DE2428445A1

DE2428445A1 - Messvorrichtung fuer die verdampfungsrate bei vakuum-aufdampfprozessen

Info

Publication number: DE2428445A1
Application number: DE19742428445
Authority: DE
Inventors: Karl-Georg Redel
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1974-06-12
Filing date: 1974-06-12
Publication date: 1976-01-02
Also published as: JPS5111495A; CH590461A5; GB1516395A; IT1038599B

Description

Die Erfindung besieht sich auf eine Heftvorrichtung zur B©~ Stimmung der Yerdarapfungsrate von zu verdampfenden Stoffen iss Vakuumanlagen _s insbesondere sur Erzeugung dünner Schichten exakter Dicke auf Substraten _s bestehend aus einem elektrisch leitenden Gehäuse mit einer auf den zvi verdampfenden Stoff ausrichtbaren Öffnung und einer im Innern des Gehäuses angeordneten, gegenüber dem Gehäuse isolierten Elektrode, die einer Auswerteeisirichtung für die Verdampfungsrate aufgeschaltet isto

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Eine Meßvorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung ist beispielsweise durch den Aufsatz "An Evaporation Rate Cotrol System Employing a Heated Electrode Sensing Gauge" von M.H. Perkins, veröffentlicht in Trans, of the 8th Vacuum Sym. and 2nd Intern. Congress, 1961, Seiten 1ο25 bis 1ο3ο vorbekannt. Das dort beschriebene Maßgerät ist in Form einer Sonde nach Art eines Ionisations-

Haupt— manometers ausgebildet und unmittelbar im Dampfstrom angeordnet. Abgesehen davon, daß hierdurch ein Teil.des DampfStrahles abgeschirmt wird, würden bei kalter Sonde auch Dämpfe auf den Sondenteilen kondensieren und die Sonde im Laufe der Zeit unbrauchbar machen. Um eine Beeinflussung des Meßergebnisses auszuschalten, werden Anode und Kollektor beim Betrieb der Sonde auf eine Temperatur von ca. looo C aufgeheizt. Dies setzt nicht nur eine Regelanordnung für die Heizströme voraus, sondern auch entsprechende Zuleitungen, die den hohen Betriebstemperaturen widerstehen müssen. So benötigt die bekannte Heßsonde insgesamt acht einzelne Anschlüsse, die einen entsprechend komplizierten Aufbau erforderlich machen. Darüberliinaus besteht stets die Gefahr, daß der Heizleiter durchbrennt, so daß ein Reserveheizkörper vorgesehen ist« Die bekannte Vorrichtung stellt daher erhebliche Anforderungen an die Qualifikation des Bedienungspersonals hinsichtlich des Betriebs und der regelmäßigen überwachung der bekannten Keßsonde*

Durch die US-PS 3 168 418 ist ferner eine Meßeinrichtung für die Verdampfungsrate in Vakuura-Aufdampfanlagen vorbekannt, die vpra Daiapfstrom durchsetzt wird. Die Stärke des Dampfstralils bzw. die Verdampfungsrate wird mit Hilfe einer zusätzlichen Elektronenstrahlkanone gemessen,

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mittels welcher der Dampf in der Meßeinrichtung ionisiert wird. Der dadurch erzeugte Ionenstrom ist ein Maß für die Verdampfungsrate und wird für die Regelung der Heizleistung des Verdampfers verwendet. Die bekannte Anordnung ist sehr kompliziert im Aufbau und bedingt wegen der Hochspannungsversorgung der Elektronenstrahlkanone und der Anordnung besonderer Beschleunigüngsanoden eine ganze Reihe konstruktiver Maßnahmen, die sich nachteilig auf die Gestehungs- und Unterhaltungskosten auswirken. Ein besonderer Nachteil ist jedoch auch hier darin zu sehen, daß wesentliche Teile der Meßeinrichtung dem Hauptdampfstrom ausgesetzt sind,.der im übrigen aufgrund -der Meßeinrichtung eng begrenzt ist. Eine vergleichbare Einrichtung und den mit ihr verbundenen Aufwand offenbart auch die US-PS 3 586 854, in welcher zur Erfassung der Verdampfungsrate ein im Dampfstrom oszillierender Elektronenstrahl mit einem entsprechenden Auffänger offenbart ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung anzugeben, die außerhalb des für die Verdampfung, benötigten Dampfstrahles angeordnet werden kann, dabei verschleiß- und wartungsfrei ist und dabei weder eine Beheizung einzelner Teile noch die Zufuhr von Hochspannung erforderlich macht.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Meßvorrichtung.erfindungsgemäß dadurch, daß die Elektrode außerhalb der durch die Öffnung des Gehäuses gelegten Sichtlinien und auf einem gegenüber dem Gehäuse positiven Potential angeordnet ist und daß der zwischen Gehäuse und Elektrode fließende

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Strom der Auswerteeinrichtung aufgeschaltet ist.

Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung besteht im Prinzip lediglich aus einem elektrisch leitfähigen Gehäuse und einer im Innern des Gehäuses diesem gegenüber auf positiven Potential angeordnete Elektrode Die Elektrode kann dabei unter Verzicht auf jegliche Beheizung ausgeführt sein. Sie besteht zweckmäßig aus einem massiven Ring, der im Innern des Gehäuses koaxial zu dessen Öffnung angeordnet ist. Weder die Elektrode noch die gesamte Meßvorrichtung unterliegen dabei einem Verschleiß, da die Elektrode wegen der fehlenden Sichtverbindung zu dem zu verdampfenden Stoff nicht vom Dampfstrom)getroffen wird. Die Meßvorrichtung ist robust und einfach aufgebaut und verträgt ohne weitere Vorsichtsmaßnahmen auch heftige Erschütterungen sowie ein schnelles Fluten der Vakuumkammer, in dem sie untergebracht ist. Zur Erzeugung des positiven Potentials wird lediglich eine Spannungsdifferenz von einigen loo Volt, beispielsweise von 5oo Volt benötigt. Infolgedessen werden an die Konstruktion der Meßvorrichtung im Hinblick auf ausreichende Isolationswerte und eine Erhaltung dieser Isolationswerte keine besonderen Anforderungen gestellt. Unproblematisch sind auch die für die Aufschaltung des Meßwertes auf eine Auswerteeinrichtung erforderlichen Durchführungen durch die Vakuumkammer.

Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung ist für Verdampfungseinrichtungen aller Art bestimmt, unabhängig davon, ob es sich um thermische Verdampfer mit Widerstandsbeheizung oder um Elektronenstrahlverdampfer mit direktem Beschüß des zu verdampfenden Stoffes durch Elektronenstrahlen handelt. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann auch die Verdampfungsrate von Metalldampf gemessen werden, der nicht ionisiert ist. Beispielsweise kann die Verdampfungsrate von Aluminium gemessen und geregelt werden, welches in einem Verdampferschiffchen angeordnet ist, der unmittelbar vom Heizstrom durchflossen wird.

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Eine besonders einfache Konstruktion, bei der die Sichtverbindung zwischen der Elektrode und dem zu verdampfenden Stoff unterbunden ist, ist gemäß der weiteren Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung des Gehäuses von einem Rohr von solcher Länge umgeben ist und daß die Elektrode eine solche räumliche Lage zur Öffnung einnimmt, daß eine Sichtverbindung von außerhalb des Gehäuses zur Elektrode unterbunden ist. Die erforderliche Geometrie für eine solche Konstruktion kann aufgrund einfacher konstruktiver Überlegungen leicht gefunden werden; sie ergibt sich beispielsweise aus Figur 1.

Sämtliche Teile können dabei im wesentlichen rotationssymmetrische Form besitzen, wobei auch die Elektrode als Ringelektrode ausgebildet und.koaxial zur Öffnung angeordnet ist. Zweckmäßig wird dabei derjenigen Öffnung, die auf dexr zu verdampfenden Stoff ausrichtbar ist, gegenüber im Gehäuse eine weitere Öffnung angeordnet, wobei die Querschnitte der Öffnungen im wesentlichen gleich sind. Auf diese Weise wird dafür gesorgt;, daß etwa in das Innere der Meßvorrichtung verirrter Dampf ohne Kondensation im Innern der Meßvorrichtung aus dieser austreten kann»

Es ist jedoch nicht erforderlich, die Elektrode rotationssymmetrisch _s d.Sio als Ringelektrode auszubilden. Es ist ohne weiteres möglich, die auf positivem Potential liegende Elektrode plattenförmig, d.h. eben, oder als Ringsegment auszubilden und ihr gegenüber in symmetrisches? Anordnung in Bezug auf die Mittenachse eine auf dem Potential des Gehäuses liegende Gegenelektrode gleicher Formgebung anzuordnen Es ist hierbei lediglich erforderlich, daß jeder Teil der Elektrode und der Gegenelektrode die Bedingung erfüllt, daß eine Sichtverbindung von außerhalb des Gehäuses zur Elektrode unterbunden ist.

