DE2400792C3

DE2400792C3 - Sorption pumping device

Info

Publication number: DE2400792C3
Application number: DE2400792A
Authority: DE
Inventors: Jan Eindhoven Visser (Niederlande)
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1973-01-29
Filing date: 1974-01-09
Publication date: 1978-06-15
Also published as: IT1006168B; DE2400792B2; NL7301204A; CA1009997A; DE2400792A1; US3868239A; CH592816A5; GB1456402A; JPS49105221A; FR2215544B1; JPS567065B2; FR2215544A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Sorptionspumpvorrichtung mit einem ein Sorptionsmaterial enthaltenden &> Behälter, der über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierendem Raum verbindbar ist und der mit Mitteln zum Anschließen von mindestens zwei Bereichen des Sorptionsmaterials versehen ist, die sich durch unterschiedliche Höhe über dem Boden des Behälters unterscheiden.The invention relates to a sorption pump device with a sorption material containing &> Container which can be connected to a space to be evacuated via an input line and which has means is provided for connecting at least two areas of the sorbent material, which differ in height from the bottom of the container differentiate.

Eine solche Sorptionspumpvorrichtung ist aus »Review of Scientific Instruments«. Bd. 34 Nr. 5. Mai 1963,Such a sorption pumping device is from "Review of Scientific Instruments". Vol. 34 No. May 5, 1963,

Seiten 587 und 588, bekanntPages 587 and 588, known

Diese bekannte Pumpvorrichtung hat eine einzige, feste Eingangsleitung zu dem Behälter, in dem das Sorptionsmaterial in gesonderten Schichten aufgeteilt ist die sich auf einer Vielzahl im Behälter vereinzelt angeordneter Teller befinden. Durch die Anordnung der Teller soll erreicht werden, daß das SorptionsmaterisJ, das ziemlich weit von der Mündung der Eingangsleitung im Behälter entfernt ist besser genutzt wird. Das angesaugte Gas wird ziemlich gleichmäßig auf die zu den jeweiligen Tellern gehörenden Sorptionsmaterialoberflächen aufgeteiltThis known pumping device has a single, fixed inlet line to the container in which the Sorption material is divided into separate layers which are isolated on a large number in the container arranged plate. The arrangement of the Plate should be achieved that the sorption material, which is quite far from the mouth of the inlet line in the container is better used. That sucked gas is distributed fairly evenly to the surfaces of the sorbent material belonging to the respective plates

Eine derartige Pumpvorrichtung ist wegen der großen Zahl der Teller nicht nur kompliziert und aufwendig, sondern auch in ihrer Wirkung noch nicht optimal.Such a pumping device is not only complicated and because of the large number of plates complex, but also not yet optimal in their effect.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Sorptionspumpvorrichtung einfacher Konstruktion zu schaffen, die eine hohe wirksame Sorptionsleistung und eine hohe Pumpgeschwindigkeit aufweist und einen niedrigen Restdruck liefert Eine hohe wirksame Sorptionsleistung bedeutet, daß eine Vielzahl von Pumpzyklen durchgeführt werden kann, ohne daß zwischendurch eine Reaktivierung des Sorptionsmaterials notwendig istThe invention is based on the object of providing a sorption pump device of a simple construction create, which has a high effective sorption capacity and a high pumping speed and a low residual pressure provides a high effective sorption capacity means that a large number of Pump cycles can be carried out without a reactivation of the sorbent material is necessary in between

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, daß eine optimale Pumpwirkung dadurch erhalten werden kann, daß während eines Pumpzyklus das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas über unterschiedliche Wege dem Sorptionsmaterial angeboten wird.The invention is based on the idea that an optimal pumping effect can be obtained by that during a pumping cycle the gas sucked in from the space to be evacuated is offered to the sorbent material via different routes.

Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Sorptionsvorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Mittel derart ausgeführt sind, daß das Sorptionsmaterial nacheinander in unterschiedlichen Bereichen ein und derselben nicht in sich unterteilten Absorbermenge unmittelbar an den zu evakuierenden Raum umschaltbar anschließbar ist.The stated object is achieved according to the invention in a sorption device of the type mentioned at the beginning solved in that the means are designed in such a way that the sorbent material successively in different areas of one and the same is not in itself subdivided amount of absorber can be switched directly to the room to be evacuated.

Unter unterschiedlichen Bereichen des Absorbers werden nicht nur unterschiedliche Höhen in axialer Richtung des zylindrischen Behälters verstanden, sondern auch untereinander verschiedene Stellen, in radialer Richtung des Behälters gesehen.Not only are there different heights in the axial direction under different areas of the absorber Understood the direction of the cylindrical container, but also different places in seen radial direction of the container.

Dadurch, daß während der Anfangsperiode eines Pumpzyklus das Gas höheren Drucks aus dem zu evakuierenden Raum zu dem in einem bestimmten Bereich liegenden Sorptionsmaterial zugelassen wird, wird dieses Material belastet, aber das in einem anderen Bereich liegende Sorptionsmaterial bleibt nahezu unbelastet Wenn danach, während der Endperiode des Pumpzyklus das Gas niedrigeren Drucks zu diesem nahezu unbelasteten Sorptionsmaterial zugeführt wird (und gewtinschtenfalls gleichzeitig auch zu dem bereits durch das Gas höheren Drucks mehr oder weniger abgesättigten Material), erfolgt auch bei niedrigerem Druck eine gute und schnelle Sorption. Das Sorptionsmaterial wird so auf sehr wirksame Weise ausgenutzt, so daß kurze Pumpzeiten sowie niedrige Restdrücke im Vakuumraum erhalten werden.By the fact that during the initial period of a pumping cycle, the higher pressure gas from the to evacuating room is admitted to the sorbent material lying in a certain area, this material is loaded, but the sorbent material lying in another area remains almost unchanged unloaded if thereafter, during the end period of the pumping cycle, the gas lower pressure to this almost unpolluted sorbent material is supplied (and, if desired, at the same time as the already material more or less saturated by the gas of higher pressure), also takes place at lower Print a good and quick sorption. The sorbent material is used in a very effective way, see above that short pumping times and low residual pressures are obtained in the vacuum space.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung, bestehen die Mittel aus einem im Behälter angeordneten und an der Eingangsleitung angeschlossenen Hohlrohr, das in einem den Absorber durchdringenden Kanal axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar ist und mindestens zwei in axialer Richtung in einem Abstand voneinander liegende öffnungen aufweist, die durch axiale Verschiebung bzw. durch Drehung um die Längsachse des Hohlrohres nacheinander freigegeben werden.According to a further development of the invention, the means consist of a arranged in the container and on the hollow tube connected to the inlet line, axially in a channel penetrating the absorber is displaceable and / or rotatable about the longitudinal axis and at least two in the axial direction in one Has spaced apart openings that released one after the other by axial displacement or by rotation about the longitudinal axis of the hollow tube will.

Das Hohlrohr kann einen integralen Teil der Eingangsleitung bilden oder als gesondertes Rohr vorhanden sein. Die Konstruktion dieser Sorptionspumpvorrichtung ist gedrängt und einfach.The hollow tube can form an integral part of the inlet line or as a separate tube to be available. The construction of this sorption pumping device is compact and simple.

Gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung bestehen die Mittel aus einem auf beiden Seiten offenen Hohlrohr, das innerhalb des Behälters fest angeordnet ist, wobei das obere Rohrende koaxial mit der Eingangsleitung innerhalb der Mündung dieser Leitung im Behälter und in einem Abstand von der Mündung '° angeordnet ist, so daß ein Ringkanal gebildet ist, wobei in der Eingtngsieitung ein Absperrventil angeordnet ist, das nacheinander das obere Rohrende und den Ringkanal freigibtAccording to another development of the invention, the means consist of one that is open on both sides Hollow tube which is fixedly arranged within the container, the upper end of the tube being coaxial with the Inlet line within the mouth of this line in the container and at a distance from the mouth '° is arranged so that an annular channel is formed, wherein a shut-off valve is arranged in the inlet line, which successively releases the upper end of the pipe and the ring channel

Eine derartige Pumpvorrichtung ist ebenfalls ge- >5 drängt und läßt sich leicht durch Hinzufügung des Rohres und des geeigneten Absperrventils zu den bisher bekannten Pumpvorrichtungen herstellen.Such a pumping device is also suitable urges and can be easily removed by adding the pipe and the appropriate shut-off valve to those previously produce known pumping devices.

Eine andere Weiterbildung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus mindestens einer zweiten Eingangsleitung bestehen, die der Eingangsleitung parallel geschaltet ist, wobei alle Eingangsleitungen absperrbar sind und untereinander auf unterschiedlichen Höhen über dem Boden des Behälters in den Behälter einmünden.Another development of the invention is characterized in that the means of at least one second input line, which is connected in parallel with the input line, with all input lines are lockable and each other at different heights above the bottom of the container in the Open the container.

Dabei kann von wenigstens einer Eingangsleitung die Anschlußhöhe über dem Boden des Behälters im Absorber einstellbar sein. Dies ermöglicht einen optimalen örtlichen Gebrauch des Sorptionsmate rials.In this case, the connection height above the bottom of the container in the at least one input line Absorber be adjustable. This enables optimal local use of the sorption material.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben.Embodiments of the invention are shown in the drawings and are described below described in more detail.

Es zeigenShow it

Fig. la und 4 bis 8 schematische nicht maßgerechte Ausführungsformen von Sorptionspumpvorrichtungen im Längsschnitt,La and 4 to 8 are schematic, not to scale Embodiments of sorption pump devices in longitudinal section,

F i g. Ib eine Darstellung einer anderen Ausführuingsform des Innenteüs der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. la,F i g. Ib a representation of another embodiment of the inner part of the sorption pump device according to Fig. la,

F i g. 2 und 3 graphische Darstellungen mit je einer Pumpkurve für die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. la im Vergleich zu der einer bekannten Sorptionspumpvorrichtung. F i g. 2 and 3 are graphic representations, each with a pumping curve for the sorption pumping device according to FIG F i g. la in comparison to that of a known sorption pumping device.

In F i g. 1 ist mit dem Bezugszeichen 1 ein Behälter angegeben, in dem sich ein Adsorptionsmaterial 2, beispielsweise ein natürliches oder synthetisches Zeolith befindet Der Behälter hat eine Eingangsleitung 3, die an der Stelle des Flansches 4 an einen zu evakuierenden Raum angeschlossen werden kann. Ein innerhalb des Behälters angeordnetes auf beiden Seiten offenes Hohlrohr 5 ist mit dem oberen Ende innerhalb der Eingangsleitung 3 und koaxial zu derselben angeordnet. Das untere Ende des Rohres ist mit Seitenöffnungen 6 versehen. Ein Absperrventil 7, in zwei Stellungen dargestellt, enthält einen Ventilkörper 8, der .nit dem Ventilsitz Sa dichtend zusammenarbeiten kann. Der Ventilkörper 8 ist über einen Schaft 9 mit einem Bedienungsgriff 10 verbunden und trägt an der Unterseite eine biegsame ringförmige Membran 11, die ihrerseits eine zylinderförmige Büchse 12 trägt Diese Büchse 12 paßt genau um das Ende des Rohres 5 und ist darüber hin und her verschiebbar. Über der Membran 11 sind radiale öffnungen 13 vorgesehen. Die Membran kann den ringförmigen Raum 14 abschließen.In Fig. 1, the reference number 1 indicates a container in which there is an adsorbent material 2, for example a natural or synthetic zeolite. The container has an inlet line 3 which can be connected to a space to be evacuated at the location of the flange 4. A hollow tube 5, which is arranged inside the container and which is open on both sides, is arranged with the upper end inside the input line 3 and coaxially to the same. The lower end of the tube is provided with side openings 6. A shut-off valve 7, shown in two positions, contains a valve body 8 which .nit the valve seat Sa can work together in a sealing manner. The valve body 8 is connected via a shaft 9 to an operating handle 10 and carries on the underside a flexible annular membrane 11, which in turn carries a cylindrical sleeve 12. This sleeve 12 fits exactly around the end of the tube 5 and can be moved back and forth over it. Radial openings 13 are provided above the membrane 11. The membrane can close off the annular space 14.

