DE2436328A1 - Akustischer wandler und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Akustischer wandler und verfahren zu seiner herstellung

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DE2436328A1
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acoustically
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Gerald Edwin Adamson
Richard Wayne Smith
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US Atomic Energy Commission (AEC)
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    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
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Description

United States Atomic Energy Commission, Washington, D.C. 20545, U.S.A.
r Wandler und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf akustische Wandler und Verfahren zu ihrer Herstellung, und insbesondere auf derartige Wandler für Hochtemperaturanv/endungsf alle .
Durch die Entwicklung der mit flüssigem Metall arbeitenden schnellen Brüterreaktoren wurde auch die Natriumtechnologie und damit kompatible überwachungsinstrumente gefördert. Die Anwendung von Ultrcischallverfahren bei der Überwachung innerhalb von Natrium scheint das geeignetste Überwachungssystem zu sein. Die üblichen Ultraschallwandler sind aber bei der hohen Temperatur in der Umgebung des flüssigen Natriums nicht funktionsfähig. Die bislang verwendeten Materialien v/erden durch Strahlung, korrodierende Umgebung und hohe Temperaturbereiche beschädigt. Beispielsv/eise erleidet das aktive Element Sprünge, was die Signalkontinuität und somit die Wirksamkeit des Wandlers stört bzw. unmöglich macht.
Es ist demgemäß erwünscht, einen akustischen Wandler vorzusehen, der hohen Temperaturen, hohen Strtihlungspegeln und der korrodierenden Umgebung schneller Brüterreaktoren standhält, um so ein zuverlässiges
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innerhalb des Natriums angeordneter Überwachung:;.^/':. I... <λ\ zu schaffen.
Die vorliegende Erfindung schafft einen akustischem Tv'-ind": ·- der speziell für Ilochtemperaturanwendungsfälle gooigi:.' '.· Ein neuartiges Verfahren gewährleistet eine fortg-'.:oO--"v.· maximale akustische Kopplung an der Zwischenschicht ?:r \: dem aktiven Element und der Wandlerstirnplatte. Die Zv i:;·'-schicht ist dadurch verbunden, daß man die Stirnp] fitt-..1 u<.-". gegenüberliegend'angeordnete aktive Elementenobr-rl ] [U:<\:: ;·.' entsprechenden Benetzungsagenzien überzieht, die spo:::i o.l 1 der- verwendeten Bindelegierung kompatibel sind, weicht: d i bindung in einer inerten Atmosphäre schafft. ri.in nor·· elektrisch leitendes Stützglied mit den gewünschten Eigenschaften zur Sicherstellung fortgesetzter elektrischer Kc. tat im Falle eines gebrochenen aktiven Elementes ν.·ίϊ.ά get der entgegengesetzten Stirnfläche des Elementes geheilt:.!:.. Die gesamte Einheit ist innerhalb eines Gehäuses urrr.chlo:-:-. wobei externe elektrische Kontakte vorgesehen sind, u:d el i ■ Kupplung mit Zubehörbauteilen zu gestatten.
Zwei alternative Stützglieder werden für entspreche;.de a i t Anwendungsfälle vorgesehen. Im ersten Falle wird eine el'. Mer.-Kontaktelektrode in elektrischer Verbindung mit dem ·· Element an einer Vielzahl von diskreten Punkten über die C fläche einer Stirnfläche des Elementes hin verwendet. In v. Falle wird ein elastisches, elastomeres, elektrisch leite. · gedämpftes Glied in elektrischer Verbindung mit der akti\. Elementenstirnfläche benutzt, und zwar in einer Weitse, y>l\ Wandler festzulegen.
Jedes Ausführungsbeispiel sieht eine weiterbestehende el·: " Kontinuität im Falle eines gesprungenen aktiven Elcraerit':.-wobei das zweite Ausführungsbeispiel zusätzlich - wenn erwünscht - eine Dämpfung erzeugt.
Weitere Vorteile, Ziele und Einzelheiten der Er finding <r ~ sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen r.nio:
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Zeichnung. Jn der Zeichnung zeigt: Figur 1 einen Querschnitt eines gemäß de)- Erfindung ausgebildeten akustischen Wandlers; Figur 2 eine perspektivische Ansicht eines neuen Stützgliedes, welches zusammen mit dem Wandler gemäß Figur 1 verwendet werden kann;
Figur 3 eine perspektivische Ansicht einer Dampfabscheidungsanordnung, die bei der Herstellung des Wandlers gemäß Figur 1 verwendet wird;
Figur 4 eine perspektivische Ansicht der verwendeten Verbindeanordnung zur Befestigung des aktiven Elementes an der Stirnplatte des Wandlers gemäß Figur 1.
