DE2460683C3 - Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements - Google Patents

Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements

Info

Publication number
DE2460683C3
DE2460683C3 DE19742460683 DE2460683A DE2460683C3 DE 2460683 C3 DE2460683 C3 DE 2460683C3 DE 19742460683 DE19742460683 DE 19742460683 DE 2460683 A DE2460683 A DE 2460683A DE 2460683 C3 DE2460683 C3 DE 2460683C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
base member
connecting part
tuning fork
quartz crystal
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19742460683
Other languages
English (en)
Other versions
DE2460683A1 (de
DE2460683B2 (de
Inventor
Hozumi Iruma Saitama Nakata (Japan)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP303274A external-priority patent/JPS5094850A/ja
Priority claimed from JP10398074U external-priority patent/JPS5132273U/ja
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Publication of DE2460683A1 publication Critical patent/DE2460683A1/de
Publication of DE2460683B2 publication Critical patent/DE2460683B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2460683C3 publication Critical patent/DE2460683C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Description

•ie Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Halte- » eines Quarzkristall-Stimmgabelelements mit
683 zwei Armen oder Schenkeln, die jeweils praktisch die gleichen Abmessungen besitzen, und einem die be nachbarten Enden der beiden Arire miteinander ver bindenden, gemeinsamen Verbindungsteil.
Aus der DT-OS 2210766 ist ein Mikrosender bekannt, der ebenfalls die Gestalt einer Stimmgabel besitzt und der an einer seiner Flachseiten im Bereich des gemeinsamen Verbindungsteils der Stimmgabelarme auf einem Substrat mittels eines eutektisch angeschweißten Sockels befestigt werden kann. Dei Sockel kann eine Goldschicht aufweisen, die auf der Oberseite eines Anschlußteils des Mikroresonators abgeschieden ist oder durch diese gebildet ist. Weiterhin ist eine Siliciumschicht und eine Goldschicht vorgesehen, die einstückig mit dem Sockel verbunden ist oder auf dem Substrat abgeschieden ist. Werden die drei Schichten erwärmt, so schmelzen sie und bilden einen festen Sockel zur festen Halterung des Mikroresonators auf dem genannten Substrat. Zur Vermeidung von Schwingungsenergieverlusten ist der genannte Sockel entlang einer Knotenlinie des gemeinsamen Verbindungsteils angeordnet. Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann der Mikroresonator auch an dem genannten gemeinsamen Verbindungsteil einfach auf einem geeigneten Sockel unter Verwendung eines Epoxydharzes oder eines anderen geeigneten Bindemittels angebondet werden oder kann mil Hilfe eines metallischen Systems befestigt werden, was zur Vermeidung von Energieverlusten entlang der genannten Knotenlinie erfolgt.
Aus der FR-PS 2080814 ist ebenfalls ein Quarzkristall-Stimmgabelelement bekannt, welches an seinem unteren Bereich bzw. im Bereich des gemeinsamen Verbindungsabschnitts sich gegenüberliegende seitliche Ausnehmungen aufweist, durch die eine akustische Entkopplung des oberen Abschnitts vom unteren Abschnitt des Stimmgabelelements erreicht wird. Dieses bekannte Stimmgabelelement wird über ein schmales T-förmiges Verbindungselement an der unteren Fläche an einem Halterungssockel befestigt, wobei die Verbindungsstelle des schmalen T-förmigen Verbindungselemente an dem Stimmgabelelement an einer Knotenpunktstelle bzw. Knotenlinie erfolgt.
Ein derartiges bekanntes System ist beispielsweise in Fig. 2 dargestellt. Das Quarzkristallelement 13 ist praktisch in der Mitte der Unterseite des Verbindungsteils 13 c mit Hilfe eines feinen Haltestabs 16 aus einem geeigneten elastischen Werkstoff, wie Gold oder Kupfer, zusätzlich mit dem Sockelglied 11 verbunden.
