DE2303465B2 - Kraft- oder Druck-Meßwandler - Google Patents
Kraft- oder Druck-MeßwandlerInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Kraft- oder Druck-Meßwandler mit einem von einem Gehäuse gebildeten und
mit einem Bezugsdruck beaufschlagten Innenraum
sowie mit parallel zueinander und im Abstand
voneinander angeordneten Membranen mit Elektroden,
die Kapazitäten bilden, wobei eine dem Innenraum benachbart liegende Membran wenigstens eine durchgehende öffnung aufweist und eine vom Innenraum
entfernt liegende Membran den Innenraum dicht abschließt und an ihrem Rand abgedichtet am Gehäuse
befestigt ist
Ein Kraft- oder Druck-Meßwandler mit mehreren parallel zueinander und im Abstand voneinander
ίο angeordneten Membranen, die Elektroden bzw. Kapazitäten bilden, ist bekannt (GB-PS 9 49 433). Der bekannte
Kraft- oder Druck-Meßwandler besteht aus einem dosenförmigen Gehäuse aus elektrisch leitendem
Material, welches eine im wesentlichen ringförmige,
is geschlossene Umfangswand aufweist, und weiches an
suner Oberseite sowie an seiner Unterseite druckdicht verschlossen ist Im Inneren des Gehäuses und parallel
zur Gehäuseoberseite sowie zur Gehäuseunterseite ist eine ebenfalls aus elektrisch leitendem Material
bestehende Membran vorgesehen, die an ihrem Außenumfang druckdicht mit der Umfangswandung des
Gehäuses verbunden ist und das Gehäuse in zwei voneinander getrennte Kammern unterteilt, die über
Anschlußleitungen jeweils mit einem bestimmten
Druck, z. B. mit einem Bezugsdruck und mit dem zu
messenden Druck beaufschlagt werden können. Parallel zu dieser das Gehäuse in zwei Kammern unterteilenden
Membran ist in jeder Kammer eine weitere zusätzliche Membran angeordnet, die ebenfalls aus elektrisch
μ leitendem Material besteht und einen gewissen Abstand
von der das Gehäuse in zwei Kammern unterteilenden Membran aufweist Um die zusätzlichen Membranen,
die mit der das Gehäuse in die beiden Kammern unterteilenden Membrankapazitäten bilden, elektrisch
vom Gehäuse zu isolieren, sind die zusätzlichen Membranen nicht direkt am Gehäuse eingespannt,
sondern diese zusätzlichen Membranen sind an ihrem Außenumfang über Isolierkörper aus Glas mit jev/eils
einem die betreffende zusätzliche Membran umgeben
den Haltering verbunden, der dam': seinerseits durch
Fed»relemente im Inneren des Gehäuses an dessen Umfangswandung gehalten ist Um aine Druckdifferenz
an den zusätzlichen Membranen zu vermeiden, weisen diese jeweils eine mittlere durchgehende öffnung auf.
Außerdem sind am Außenumfang der zusätzlichen Membranen zwischen den Isolierkörpern <uis Gins
durchgehende Schlitze vorgesehen. Zur Kontaktierung ist jede zusätzliche Membran mit einer Anschlußltt'ung
verbunden, wobei jede Anschlußleitung durch die
betreffende Kammer, in der sich die zusätzliche
Membran befindet, und durch die Oberseite bzw. Unterseite des Gehäuses druckdicht hindurchgeführt ist
Wird eine Kammer des Gehäuses mit einem Bezugsdruck und die andere Kammer mit dem zu messenden
Druck beaufschlagt, so führen der zu messende Druck bzw. Änderungen des zu messenden Druckes zu einer
Verschiebung der das Gehäuse in die beiden Kammern unierteilenden Membran relativ zu den zusätzlichen
Membranen, so daß aufgrund der auftretenden Kapazi
tätsänderungen der zu messende Druck bzw. dessen
Änderungen bestimmt werden können. Wird der Kraftoder Druck-Meßwandler äußeren Kräften, z. B. Beschleunigungs- oder Vibrationskräften unterworfen, so
wirken diese Kräfte zugleich auch auf die zusätzlichen
h'> Membranen ein, wodurch bei entsprechender Ausbildung der zusätzlichen Membranen der Einfluß derartiger äußerer Kraftcinwirkungen (Vibrations- oder
Beschlcunigiingskräfte) aus dem Meßergebnis eliminiert
wird bzw. ein von derartigen äußeren Krafteinwirkungen bereinigtes Meßergebnisisrreicht wird.