Der erfindungsgemäße Wandler ist besonders für Hochtemperaturanwendungsfalle in einer reaktiven korrodierenden Natriumumgebung geeignet und weist als Grundelement ein piezoelektrisches aktives Element auf, welches von einem Gehäuse 12 umschlossen ist, das aus einem Material besteht, welches speziell mit dem Natrium kompatibel ist, wie beispielsweise rostfreiem Stahl. In Figur ist die Grundausbildung dargestellt. Das aktive Element 10, typischerweise Bleizirkonat, Bleititanatkeramik ist mit der Rückseite der Wandlerstirnplatte 14 koaxial' mit der Wandlerlinse verbunden, welche als ein konkaver Ausschnittsteil in der Unterseite der Wandlerstirnplatte ausgebildet ist. Die elektrische Isolierung wird zwischen den Seitenwänden des Gehäuses 12 und dem piezoelektrischen aktiven Element 10 durch eine eingepaßte keramische Ringscheibe 18 aufrechterhalten, die zwischen den Gehäuseseitenv/änden und dem Element sitzt. Kupferschicht-V-Dichtungen verhindern das Eintreten von flüssigem Natrium, obwohl natürlich auch andere hermetische Dichtungen verwendet v/erden könnten, wie beispielsweise Pressvcrriegolungspassungen. Ein unter Fcdr-rdrvck stehendes elektrisches Kontaktstück 22 stellt eine elektrische Verbindung der hinteren Elektrode des Kristalls her und ein aus Polyamid oder einem anderen hochtemperaturbeständigen , sty.i'ilungsber.tändigen Wirkstoff bestehender Isolator isoliert da:: Kontalc t stück gegenüber dar. Gehäuse. Pic. 'ikj. ! j· ön.i i ge Konkave in der Wandlerstirnplatte ausgearbeitete Linrc 1 f. foku-
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BAD ORlGSNAL
siert den Ultraschall an einem Punkt S, der durch die folgende Formel bestimmt ist:
F = R(n/(n-1)) ,
wobei R der Krümmungsradius der Oberfläche und η der Brechungsindex für den Schall zwischen dem Linsenmaterial und dem Natrium ist.
Die vorliegende Erfindung sieht ein neues Stützglied 26 zwischen der Ilinterseite des aktiven Elementes 10 und der Elektrode 22 vor, welches insbesondere dann vorteilhaft ist, wenn es in Verbindung mit dünnen aktiven Elementen benutzt wird, um die elektrische Kontinuität zwischen der Elektrode 22 und dem aktiven Element aufrechtzuerhalten. Ein neues Ausführungsbeispiel des Stützgliedes ist in Figur 2 dargestellt und wird durch eine locker verwebte elastische Drähtkugel gebildet, die eine elektrische Verbindung über die Oberfläche der Rückseite des aktiven Elementes hin an einer Vielzahl diskreter Punkte vorsieht. Bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die Punktkontakte mit dichtem Abstand angeordnet und der Draht ist in einem unregelmäßigen Muster verwebt, so daß die elektrische Kontinuität an im wesentlichen sämtlichen Punkten der hinteren Fläche des aktiven , Elementes im Falle eines Bruches des aktiven Elementes während des Betriebs aufrechterhalten wird. Demgemäß werden selbst unter ungünstigen Bedingungen sämtliche Teile des Wandlers aktiv bleiben, um die Empfindlichkeit und die Zuverlässigkeit der Ausgangsgröße aufrechtzuerhalten. Der durch das elektrische Kontaktstück 22 ausgeübte Druck und die Elastizität des Stützgliedes 26 gewährleisten, daß diese Kontinuität zu allen Zeiten aufrechterhalten bleibt. Es sind bereits verschiedene Stützglieder bekannt, wie sich beispielsweise aus den U.S.-Patenten 3496617 und 3299301 ergibt. Der Stand der Technik lehrt aber nicht die Verwendung eines druckbelasteten Kontaktstückes 26, welches die aktive Elementelektrode an vielen mit zufälligem Abstand angeordneten Punkten über die gesamte Kristal.1 fläche hin berührt. Obwohl das Stützglied das aktive Element an einer Vielzahl von Punkten berührt, ist die Dämpfung minimal und zwar wegen der kleinen Fläche, die an jeder Berührungcstelle vorliegt. Wenn der Kristall des
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des aktiven Elementes springt, so wird der Kontakt zum gesamten Kristall aufrechterhalten, und zwar infolge der Zufallsausbildung und der Elastizität der Berührungspunkte.
