DE2360148B2 - - Google Patents

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DE2360148B2
DE2360148B2 DE19732360148 DE2360148A DE2360148B2 DE 2360148 B2 DE2360148 B2 DE 2360148B2 DE 19732360148 DE19732360148 DE 19732360148 DE 2360148 A DE2360148 A DE 2360148A DE 2360148 B2 DE2360148 B2 DE 2360148B2
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DE
Germany
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lapping
sensor
measuring
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flexible
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DE19732360148
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German (de)
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DE2360148C3 (cg-RX-API-DMAC7.html
DE2360148A1 (de
Inventor
Vasilij Jakovlevitsch Kudaschov
Jurij Ivanovitsch Nesterov
Petr Nikolaevitsch Orlov
Aleksandr Vasilevitsch Simnjakov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Moskovskoje Ordena Lenina I Ordena Trudovogo Krasnogo Znameni Vysscheje Technitscheskoje Utschilischtsche Imeni Ne Baumana Moskau
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Moskovskoje Ordena Lenina I Ordena Trudovogo Krasnogo Znameni Vysscheje Technitscheskoje Utschilischtsche Imeni Ne Baumana Moskau
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B7/287—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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DE2360148A1 DE2360148A1 (de) 1975-06-12
DE2360148B2 true DE2360148B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) 1980-02-21
DE2360148C3 DE2360148C3 (cg-RX-API-DMAC7.html) 1980-10-23

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JPS5335567A (en) * 1976-09-13 1978-04-03 Shinetsu Chem Ind Co Apparatus for measuring thickness of semiconductor wafer
DE3807488C1 (cg-RX-API-DMAC7.html) * 1988-03-08 1989-08-10 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De

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DE2360148A1 (de) 1975-06-12

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DE3817784C2 (cg-RX-API-DMAC7.html)

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