DE2400792A1 - SORPTION PUMP DEVICE - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sieh auf eine Sorptionspumpvorrichtung mit einem Behälter Tür Sorptionsmaterial, das über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierenden Raum verbindbar ist.The invention relates to a sorption pumping device with a container door sorbent material, which has an input line with a to be evacuated Space is connectable.
Sorptionspumpvorrichtungen der obengenannten Art sind aus den britischen Patentschriften 921,666 und 939-395 bekannt. Sorption pumping devices of the above type are known from British Patents 921, 666 and 939-395.
Bekannte Sorptionspumpvorrichtungen weisenKnown sorption pump devices have
eine einzige feste Eingangsleitung auf. Ein Nachteil dieser Konstruktion ist, dass insbesondere bei niedrigeren Anfangsdrücken in dem zu evakuierenden Raum nur diejenigen Sorptionsmaterialschichten, die sich in der unmittelbaren Nähe der Mündung der Eingangsleitung im Behälter befinden, aufa single fixed input line. A disadvantage of this design is that it is especially at lower initial pressures in the room to be evacuated only those sorbent material layers that are in the immediate vicinity at the mouth of the inlet line in the container
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wirksame Weise benutzt werden. Diese Schichten liegen gegenüber den aus dem zu evakuierenden Raum abzupumpenden Gasen am günstigsten. Dadurch erhalten die genannten Schichten beim Pumpen einen verhältnismässig hohen Besetzungsgrad an Gasmolekülen, während der Besetzungsgrad der übrigen weiter von der Eingangsöffnung liegenden Schichten verhältnismässig niedrig bleibt. Letzteres wird auch durch den Umstand herbeigeführt, dass die Gasdiffusion von gasreichen nach gasarmen Schichten bei der niedrigen Betriebstemperatur des Sorptionsmaterials (meistens, die Temperatur flüssigen Stickstoffes) gering ist.be used effectively. These layers are opposite the gases to be pumped out of the room to be evacuated. This gives the layers mentioned a relatively high occupancy rate when pumping of gas molecules, while the degree of occupation of the remaining layers further from the inlet opening is proportionate remains low. The latter is also brought about by the fact that the gas diffusion of gas-rich after low-gas layers at the low operating temperature of the sorbent material (mostly, the liquid temperature Nitrogen) is low.
Dadurch, dass nur ein Teil des Sorptionsmaterials auf wirksame Weise benutzt wird, ist die Pumpe als solche verhältnismässig schnell gesättigt, so dass ein häufiges Reaktivieren des Sorptionsmaterials erforderlich ist. Ausserdem sind verhäl'tnismässig lange Pumpzeiten erforderlich um einen bestimmten Minimaldruck, beispielsweise den Startdruck für Getter-Ionenpumpen, zu erreichen. Weiter wird die Verwirklichung niedriger Enddrücke in dem zu evakuierenden Raum erschwert.By using only part of the sorbent material in an effective manner, the pump is as such, saturated relatively quickly, so that frequent reactivation of the sorbent material is necessary is. In addition, relatively long pumping times are required to reach a certain minimum pressure, for example the starting pressure for getter ion pumps. Further the realization of low final pressures in the space to be evacuated is made more difficult.
Damit auch das weiter von der Eingangsöffnung entfernt liegende Sorptionsmaterial besser benutzt wird, wurde bereit4 vorgeschlagen (Review of Scientific Instruments ^4, Mai 1963, Seiten 587-588), das Sorptionsmaterial in gesonderte Schichten aufzuteilen, die sich auf einer Vielzahl im Behälter vereinzelt angeordneter Teller befinden.. Das angesaugte Gas- wird nun gleichmässiger auf die zuSo that the sorbent material further away from the inlet opening can also be better used, has already been proposed4 (Review of Scientific Instruments ^ 4, May 1963, pages 587-588), the sorbent material to be divided into separate layers, which are located on a large number of plates individually arranged in the container .. The sucked in gas is now more evenly towards the
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den jeweiligen Tellern gehörenden Sorptionsmaterialoberflächen aufgeteilt.sorbent material surfaces belonging to the respective plates divided up.