Die Sorptionspumpvorrichtung enthält weiter nicht dargestellte Kanäle für Kühlflüssigkeit (flüssiger Stickstoff) zur Kühlung des adsorbierenden Materials sowie einen nicht dargestellten Ausgang für bei der Reaktivierung des Absorptionsmaterials frei werdende Gase.The sorption pump device also contains channels, not shown, for cooling liquid (liquid nitrogen) for cooling the adsorbent material and an output (not shown) for reactivation gases released by the absorption material.

Die Sorptionspumpvorrichtung wird wie folgt betrieben: Während der ersten Periode der Pumpzeit, wenn in dem zu evakuierenden Raum ein höherer Druck herrscht, nimmt das Absperrventil 7 die in der Zeichnung links dargestellte Lage ein. Dann strömt Gas durch die öffnungen 13, das Rohr 5 und die öffnungen 6 zu den unteren Schichten des Adsorptionsmaterials 2 um dort adsorbiert zu werden, während der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen ist, so daß die oberen Schichten des Adsorptionsmaterials unbelastet bleiben. Während der zweiten Periode der Pumpzeit bei einem niedrigeren Druck in dem zu evakuierenden Raum wird das Absperrventil 7 in die in der Zeichnung rechts dargestellte Lage gebracht und in dieser Lage gehalten. Der ringförmige Raum 14 ist dabei durch die Membran 11 freigegeben. Gas mit niedrigerem Druck strömt nun durch den ringförmigen Raum 14 zu den oberen unbelasteten Schichten des Adsorptionsmaterials sowie durch das Rohr 5 zu den unteren Schichten. Am Ende des Pumpzyklus wird das Absperrventil 7 zugedreht. Der Ventilkörper 8 ruht dann auf dem Ventilsitz 8a, so daß das Rohr 4 sowie der ringförmige Raum 14 abgeschlossen sind.The sorption pumping device operates as follows: During the first period of the pumping time when in the room to be evacuated has a higher pressure, the shut-off valve 7 takes the in the Position shown on the left. Gas then flows through the openings 13, the tube 5 and the openings 6 to the lower layers of the adsorbent material 2 to be adsorbed there, while the annular Space 14 is closed by the membrane 11, so that the upper layers of the adsorbent remain unloaded. During the second period of Pumping time at a lower pressure in the space to be evacuated, the shut-off valve 7 is in the in brought the position shown on the right and held in this position. The annular space 14 is released by the membrane 11. Lower pressure gas now flows through the annular Space 14 to the upper unloaded layers of the adsorption material and through the tube 5 to the lower layers. At the end of the pumping cycle, the shut-off valve 7 is closed. The valve body 8 is at rest then on the valve seat 8a, so that the tube 4 and the annular space 14 are closed.