Das Quarzkristall-Stimmgabelelement 13 der vorstehend beschriebenen Konstruktion ist im wesentlichen zur Durchführung mechanischer Schwingungen in der sogenannten Stimmgabel-Schwingungsart ausgelegt, bei welcher die beiden Arme 13a und 136 des Elements 13 in jeweils praktisch gleichem Ausmaß in entgegengesetzte Richtungen schwingen. Bei einem ideal ausgelegten Quarzkristall-Stimmgabelelement, bei dem die beiden Arme mit jeweils gleichen Abmessungen ausgebildet sind, sollte die bei der genannten Biegeschwingung des Elements 13 erzeugte mechanische Schwingungsenergie daher eigentlich nicht auf die Mitte der Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils 13c des Elements 13 übertragen werden. Die Halterungsvorrichtung gemäß Fig. 2 vermag somit das Element 13 in einem stabileren Zustand zu halten, wobei die genannten elektrischen Eigenschaften des Elements 13 vor und nach seiner Anbrineune
m Sockelglied 11 sowie nach längerem Betrieb des Zuleitungen 15a und 15b mit den Stabelektroden 12a
Elements 13 im wesentlichen unverändert bleiben. bzw. 12b verbunden ist. Infolgedessen wird ein Teil
Die tatsächlich hergestellten Quarzkristall-Stimm- der durch die beiden Arme 13a und 13b des Elements
gabelelemente mit der vorstehend umrissenen Kon- 13 erzeugten mechanischen Schwingungsenergie über
struktion weisen jedoch im allgemeinen zwei Arme 5 die beiden Zuleitungen auf die Stabelektroden 12a
oder Schenkel unterschiedlicher Abmessungen auf, so und 12 b sowie auf das Sockelglied 11 übertragen. Au-
daß einTeU der durch die beiden Arme oder Schenkel ßerdem kann hierbei das Element 13 nicht nur durch
des Quarzknstallelements erzeugten mechanischen äußere mechanische Schwingungen und Stöße, son-
Schwingungsenergie auf den gemeinsamen Verbin- dem auch durch die freie Schwingfrequenz der beiden
dungsteil der beiden Arme übertragen wird. Aus die- 10 Zuleitungen 15a, 15 b beeinflußt werden Ersichtli-
sem Grund besitzt die Halterungsvorrichtung gemäß cherweise unterliegen die elektrischen Eigenschaften
Fig- 2 ebenfalls noch die folgenden Merkmale: dieses Quarzkristallelements, wie Schwingfrequenz
a) Die elektrischen Eigenschafter, des betreffenden und Effektivwiderstand, beträchtlichen Schwankun-Quarzknsiallelements 13, etwa seine Schwing- gen zwischen den Bedingungen vor und nach der Anfrequenz und sein Effektivwiderstand, sind vor 15 bringung dieses Elements an den beiden Stabelektro- und nach der Anbringung des Elements 13 am den sowie nach längerem Betrieb dieses Elements. Sockelglied 11 immer noch gewissen Änderun- Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe begen unterworfen, da die am gemeinsamen Ver- steht darin, eine Vorrichtung zur Halterung eines bindungsteil 13c der beiden Arme oder Quarzkristall-Stimmgabelelements der eingangs defi-Schenkel 13a, 13b des Elemente anliegende 20 nierten Art zu schaffen, mit deren Hilfe die elektrimechanische Schwingungsenergie, wie natürlich sehen Eigenschaften dieses Quarzkristallelements mit zu erwarten ist, über den Haltestab 16 auf das höchstmöglicher Präzision und Stabilität in den Zu-Sockelglied 11 übertragen wird. ständen vor und nach seiner Anbringung an einem
b) Da der Haltestab 16 mit Punktberührung prak- es tragenden Halterungsmittel sowie auch während tisch in der Mitte des gemeinsamen Verbin- 25 eines längeren Betriebs aufrechterhalten werden köndungsteils 13 c der beiden Kristallarme oder nen, wobei diese Vorrichtung zudem auch eine Minia- -schenkel 13a, 13b angebracht wird, erfordert turisierung erlaubt.
