz
von etwa 1 X 105 bis 1 X 106 /ibar/cm/s, wie es unter
den Handelsbezeichnungen ARALDITE, CEME-DINE-1500 oder CEMEDINE-3000 bekannt ist,
oder aber aus einem elektrisch leitenden Klebmittel mit einer akustischen Impedanz von etwa 1 X 10h bis
1 x 107/ibar/cm/s, wie Gold-Germanium-Legierung,
Silberpaste oder -lot bestehen.
Wenn das Element 23 als auf einer Frequenz von 32768 kHz schwingendes Kristallelement für eine
elektronische Kleinuhr, etwa Armbanduhr, ausgelegt
ist, besitzen seine beiden Arme 23a,236gemäß Fig. 5 jeweils eine Länge I1 bzw. I2 von etwa 7 mm sowie
jeweils einen Querschnitt, dessen eine Seite eine Länge von etwa 0,6 bis 0,7 mm besitzt.
Der gemeinsame Verbindungsteil 23c der beiden
Arme 23 a, 236 besitzt eine Breite W von etwa 1,8 mm. Hierbei besteht das Sockelglied 21 aus einer
Glasscheibe 21a mit einem Durchmesser von etwa 2 bis 4 mm und einer Dicke von etwa 1 bis 2 mm und
einer auf die Umfangsfläche der Glasscheibe 21a in
einer Dicke von etwa 0,1 bis 0,2 mm aufgetragenen, elektrisch leitenden Metallschicht 216.
Nach der Befestigung des Elements 23 am Sockelglied 21 auf die beschriebene Weise wird eine in
Fig. 4B durch die gestrichelten Linien angedeutete,
elektrisch leitende Abdeckung 27 mit praktisch U-förmigem Querschnitt unter Herstellung einer luftdichten
Abdichtung am Sockelglied 21 befestigt.
Die Fig. 6A und 6B sind schematische perspektivische Darstellungen einer abgewandelten Ausfüh-
rungsform der Erfindung. Diese abgewandelte Ausführungsform entspricht im wesentlichen derjenigen
gemäß den Fig. 4A und 4B, nur mit dem Unterschied, daß das Sockelglied 21 gemäß den Fig. 4 A
und 4 B durch ein Sockelglied 211 ersetzt ist, das aus
einem elektrisch leitfähigen Material oder aus einer
zentralen, elektrisch isolierenden Glasscheibe ähnlich der Glasscheibe 21a gemäß den Fig. 4A und 4B und
einer elektrisch leitenden Metallschicht besteht, weiche auf die Gesamtfläche der zentralen Glasscheibe
aufgetragen ist Dabei ist jeweils ein Teil zweief Außenelektroden 21a und 216 unter Zwischenfügung
eines elektrisch isolierenden Materials 28a bzw. 286
in das Sockelglied 211 eingebettet Die den Teile«
von Fig. 4 A und 4B entsprechenden Teile gemäß Fig. 6A und 6B sind daher mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet und nicht näher erläutert.
Die Fig. 7A und 7B veranschaulichen in den Fig. 6A und 6B ähnelnder Darstellung eine weiter
abgewandelte Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht weitgehend derjenigen gemäß den Fig. 6 A und 6 B, nur mit dem
Unterschied, daß das Sockelglied 211 gleichzeitig als eine der beiden Herausführ- bzw. Außenelektroden,
nämlich als Elektrode 22b dient, so daß dieses Sockelglied ersichtlicherweise kostensparender herzustellen
ist als dasjenige der vorher beschriebenen Ausführungsform.
DieFig. 8A und 8 B sind den Fig. 6Aund6Bbzw.
7 A und 7 B ähnelnde Darstellungen einer noch weiter abgewandelten Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht weitgehend derjenigen gemäß den Fig. 4 A und 4B, nur mit dem
Unterschied, daß einer der beiden Knotenpunkte, die an vorbestimmten Punkten der beiden Seitenwände
des gemeinsamen Verbindungsteils 23c ausgebildet sind und auf welche die betreffenden Kristallelektroden
des Verbindungsteils 23 c der beiden Kristallarme 23a,23b ersetzt ist. Außerdem ist dabei ein elektrisch
leitender Metallfilm 29 im voraus auf die zentrale Glasscheibe 21a des Sockelglieds 21 aufgedampft
worden, so daß er elektrisch mit einer der beiden Außenelektroden 22a, 22b verbindbar ist. Weiterhin
wird bei dieser Ausführungsform die Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils 23c des Elements 23
mit Hilfe des genannten elektrisch leitenden Klebmittels, das eine gegenüber dem Element 23 verschiedene
akustische Impedanz besitzt, am Metallfilm 29 befestigt.
Die Ausführungsform gemäß den Fig. 8 A und 8B
besitzt den weiteren Vorteil, daß eine der beiden Zuleitungen 26a, 26b gemäß Fig. 4B weggelassen werden
kann, wobei im Vergleich zur Ausführungsform gemäß den Fig. 4A und 4B die unerwünschte Wirkung,
daß nämlich ein Teil der durch die beiden Arme 23a und 23b des Kristallelements 23 erzeugten mechanischen
Schwingungsenergie über die beiden flexiblen Zuleitungen infolge der sogenannten Leitungsresonanzerscheinung,
wie im Fall von Fig. 4A und 4B,
auf das Sockelglied 21 übertragen wird, um praktisch 50% verringert werden kann.