Der bekannte Kraft- oder Druck-Meßwandler weist einen relativ komplizierten Aufbau auf, da er drei als
Elektroden dienende Membranen besitzt, wobei die zusätzlichen Membranen durch eine aufwendige Halterung elektrisch isoliert am Gehäuse befestigt sein
müssen, da es bei dem bekannten Kraft- oder Druck-Meßwandler notwendig ist, sowohl das Gehäuse
als auch die dz*. Gehäuse in die beiden Kammern
unterteilende mittlere Membran aus elektrisch leitendem Material herzustellen. Auch hinsichtlich seiner
elektrischen Eigenschaften ist der bekannte Kraft- oder Druck-Meßwandler nicht optimal, da Änderungen bei
dem zu messenden Druck zu einer Verschiebung der die Kammern trennenden mittleren Membran in der Weise
führen, daß sich der Abstand zwischen dieser Membran und der einen zusätzlichen Membran vergrößert und
der entsprechende Abstand zu der anderen zusätzlichen Membran verkleinert, d.h. der bekannte Kraft- oder
Druck-Meßwandler bildet in seinem elektrischen Ersatzschaltbild eine Serienschaltung van zwei Kapazitäten, die sich mit Änderungen des zu _m ^senden
Druckes gegensinnig ändern. Sollen diese Änderungen beider Kapazitäten als Meßsignal voll ausgenutzt
werden, so ist es notwendig, den bekannten Kraft- oder Druck-Meßwandler in einer ganz bestimmten Weise
elektrisch zu betreiben, beispielsweise in einer Brückenschaltung. Hierdurch ergeben sich erhebliche Einschränkungen bei der Gestaltung der äußeren elektrischen Schaltung.
Da bei dem bekannten Kraft- oder Druck-Meßwandler auch die zusätzlichen Membranen aus elektrisch
leitenden Material bestehen, ist es möglich, diese Membranen jeweils an ihrer der mittleren Membran
abgewandten Oberflächenseite mit einem elektrischen Anschluß zu versehen, der nicht durch die Membranen
hindurchgeführt ist, sondern an der Ober- bzw. Unterseite aus dem Gehäuse herausgeführt ist Dies
bedeutet jedoch auch, daß sich die äußeren Anschlüsse bei dem bekannten Kraft- oder Druck-Meßwandler an
verschiedenen Seiten des Gehäuses befinden und dadurch relativ lange Allschlüsse zu den äußeren,
elektrischen Schaltungselementen notwendig sind, was insbesondere bei Hochfrequenzschaltungen nachteilig
ist. Weiterhin bedeutet dies auch, daß es bei dem bekannten Kraft- oder Druck-Meßw&ndler grundsätzlich nicht möglich ist, zur Erzielung möglichst kurzer
Anschlüsse ein mit den Kapazitäten des Kraft- oder Druck-Meßwandlers zusammenwirkendes Schaltungselement, z. B. eine Induktivität in einer der Kammern
unterzubringen, ohne daß eine druckdichte Durchführung eines Anschlusses durch die mittlere Membran
vorgesehen wird. Nachteilig ist bei dem bekannten kraft- oder Druck-Meßwandler auch, daß sowohl die
Membranen als auch das Gehäuse aus elektrisch leitendem Material bestehen müssen, es also nicht
möglich ist, den Meßwandler hinsichtlich des für die Membranen und das Gehäuse verwendeten Materials
an die Erfordernisse der Umgebung optimal anzupassen, <n der der Meßwandler verwendet werden soll.
Kraft- oder Druck-Meßwandler, die eine Kompensation äußerer Krafteinwirkungen (Vibrations-, oder
Beschleunigungsk'äfte) ermöglichen, werden beispielsweise in Flugzeugen zur Druckmessung verwendet.
SelbstverslUndlich können derartige Meßwandler auch
auf anderen technischen Gebieten eingesetzt werden, wenn äußere Kraftcinwir' ungen zu erwarten sind, die
nicht in das Meßergebnis eingehen sollen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Meöwandler der eingangs geschilderten Art hinsichtlich
seines Aufbaus, insbesondere hinsichtlich der Anzahl
der Membranen und ihrer Befestigung am Gehäuse zu
vereinfachen und so auszubilden, daß zur Erzielung möglichst kurzer Anschlüsse sich diese Anschlüsse an
einer gemeinsamen Seite der Membranen befinden, ohne daß sich dadurch zusätzliche Dichtungsprobleme
ίο ergeben.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Kraft- oder Druck-tvießwandler der äingangs geschilderten Art
erfindungsgemäß so ausgebildet, daß lediglich zwei Membranen vorgesehen sind, die elektrisch nicht leitend
sind und die beide an ihrem Rand abgedichtet am Gehäuse befestigt sind, daß an der vom Innenraum
entfernt liegenden Membran eine erste Elektrode und an der dem Innenraum benachbart liegenden Membran
eine zweite sowie eine dritte Elektrode vorgesehen sind,
die beide der ersten Elektrode gegenüberliegen und daß
lediglich die zweite sowie dritte Elektrode mit
hindurchgeführt sind.