die Befestigung des Haltestabs 16 am Kristallele- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gement 13 ein hohes Maß an Fertigkeit und Ge- löst, daß das Quarzkristall-Stimmgabelelement an der schicklichkeit, wobei zudem Abweichungen in 30 Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils mit eider Befestigungsstelle zu Abweichungen der nem Klebemittel an einem Halterungsmittel befestigt elektrischen Eigenschaften zwischen den einzel- ist, wobei das Klebemittel eine gegenüber dem Quarznen Kristallelementen führen. kristall-Stimmgabelelement unterschiedliche akusti-
c) Weiterhin neigt der Haltestab 16 zu einer Ver- sehe Impedanz besitzt.
formung während einer längeren Zeitspanne, so 35 Im Gegensatz zu dem Bekannten wird es dadurch
daß in längerem Betrieb des Kristallelements 13 ermöglicht, das Quarzkristall-Stimmgabelelement
Änderungen seiner elektrischen Eigenschaften nicht nur im Bereich eines Knotenpunktes oder einer
auftreten. Knotenlinie an einem Halterungsmittel zu befestigen,
Ein weiteres bekanntes System zur Halterung eines sondern auch an einer Stelle, bei der sich kein Knoten
solchen Quarzkristall-Stimmgabelelements umfaßt 40 bzw. Knotenlinie befindet, wobei jedoch trotzdem die
die in Fig. 1 dargestellte Anordnung. Dabei ist ein Schwingungsenergieverluste äußerst gering gehalten
Sockelglied 11 vorgesehen, auf dem zwei gleichzeitig werden können, etwa vergleichbar mit der bekannten
als Außenelektroden dienende Stabelektroden 12a Konstruktion nach Fig. 3.
und 12b mit einem vorbestimmten Abstand vonein- Auch wird dann, wenn ein Teil der durch die paarander in der Weise montiert sind, daß sie sich gegen- 45 weise vorgesehenen Arme oder Schenkel des Quarzüber dem Sockelglied 11 sowohl aufwärts als auch ab- kristall-Stimmgabelelements erzeugten mechanischen wärts erstrecken. Ein praktisch U-förmiges Quarzkri- Schwingungsenergie auf den gemeinsamen Verbinstall-Stimmgabelelement 13 der noch näher zu dungsteil der beiden Arme übertragen wird, ein geerläuternden Konfiguration ist in einem vorbestimm- wisser Teil der übertragenen Schwingungsenergie ten Abstand über dem Sockelglied 11 auf die in Fig. 1 50 durch die Klebemittelschicht absorbiert oder unterdargestellte Weise zwischen den beiden Stabeleketro- drückt und wird mithin nicht auf das Halterungsmittel den 12a und 12b angeordnet. Das Element 13 weist übertragen. Außerdem ist das Kristallelement dabei zwei Arme 13a und 13b mit jeweils praktisch gleichen stabiler und fester mit dem Halterungsmittel verbun-Abmessungen, d.h. Querschnitt und Länge sowie ei- den als bei den bekannten Konstruktionen, ohne daß nen gemeinsamen Verbindungsteil 13c auf, welcher 55 dafür spezielle Techniken erforderlich wären, so daß die benachbarten Enden der beiden Arme 13a und die elektrischen Eigenschaften dieses Elements voi 13b miteinander verbindet. Bei dieser Anordnung ist und nach der Anbringung am Halterungsmittel sowie das Element 13 über zwei flexible Zuleitungen 13 a auch nach längerem Betrieb mit höchstmöglicher Ge- und 13b aus z.B. Phosphorbronze mit den beiden nauigkeit und Stabilität aufrechterhalten werden.