Ein alternatives Ausführungsbeispiel des Stützgliedes der Figur 2, wie es in Figur 1 allgemein mit dem Bezugszeichen 2 6 beschrieben ist, kann dort verwendet werden, wo Dämpfung gewünscht wird. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Dämpfungsgliedes, welches zusätzlich die beschriebene elektrische Kontinuität aufrecht erhält, sieht vor, daß ein bei Raumtemperatur vulkanisierender (RTV) Silikongummi - wie beispielsweise RTV-116 -auf die Rückseite des aktiven Elementes gegossen wird, wobei der Gummi stark mit Wolframpulver beladen ist, und zwar beispielsweise in der Größenordnung von 200 Maschen. Das Ergebnis ist ein elektrisch leitendes Stützglied, weiches zusätzlich zur Dämpfung des Wandlers Kontakt an allen Stellen des aktiven Elementes und der Blockiergliedzwischenschicht aufrechterhält. Um das hohe Wolfram zu RTV-Verhältnis zu erhalten, wird der RTV mit einem kompatiblen Lösungsmittel wie beispielsweise Toluol auf. eine niedrige Viskosität verdünnt. Bei Anwendung dieses Verfahrens wurden Wolfram zu RTV-Verhältnisse bis zu 20 : 1 (ausgedrückt in Gewicht) erhalten, wobei noch höhere Verhältnisse erwartet werden können.
Die"bekannten Wandler verwendeten elastomere Materialien, wie beispielsweise Silikongummi für unterschiedliche Anwendungen, wie-. dies beispielsweise durch die folgenden U.S.-Patente veranschaulich wird: 3 586 889, 3 560 772 und 3 663 842.Im Gegensatz dazu schafft das mit Wolframpulver beladene elastomere Stützglied gemäß der Erfindung ein gedämpftes piezoelektrisches Element, ohne daß dessen Ansprechfrequenzbereich begrenzt wird. Die Wolframteilchen besitzen eine sehr hohe akustische Impedanz und v/irken erfolgreich als Streuungszentren bei der Verteilung des Schalls. Zudem erhöht das Wolfram die akustische Impedanz des Stützgliedes, so daß ein größerer Teil des Signals durch das Stützglied übertragen wird. Da das Stützglied mit einem Hochtemperatur-Silikongummi hergestellt ist, kann der fertige Wandler bei hohen Temperaturen von annähernd 5000F verwendet werden. Das durch die vorliegende
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Erfindung gelehrte hohe Verhältnis von Wolfram zu Silikongummi macht das Stützglied mit den gewünschten beschriebenen Eigenschaften elektrisch leitend und die elastomeren Eigenschaften des Gliedes in seinem verdünnten Zustand halten die Kontinuität der elektrischen Berührung über die gesamte Stirnfläche des Kristalls (aktives Element) im Falle eines Bruches des aktiven Elementes aufrecht.
Gegenüber dem Stand der Technik besteht also der Beitrag der vorliegenden Erfindung insbesondere darin, daß eine fortgesetzte elektrische Kontinuität, ein breiter Änsprechfrequenzbereich sov/ie der Betrieb bei hohen Temperaturen in korrodierender Umgebung sowie Dämpfung gev/ährleistet ist.