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Ausführungsbeispiele des Erfindungsgegenstandes, ihre Wirkungsweise und das Zusammenwirken mit einer Meß- und Regelanordnung seien nachfolgend anhand der Figuren 1 bis 6 näher beschrieben.

Es zeigen:

Figur 1 einen Axialschnitt durch eine erfindungsgemäße Meßvorrichtung mit Ringelektrode,

Figur 2 eine Variante des Gegenstandes gemäß Figur 1, jedoch mit plattenförmiger Elektrode,

Figur 3 einen Schnitt durch den Gegenstand gemäß Figur 2 längs der Linie III - III,

Figur 4 eine Vai'iante des Gegenstandes gemäß

Figur 1, jedoch mit einer Elektrode in Form eines Ringsegments bzw. Halbringes,

Figur 5 einen Schnitt durch den Gegenstand gemäß Figur 4 längs der Linie V-V und

Figur 6 eine Prinzipskizse der Zuordnung einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung gemäß Figur 1 zu einer Vakuum-Aufdampfvorrichtung in Verbindung mit einer nacngeschalteten Regelanordnung zur Regelung der Verdampferleistung«

In Figur 1 ist mit Io eine Meßvorrichtung bezeichnet, die aus einem zylindrischen Gehäuse 11 mit einem koaxial angesetzten Rohr 12 besteht. Das Rohr 12 besteht aus Aluminium und wird mittels eines Gewindes 13 in eine Öffnung 14 eingesetzt, die ebenfalls koaxial zur Mittenachse 15 der Meßvorrichtung verläuft. Das Gehäuse 11 besteht aus

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einem hohlzylincirisclien Mantelteil IC und einem bündig in die Stirnseite des Mantelteils 16 eingesetzten Abschlußteil 17 in Form einer Kreisscheibe. Auf der dem Abschlußteil 17 gegenüberliegenden Seite des Gehäuses 11 ist eine Lochplatte 18 angeordnet, die eine zur Mittenachse 15 konzentrische Öffnung 19 aufweist. Die Öffnung

19 hat dabei größenordnungsmäßig den gleichen Durchmesser wie das Rohr 12. Mantelteil 16, Abschlußteil und Lochplatte 18 bestehen*, dabei ebenso wie das Rohr aus Aluminium.

Im Innern des Gehäuses 11 und konzentrisch zu dessen Mittenachse 15 ist eine Elektrode 2o aus Chrom-Nickel- · Stahl angeordnet, die unter Wahrung gleicher Abstände mittels eines Isolierstoffringes 21 an dem Mantelteil 16 des Gehäuses 11 befestigt ist. Die Elektrode 2o hat dabei die Form eines Kreisrings, dessen Innendurchmesser etwas größer als der Innendurchmesser des Rohres 12 ist. Die Länge des Rohres 12 sowie dessen Innendurchmesser und der Innendurchmesser der Elektrode

20 und deren Lage sind dabei in der Weise aufeinander abgestimmt, daß eine Sichtverbindung zwischen der Elektrode 2o und der Umgebung der Meßvorrichtung Io durch die Öffnung 22 des Rohres 12 ausgeschlossen ist. Die entsprechende Konstruktion läßt sich durch Anlegen eines Lineals leicht finden.

Die Meßvorrichtung Io wird in der Betriebslage so ausgerichtet, daß die Öffnung 22, in Richtung des Pfeils 23 bzw. der Mittenachse 15 auf den zu verdampfenden Stoff bzw. dessen Oberfläche ausgerichtet ist. Nähere Einzelheiten hierzu gehen aus Figur 2 hervor. Mit der Elektrode 2o ist eine Anschlußleitung 24 mittels einer Kontaktschraube 25 verbunden. Die Anschlußleitung 24 führt zu einer in Figur 6 dargestellten Aus-

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Werteeinrichtung bzw. Regelanordnung. Das Gehäuse ist an Masse gelegt.