Stabelektroden 12a bzw. 12 b verbunden, indem zwei 60 Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen und Wei-Knotenpunkte 14a und 14b an zwei im voraus auf terbildungen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 die Oberfläche des Quarzkristallelements 13 aufge- bis 6 beschrieben.
dampften Kristallelektroden mittels der Zuleitungen Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformer
15a und 15b an die betreffende Stabelektrode 12a der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technil
bzw. 12b angelötet sind. 65 an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigi
Die Halterungsvorrichtung gemäß Fig. 1 besitzt Fig. 1 eine schematische perspektivische Darstel-
jedoch den Nachteil, daß das Quarzkristallelement 13 lung einer bekannten Halterungsvorrichtung für eir
sehr instabil gehaltert ist, weil es nur mittels der beiden Quarzkristali-Stimmgabelelement,
Fig. 2 eine Fig. 1 ähnelnde Darstellung einer anderen bekannten Halterungsvorrichtung für ein solches Stimmgabelelement,
Fig. 3 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Vorderansicht zur Veranschaulichung des Schwingverhaltens des Kristallelements gemäß Fig. 2,
Fig. 4 A und 4 B zwei schematische perspektivische Darstellungen zur Veranschaulichung einer Vorrichtung und eines Verfahrens gemäß der Erfindung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements,
Fig. 5 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Vorderansicht zur Veranschaulichung des Schwingverhaltens des Kristallelements gemäß Fig. 4B und
Fig. 6A bis6B bis 11 Abis 11B schematische perspektivische Darstellungen abgewandelter Ausführungsformen der Erfindung.
Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Vorrichtung und des Verfahrens gemäß der Erfindung an Hand der Fig. 4 bis 11 näher erläutert.
Die Fig. 4 A und 4B veranschaulichen gemeinsam in perspektivischer Darstellung eine spezielle Ausführungsform der erfindungsgemäßen Halterungsvorrichtung, bei welcher ein Sockelglied 21 aus einem elektrisch isolierenden Material, wie Glas, die noch näher anzugebenden Abmessungen besitzt.
In das Sockelglied 21 sind zwei Außenelektroden 22a und 226 mit einem vorbestimmten Abstand voneinander in der Weise eingelassen, daß sie an der Oberseite des Sockelglieds 21 freiliegen. Ein noch näher zu erläuterndes, im wesentlichen U-förmiges Quarzkristall-Stimmgabelelement 23, im folgenden einfach als Element 23 bezeichnet, ist auf die noch zu beschreibende Weise am Sockelglied 21 befestigt.
Das Element 23 weist zwei Arme bzw. Schenkel 23a und 236 mit jeweils praktisch gleichen Abmessungen, d.h. Querschnitt und Länge sowie einen gemeinsamen Verbindungsteil bzw. Steg 23 c auf, welcher die benachbarten Enden der beiden Arme 23 a, 236 miteinander verbindet. Die Unterseite des Verbindungsteils 23c des Elements 23 ist dabei mit dem Sockelglied 21 mit Hilfe des noch näher zu beschreibenden, speziellen Klebmittels 24 verbunden, das eine von der akustischen Impedanz des Elements 23 abweichende akustische Impedanz besitzt. Bei dieser Anordnung sind zwei Knotenpunkte 25 a und 256 an zwei im voraus auf die Oberfläche des Elements 23 aufgedampften Kristallelektroden mittels zweier flexibler Zuleitungen 26a bzw. 266 aus z.B. Phosphorbronze und mit vorbestimmter Länge an den eingelassenen Enden der beiden Außenelektroden 22a bzw. 226 angelötet.