In Fig. Ib ist eine Abwandlung des Innenteüs der Pumpvorrichtung nach Fig. la dargestellt. Für entsprechende Teile sind dieselben Bezugszeichen gewählt worden. Die Büchse 12 ist in dem Rohr 5 verschiebbar, dessen Unterseite mit einer Anzahl über den Umfang verteilter Schlitze 15 versehen ist, durch die Gas zum Adsorptionsmaterial strömen kann. Der Ventilkörper 8 trägt hier zugleich einen weiteren Ventilkörper 16. In der dargestellten Lage ist der ringförmige Raum 14 durch die Membran 11 abgeschlossen und das Rohr 5 geöffnet Wird nun der Ventilkörper 8 aufwärts bewegt, so gibt die Membran 11 den ringförmigen Raum 14 frei, während weiter der Ventilkörper 16 das Rohr 5 abschließt.In Fig. Ib is a modification of the inner part of the Pump device shown in Fig. La. For appropriate Parts have been given the same reference numbers. The sleeve 12 is displaceable in the tube 5, the underside of which is provided with a number of slots 15 distributed over the circumference, through which gas to the Adsorption material can flow. The valve body 8 here also carries a further valve body 16. In In the position shown, the annular space 14 is closed off by the membrane 11 and the tube 5 opened If the valve body 8 is now moved upwards, the membrane 11 releases the annular space 14, while the valve body 16 continues to close the tube 5.

Mit der in Fig. la dargestellten Sorptionspumpvorrichtung wurde ein Raum, in dem sich Luft von 0,55 Torr befand, evakuiert. Der Verlauf des Druckes Pgegenüber der Zeit t für ein erstmaliges Pumpen ist in F i g. 2 durch die Kurve I angegeben. Punkt A ist der Umschaltpunkt, wobei von einem ausschließlichen Pumpen mittels der durch das Rohr 5 angeschlossenen unteren Schichten des Adsorptionsmaterials auf ein gemeinsames Pumpen durch die oberen noch unbelasteten Schichten über den ringförmigen Raum 14 zusammen mit den genannten unteren Schichten übergegangen wurde.With the sorption pump device shown in Fig. La, a room in which there was air of 0.55 Torr was evacuated. The course of the pressure P versus the time t for a first-time pumping is shown in FIG. 2 indicated by curve I. Point A is the switchover point, the transition being made from exclusive pumping by means of the lower layers of the adsorbent material connected by the pipe 5 to joint pumping through the upper still unloaded layers via the annular space 14 together with the mentioned lower layers.

Die Kurve II ist das Ergebnis eines erstmaligen Pumpens unter gleichen Bedingungen jedoch mit einer bekannten Pumpe ohne das Rohr 5. Gemessen wurde an einer Pumpe nach F i g. la, in der nun jedoch das Rohr 5, die Büchse 12 und die Membran 13 fehlten, so daß auf bekannte Weise ausschließlich durch die Eingangsöffnung 3 aus den oberen Schichten Adsorptionsmaterial abgepumpt wurde.Curve II is the result of pumping for the first time under the same conditions but with a known pump without the pipe 5. Measurements were made on a pump according to FIG. la, in which, however, the pipe 5, the sleeve 12 and the membrane 13 were absent, so that in a known manner only through the inlet opening 3 adsorbent material was pumped out of the upper layers.

Die graphische Darstellung zeigt deutlich, daß mit der Pumpvorrichtung nach F i g. 1 a kürzere Pumpzeiten und niedrigere Enddrücke erhalten werden als mit der bekannten Pumpvorrichtung.The graph clearly shows that with the pumping device according to FIG. 1 a shorter pumping times and lower final pressures can be obtained than with the known pumping device.

F i g. 3 zeigt für die obengenannten Sorptionspumpvorrichtung Pumpkurven für Luft, wobei der zu evakuierende Raum von 80 Torr ab abgepumpt wurde, nachdem in beiden Fällen bereits sieben Zyklen von 80 Torr ab durchgeführt worden waren und das Adsorptionsmaterial folglich bereits einigermaßen belastet war.F i g. 3 shows pumping curves for air for the above-mentioned sorption pumping device, with the to evacuating space of 80 Torr has been pumped down after in both cases already seven cycles of 80 Torr had been carried out and the adsorption material was already somewhat loaded was.