Eine' derartige Pumpvorrichtung ist je dochSuch a pumping device is ever
nicht nur verwickelt und teuer aufgebaut, sondern auch ihre Wirkung ist nicht optimal. Letzteres wird an erster Stelle dadurch verursacht, dass während desselben Pumpzyklus von höherem nach niedrigerem Druck der Gasstrom immer über denselben Weg der Oberfläche des Sorptionsmaterials angeboten wird.not only intricate and expensive to build, but hers too Effect is not optimal. The latter is caused in the first place by the fact that during the same pumping cycle of The gas flow is always offered via the same path of the surface of the sorbent material from higher to lower pressure will.
Die Erfindung bezweckt nun, eine Sorptionspumpvorrichtung einer einfachen Konstruktion zu schaffen, die eine hohe wirksame Sorptionsleistung und eine hohe Pumpgeschwindigkeit aufweist und einen niedrigen Restdruck liefert. Eine hohe wirksame Sorptionsleistung bedeutet, dass eine Vielzahl von Pumpzyklen durchgeführt werden kann, ohne dass zwischendurch eine Reaktivierung des Sorptionsmaterials notwendig ist.The invention now aims to provide a sorption pumping device of simple construction, which has a high effective sorption capacity and a high pumping speed and a low residual pressure supplies. A high effective sorption capacity means that a large number of pumping cycles can be carried out without that in between a reactivation of the sorbent material is necessary.
Die erfindungsgemässe Sorptionspumpvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass sie derart ausgebildet ist, dass der zu evakuierende Raum nacheinander auf mindestens zwei unterschieldichen Pegeln des Behälters an das Sorptionsmaterial angeschlossen werden kann.The sorption pump device according to the invention is characterized in that it is designed in this way is that the room to be evacuated is successively on at least two different levels of the container the sorption material can be connected.
Im Rahmen der Erfindung werden unter unterschiedlichen Behälterpegeln nicht nur unterschiedliche Höhen in axialer Richtung des Behälters verstanden, sondern auch untereinander verschiedene Stellen, in transversaler Richtung des Behälters gesehen.In the context of the invention, different container levels are not just different Understood heights in the axial direction of the container, but also different points from one another, in the transverse direction Seen in the direction of the container.
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Dadurch, dass während der AnfangsperlodeBy the fact that during the initial period
eines Pumpzyklus das Gas höheren Drucks aus dem zu evakuierenden Raum zu dem auf einem bestimmten Pegel liegenden Sorptionsmaterial zugelassen wird, wird dieses Material verunreinigt, aber das auf einem anderen Pegel liegende Sorptionsmaterial bleibt nahezu sauber» Venn danach, wahrend der Endperiode des Pumpzyklus das Gas niedrigeren Drucks zu diesem nahezu sauberen Sorptionsmaterial zugelassen wird (und gewünschtenfalls gleichzeitig auch zu dem bereits durch das Gas höheren Drucks verunreinigten Material), erfolgt auch bei niedrigerem Druck eine gute und schnelle Sorption. Das Sorptionsmaterial wird so auf sehr wirksame Weise benutzt, während kurze Pumpzeiten sowie niedrige Restdrücke im Vakuumraum erhalten werden.a pumping cycle, the gas of higher pressure from the space to be evacuated to the lying at a certain level Sorbent material is admitted, this material is contaminated, but the sorbent material lying at a different level remains nearly clean »if afterwards, during the final period of the pumping cycle, the lower pressure gas is admitted to this almost clean sorbent material (and, if desired, at the same time to the already material contaminated by the gas at higher pressure), a good and fast process also takes place at lower pressure Sorption. The sorbent material is used in a very efficient way, during short as well as low pumping times Residual pressures can be obtained in the vacuum space.