Selbst wenn bei dieser Anordnung ein Teil der mechanischen Schwingungsenergie, die - wie in Fig. 5 in gestrichelten Linien angedeutet — bei der Schwingung der beiden Arme 23a und 236 des Elements 23 in praktisch gleichem Ausmaß in entgegengesetzten Richtungen erzeugt wird, auf den gemeinsamen Verbindungsteil 23cder beiden Arme 23a, 236 übertragen wird, wird bei der Halterungsanordnung für das Element 23 gemäß den Fig. 4 A und 4 B die übertragene Schwingungsenergie durch die Klebemittelschicht 24, welche eine gegenüber dem Element 23 unterschiedliche akustische Impedanz besitzt, absorbiert oder unterdrückt, so daß diese Energie kaum auf das Sockelglied 21 übertragen wird. Außerdem kann infolge dieser Anordnung das Element 23 im Vergleich zur bekannten Halterung gemäß Fig. 2 stabiler und fester am Sockelglied 21 angebracht werden.
ohne daß hierfür spezielle Techniken erforderlich wären, wie dies bei Verwendung des Haltestabs 16 gemäß Fig. 2 nötig ist.
Aus diesem Grund bietet die Halterungsanordnung gemäß den Fig. 4 A und 4B zur Anbringung des Kristallelements 23 den Vorteil, daß die elektrischen Eigenschaften des Elements 23, beispielsweise seine Schwingfrequenz und seine Effektivimpedanz, vor und nach der Anbringung des Elements 23 am Sockelglied 21 sowie über längere Betriebszeiträume desselben hinweg mit höchst möglicher Genauigkeit und Stabilität aufrechterhalten werden, ohne daß Änderungen oder Abweichungen der elektrischen Eigenschaften der jeweiligen Halterungseinrichtung auftreten, wie dies beim Haltestab 16 gemäß Fig. 2 der Fall ist.
In diesem Zusammenhang ist zu erwähnen, daß ein in einem Frequenzbereich von etwa 1 kHz bis etwa 1 MHz schwingendes Quarzkristall-Stimmgabelelement gewöhnlich eine akustische Impedanz von etwa 1 x 105 bis 2 X 10" μbar/cm/s besitzt, die bei zunehmenden Frequenzen noch höher wird. Das genannte Klebmittel 24 kann daher aus einem elektrisch isolierenden Klebmittel mit einer akustischen Impedanz
von etwa 1 X 105 bis 1 X 106 /ibar/cm/s, wie es unter den Handelsbezeichnungen ARALDITE, CEME-DINE-1500 oder CEMEDINE-3000 bekannt ist, oder aber aus einem elektrisch leitenden Klebmittel mit einer akustischen Impedanz von etwa 1 X 10h bis
1 x 107/ibar/cm/s, wie Gold-Germanium-Legierung, Silberpaste oder -lot bestehen.
Wenn das Element 23 als auf einer Frequenz von 32768 kHz schwingendes Kristallelement für eine elektronische Kleinuhr, etwa Armbanduhr, ausgelegt
ist, besitzen seine beiden Arme 23a,236gemäß Fig. 5 jeweils eine Länge I1 bzw. I2 von etwa 7 mm sowie jeweils einen Querschnitt, dessen eine Seite eine Länge von etwa 0,6 bis 0,7 mm besitzt.
Der gemeinsame Verbindungsteil 23c der beiden
Arme 23 a, 236 besitzt eine Breite W von etwa 1,8 mm. Hierbei besteht das Sockelglied 21 aus einer Glasscheibe 21a mit einem Durchmesser von etwa 2 bis 4 mm und einer Dicke von etwa 1 bis 2 mm und einer auf die Umfangsfläche der Glasscheibe 21a in
einer Dicke von etwa 0,1 bis 0,2 mm aufgetragenen, elektrisch leitenden Metallschicht 216.
Nach der Befestigung des Elements 23 am Sockelglied 21 auf die beschriebene Weise wird eine in Fig. 4B durch die gestrichelten Linien angedeutete,
elektrisch leitende Abdeckung 27 mit praktisch U-förmigem Querschnitt unter Herstellung einer luftdichten Abdichtung am Sockelglied 21 befestigt.