In den Figuren 2 bis 5 sind gleiche Teile wie bisher mit gleichen Bezugszeichen versehen. Figur 2 offenbart eine Meßvorrichtung Io, deren Gehäuse 11 mit dem Rohr 12 mit dem Gegenstand gemäß Figur 1 übereinstimmen. Die Elektrode 2o ist jedoch abweichend hiervon in Form einer rechteckigen Platte ausgeführt, deren eine große Oberfläche auf die Mittenachse 15 ausgerichtet ist. Die Elektrode 2o ist auch hier mit einer Anschlußleitung 24 verbunden, die isoliert durch den Mantelteil 16 hindurchgeführt ist. Sie befindet sich auf positivem Potential von mehreren Ιώο Volt. Ihr gegenüber und in Bezug auf die Mittenachse 15 symmetrisch ist eine ebenfalls plattenförmige Gegenelektrode 2oa angeordnet, die mit dem Mantelteil 16 elektrisch leitend verbunden ist und infolgedessen auf dem gleichen Potential wie das Gehäuse 11 liegt. Die Symmetrie der Anordnung geht insbesondere auch aus Figur 3 hervor, aus der auch zu entnehmen ist, daß eine Sichtverbindung zwischen den Elektroden 2o bzw. 2oa und der Umgebung der Meßvorrichtung Io ausgeschlossen ist.

Bei der Meßvorrichtung gemäß Figur 4 wird die Elektrode 2o aus einem Ringsegment gebildet, welches etwas kleiner als ein Halbkreis ist. Die Achse des Ringsegments ist mit der Mittenachse 15 identisch. Der Elektrode 2o gegenüber und in Bezug auf die Mittenachse 15 spiegelsymmetrisch ist eine Gegenelektrode 2oa angeordnet, die ebenfalls mit dem Mantelteil 16 in elektrisch leitender Verbindung steht und infolgedessen das gleiche Potential besitzt. Aus Figur 4 in Verbindung mit Figur 5 ist ersichtlich, daß die Elektrode 2o von der Gegenelektrode 2oa

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nur durch zwei enge Spalte 2ob getrennt ist. Die Spaltbreite richtet sich im Prinzip nur nach der Höhe der Spannungsdifferenz. Die Elektroden 2o und 2oa bilden infolgedessen nahezu einen Kreisring. Es ist auch hier ersichtlich, daß jegliche Sichtverbindung zwischen den Elektroden und 'ler Umgebung der Meßvorrichtung durch die Öffnung des Rohres 12 ausgeschlossen ist.

In Figur 6 ist τηχΐ 26 eine Vakuumkammer bezeichnet, in der ein widerstandsbeheizter Verdampfer 27 angeordnet ist. Die Beheizung geschieht durch direkten Stromdurchgang, was durch den Widerstand 28 symbolisch angedeutet werden soll. Die Beheizung kann alternativ auch durch !Elektronenbombardement erfolgen. Für diesen Zweck geeigente Einrichtungen gehören jedoch zum Stande der Technik und werden daher an dieser Stelle nicht näher erläutert. Im Verdampfer 27 befindet sich der zu verdampfende Stoff 29, der zum Zwecke der Erzeugung eines dünnen Überzugs auf einem Substrat 3o kondensiert werden soll, das sich oberhalb der Öffnung des Verdampfers 27 befindet» Vom Verdampfer 27 geht ein Dampfstrom aus, dessen auf das Substrat auftreffender Anteil begrenzt ist, was annähernd durch die gestrichelten Linien 31 angedeutet ist. Die Meßvorrichtung Io liegt ersichtlich außerhalb dieses Anteils des Dampfstroms, der auch als Hauptdampfstrom bezeichnet werden kann. Der Öffnungswinkel des gesamten Dampfstroms wird durch die Linien 31' angedeutet. Es ist ersichtlich, daß die Meßvorrichtunglo noch innerhalb des Randbereichs des Dampfstroms angeordnet ist.