ler besitzt zunächst den Vorteil, daß die Anschlüsse an
einer gemeinsamen Seite der Membranen bzw. der dem Innenraum des Gehäuses benachbart liegenden Membran enden, so daß die Länge der Verbindung zwischen
der von den Elektroden gebildeten Kapazität und einem
elektrischen Schaltelement, z. B. einer Induktivität, sehr
kurz gehalten werden können, was für Hochfrequenzschaltungen sehr wesentlich ist Insbesondere ist es bei
dem erfindungsgemäßen Kraft- oder Druck-Meßwandler auch möglich, das mit den Kapazitäten zusammen-
wirkende elektrische Schaltelement (Induktivität) im Inneren des Gehäuses unterzubringen. Ein druckdichtes
Hindurchführen der Anschlüsse durch einen Membran ist bei dem erflndungsgemäßen Kraft- oder Druck-Meßwandler nicht erforderlich, da die dem fnnenraum des
xo Gehäuses benachbart liegende Membran, die zur
durchgehenden öffnungen aufweist, durch die die
oder Druck-Meßwandlers besteht darin, daß trotz der einfachen Kontaktierung der zweiten und dritten
Elektrode sämtliche Membranen aus elektrisch nicht leitendem Material hergestellt sind und somit direkt,
d. h. ohne Zwischenschaltung elektrisch isolierender
Elemente an ihrem Rand am Gehäuse befestigt werden
können. Weiterhin ist es bei der Erfindung auch nicht notwendig, das Gehäuse aus einem bestimmten
Material, d.h. aus elektrisch leitendem Material herzustellen. Vielmehr kann das Material bei dem
erfindungsgemäßen Kraft- oder Druck-Meßwandler sowohl für die Membranen als auch für das Gehäuse (Jen
jeweiligen Umgebungsverhältnissen angepaßt werden, was dann besonders wesentlich ist, wenn der Druck
eines korrosionsfördernden oder ätzenden Mediums
gemessen werden so".
Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Kraft- oder Druck-Meßwandlers besteht dieser Wandler bzw. das Gehäuse ebenso wie die
Membranen aus isolierendem Material, d.h. aus
h"> Silikatglas, wodurch sich dann bei im Innenraum des
Gehäuses untergebrachtem und mit den Kapazitäten des Meßwandlers zusammenwirkendem elektrischen
Schaltelement, z. B. Induktivität, in vorteilhafter Weise
auch die Möglichkeit ergibt, diese Induktivität induktiv an die äußere Schaltung anzukoppeln, so daß auch keine
durch die Wandung des Gehäuses hindurchgeführten äußeren Anschlußleitungen erforderlich sind.
Da bei dem erfindungsgemäßen Kraft- oder Druck- '> Meßwandler die dem Innenraum des Gehäuses entfernt
liegende Membran das Gehäuse bzw. den mit dem Bezugsdruck beaufschlagten Innenraum des Gehäuses
druckdicht nach außen hin abschließt, sind auch die Elektroden gegen äußere Einflüsse und insbesondere
gegen Korrosion vollständig geschützt.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figuren an zwei Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt ι
>
F i g. I einen Schnitt durch einen Teil eines Instrumentes, bei dem ein Meßwandler gemäß der vorliegenden
Erfindung Verwendung findet;
F i g. 2 in vergrößerter Darstellung einen Schnitt entlang der Linie 2-2 der Fi g. I;
F i g. 3 in vergrößerter Teildarstellung die Membrananordnung der F i g. 2;
Fig.4 in verkleinerter Darstellung einen ebenen Schnitt entlang der Linie 4-4 der F i g. 3;
F i g. 5 eine Darstellung ähnlich der der F i g. 4, jedoch 2·>
entlang der Linie 5-5 der F i g. 3;
Fig.6 eine Teildarstellung eines Schnittes entlang der Linie 6-6 der F i g. 5; und
F i g. 7 eine Darstellung ähnlich der der F i g. 3, jedoch bei einem weiteren Ausführungsbeispiel.
In Fig. 1 ist ein Teil einer Einrichtung 10 mit einem
Druckmeßwertwandler 12 dargestellt, welcher an einem Zwischenstück 14 befestigt ist. Dieses Zwischenstück ist
seinerseits mit Hilfe des Bolzens 18 und der Mutter 20 an der Wandung 16 des Instrumentes 10 befestigt. Der Ί·ϊ
Wandler 12 und das Zwischenstück 14, die vorzugsweise aus Silikatglas gefertigt sind, sind unier Verwendung
von Kitt oder einem speziellen Verbindungszement derart aneinander befestigt, daß sich ein für das
Druckmedium, welches dem Wandler 12 über den -»o
Durchgang 22 des Bolzens 18 zugeführt wird, hinreichend dichter Abschluß ergibt.