Die Fig. 6A und 6B sind schematische perspektivische Darstellungen einer abgewandelten Ausfüh-
rungsform der Erfindung. Diese abgewandelte Ausführungsform entspricht im wesentlichen derjenigen gemäß den Fig. 4A und 4B, nur mit dem Unterschied, daß das Sockelglied 21 gemäß den Fig. 4 A und 4 B durch ein Sockelglied 211 ersetzt ist, das aus
einem elektrisch leitfähigen Material oder aus einer zentralen, elektrisch isolierenden Glasscheibe ähnlich der Glasscheibe 21a gemäß den Fig. 4A und 4B und einer elektrisch leitenden Metallschicht besteht, weiche auf die Gesamtfläche der zentralen Glasscheibe aufgetragen ist Dabei ist jeweils ein Teil zweief Außenelektroden 21a und 216 unter Zwischenfügung eines elektrisch isolierenden Materials 28a bzw. 286 in das Sockelglied 211 eingebettet Die den Teile«
von Fig. 4 A und 4B entsprechenden Teile gemäß Fig. 6A und 6B sind daher mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet und nicht näher erläutert.
Die Fig. 7A und 7B veranschaulichen in den Fig. 6A und 6B ähnelnder Darstellung eine weiter abgewandelte Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht weitgehend derjenigen gemäß den Fig. 6 A und 6 B, nur mit dem Unterschied, daß das Sockelglied 211 gleichzeitig als eine der beiden Herausführ- bzw. Außenelektroden, nämlich als Elektrode 22b dient, so daß dieses Sockelglied ersichtlicherweise kostensparender herzustellen ist als dasjenige der vorher beschriebenen Ausführungsform.
DieFig. 8A und 8 B sind den Fig. 6Aund6Bbzw. 7 A und 7 B ähnelnde Darstellungen einer noch weiter abgewandelten Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht weitgehend derjenigen gemäß den Fig. 4 A und 4B, nur mit dem Unterschied, daß einer der beiden Knotenpunkte, die an vorbestimmten Punkten der beiden Seitenwände des gemeinsamen Verbindungsteils 23c ausgebildet sind und auf welche die betreffenden Kristallelektroden des Verbindungsteils 23 c der beiden Kristallarme 23a,23b ersetzt ist. Außerdem ist dabei ein elektrisch leitender Metallfilm 29 im voraus auf die zentrale Glasscheibe 21a des Sockelglieds 21 aufgedampft worden, so daß er elektrisch mit einer der beiden Außenelektroden 22a, 22b verbindbar ist. Weiterhin wird bei dieser Ausführungsform die Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils 23c des Elements 23 mit Hilfe des genannten elektrisch leitenden Klebmittels, das eine gegenüber dem Element 23 verschiedene akustische Impedanz besitzt, am Metallfilm 29 befestigt.
Die Ausführungsform gemäß den Fig. 8 A und 8B besitzt den weiteren Vorteil, daß eine der beiden Zuleitungen 26a, 26b gemäß Fig. 4B weggelassen werden kann, wobei im Vergleich zur Ausführungsform gemäß den Fig. 4A und 4B die unerwünschte Wirkung, daß nämlich ein Teil der durch die beiden Arme 23a und 23b des Kristallelements 23 erzeugten mechanischen Schwingungsenergie über die beiden flexiblen Zuleitungen infolge der sogenannten Leitungsresonanzerscheinung, wie im Fall von Fig. 4A und 4B, auf das Sockelglied 21 übertragen wird, um praktisch 50% verringert werden kann.
