DE2437922A1 - Verfahren und vorrichtung zur schwingungsmessung - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur schwingungsmessungInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 6
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 11
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 7
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims 1
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 235000012438 extruded product Nutrition 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010010904 Convulsion Diseases 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEWIYICDCVPBEW-BYPYZUCNSA-N L-glutamate methyl ester Chemical class COC(=O)[C@@H](N)CCC(O)=O SEWIYICDCVPBEW-BYPYZUCNSA-N 0.000 description 1
- 229920012485 Plasticized Polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000036461 convulsion Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229920001821 foam rubber Polymers 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/857—Macromolecular compositions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
- G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
- G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/04—Piezoelectric
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Description
2Λ379??
Or. E. Wicgsiiil, D;pi.-fnn. W. fiJenienn V* - '■v*-z·
Dr.M. Köhler, ΟϊρΙ.-ΐΓ,β. G. Ssrniierdl "
Patentanwälte Hamburg 50 - Königstraße 28
β. Λ
W.26 426/74 20/Hh
Kureha Kagaku Kogyo Xabushiki Kaisha,
Tokio (Japan)
Verfahren und Vorrichtung zur
Schwingungsmessung.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen der Schwingung eines festen
Gegenstandes vermittels eines Schwingungsmessers, der einen piezo-elektrischen Film hohen Molekulargewichts
als Scm/ingungsdetektoreleiaent auf'.feist, in welchem mit
aller Wahrscheinlichkeit auftretende Störungen hzw. Gerauschstörungen
vermieden werden können, welche durch Schallwellen verursacht werden.
Es ist bekannt, daß bestimmte Materialien, beispielsweise Substanzen mit hohem Molekulargewicht, beispielsweise
Proteine, Poly-/^Methylglutamate und dgl. piezo-elektrisch
sind. Es ist außerdem bekannt, daß aus Polyvinylchlorid, Polymethylmethakrylat oder aus anderen entsprechenden
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hochmolekularen polaren Substanzen gebildete Gegenstände einer sogenannten Polarisierungsbehandlung unterworfen
werden können, bei welcher sie einer Wärmebehandlung unter ' einem hohen statischen elektrischen Feld ausgesetzt werden,
um geformte Gegenstände aus hochmolekularen Substanzen zu bilden, die piezo-elektrische Eigenschaften aufweisen. Insbesowere
wenn Polyvinylidenfluorid als hochmolekulare polare Substanz verwendet wird und die Moleküle des Polyvinylidenfluorid
in solchem Kristallaufbau angeordnet werden, daß sie leicht die höchste Polarisation erzeugen können, werden
piezo-elektrische Konstanten bzw. Werte erreicht, die mit denen des Rochelle-Salz verglichen werden können. Typische
Kristallaufbauten von Polyvinylidenfluorid weisen einen g( -Typ und einen β -Typ auf, wobei der Letztere einen zick—
zackförmigen ebenen Kristallaufbau aufweist und daher ohne
weiteres in einen polaren Aufbau umgebildet werden kann. Häufig nimmt für gewöhnlich Polyvinylidenfluorid, wenn es
geschmolzen und extrudiert worden ist, den Kristallaufbau vom ei -Typ ein, jedoch wird der Kristallaufbau des extrudierten
Produkts vollständig oder teilweise in den Kristallaufbau vom β -Typ verändert, wenn das extrudierte Produkt bei einer,
verhältnismäßig niedrigen Temperatur (beispielsweise unter 13O0C für das Homopolymere) gestreckt wird.
Wenn die Achsen X^ und X„ längs der Ebene eines Filmes
angeordnet werden und die Achse X, in die Richtung der Dicke eines Filmes fällt, wie es in Fig. 1 der Zeichnung gezeigt
ist, und wenn eine Kraft bzw. Spannung längs der Richtung der X^-Achse in dem Film angelegt wird, wird die längs der
Richtung der Achse X- erzeugte Polarisation als d,^ bezeichnet.