Bei einer günstigen Aiisführungsform derWith a favorable form of implementation of the
erfindungsgemässen Sorptionspumpvorrichtung ist die Eingangsleitung mit einem Hohlrohr versehen, das axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar im Behälter angeordnet ist und mindestens zwei in axialer Richtung des Rohres in einem Abstand voneinander liegende Offnungen aufweist, die durch axiale Verschiebung bzw. Drehung um die Längsachse des Rohres nacheinander freigegeben werden.sorption pump device according to the invention is the input line provided with a hollow tube which is axially displaceable and / or rotatable about the longitudinal axis in the container is arranged and at least two in the axial direction of the tube at a distance from each other openings which are released one after the other by axial displacement or rotation about the longitudinal axis of the tube.
Das Hohlrohr kann einen integralen Teil derThe hollow tube can be an integral part of the
Eingangsleitung bilden oder als gesondertes Rohr vorhanden sein. Die Konstruktion dieser Sorptionspumpvorrichtung ist gedrängt und einfach.Form input line or be available as a separate pipe. The construction of this sorption pumping device is crowded and simple.
Eine weitere günstige Ausführungsform derAnother favorable embodiment of the
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erfindungsgemässen Sorptionspuinpvorrichtiuig 1st dadurch, gekennzeichnet, dass ein auf beiden Seiten offenes Hohlrohr innerhalb des Behälters fest angeordnet ist, wobei ein Rohrende koaxial mit der Eingangsleitung innerhalb der Mündung dieser Leitung im Behälter und in einem Abstand von der Mündung angeordnet ist, so dass ein Ringkanal gebildet ist, wobei in der Eingangsleitung ein Absperrelement angeordnet ist, das nacheinander das Rohrende und den Ringkanal freigeben kann.Sorption pump device according to the invention is characterized by characterized in that a hollow tube open on both sides is fixedly arranged within the container, with one pipe end coaxial with the input line within the The mouth of this line is arranged in the container and at a distance from the mouth, so that an annular channel is formed is, with a shut-off element in the input line is arranged, which can successively release the pipe end and the annular channel.
Eine derartige Pumpvorrichtung ist ebenfallsSuch a pumping device is also
gedrängt und lässt sich leicht durch Hinzufügung des Rohres und des geeigneten Absperrelementes zu den bisher bekannten Pumpvorrichtungen herstellen.crowded and can easily be added to the previously known by adding the pipe and the appropriate shut-off element Manufacture pumping devices.
Eine andere günstige Ausführungsform der erfindungsgemässen Sorptionspumpvorrichtung weist das Kennzeichen auf, das die Vorrichtung mit mindestens einer zweiten Eingangsleitung versehen ist, die absperrbar ist und sich parallel zu der Eingangsleitung erstreckt, wobei alle Eingangsleitungen untereinander auf unterschiedlichen Pegeln in den Behälter münden.Another favorable embodiment of the invention Sorption pumping device has the characteristic that the device with at least one second Input line is provided that can be shut off and extends parallel to the input line, with all input lines at different levels from one another open into the container.
Nach der Erfindung kann dabei von wenigstensAccording to the invention can be of at least
einer Eingangsleitung der Pegel der Mündung in den Behälter einstellbar sein. Dies ermöglicht einen optimalen örtlichen Gebrauch des Sorptionsmaterials.an input line the level of the mouth in the container be adjustable. This enables optimal local use of the sorbent material.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind inEmbodiments of the invention are shown in
den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher iii Es zeigen:-the drawings and are shown in more detail below iii It shows: -
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Fig. 1a und h b/e 8 schematische nicht massgerechte Ausführungsformen von Sorptionspumpvorrichtungen im Längsschnitt,Fig. 1a and b h / e 8 are schematic mass not just embodiments of Sorptionspumpvorrichtungen in longitudinal section;
Fig. 1b eine Darstellung einer anderen Ausführungsform des Innenteils der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a,Fig. 1b shows a representation of another embodiment the inner part of the sorption pump device according to Fig. 1a,
Fig. 2 und 3 graphische Darstellungen mitFig. 2 and 3 graphical representations with
je einer Pumpkurve für die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a im Vergleich zu der einer bekannten Sorptionspumpvorrichtung. one pumping curve each for the sorption pumping device according to FIG. 1 a in comparison with that of a known sorption pumping device.