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Seitlich oberhalb des Verdampfers 27 ist die erfindungsgemäße Meßvorrichtung Io in der Weise angeordnet, daß das Rohr 12 bzw. dessen Mittenachse 15 etwa auf die Mitte der Oberfläche des zu verdampfenden Stoffes 29 ausgerichtet ist. Die Mittenachse 15 nimmt dabei eine Winkelstellung "oc" ein, die etwa zwischen 4o und 6o Grad liegt, wobei dieser Wert jedoch nicht kritisch ist. Es ist jedenfalls ersichtlich, daß die Meßvorrichtung Io im wesentlichen außerhalb des DampfStroms zwischen Verdampfer 27 und Substrat 3o liegt. Die zur Elektrode 2o führende Anschlußleitung 24 ist durch eine Isolierdurchführung 32 aus der Vakuumkammer 26 herausgeführt und mit der positiven Anschlußklemme 33 einer Gleichspannungsquelle 34 verbunden, die eine Ausgangsspannung von einigen loo Volt erzeugt. Die negative Ausgangsklemme 35 ist über einen Widerstand 36 ebenso an Masse gelegt, wie das Gehäuse 11 der Meßvorrichtung Io über die Leitung 37. Durch die gewählte Schaltungsanordnung entsteht am Widerstand 36 ein Spannungsabfall, der dem in der Meßvorrichtung Io fliessenden Strom proportional ist. Die Größe des Spannungsabfalls kann an einer parallel zum Widerstand 36 geschalteten Auswerteeinrichtung 38 unmittelbar abgelesen werden. Es ist möglich, die Auswerteeinrichtung 38 so zu eichen, daß die Verdampfungsrate unmittelbar abgelesen werden kann. Multipliziert mit der Aufdampfzeit ergibt sich hieraus die Dicke des auf dem Substrat 3o niedergeschlagenen Überzugs.

Die bisher anhand von Figur 6 beschriebene Auswerteeinrichtung zur Messung der Verdampfungsrate oder einer ihr proportionalen Größe kann jedoch auf einfache Weise zu einem geschlossenen Regelkreis vervollständigt werden. Zu diesem Zweck wird die an der Ausgangsklemme 35 anliegende Spannung einer Anschlußklemme 39 zugeführt. Die Klemme 39 steht über eine Leitung 4o mit dem Eingangswiderstand 41 eines Integriergliedes 42 und eines Kondensators 43 in Verbindung. Die Zeitkonstante des

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Integriergliedes 42 ist dabei so ausgelegt, daß die volle Aufladung des Kondensators 43 den Zeitbereich etwas überschreitet, der für die vorgesehene Bedampfung des Substrats 3o vorgegeben ist. Die Ausgangsspannung des Integriergliedes 42 steigt daher mit fortschreitender Verdampfung an und ist somit ein Maß für die aufgedampfte Schichtdicke.

Bisher war es üblich, die gemessene Verdampfungsrate unmittelbar mit einem vorgegebenen Sollwert zu vergleichen und in Abhängigkeit von der Größe der Abweichung Einfluß auf die Verdampfungsgeschwindigkeit zu nehmen. Der Nachteil dieser Maßnahme besteht darin, daß es in der Praxis nur selten gelingt, eine annähernd konstante Verdampfungsrate zu erzielen und damit ein ausreichend kontinuierliches Signal zu erhalten. Die Erfahrung hat gezeigt, daß die Verdampfungsrate um mehr als 3o%, in Extremfällen auch um mehr als 5o% um den Mittelwert der Verdampfungsrate schwanken kann. Ein solches Signal ist regelungstechnisch nur schwer zu verarbeiten, da leicht Instabilitäten auftreten können. Dieser Nachteil wird durch das vorstehend beschriebene Integrierglied vermieden.

Ein Sollwert wird über eine Eingangsklemme 44 vorgegeben und ist mittels eines Sollv/ertpotentiometers veränderbar. Der Sollwert wird über einen Eingangswiderstand 46 einem weiteren Integrierglied 47 mit einem Kondensator 48 zugeführt. Am Ausgang des Integriergliedes 47 wird analog zum Ausgang des Integriergliedes 42 ein Sollwert gebildet, der der Schichtdicke entspricht.

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Ist- und Sollwert werden über Eingangswiderstände 49 und 5o im Sinne einer Differenzenbildung einem Verstärker 51 zugeführt, der ein Ausgangssignal erzeugt, welches der Abweichung der Schichtdicke proportional ist. Über eine Eingangsklemme 52 wird ein Sollwert vorgegeben, der der Größe "Verdampferleistung¹¹ entspricht. Dieser Wert ist über ein Sollwertpotentiometer 53 veränderbar. Der Ausgang des Verstärkers 51 ist über einen Eingangswiderstand 54 einem Regelverstärker 55 aufgeschaltet. Dem Ausgang des Widerstandes 54 ist der Ausgang eines Widerstandes 56 zum Zwecke einer Differenzenbildung entgegengeschaltet, der dem am Sollwertpotentiometer 53 abgegriffenen Sollwert entspricht. Dieser Sollwert entspricht ungefähr der im Mittel zum Verdampfen erforderlichen Leistung. Vom Regelverstärker 55 führt eine Leitung 57 zu einem Stellglied 58, für die Änderung der Leistung des Verdampfers 27. Das Stellglied 58 ist über Klemmen an eine Stromquelle angeschlossen. Die geregelte Leistung wird dem Heizwiderstand 28 über Zuleitungen 6o und 61 zugeführt, die mittels Isolierdufchführungen 62 und 63 durch die betreffende Wand der Vakuumkammer 26 hindurchgeführt sind.