Die Fig. 9 A und 9 B veranschaulichen in schematischer perspektivischer Darstellung eine weitere Abwandlung der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht im wesentlichen derjenigen gemäß den Fig. 8 A und 8 B, nur mit dem Unterschied, daß eine am freiliegenden Ende einer der beiden Außenelektroden 22a und 22b angebrachte, elektrisch leitende Metallplatte 30 den leitenden Metallfilm 29gemäß den Fig. 8A und 8B ersetzt. Hierdurch wird praktisch die gleiche Wirkung erzielt wie bei der Ausführungsform gemäß den Fig. 8A und 8B.
Die Fig. 10 A und 1OB sind schematische perspektivische Darstellungen einer noch weiter abgewandelten Ausführungsform der Erfindung.
Diese Ausführungsform entspricht derjenigen gemäß den Fig. 9A und 9B mit dem Unterschied, daß an den freiliegenden Enden der beiden Außenelektroden 22a und 22b elektrisch leitende Metallplatten 30a und 30b angebracht sind, so daß die beiden flexiblen Zuleitungen gemäß Fig. 4 A und 4B in Fortfall kommen.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 9 A und 9B kann einer der beiden, auf den gegenüberliegenden Seiten des Verbindungsteils 23c vorgesehenen Knotenpunkte mit Hilfe des genannten, elektrisch leitenden Klebmittels 24 mit der Metallplatte 30 verbunden sein, oder eine dieser beiden Kristallelektroden kann an die Metallplatte 30 angepreßt oder an ihr angelötet werden, nachdem die Unterseite des Verbindungsteils 23 c mit Hilfe des genannten Klebmittels 24 am Sokkelglied 21 befestigt worden ist.
Die Ausführungsform gemäß den Fig. 1OA und 1OB kann auf die gleiche Weise ausgebildet werden wie im Fall der Fig. 9 A und 9 B, wobei die beider Knotenpunkte mit den Metallplatten 30a und 30fc verbunden werden.
In den Fig. 11A und 11B ist in schematischer perspektivischer Darstellung schließlich noch eine weitere Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht
Diese Ausführungsform entspricht wiederum irr wesentlichen derjenigen gemäß den Fig. 4 A und 4B nur mit dem Unterschied, daß die flexiblen Zuleitun gen gemäß den Fig. 4A und 4B durch das leitfähige Klebmittel 24 ersetzt sind, wobei praktisch die gleiche Wirkung erzielt wird wie im Fall von Fig. 1OA unc 1OB.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
609651/399

Claims (6)

Patentansprüche: 24
1. Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements mit zwei Armen oder Schenkeln, die jeweils praktisch die gleichen Abmessungen besitzen, und einem die benachbarten Enden der beiden Arme miteinander verbindenden, gemeinsamen Verbindungsteil, dadurch gekennzeichnet, daß das Quarzkristall- ίο Stimmgabelelement (23) an der Unterseite des gemeinsamen Verbindungsteils (23 c) mit einem Klebemittel (24) an einem Halterungsmittel (21) befestigt ist, wobei das Klebemittel eine gegenüber dem Quarzkristall-Stimmgabelelement (23) unterschiedliche akustische Impedanz besitzt.
2. Vorrichtung nach Anspruch X, bei welcher zwei durch zwei sich gegenüberliegende Wandabschnitte des Verbindungsteils des Kristallelements festgelegte Knotenpunkte vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Halterungsmittel ein Sockelglied (21,211), auf dessen einer Fläche die Unterseite des Verbindungsteils (230) des Kristallelements (23) mit Hilfe des Klebemittels (24) befestigt ist, zwei am Sockelglied angebrachte Außenelektroden (22α, 22i>) und zwei die Knotenpunkte mit den beiden Außenelektroden verbindende Zuleitungen (26a, 26b) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die eine Fläche des Sockelglieds (21,211) aus einem elektrisch leitenden Material besteht und gleichzeitig die eine der beiden Außenelektroden (22α, 22b) bildet.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Fläche des Sokkelglieds (21,211), an welcher das Kristallelement (23) angeordnet ist, aus einem elektrisch isolierenden Material besteht und mit einem elektrisch leitenden Metallfilm beschichtet ist, der mit einer der beiden Außenelektroden (22α, 22b) verbunden ist, und daß der Verbindungsteil (23c) des Kristallelements (23) unter Weglassung einer der beiden Zuleitungen (26a, 26b) mit Hilfe des elektrisch leitenden Klebemittels (24) mit dem leitenden Metallfilm verbunden ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest die Fläche des Sokkelglieds (21,211), an welcher das Kristallelement (23) angeordnet ist, aus einem elektrisch isolierenden Material besteht und mit mindestens einer elektrisch leitenden Metallplatte (29) versehen ist, die mit der betreffenden der beiden Außenelektroden (22α, 22b) elektrisch verbunden ist, und daß der Verbindungsteil (23c) des Kristallelements (23) unter Weglassung mindestens einer der beiden Zuleitungen (26a, 26b) mit der leitenden Metallplatte (29) in elektrischem Kontakt steht.
6. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der beiden Zuleitungen (26a, 26b) durch elektrisch leitendes Klebemittel (24) ersetzt ist.
DE19742460683 1973-12-22 1974-12-20 Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements Expired DE2460683C3 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP303274A JPS5094850A (de) 1973-12-22 1973-12-22
JP303274 1973-12-22
JP10398074U JPS5132273U (de) 1974-08-30 1974-08-30
JP10398074 1974-08-30

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2460683A1 DE2460683A1 (de) 1975-06-26
DE2460683B2 DE2460683B2 (de) 1976-05-06
DE2460683C3 true DE2460683C3 (de) 1976-12-16

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2009379C3 (de) Piezoelektrischer Oszillator in Form einer Stimmgabel als Zeitnormal für zeithaltende Geräte
DE2738877C2 (de) Piezoelektrischer Kleinstschwinger
DE2903489A1 (de) Kraftgeber
DE1797167B2 (de) Mechanisches vibrator-system
DE2414790C3 (de) Kristall-Oszillator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2326908C3 (de) Schutz- und Haltevorrichtung für Miniatur-Schwingquarze
DE19739495C2 (de) Piezoelektrisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung desselben
DE2460683C3 (de) Vorrichtung zur Halterung eines Quarzkristall-Stimmgabelelements
DE1416741A1 (de) Elektromechanisches Filter
DE2631074C3 (de) Piezoelektrische Kristallbaugruppe
DE19908199A1 (de) Schwinggyroskop
DE2838288A1 (de) Piezoelektrischer schwinger
DE2500687C3 (de) Vorrichtung zur stoßfesten Halterung eines Quarzkirstallbiegeschwingers
DE1922550B2 (de) Elektromechanisches Filter
DE10128359B4 (de) Piezoelektrisches resonantes Bauelement
DE2460683A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur halterung eines quarzkristall-stimmgabelelements
DE1922551C3 (de) Elektromechanisches Filter mit wenigstens drei parallel zueinander angeordneten, mechanisch gekoppelten Biegeresonatoren
DE2808340C2 (de) Halterungsvorrichtung für einen plattenförmigen Piezo-Resonator
DE2512344B2 (de) Verfahren zum stabilisieren der schwingfrequenz eines oszillators mit einem quarzkristall-stimmgabelelement
DE3035088A1 (de) Schwingquarzanordnung
DE2656613C2 (de) Länglicher piezoelektrischer Resonator
DE69930578T2 (de) Piezoelektrischer Dünnfilmresonator
DE3520085A1 (de) Verfahren zum herstellen eines hermetisch verschlossenen bauelementengehaeuses, insbesondere fuer schwingquarze
DE1297690B (de) Elektromechanisches Wandlerelement zur Umwandlung elektrischer Schwingungen in mechanische Schwingungen
DE102019111742A1 (de) Ultraschallsensor-Baugruppe, Ultraschallsensorvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Ultraschallsensor-Baugruppe