In Fig. 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 einIn Fig. 1, the reference numeral 1 is a
Behälter angegeben, in dem sich ein Adsorptionsmaterial 2, beispielsweise ein natürliches oder synthetisches Zeolith befindet. Der Behälter hat eine Eingangsleitung 3» die an der Stelle des Flansches h an einen zu evakuierenden Raum angeschlossen werden kann. Ein innerhalb des Behälters angeordnetes auf beiden Seiten offenes Hohlrohr 5 ist mit dem oberen Ende innerhalb der Eingangsleitung 3 und koaxial zu derselben angeordnet. Das untere Ende des Rohres ist mit Seitenöffnungen 6 versehen. Ein Absperrelement 7» i*1 zwei Stellungen dargestellt, enthält einen Ventilkörper 8, der mit dem Ventilsitz 8a dichtend zusammenarbeiten kann. Der Ventilkörper 8 ist über einen Schaft 9 mit einem Bedienungselement 10 verbunden und trägt an der Unterseite eine biegsame ringförmige Membran 11, die ihrerseits eine zylinderförmige Büchse trägt. Diese Büchse passt genau um das Ende des Rohres 5 und ist darüber hin und her verschiebbar, überSpecified container in which there is an adsorption material 2, for example a natural or synthetic zeolite. The container has an inlet line 3 »which can be connected to a room to be evacuated at the point of the flange h. A hollow tube 5, which is arranged inside the container and which is open on both sides, is arranged with the upper end inside the input line 3 and coaxially to the same. The lower end of the tube is provided with side openings 6. A shut-off element 7 »i * 1 shown in two positions contains a valve body 8 which can cooperate in a sealing manner with the valve seat 8a. The valve body 8 is connected to an operating element 10 via a shaft 9 and carries on the underside a flexible annular membrane 11, which in turn carries a cylindrical sleeve. This sleeve fits exactly around the end of the tube 5 and can be moved back and forth over it
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der Membran 11 sind radiale Offnungen vorgesehen. Die Membran kann den ringförmigen Raum 14 abschliessen.the membrane 11 is provided with radial openings. The membrane can close off the annular space 14.
Die Sorptionspumpvorrichtung enthält weiter nicht dargestellte Kanäle für Kühlflüssigkeit (flüssiger Stickstoff) zur Kühlung des adsorbierenden Materials sowie eine nicht dargestellte Abfuhr für bei der Reaktivierung des Absorptionsmaterials frei werdende Gase.The sorption pump device also contains channels, not shown, for cooling liquid (liquid Nitrogen) for cooling the adsorbent material and a discharge (not shown) for reactivation gases released by the absorption material.
Die Sorptionspumpvorrichtung wird wie folgt betrieben: Während der ersten Periode der Pumpzeit, wenn in dem zu evakuierenden Raum ein höherer Druck herrscht, nimmt das Absperrelement 7 die in der Zeichnung links dargestellte Lage ein. Dann strömt Gas durch die Offnungen 13» das Rohr 5 und die Offnungen 6 zu den unteren Schichten des Adsorptionsmaterials 2 um dort adsorbiert zu werden, während der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen ist, so dass die oberen Schichten des Adsorptionsmaterials sauber bleiben. Während der zweiten Periode der Pumpzeit .bei einem niedrigeren Druck in dem zu evakuierenden Raum wird das Absperrelement 7 in die in der Zeichnung rechts dargestellte Lage gebracht und in dieser Lage gehalten. Der ringförmige Raum 14 ist dabei durch die Membran 11 freigegeben. Gas mit niedrigerem Druck strömt nun durch den ringförmigen Raum lh zu den oberen sauberen Schichten des Ad— Sorptionsmaterials sowie durch das Rohr 5 zu den unteren Schichten. Am Ende des Pumpzyklus wird das Absperrelement 7 zugedreht. Der Ventilkörper 8 ruht dann auf dem Ventilsitz 8a, so dass das Rohr k sowie der ringförmige RaumThe sorption pumping device is operated as follows: During the first period of the pumping time, when there is a higher pressure in the space to be evacuated, the shut-off element 7 assumes the position shown on the left in the drawing. Then gas flows through the openings 13 »the tube 5 and the openings 6 to the lower layers of the adsorbent material 2 to be adsorbed there, while the annular space 14 is closed by the membrane 11 so that the upper layers of the adsorbent material remain clean. During the second period of the pumping time. At a lower pressure in the space to be evacuated, the shut-off element 7 is brought into the position shown on the right in the drawing and held in this position. The annular space 14 is released by the membrane 11. Gas at lower pressure now flows through the annular space 1h to the upper clean layers of adsorbent material and through the pipe 5 to the lower layers. At the end of the pumping cycle, the shut-off element 7 is closed. The valve body 8 then rests on the valve seat 8a, so that the tube k and the annular space
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abgeschlossen sind.Are completed.