Ein Vergleich der beiden Kurven zeigt, daß die Sorptionspumpvorrichtung nach Fig. la auch eine größere wirksame Sorptionsleistung hat als die Sorptionspumpvorrichtung der bekannten Konstruktion. A comparison of the two curves shows that the sorption pump device according to Fig. La also a has greater effective sorption capacity than the sorption pumping device of the known construction.

Auch bei den Sorptionspumpvorrichtungen nach den F i g. 4 bis 8 sind für Teile, die denen der Vorrichtung nach Fig. la entsprechen, dieselben Bezugszeichen gewählt worden.Even with the sorption pump devices according to FIGS. 4 to 8 are for parts similar to those of the device correspond to Fig. La, the same reference numerals have been chosen.

Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 4a und |₀ b hat die Eingangsleitung 3 ein als Balg ausgebildetes biegsames Teil 3a und ein Endteil 3b, das als Hohlrohr gegenüber dem Behälter im Kanal 20 axial verschiebbar ist. Dieser Kanal ist durch eine Gazeschicht 21 vom Adsorptionsmaterial getrennt Auf zwei unterschiedlichen Pegeln hat das Endteil öffnungen 22 bzw. 23. Beim Auf- und Abbewegen des Endteils 36 können die Öffnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben werden, und zwar durch die zylinderförmige Büchse 24 und die öffnungen 23 durch die zylinderförmige Büchse 25, aber derart, daß während die öffnungen 22 abgeschlossen sind, die öffnungen 23 frei sind und umgekehrt. F i g. 4a zeigt die Lage, bei der die öffnungen 22 frei sind und die öffnungen 23 abgeschlossen, während in Fig.4b die umgekehrte Situation dargestellt ist. Auf diese Weise kann ein zu evakuierender Raum nacheinander zunächst über die öffnungen 23 und danach über die öffnungen 22 an unterschiedliche Schichten des Sorptionsmaterials angeschlossen werden.In the case of the sorption pump device according to FIG. 4a and | ₀ b, the inlet line 3 has a flexible part 3a designed as a bellows and an end part 3b which, as a hollow tube, is axially displaceable in relation to the container in the channel 20. This channel is separated from the adsorbent material by a gauze layer 21. The end part has openings 22 and 23 respectively. When the end part 36 is moved up and down, the openings 22 can be closed and released alternately, through the cylindrical sleeve 24 and the openings 23 through the cylindrical sleeve 25, but in such a way that while the openings 22 are closed, the openings 23 are free and vice versa. F i g. 4a shows the position in which the openings 22 are free and the openings 23 are closed, while the opposite situation is shown in FIG. 4b. In this way, a space to be evacuated can be connected to different layers of the sorbent material one after the other first via the openings 23 and then via the openings 22.

Das Endteil 36 kann auch als gesondertes Rohr ausgebildet sein, dessen oberes Ende in der Eingangsleitung 3 geführt istThe end part 36 can also be designed as a separate tube, the upper end of which is in the input line 3 is performed

Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig.5 ist das Rohr 30 um die Längsachse im Behälter 1 drehbar angeordnet. Durch die Drehung werden die öffnungen 22 wechselweise abgeschlossen und freigegeben. Das aus dem zu evakuierenden Raum angesaugte Gas kann zunächst durch die öffnungen 31, das Rohr 30 und die öffnungen 23 ausschließlich den unteren Schichten des Sorptionsmaterials angeboten werden und danacl durch Freigabe der Öffnungen 22 im wesentlichen den oberen Schichten und außerdem aber in geringerem Maße den unteren Schichten.In the case of the sorption pump device according to FIG the tube 30 is arranged rotatably about the longitudinal axis in the container 1. The rotation opens the openings 22 alternately completed and released. The gas sucked in from the room to be evacuated can initially through the openings 31, the tube 30 and the openings 23 exclusively the lower layers of the Sorption material are offered and then by releasing the openings 22 essentially the upper layers and also but to a lesser extent the lower layers.