Die Fig. 9 A und 9 B veranschaulichen in schematischer
perspektivischer Darstellung eine weitere Abwandlung der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht im wesentlichen
derjenigen gemäß den Fig. 8 A und 8 B, nur mit dem Unterschied, daß eine am freiliegenden Ende einer
der beiden Außenelektroden 22a und 22b angebrachte, elektrisch leitende Metallplatte 30 den leitenden
Metallfilm 29gemäß den Fig. 8A und 8B ersetzt. Hierdurch wird praktisch die gleiche Wirkung
erzielt wie bei der Ausführungsform gemäß den Fig. 8A und 8B.
Die Fig. 10 A und 1OB sind schematische perspektivische Darstellungen einer noch weiter abgewandelten
Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht derjenigen gemäß den Fig. 9A und 9B mit dem Unterschied, daß
an den freiliegenden Enden der beiden Außenelektroden 22a und 22b elektrisch leitende Metallplatten
30a und 30b angebracht sind, so daß die beiden flexiblen Zuleitungen gemäß Fig. 4 A und 4B in Fortfall
kommen.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 9 A und 9B kann einer der beiden, auf den gegenüberliegenden
Seiten des Verbindungsteils 23c vorgesehenen Knotenpunkte mit Hilfe des genannten, elektrisch leitenden
Klebmittels 24 mit der Metallplatte 30 verbunden sein, oder eine dieser beiden Kristallelektroden kann
an die Metallplatte 30 angepreßt oder an ihr angelötet werden, nachdem die Unterseite des Verbindungsteils
23 c mit Hilfe des genannten Klebmittels 24 am Sokkelglied 21 befestigt worden ist.
Die Ausführungsform gemäß den Fig. 1OA und 1OB kann auf die gleiche Weise ausgebildet werden
wie im Fall der Fig. 9 A und 9 B, wobei die beider Knotenpunkte mit den Metallplatten 30a und 30fc
verbunden werden.
In den Fig. 11A und 11B ist in schematischer perspektivischer
Darstellung schließlich noch eine weitere Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht
Diese Ausführungsform entspricht wiederum irr wesentlichen derjenigen gemäß den Fig. 4 A und 4B
nur mit dem Unterschied, daß die flexiblen Zuleitun gen gemäß den Fig. 4A und 4B durch das leitfähige
Klebmittel 24 ersetzt sind, wobei praktisch die gleiche Wirkung erzielt wird wie im Fall von Fig. 1OA unc
1OB.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
609651/399
Claims (6)
1. Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements
mit zwei Armen oder Schenkeln, die jeweils praktisch die gleichen Abmessungen besitzen, und einem die benachbarten
Enden der beiden Arme miteinander verbindenden, gemeinsamen Verbindungsteil, dadurch
gekennzeichnet, daß das Quarzkristall- ίο Stimmgabelelement (23) an der Unterseite des
gemeinsamen Verbindungsteils (23 c) mit einem Klebemittel (24) an einem Halterungsmittel (21)
befestigt ist, wobei das Klebemittel eine gegenüber dem Quarzkristall-Stimmgabelelement (23) unterschiedliche
akustische Impedanz besitzt.
2. Vorrichtung nach Anspruch X, bei welcher
zwei durch zwei sich gegenüberliegende Wandabschnitte des Verbindungsteils des Kristallelements
festgelegte Knotenpunkte vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Halterungsmittel
ein Sockelglied (21,211), auf dessen einer Fläche die Unterseite des Verbindungsteils (230) des
Kristallelements (23) mit Hilfe des Klebemittels (24) befestigt ist, zwei am Sockelglied angebrachte
Außenelektroden (22α, 22i>) und zwei die Knotenpunkte mit den beiden Außenelektroden verbindende
Zuleitungen (26a, 26b) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die eine Fläche des
Sockelglieds (21,211) aus einem elektrisch leitenden Material besteht und gleichzeitig die eine der
beiden Außenelektroden (22α, 22b) bildet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Fläche des Sokkelglieds
(21,211), an welcher das Kristallelement (23) angeordnet ist, aus einem elektrisch isolierenden
Material besteht und mit einem elektrisch leitenden Metallfilm beschichtet ist, der mit einer
der beiden Außenelektroden (22α, 22b) verbunden ist, und daß der Verbindungsteil (23c) des
Kristallelements (23) unter Weglassung einer der beiden Zuleitungen (26a, 26b) mit Hilfe des elektrisch
leitenden Klebemittels (24) mit dem leitenden Metallfilm verbunden ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Fläche des Sokkelglieds
(21,211), an welcher das Kristallelement (23) angeordnet ist, aus einem elektrisch isolierenden
Material besteht und mit mindestens einer elektrisch leitenden Metallplatte (29) versehen ist,
die mit der betreffenden der beiden Außenelektroden (22α, 22b) elektrisch verbunden ist, und
daß der Verbindungsteil (23c) des Kristallelements (23) unter Weglassung mindestens einer der
beiden Zuleitungen (26a, 26b) mit der leitenden Metallplatte (29) in elektrischem Kontakt steht.
6. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der beiden Zuleitungen
(26a, 26b) durch elektrisch leitendes
Klebemittel (24) ersetzt ist.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP303274A JPS5094850A (de) | 1973-12-22 | 1973-12-22 | |
JP303274 | 1973-12-22 | ||
JP10398074U JPS5132273U (de) | 1974-08-30 | 1974-08-30 | |
JP10398074 | 1974-08-30 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2460683A1 DE2460683A1 (de) | 1975-06-26 |
DE2460683B2 DE2460683B2 (de) | 1976-05-06 |
DE2460683C3 true DE2460683C3 (de) | 1976-12-16 |
Family
ID=
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