Wenn eine Zugspannung in der gleichen Achsenrichtung wie der Richtung, in welcher das Polyvinylidenfluorid gestreckt
ist, angelegt wird, erreicht die piezo-elektrische Konstante d.^ manchmal eine Größenordnung von i χ i0~ c.g.s.es.E,
als Maximalwert. Außerdem erzeugt die an eine nicht orientierte oder in irgend_>zwei Richtungen biaxial orientierte
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Folie oder ein solcher Film einen piezo-elektrischen Körper
mit einer Konstanten d„. in der Höhe von 5 χ 10"" c.g.s.es.E.
Viele polarisierten Folienprodukteaus natürlichen hochmolekularen
Substanzen, beispielsweise aus Proteinen oder hochmolekularen polaren Substanzen, beispielsweise auch andere
als Polyvinylidenfluorxd, beispielsweise Polyvinylfluorid,
Polyvinylidenchlorid, Polyvinylchlorid, Polymethylniethakrylate oder dgl., weisen ein Maximum von d_^ von ungefähr 10" -Ίσ "
Cg.s.es.E. auf, und diese Substanzen mit piezo-elektrischen
Konstanten einer solchen Größenordnung können auch verwendet
werden als piezo-elek.trische Elemente, indem sie mit Verstärkern
kombiniert werden, die für den vorgesehenen Anwendungszweck geeignet sind.
Für die hochmolekularen Substanzen, die piezo-elektrisehe
Eigenschaften wie oben festgestellt aufweisen, können verschiedene
Anwendungszwecke als elektrisch-mechanische oder mechanisch-elektrische
Umwandlungselemente in Betracht gezogen werden, beispielsweise für Rochelle-Salz und keramische piezoelektrische
Materialien. Insbesondere wenn sie als Messeinrichtungen für mechanische Schwingungen eingesetzt werden,
können Filme oder Folien irgendeiner gewünschten Größe zufolge der Eigenart der hochmolekularen Verbindung erhalten werden,
und allgemein bieten sie viele Vorteile, beispielsweise wie hohe Schlagfestigkeit im Vergleich mit anorganischen piezoelektrischen
Materialien, einen niedrigen Young-Modul, welcher kaum mit der mechanischen Schwingung interferiert, wenn
sie als dünne Filme oder Folien verwendet werden, die den auszumessenden Gegenstand über einen weiten Bereich berühren oder
mit ihm in Verbindung stehen, keinen Resonanzpunkt oder Resonanzbereich
für irgendeine bestimmte Wellenlänge, da sie keinen merklichen Resonanzpunkt aufweisen, usw.
Venn derartige hochmolekulare piezo-elektrische Filme
als Messeinrichtung für mechanische Schwingung verwendet werden, werden für gewöhnlich zweckmäßige dünne Metallfilme beispielsweise
aus Gold, Platin, Silber, Kupfer, Nickel, Chrom-
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eisen, Aluminium, Zinn, Zink oder dgl. auf beide Flächen des hochmolekularen Films als Elektroden durch Plattleren,
Aufstäuben usw. aufgebracht, und das piezo-elektrische
Element wird mit der Oberfläche des auszumessenden Gegenstandes
durch zweckmäßige Mittel beispielsweise durch Verschraubung, Flanschverbindung usw. in Berührung bzw. in
Verbindung gebracht. Mechanische Schwingung wird durch Umwandlung der Schwingung in Veränderungen der Intensität
des elektrischen Feldes an der Filmoberfläche umgewandelt, welche durch die Schrumpfung und die Streckung des hochmolekularen
piezo-elektrischen Filmes verursacht werden.
Es ist jedoch gefunden worden, daß manchmal durch umgebende Schallwellen erzeugte Störungen bzw. Geräuschstörungen,
in den erhaltenen Messresultaten der mechanischen Schwingung eines festen Materials, bei Verwendung von Einrichtungen
mit hochmolekularen piezo-elektrischen Filmen, Fehler erzeugen. Es wird angenommen, daß die Störungen erzeugt werden, wenn die
hochmolekularen Folien oder Filme Schallwellen in der Umgebung zufolge ihrer hohen Empfindlichkeit gegenüber Schallwellen aufnehmen.
