DE2428752A1 - Ringfoermiger optischer keil fuer mikrometrische messungen - Google Patents

Ringfoermiger optischer keil fuer mikrometrische messungen

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DE2428752A1
DE2428752A1 DE19742428752 DE2428752A DE2428752A1 DE 2428752 A1 DE2428752 A1 DE 2428752A1 DE 19742428752 DE19742428752 DE 19742428752 DE 2428752 A DE2428752 A DE 2428752A DE 2428752 A1 DE2428752 A1 DE 2428752A1
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Hans-Juergen Dipl Ing Dr Kiel
Manfred Dr Steinbach
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Jenoptik AG
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Jenoptik Jena GmbH
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/04—Prisms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3103082A1 (de) * 1980-02-08 1982-01-14 RCA Corp., 10020 New York, N.Y. "schichtdickenmonitor und verfahren zum messen oder ueberwachen der dicke eines duennschichtfilms"
FR2493540A1 (fr) * 1980-10-31 1982-05-07 Bofors Ab Dispositif d'analyse optique notamment pour determination de la direction d'un faisceau lumineux

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3103082A1 (de) * 1980-02-08 1982-01-14 RCA Corp., 10020 New York, N.Y. "schichtdickenmonitor und verfahren zum messen oder ueberwachen der dicke eines duennschichtfilms"
FR2493540A1 (fr) * 1980-10-31 1982-05-07 Bofors Ab Dispositif d'analyse optique notamment pour determination de la direction d'un faisceau lumineux

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