Eine wichtige Betrachtung bei der Herstellung derartiger Wandler zur Anwendung in korrodierenden Hochtemperatur-Natriumumgebungen betrifft die Verbindung zur Befestigung des aktiven Elementes an der Wandlerstirnplatte, welche das aktive Element gegenüber dem Natrium schützt und den Ultraschall fokusiert. Ein spezielles Bindematerial, welches für einen solchen Anwendungsfall besonders geeignet ist, ist Bleilegierungslot (1,5 %Ag;· 5 % Sn; 93,5 % Pb), welches einen Schmelzpunkt von ungefähr 56O°F besitzt. Diese Verbindung muß Temperaturen und Strahlungspegeln widerstehen, wie sie bei schnellen Brüterreaktoren auftreten und muß auch die richtige akustische Kopplung zwischen dem aktiven Element und der Linse schaffen. Ferner muß die Erfindung eine angemessene Fließfähigkeit besitzen, um den großen Unterschied bei der termischen Ausdehnung aufzunehmen, die in der Größenordnung von 6 : 1 zwischen dem aktiven Element und der Linse liegt. Um die Benetzung der Wandlerstirnplatte/Natrium-Zwischenschicht zu fördern, was für eine gute akustische Kopplung wesentlich ist, wird die Stirnplatte geätzt, um die Oxydation und Fremdmaterial zu entfernen, wobei dann eine ein Mikron dicke Schicht aus Gold durch Dampf an den Linsenaußenoberflachen 16 abgeschieden wird, um die Oberfläche passiv zu machen und eine erneute Oxydation und Verunreinigung zu verhindern. Im Natrium wird das Gold schnell aufgelöst, wodurch dem Natrium eine saubere Wandlerstirnfläche ausgesetzt ist. Aus diesem Grunde muß der Verbindungsvorgang in
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einer inerten oder sauerstoffrejen Umgebung vorgenommen werden, um eJne erneute Oxydation der Wandlerstirnfläche zu vermeiden, weshalb ein Lötflußmittel nicht verwendet werden kann.·
Die Herstellung des aktiven Elementes schließt die Entfernung der normalerweise mitgelieferten aufgebrannten Silberelektroden ein, die sonst sich im Lot auflösen wurden. Sodann wird eine 2 Mikron dicke Kupferelektrode auf die Seite des Kristalls aufgesprüht, die mit der Wandlerstirnplatte verbunden werden soll; eine 2 Mikron dicke Platinelektrode wird auf die entgegengesetzte Kristallseite gesprüht. Dieses Verfahren hat gut verbundene Elektroden zur Folge, wobei der zusätzliche Vorteil auftritt, daß die Lotbindelegierung ohne weiteres das Kupfer benetzt und die Platinelektrode keiner Oxydation ausgesetzt ist. Manchmal wird es notwendig, die keramischen Elemente nach Vollendung des Sprühvorganges zu repolarisieren (Sputtering).
Die Rückseite der zu verbindenden aus rostfreiem Stahl bestehenden Linse muß vorbereitet sein, um die Bindelegierung zu veranlassen, die Stirnplatte zu benetzen. Zu diesem Zweck ist vor der Verbindung des aktiven Elementes die Abscheidung einer Kupferbindeschicht auf der Rückseite der Stirnplatte vorgesehen. Eine speziell zur Dampfabscheidung von -Kupfer auf der Stirnplatte geeignete Vorrichtung ist in Figur 3 dargestellt. Die Wandlerplatte 14 int in ihrer Lage durch Λ.1 urainiuinoxydisolatoren 30 befestigt und die Stirnplatte wird in diesem Ausführungsbeispiel auf eine gewünschte Temperatur von annähernd 9 5O°C durch eine Tnduktionsheizspule 28 erhitzt. D.ie Verdampfung des Kupfers wird durch eine widerstandsbeheizte Verdampfungsquelle 32 erreicht, wobei die gesamte Anordnung in einer Vakuumanordnung gehalten wird, um die erneute Oxydeition der Wandlerstirnplatte zu vermeiden. Die Dampfabscheidung des KupferÜberzugs beginnt mit der Wandler?.ti rnplatte auf einer annähernden Temperatur von 95O°C und s^tzt sich fort, wenn die Platte abkühlt. Diese Behandlung d:"i 1 uiv.liert einen Teil des Kupfers in die Stirnplatle und ergibt ι in ο gut verbundene Kupf er schicht, die ohne weiteres durch die Bln^.n]egierung benetzt wird. Das Ergebnis ist eine annähernd eine 1 Mikron dicke Schicht aus Kupfer, welches integral
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mit der Stirnplattenoberfläche verbunden ist.