Durch die Erfindung wird bezweckt, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen mechanischer Schwingung fester Materialien
zu schaffen, welche in der Lage sind, Störungen bzw. Interferenzen
von Schallwellen zu vermeiden, indem die Elektrode an der gegenüberliegenden Fläche des hochmolekularen piezo-elektrischen
Elementes, welche mit dem zu messenden Gegenstand kontaktiert ist, mit einem flexiblen schallabsorbierenden Material
versehen bzw. abgedeckt wird.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung beispielsweise
erläutert.
Fig. 1 ist eine zur Erläuterung der piezo-elektrischen Konstante dienenden Darstellung.
Fig. 2 ist eine der Erläuterung des Prinzips gemäß der
vorliegenden Erfindung dienende Darstellung. Gemäß Fig. 2 sind dünne Metallfilmelektroden 1 und 1* an
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beiden Flächen eines hochmolekularen piezo-elektrischen Filmes 2 angebracht. Die Oberfläche der einen Elektrode i
ist mit einem flexiblen bzw. dehnbarem schallabsorbierenden Material 3 versehen, und die Oberfläche der anderen
Elektrode I1 ist nicht mit einem derartigen schallabsorbierenden
Material abgedeckt, sondern mit dem zu messenden Objekt h in Berührung bzw. in Kontakt. Leitungen 5 und 5*
von den Elektroden i und i1 sind über einen Impedanzwandlerkreis
6 mit einer Messeinrichtung bzw. einem Detektor 7 verbunden, wo die Veränderungen in dem elektrischen Feld
an dem piezo-elektrischen Film, welche durch die Schwingung des zu messenden Objekts verursacht werden, gemessen oder
festgestellt werden. Mit 8 ist ein Feldeffekttransistor bezeichnet,
welcher durch andere zweckmäßige Impedanzwandlereinrichtungen, beispielsweise durch eine Vakuumröhre oder
dgl«, ersetzt werden kann. Als Messeinrichtung oder Detektor 7 können verschiedene Mittel eingesetzt werden, unter
anderem ein Voltmeter, ein Amperemeter, ein Schreiber,'ein
Oszillograph, eine Kombination irgendwelcher dieser Elemente mit einem Rechner oder eine Alarmeinrichtung oder dgl.
Flexible schallabsorbierende Materialien werden vorzugsweise aus denjenigen Materialgruppen ausgewählt, welche
hohe schallabsorbierende Wirkungen aufweisen, beispielsweise hochmolekulare elastische Materialien oder Schaumstoffe, beispielsweise
Gummi, Polyuretan, Schaumstoffe oder Gummischaumstoffe, Polyäthyrenschaumstoffe, Polyäthylenschaumstoffe^thylen
Äthyren-Vinylacetat-Schaumstoffe und dgl. Sehr hohe Messgenauigkeit ist nicht erforderlich, Kunststoffe mit niedrigen
schallabsorbierenden Wirkungen können auch verwendet werden, . beispielsweise ein Film aus Weichpolyäthylen, beispielsweise
Weich-Polyvinylchlorid usw., jedoch müssen die geschmolzenen
Gegenstände aus diesen Kunststoffilmen mit verhältnismäßig
geringen Absorptionseffekten einen niedrige"enYoung-Modul aufweisen,
als denjenigen der hochmolekularen piezo-elektrischen Filme. Es wird bemerkt, daß das flexible schallabsorbierende
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Material nicht notwendigerweise einstückig bzw. ganzflächig abdeckend an der einen Elektrode des hochmolekularen
piezo-elektrischen Filmes angebracht sein muß, vorausgesetzt, daß das Material die Fläche bzw.
Oberfläche des piezo-elektrischen Elements zum Zeitpunkt der Schwingungsmessung berührt bzw. abdeckt,
um so Schall in der Umgebung daran zu hindern, direkt zum hochmolekularen piezo-elektrischen Film überzugehen
.