Selbstverständlich sind auch Konstruktionen möglich bei denen die Durchströmungsöffnungen für angesaugtes Gas durch ein kombiniertes Verschieben un Drehen des Rohres freigegeben bzw. abgeschlosse werden.Of course, constructions are also possible in which the flow openings are for aspirated Gas released or closed by a combined movement and rotation of the pipe will.

Die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 6 hat ein zweite Eingangsleitung 40, die der Eingangsleitung parallel geschaltet ist und auf einer anderen Höhe übei dem Boden des Behälters (Pegel) in den Behälter einmündet. In jede der Leitungen 3 und 40 ist ei Absperrventil oder -hahn 41 bzw. 42 aufgenommen.The sorption pump device according to FIG. 6 has a second input line 40 which is the input line is connected in parallel and at a different height above the bottom of the container (level) in the container joins. A shut-off valve or cock 41 and 42, respectively, is received in each of the lines 3 and 40.

Die Sorptionspumpvorrichtung nach F i g. 7 hat einei Dreiweghahn 43, mit dem die Eingangsleitungen 3 un 40 einzeln und gleichzeitig an den zu evakuierendei Raum angeschlossen werden können.The sorption pump device according to FIG. 7 has an i Three-way valve 43, with which the input lines 3 and 40 individually and simultaneously to the to be evacuated Room can be connected.

Bei der Sorptionspumpvorrichtung nach Fig.8 is ebenfalls ein Dreiweghahn 44 vorhanden. Die Eingangs leitung 40 enthält ein biegsames als Balg ausgebildete! Zwischenteil 40a, das es ermöglicht, den unteren Tei AOb in dem Kanal 45 innerhalb des Behälters 1 auf un ab zu bewegen. Eine Gazeschicht 46 trennt da: Adsorptionsmaterial 2 vom Kanal 45. Ein zweiter BaI) 47, der mit seiner unteren öffnung am Behälter 1 un mit seiner oberen öffnung am Übergang des Zwischen teils 40a in das untere Teil 406 befestigt ist, ist a biegsame Dichtung wirksam. Mit dieser Konstruktio ist es möglich, auf mehr als zwei unterschiedlichei Pegeln des Behälters zu pumpen obschon nur zwe Eingangsleitungen vorhanden sind.The sorption pump device according to FIG. 8 also has a three-way valve 44. The input line 40 contains a flexible bellows designed as a! Intermediate part 40a, which makes it possible to move the lower part AOb in the channel 45 within the container 1 up and down. A gauze layer 46 separates adsorbent material 2 from channel 45. A second ball 47, which is attached with its lower opening to the container 1 and its upper opening at the transition from the intermediate part 40a to the lower part 406, acts as a flexible seal . With this construction it is possible to pump to more than two different levels of the tank even though there are only two input lines.

Außer den dargestellten Ausführungsformen sine selbstverständlich andere möglich, beispielsweise Kon struktionen, bei denen die zwei Eingangsleitungen a radial (diametral) einander gegenüberliegenden Stellei am Zylindermantel des Behälters befestigt sind ode Konstruktionen, bei denen mehr als zwei Eingangsie: tungen vorhanden sind.In addition to the illustrated embodiments, sine Of course, others are possible, for example constructions in which the two input lines a radially (diametrically) opposite posts are attached to the cylinder jacket of the container ode Constructions with more than two entry points.