Figur 4 zeigt die zur Verbindung des aktiven Elementes 10 an der Stirnplatte 14 verwendete Vorrichtung. Dieser Vorgang erfolgt in einer Vakuumkammer odor einer inertes Gas enthaltenden Kammer, um eine Verunreinigung oder Oxydation der Stirnplatte zu verhindern. Eine gute mechanische Berührung zwischen den verschiedenen Teilen muß erreicht werden, um eine gute termische Leitfähigkeit zu gewährleisten. Es ist daher eine Feder 36 vorgesehen, um eine hinreichend große Kraft auszuüben und um die Stirnplatte an der oberen Tragplatte 37 festzuklammern, wobei dann eine Schraube 38 dazu dient, um das aktive Element auf der Stirnplatte 14 festzulegen. Die Feder 36 ist !coaxial um die Klemmschraube 38 herumgewunden und wird durch obere und untere Kaltestücke 40 und 4 2 unter Druck in ihrer Lage gehalten, wobei das untere Formstück 42 fest gegen die Passung der Wandlerstirnplatte gedrückt wird. Das obere Formstück wird von der Klemmschraube 38 gehalten und zwar durch entsprechende ineinanderpassende Gewinde an der Klemmschxaube und dem oberen Formstück. Die Schraubverbindung ist in einer solchen Weise einstellbar, daß der gewünschte Grad der Zusammendrückung der Feder vorgesehen werden kann. Die Klemmschraube 38 erstreckt sich von einer oberen Tragplatte 35 aus in Längsrichtung nach unten, und zwar durch eine Ringöffnung in dem unteren Formstück 42, um an einem Amboss 44 anzuschlagen, der d]ehfest durch einen sich radial erstreckenden Stift 4 6 angeordnet ist, der in den Ausnehmungen 50 sitzt, die in den Wänden der Ringöffnung des unteren Formstücks 42 ausgebildet sind. Der /mboss 44 drückt gegen eine Quarz scheibe, welche den durch die Kleriincchraube 38 ausgeübten Druck über die gesamte Rückseite dos aktiven Elementes verteilt. Eine Lot-Vorform der Bindelegierung int zwischen der unteren Stirnfläche des aktiven Elementes und der Wandlerstirnfläche angeordnet. Die Feineinstellung des durch die Quarzscheibe 48 auf das aktive Element ausgeübten Druckes wird durch Drehung der Klemmschraube 38 erreicht. Thermoelemente sind auf der Stirnplitiο und der induktiv erheizten Heizplatte 34 angeordnet, um das Erreichen der gewünschten Temperaturen zu gewährleisten.
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Die Erwärmung der Verbindeanordnung auf annähernd 61O0F für eine Zeitdauer von ungefähr 15 Minuten bringt die Bindelegierung zum Schmelzen, und eine Freigabe des Druckes, der das Element auf der Stirnplatte hält zu dieser Zeit gestattet en, daß das aktive Element auf der geschmolzenen Bindelegierung schwebt. Dieser Zustand wird automatisch dadurch erreicht, weil beim Schmalzen der Lot-Vorform die Quarz/-Amboss-Anordnung von der Berührung mit der Federklammer abgesengt wird. Vor der Entfernung aus der Verbindungskammer erfolgte die langsame Abkühlung der Stirnplatte.
Experimentelle Ergebnisse bewiesen die Wirksamkeit des beschriebenen Verfahrens und der Vorrichtung bei der Erreichung, einer v/irksamen verbundenen Bindung und auch beim Erhalt einer integralen elektrischen Kontinuität während ungünstiger Betriebsbedingungen.
Der erfindungsgemäße akustische Wandler ist also bei hohen Temperaturen in kaustischen Natriumumgebungen verwendbar, so daß die Ultraschalltechnologie bei Instrumenten für schnelle Brüterreaktoren benutzt werden kann.
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Claims (20)

PATENTANSPRÜCHE"^·
1. Für hohe Temperaturen geeigneter akustischer Wandler zur Verwendung in Natrium mit einem umschließenden Gehäuse, dessen eine Wand einen Teil aufweist, der aus einem akustisch leitenden Material besteht und in wirksamer Weise ein akustisches Fenster bildet, wobei ein piezoelektrisches Element innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und einen Teil in akustischer Verbindung mit dem akustischen Fenster besitzt und elektrisch isoliert gegenüber dem Gehäuse.angeordnet ist, wobei Mittel vorgesehen sind, um das piezoelektrische Element elektrisch mit zugehörigen Feststellbauteilen zu verbinden gekennzeichnet durch einen unter Druck stehenden elastischen Aufnehmer (Kontakts-tück; Kontraktor), der zwischen der Rückseite des piezoelektrischen Elementes und einer Elektrode liegt, wobei das elastische Kontaktstück in elektrischer Verbindung mit dem piezoelektrischen Element steht, wodurch eine elektrische Kontinuität zwischen der Elektrode und der gesamten Oberfläche der Rückseite des piezoelektrischen Elementes aufrecht erhalten bleibt.