In Fig. Ib ist eine Abwandlung des InnenteilsIn Fig. Ib is a modification of the inner part
der Pumpvorrichtung nach Fig. 1a dargestellt. Für entsprechende Teile sind dieselben Bezugszeichen gewählt worden. Die Büchse 12 ist in dem Rohr 5 verschiebbar, dessen Unterseite mit einer Anzahl über den Umfang verteilter Schlitze 15 versehen ist, durch die Gas zum Adsorptionsmaterial strömen kann. Der Ventilkörper 8 trägt hier zugleich einen weiteren Ventilkörper 16. In der dargestellten Lage ist der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen und das Rohr 5 geöffnet. Wird nun der Ventilkörper 8 aufwärts bewegt, so gibt die Membran 11 den ringförmigen Raum 14 frei, während weiter der Ventilkörper 16 das Rohr 5 abschliesst.the pumping device shown in Fig. 1a. For appropriate Parts have been given the same reference numbers. The sleeve 12 is displaceable in the tube 5, the underside of which provided with a number of slots 15 distributed over the circumference through which gas can flow to the adsorbent material. The valve body 8 also carries another here Valve body 16. In the position shown, the annular space 14 is closed by the membrane 11 and the Tube 5 open. If the valve body 8 is now moved upwards, the membrane 11 releases the annular space 14, while the valve body 16 continues to close the pipe 5.
Mit der in Fig. 1a dargestellten Sorptions— pumpvorrichtung wurde ein Raum, in dem sich Luft von 0,55 Torr (1 Torr = 1 mm Quecksilberdruck) befand, evakuiert. Der Verlauf des Druckes P gegenüber der Zeit t für das erste Mal, das gepumpt wird, ist in Fig. 2 durch die Kurve I angegeben. Punkt A ist der Umsehaltpunkt, wobei von ausschliesslich Pumpen durch die unteren Schichten des Adsorptionsmaterials durch das Rohr 5 auf Pumpen durch die oberen sauberen Schichten durch den ringförmigen Raum 14 sowie durch die genannten unteren Schichten übergegangen wurde.With the sorption pump device shown in FIG. 1a, a room was created in which air of 0.55 Torr (1 Torr = 1 mm mercury pressure) was evacuated. The course of the pressure P against the time t for the The first time that is pumped is indicated by curve I in FIG. Point A is the changeover point, whereby from exclusively Pumps through the lower layers of adsorbent material through tube 5 to pumps through the upper ones clean layers through the annular space 14 as well was passed through the lower layers mentioned.
Die Kurve II ist das Resultat einer ersten Pumpring mit derselbe Raum, in dem sich wieder Luft von 0,55 Torr und dieselbe Menge desselben sauberen Adsorptionsmaterials wie im erstgenannten Fall befand abgepumpt wurde.Curve II is the result of a first pumping ring with the same space in which there is again air from 0.55 Torr and the same amount of the same clean adsorbent material as found in the former case was pumped out.
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Dieses Material befand sich, in der Pumpe nach Fig. 1a, in der nun jedoch das Rohr 5» die Büchse 12 und die Membran 13 fehlten, so dass auf bekannte Weise ausschliesslich durch die Eingangsöffnung 3 aus den oberen Schichten Adsorptionsmaterial abgepumpt wurde.This material was in the pump of Fig. 1a, in which now, however, the tube 5, the sleeve 12 and the membrane 13 are missing, so that exclusively in a known manner through the inlet opening 3 from the upper layers of adsorbent material has been pumped out.