Obwohl es nicht bevorzugt wird, die Fläche des hochmolekularen piezo-elektrischen Films, welcher das
zu messende Objekt abdeckt, mit schallabsorbierenden Materialien abzudecken, kann die piezo-elektrische Folie
zu Zwecken der Isolierung oder zum Schutz der Elektrode mit einer dünnen (ο,Ι-loju) hochmolekularen Folie versehen
werden, welche kaum die mechanischen Schwingungen absorbiert, und daher keine Schwierigkeiten bei der
Messung verursacht. Nach dem Verfahren gemäß der Erfindung können alle Arten mechanischer Schwingungen, die
durch feste Gegenstände hindurchgehen, gemessen werden, beispielsweise das Schlagen des Herzens und Konvulsionen
in lebenden Körpern und dgl. als auch Maschinenschwingungen .
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Claims (9)
1. Verfahren zum Messen und Feststellen von Schwingung, bestehend aus dem Kontaktieren einer Oberfläche
eines piezoelektrischen Elementes, welches eine hochmolekulare piezoelektrische Folie mit einem dünnen
Metallfilm als Elektroden, die an beiden Flächen angeordnet sind, aufweist, mit einem zu messenden Gegenstand,
während die gegenüberliegende Fläche des piezoelektrischen Elements, welche mit dem zu messenden
Gegenstand in Berührung ist, mit einem flexiblen schallabsorbierenden Material versehen wird und bestehend
aus Messen oder Feststellen der Schwingung des Gegenstandes durch die Veränderungen im elektrischen Feld,
welches durch die Schwingung des Gegenstandes verursacht und an der Oberfläche des piezo-elektrischen Elements
erzeugt wird.
2. Vorrichtung zum Messen und Feststellen von Schwingung, bestehend aus einem piezo-elektrischen Element,
welches eine hochmolekulare piezo-elektrische
Folie aufweist, einem dünnen Metallfilm, der auf beiden Seiten der Folie aufgebracht ist und bestehend aus einem
flexiblen schallabsorbierenden Material, welches die eine Elektrode an der einen Fläche des piezo-elektrischen
Filmes abdeckt, wobei die der mit dem absorbierenden Material abgedeckten Fläche gegenüberliegende Fläche
als Kontakt- bzw. Berührungsfläche zur Messung der Schwingung verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als flexibles schallabsorbierendes Material
ein hochmolekularer elastischer Schaumstoff verwendet wird.
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4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet ,daß als piezo-elektrischer Film ein Polyvinylidenfluoridfilm
verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als flexibles schallabsorbierendes
Material ein Weich-Polymerfilm verwendet wird, der einen niedrigeren Young-Modul als der hochmolekulare
piezo-elektrische Film aufweist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Kontaktfläche weiterhin mit einem dünnen hochmolekularen Film versehen ist, welcher
die mechanische Schwingung nicht bzw.-kaum absorbiert.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der piezo-elektrische
Film aus Iblyvinylidenfluorid besteht.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das flexible schallabsorbierende
Material aus einem hochmolekularen elastischen Schaumstoff besteht.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 6,
dadurch gekennzeichnet, daß das flexible schallabsorbierende Material aus einem Weichpolymerfilm besteht,
der einen niedrigeren Young-Modul als der hochmolekulare piezo-elektrische Film aufweist.
509810/Ü2bb
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8895973A JPS5431825B2 (de) | 1973-08-08 | 1973-08-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2437922A1 true DE2437922A1 (de) | 1975-03-06 |
Family
ID=13957366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2437922A Pending DE2437922A1 (de) | 1973-08-08 | 1974-08-07 | Verfahren und vorrichtung zur schwingungsmessung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3969927A (de) |
JP (1) | JPS5431825B2 (de) |
CA (1) | CA1013462A (de) |
DE (1) | DE2437922A1 (de) |
FR (1) | FR2240442B1 (de) |
GB (1) | GB1475355A (de) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5269283U (de) * | 1975-11-18 | 1977-05-23 | ||
JPS5269282U (de) * | 1975-11-18 | 1977-05-23 | ||
JPS5326488A (en) * | 1976-08-23 | 1978-03-11 | Kenji Kobayashi | Fatal breast and cardiac sound meter using high molecular piezooelectric film |
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- 1974-08-07 CA CA206,418A patent/CA1013462A/en not_active Expired
- 1974-08-08 FR FR7427609A patent/FR2240442B1/fr not_active Expired
- 1974-08-08 US US05/495,740 patent/US3969927A/en not_active Expired - Lifetime
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