2. Wandler nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das unter Druck stehende elastische Kontaktstück aus einem vielschichtigen, zufällig angeordneten, verwebten elek-. trisch leitenden Draht besteht, wobei der Draht zusammengedrückt gegenüber dem piezoelektrischen Element gehalten wird.
3. Wandler nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß das unter Druck stehende elastische Kontaktstück ein elastomeres elektrisch leitendes akustisch gedämpftes Stützglied aufweist.
4. Wandler nach einem oder mehreren der vorherigen Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß der verwebte elektrisch leitende
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Draht locker geknüpft ist.
5. Wandler nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche dadurch gekennzeichnet, daß das Stützglied
aus bei Raumtemperatur vulkanisierenden Silikongummi
besteht, der mit Wolfram imprägniert ist.
6. Wandler nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, daß
das Verhältnis aus Wolfram zu bei Raumtemperatur vulkanisierenden Gummi mindestens 6 :1 (hinsichtlich des
Gewichtes) ist.
7. Verfahren zur Verbindung eines piezoelektrischen Elementes, wie es insbesondere in einem akustischen Wandler nach Anspruch 1 verwendet werden kann, mit einer Metalloberfläche, gekennzeichnet durch folaende Verfahrensschritte:
Aufbringen eines Überzugs aus einem akustisch leitenden
Material, nämlich Kupfer oder Platin auf der Seite des
zu verbindenden piezoelektrischen Elementes;
Abscheiden einer Kupferschicht auf der zu verbindenden
Metalloberfläche;
Anordnung einer Vorform einer akustisch leitenden Bindelegierung, die ohne weiteres durch Kupfer oder Platin
benetzbar ist zwischen der überzogenen Seite des piezoelektrischen Elementes und der abgeschiedenen Metalloberfläche;
Halterung der Anordnung aus dem piezoelektrischen Element und der vorgeformten Metalloberfläche in engem mechanischem Kontakt; Beheizung der Anordnung auf eine Temperatur oberhalb der Schmelztemperatur von Kupfer, Platin und der Bindelegierung, bis die Bindelegierung vollständig geschmolzen ist; Abkühlung der Anordnung.
8. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß man das piezoelektrische Element auf der geschmolzenen Bindelegierung schweben läßt, wenn diese Legierung während des Heizschrittes schmilzt.
9. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß die Bindelegierung einen Schmelzpunkt oberhalb von 500° F besitzt.
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10. Verfahren nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, daß die Bindelegierung ein Bleilegierungslot ist, welches "im wesentlichen aus 1,5% Ag, 5% Sn und 93,5% Pb besteht.
11. Verfahren nach Anspruch 10 dadurch gekennzeichnet, daß der Heizschritt die Anordnung auf annähernd 610° F erhitzt.
12. Verfahren nach Anspruch 11 dadurch gekennzeichnet, daß
■ der Heizschritt die Anordnung annähernd 15 Minuten lang erhitzt.
13. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß beim Überziehen ein Aufsprühen des akustisch leitenden Materials auf die Seite des piezoelektrischen Elementes, welches verbunden werden soll, erfolgt.
14. Verfahren nach Anspruch 13 gekennzeichnet durch das Polarisieren des piezoelektrischen Elementes nach dem Aufsprühen.
15. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus akustisch leitendem Material 2 Mikron dick ist.
16. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß beim Abscheiden das Dampfabscheiden benutzt wird.
17. Verfahren nach /Anspruch 16 dadurch gekennzeichnet, daß die Dampf abscheidung bei einer Metallober:! ] achentemperatur von 95OO c erfolgt. T
18. Verfahren nach /,nspruch 23 dadurch nr'kennzeiehnet, daß ia&n die Metalloberfläche abkühlen läßt, wenn der Dampf abgeschieden wird.
19. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß der Heiζschritt in einer inerten Atmosphäre vorgenommen wird.
20. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, daß das Abscheiden eine 1 Mikron dicke Lage aus Kupfer auf der Metalloberfläche erzeugt, die verbunden werden soll.
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