Die graphische Darstellung zeigt deutlich, dass mit der Pumpvorrichtung nach Fig. 1a kürzere Pumpzeiten und niedrigere Enddrücke erhalten werden als mit der bekannten Pumpvorrichtung.The graph clearly shows that shorter pumping times with the pumping device according to FIG. 1 a and lower final pressures are obtained than with the known pumping device.
Fig. 3 zeigt für die obengenannten Sorptionspumpvorrichtung Pumpkurven für Luft, wobei der zu evakuierende Raum von 80 Torr ab abgepumpt wurde, nachdem in beiden Fällen bereits sieben Zyklen von 80 Torr ab durchgeführt worden waren und das Adsorptionsmaterial folglich bereits einigermassen verunreinigt war.3 shows pumping curves for air for the above-mentioned sorption pumping device, the space to be evacuated being pumped down from 80 Torr after seven cycles from 80 Torr had already been carried out in both cases and the adsorption material was consequently already somewhat contaminated.
Ein Vergleich der beiden Kurven zeigt, dassA comparison of the two curves shows that
die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 1a auch eine grössere wirksame Sorptionsleistung hat als die Sorptionspumpvorrichtung der bekannten Konstruktion.the sorption pump device according to FIG. 1a also has a larger one effective sorption performance than the sorption pumping device of the known construction.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig.In the sorption pump device according to Fig.
k bis 8 sind für Teile, die denen der Vorrichtung nach Fig. 1a entsprechen, dieselben Bezugszeichen gewählt worden. The same reference numerals have been chosen for parts k to 8 which correspond to those of the device according to FIG. 1a.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. k hat die Eingangsleitung 3 einen als Balgen ausgebildeten biegsamen Teil 3& und einen Endteil 3b, der als Hohlrohr gegenüber dem Behälter im Kanal 20 axial verschiebbar ist, welcher Kanal durch eine Gazeschicht 21 vom Adsorptions-In the sorption pump device according to FIG. K , the inlet line 3 has a flexible part 3 and an end part 3b designed as a bellows and which can be axially displaced as a hollow tube with respect to the container in the channel 20, which channel is separated from the adsorption by a gauze layer 21.
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material getrennt ist. Auf zwei unterschiedlichen Pegeln
hat der Endteil Offnungen 22 bzw. 23. Beim Auf- .und Abbewegen
des Endteils 3b können die Offnungen 22 wechselweise.
abgeschlossen und freigegeben werden und zwar durch die
zylinderförmige Büchse Zh und die Offnungen 23 durch die
zylinderförmige Büchse 25» aber derart, dass während die
Offnungen 22 abgeschlossen sind, die Öffnungen 23 frei sind und umgekehrt. Fig. 4a zeigt die Lage, bei der die Offnungen
22 frei sind und 'die Offnungen 23 abgeschlossen, während in
Fig. 4b die umgekehrte Situation dargestellt ist. Auf diese Weise kann ein zu evakuierender Raum nacheinander zunächst
über die Öffnungen 23 und danach über die Offnungen 22 auf
unterschiedlichen Pegeln an das Sorptionsmaterial angeschlossen werden.material is separated. At two different levels
the end part has openings 22 or 23. When the end part 3b is moved up and down, the openings 22 can alternate. be completed and released by the
cylindrical sleeve Zh and the openings 23 through the
cylindrical sleeve 25 »but such that while the
Openings 22 are closed, the openings 23 are free and vice versa. FIG. 4a shows the position in which the openings 22 are free and the openings 23 are closed, while the opposite situation is shown in FIG. 4b. In this way, a room to be evacuated can initially be evacuated
via the openings 23 and then via the openings 22
different levels can be connected to the sorbent material.