Hierzu 5 Blatt ZeichnungenIn addition 5 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Sorptionspumpvorrichtung mit einem ein Sorptionsmaterial enthaltenden Behälter, der über eine Eingangsleitung mit einem zu evakuierendem Raum verbindbar ist und der mit Mitteln zum Anschließen von mindestens zwei Bereichen des Sorptionsmaterials versehen ist, die sich durch unterschiedliche Höhe über dem Boden des Behälters unterscheiden, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (3a, 3b, 5 bis 16; 20 bis 25; 30,31; 40 bis 47) derart ausgeführt sind, daß das Sorptionsmaterial nacheinander in unterschiedlichen Bereichen ein und derselben nicht in sich >s unterteilten Absorbermenge unmittelbar an den zu evakuierenden Raum umschaltbar anschließbar ist1. Sorption pumping device with a container containing a sorbent material, which can be connected via an input line to a space to be evacuated and which is provided with means for connecting at least two areas of the sorbent material which differ by different heights above the bottom of the container, characterized that the means (3a, 3b, 5 to 16; 20 to 25; 30,31; 40 to 47) are designed in such a way that the sorbent material successively in different areas of one and the same non-subdivided amount of absorber directly to the evacuating room is switchable connectable

2. Sorptionspumpvorrichtung nach Anspmch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus einem im Behälter (1) angeordneten und an der Eingangs- *> leitung (3) angeschlossenen Hohlrohr (3b) bestehen, das in einem den Absorber (2) durchdringenden Kanal (20) axial verschiebbar und/oder um die Längsachse drehbar ist und mindestens zwei in axialer Richtung in einem Abstand voneinander *s liegende öffnungen (22, 23) aufweist, die durch axiale Verschiebung bzw. durch Drehung um die Längsachse des Hohlrohres (3b) nacheinander freigegeben werden (F i g. 4a, 4b; 5).2. Sorption pump device according to claim 1, characterized in that the means consist of a hollow tube (3b) which is arranged in the container (1) and connected to the input *> line (3) and which is in a channel (2) penetrating the absorber (2) 20) axially displaceable and / or about the longitudinal axis is rotatable, and at least two in the axial direction at a distance from each other * s lying openings (22, comprising 23) by axial displacement or by rotation about the longitudinal axis of the hollow tube (3b) in succession released (Figs. 4a, 4b; 5).

3. Sorptionspumpvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus einem auf beiden Seiten offenen Hohlrohr (S) bestehen, das innerhalb des Behälters (1) fest angeordnet ist, wobei das obere Rohrende koaxial mit der Eingangsleitung (3) innerhalb der Mündung dieser Leitung im Behälter und in einem Abstand von der Mündung angeordnet ist, so daß ein Ringkanal (14) gebildet ist, wobei in der Eingangsleitung (3) ein Absperrventil (7) angeordnet ist, das nacheinander das obere Rohrende und den Ringkanal (t4) freigibt (Fig. la; Ib).3. Sorption pump device according to claim 1, characterized in that the means consists of one exist on both sides open hollow tube (S) which is fixedly arranged within the container (1), wherein the upper end of the pipe coaxial with the input line (3) within the mouth of this line in the Container and is arranged at a distance from the mouth, so that an annular channel (14) is formed, wherein a shut-off valve (7) is arranged in the input line (3), the upper one in succession The pipe end and the ring channel (t4) releases (Fig. La; Ib).

4. Sorptionspumpvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel aus mindestens einer zweiten Eingangsleitung (40) bestehen, die der Eingangsleitung (3) parallel geschaltet ist, wobei alle Eingangsleitungen (3, 40) absperrbar (41 bis 44) sind und untereinander auf unterschiedlichen Höhen über dem Boden des Behälters (1) in den Behälter (1) einmünden (F i g. 6,7,8).4. Sorption pumping device according to claim 1, characterized in that the means consist of at least one second input line (40) which is connected in parallel to the input line (3) , wherein all input lines (3, 40) can be shut off (41 to 44) and with each other open into the container (1) at different heights above the bottom of the container (1) (Fig. 6,7,8).

5. Sorptionspumpvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß von wenigstens einer Eingangsleitung (40) die Anschiußhöhe über dem Boden des Behälters (1) im Absorber (2) einstellbar (40a, 40b, 45,46) ist (F i g. 8).5. Sorption pump device according to claim 4, characterized in that of at least one input line (40) the connection height above the bottom of the container (1) in the absorber (2) is adjustable (40a, 40b, 45, 46) (Fig. 8) ).

5555