Die Regelung des Aufdampfvorgangs läuft in folgender Weise ab: Zu Beginn des AufdampfVorganges werden die zuvor auf 0 entladenen Integrierglieder 42 und 47 eingeschaltet. Bei Abweichungen von der vorgegebenen Aufdampfrate entsteht am Ausgang des Verstärkers 51 ein Signal, welches den durch das Sollwertpotentiometer 53 vorgegebenen Leistungssollwert im Sinne einer gleichförmigen Verdampfungsrate korrigiert! Der Genauigkeit des Regelvorgangs kommt die Tatsache zu gute, daß*die erfindungsgemäße Meßvorrichtung einen absolut konstanten O-Punkt besitzt. Es ergibt sich auch aus den Darstellungen gemäß den Figuren 1 und 6, daß das elektrostatische Feld zwischen der Elektrode 2o und dem Gehäuse 11 nicht aus dem Gehäuse austreten und den Verdampfungsvorgang beeinflussen kann.

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Claims

Ansprüche:

1/ Meßvorrichtung zur Bestimmung der Verdampfungsrate von zu verdampfenden Stoffen in Vakuumanlagen, insbesondere zur Erzeugung dünner Schichten exakter Dicke auf Substraten, bestehend aus einem elektrisch leitenden Gehäuse mit einer auf den zu verdampfenden Stoff ausrichtbaren Öffnung und einer im Innern des Gehäuses angeordneten, gegenüber dem Gehäuse isolierten Elektrode, die einer Auswerteeinrichtung für die Verdampfungsrate aufgeschaltet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (2o) außerhalb der durch die Öffnung (14 bzw. 22) des Gehäuses (11) gelegten Sicht_ linien und auf einem gegenüber dem Gehäuse positiven Potential angeordnet ist, und daß der zwischen zwischen Gehäuse und Elektrode fließende Strom der Auswerteeinrichtung (38) aufgeschaltet ist.
2. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (14 bzw. 22) des Gehäuses (11) von einem Rohr (12) von solcher Länge umgeben ist, und daß die Elektrode (2o) eine solche räumliche Lage zur Öffnung einnimmt, daß eine Sichtverbindung von außerhalb des Gehäuses zur Elektrode unterbunden ist.
3. Meßvorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (2o) als Ringelektrode ausgeführt und koaxial zur Öffnung (14 bzw. 22) angeordnet ist.
4. Meßvorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (2o) als plattenförmige

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Elektrode ausgeführt und mit ihrer großen Fläche auf die Mittenachse (15) ausgerichtet ist, und daß ihr gegenüber im Bezug auf die Mittenachse(15) symmetrisch eine Gegenelektrode(2oa) angeordnet ist, deren Potential mit dem Potential des Gehäuses (11) identisch ist.
5. Meßvorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (2o) nahezu als Halbring ausgebildet ist, dessen Achse mit der Mittenachse (15) identisch ist, und daß ihr gegenüber in Bezug auf die Mittenachse (15) symmetrisch eine Gegenelektrode (2oa) angeordnet ist, deren Potential mit dem Potential des Gehäuses (11) übereinstimmt.
6. Meßvorrichtung nach den Ansprüchen 1 «bis 3, dadurch gekennzeichnet. daß der Öffnung (14 bzw. 22), die auf den zu verdampfenden Stoff (29) ausrichtbar ist, gegenüber im Gehäuse (11) eine weitere Öffnung (19) vorhanden ist, wobei die Querschnitte der Öffnungen im wesentlichen gleich sind.
7. Meßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Regelanordnung aus zwei gegeneinander geschalteten Integriergliedern (42, 47) besteht, von denen das eine (42) von der Potentialdifferenz zwischen Gehäuse (11) und Elektrode (2o) beaufschlagt ist, während das andere Integrierglied (47) von einer dem Sollwert der Verdampfungsrate entsprechenden Referenzspannung beaufschlagt ist, und daß das Differenzsignal der Integrierglieder als Stellgröße einem Stellglied (58) für die Leistung des Verdampfers (27) aufgeschaltet ist.

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