Der Endteil 3b kann auch als gesondertes RohrThe end part 3b can also be used as a separate tube
ausgebildet sein, dessen oberes Ende in der Eingangsleitung 3 geführt ist.be formed, the upper end of which is guided in the input line 3.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 5 ist das Rohr 30 um die Längsachse im Behälter 1 drehbar
angeordnet. Durch die Drehung werden die Offnungen 22 wechselweise
abgeschlossen und freigegeben. Das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas kann zunächst durch die
Offnungen 31, das Rohr 30 und die Offnungen 23 ausschliesslich
den unteren Schichten des Sorptionsmaterials angeboten werden und danach durch Freigabe der Offnungen 22 im wesentlichen
den oberen Schichten und in geringerem Masse den
unteren Schichten.In the case of the sorption pump device according to FIG. 5, the tube 30 can be rotated about the longitudinal axis in the container 1
arranged. As a result of the rotation, the openings 22 are alternately closed and released. The gas sucked in from the room to be evacuated can first pass through the
Openings 31, the tube 30 and the openings 23 are offered exclusively to the lower layers of the sorbent material and then, by releasing the openings 22, essentially the upper layers and, to a lesser extent, the
lower layers.
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Selbstverständlich, sind auch Konstruktionen möglich, bei denen die Durchströmungsöffnungen für angesaugtes Gas durch ein kombiniertes Verschieben und Drehen des Rohres freigegeben bzw. abgeschlossen werden.Of course, constructions are also possible in which the through-flow openings are for aspirated Gas can be released or closed by a combined movement and rotation of the pipe.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 6 hat eine zweite Eingangsleitung 4o, die der Eingangsleitung 3 parallelgeschaltet ist und auf einem anderen Pegel in den Behälter 1 mündet. In jede der Leitungen 3 und 4o ist ein Absperrelement 41 bzw. 42 aufgenommen.The sorption pump device according to FIG. 6 has a second input line 4o, that of the input line 3 is connected in parallel and opens into the container 1 at a different level. In each of the lines 3 and 4o is a Shut-off element 41 and 42 added.
Die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. 7 hatThe sorption pump device according to FIG. 7 has
einen Dreiweghahn 43» mit dem die Eingangsleitungen 3 und einzeln und gleichzeitig an den zu evakuierenden Raum angeschlossen werden können.a three-way valve 43 »with which the input lines 3 and can be connected individually and simultaneously to the room to be evacuated.
Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. ist ebenfalls ein Dreiweghahn 44 vorhanden. Die Eingangsleitung 4O enthält einen biegsamen als Balgen ausgebildeten Zwischenteil 40a, der es ermöglicht, den unteren Teil 4Ob in dem Kanal 45 innerhalb des Behälters 1 auf und ab zu bewegen. Eine Gazeschicht 46 trennt das Adsorptionsmaterial 2 vom Kanal 45· Ein zweiter Balgen 47, der einerseits am Behälter und andererseits am unteren Teil 40b befestigt ist, ist als biegsame Dichtung wirksam. Mit dieser Konstruktion ist es möglich, auf mehr als zwei unterschiedlichen Pegeln des Behälters zu pumpen obschon nur zwei Eingangsleitungen vorhanden sind.A three-way valve 44 is also provided in the sorption pump device according to FIG. The input line 4O contains a flexible one designed as a bellows Intermediate part 40a which enables the lower part 40b in the channel 45 within the container 1 to be closed up and down move. A gauze layer 46 separates the adsorbent material 2 from the channel 45. A second bellows 47, on one side on the The container and is attached to the lower part 40b on the other hand, acts as a flexible seal. With this construction it is possible to pump at more than two different levels of the tank even though only two input lines available.
Ausser den dargestellten Ausführungsformen sind selbstverständlich andere möglich, beispielsweiseIn addition to the embodiments shown, others are of course possible, for example
409831/0313409831/0313
PHN. 6715. 10-12-1973·PHN. 6715. 10-12-1973
- 12 '-- 12 '-
Konstruktionen, bei denen die zwei Eingangsleitungen an (diametral) einander gegenüberliegenden Stellen an den Seitenwänden des Behälters befestigt sind oder Konstruktionen, bei denen mehr als zwei Eingangsleitungen vorhanden sind.Constructions in which the two input lines are at (diametrically) opposite points on the Side walls of the container are attached or constructions in which more than two input lines are present are.
409831/0313409831/0313
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|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
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