Wie in Fig. 2 dargestellt ist, besitzt der Wandler 12
ein becherförmiges Gehäuse 24 mit einem Abschlußdekkel 26, der mit dem oberen Ende der Gehäusewandung
verbunden ist, um auf diese Weise einen geschlossenen Raum zu erhalten, welcher dann über den verschließbaren
Stutzen 30 evakuiert werden kann.
Aus Gründen der mechanischen Festigkeit ist der Boden 32 des Gehäuses 24 vorzugsweise wesentlich
dicker ausgebi'det, als die Seitenwand 34 dieses Gehäuses, wodurch ein mechanisch widerstandsfähiger
Träger für die verwendeten Druckempfindlichen Teile erhalten wird. Als druckempfindliche Teile sind in der
F i g. 2 die beiden Membranen 36 und 38 gezeigt, deren Außenränder, beispielsweise durch Kitten, mit dem sich
etwas nach außen erstreckenden und abgestuften Ansatz 40 an der Unterseite des Bodens 32 verbunden
sind. Für eine einfache Herstellung ist es zweckmäßig, daß die Membranen 36 und 38 Scheibenform aufweisen
und in dieser Weise mit ihrem Außenrand mit dem Ansatz 40 verbunden sind. Für einen Fachmann ist es
jedoch selbstverständlich, daß eine derartige Scheibenform für die Membranen bei der praktischen Ausführung
der vorliegenden Erfindung nicht unbedingt ss erforderlich ist Die Abmessungen der beiden Membranen,
d. h. deren Dicke und Durchmesser, sind dabei vorzugsweise so gewählt, daß die erste Eigenresonanz
dieser Membranen weit ab von der Frequenz liegi, der
der Wandler im praktischen Betrieb jemals unterworfen ist. Dies führt dazu, daß sich beide Membranen stets
gleichphasig bewegen und zwar gleichgültig, ob sie einer konstanten Kraftgröße oder Vibrationskräften
ausgesetzt sind.
Es läßt sich feststellen, daß die Kante der Membrane 36 mit einem höheren Maß an »Befestigung« festgehalten
ist als die Kante der Membrane 38, da die Membrane 36 an ihrem Außenrand in einem schmalen Oberflächenbereich
mit dem Ansatz 40 und zugleich mit einem (ebenfalls schmalen Oberflächenbereich) an der anderen
Seite mit einem schmalen Bereich der Membrane 38 verbunden ist, während diese letzte Verbindung die
einzige Verbindung darstellt, durch die die Membrane 38 gehalten wird. Aus diesem Grund ist es zweckmäßig,
die Membrane 36 etwas dünner als die Membrane 38 auszubilden. Zur Erzielung einer Beschleunigungs- und
Vibrationskompensaiion wird es fernerhin zweekmäSig
sein, daß die Membranen 36 und 38 nicht notwendig aus dem gleichen Material bestehen oder daß sie nicht
genau den gleichen Durchmesser aufweisen. Bei bestimmten Anwendungsfällen kann es jedoch erforderlich
sein, daß insbesondere die Dicken der Membranen von den hier gegebenen Vorschlägen abweichen. Bei
einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Wandler und die dem gasförmigen Druckmedium
ausgeätzte Membrane 38 aus Silikatglas gefertigt. Ist
jedoch das Druckmedium, das an dieser Membrane 38 liegt, korrosionsfördernd oder ätzend, so kann es
notwendig sein, besondere Vorkehrungen hierfür an den
mit dem Druckmedium in Üerührung kommenden Teilen zu treffen, beispielsweise dadurch, daß die Teile
des Wandlers aus verschiedenen Materialien gefertigt sind. In jedem Fall ist es jedoch unbedingt erforderlich,
daß die beiden Membranen im wesentlichen die gleiche Eigenfrequenz besitzen.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den F i g. I bis 3 ist die untere Fläche der Membrane 36 leicht konkav als
Kugelfläche ausgebildet, wie dies insbesondere in der F i g. 3 ersichtlich ist. Auf diese Weise ist es möglich, daß
zwei getrennte Metallelektroden 42 und 44 an dieser gekrümmten Oberfläche angeordnet werden können,
die dann der Metallelektrode 46 an der oberen Fläche der Membrane 38 direkt gegenüberliegen. Die Elektroden
42 und 44 können mit einem elektrischen Schaltkreis verbunden werden, wie dies später noch im
einzelnen erläutert werden wird, während die Elektrode 46 ohne Anschluß ist und als gemeinsame Elektrode für
die Elektroden 42 und 44 zur Verfugung steht. Die Kombination der Elektroden 42, 44 und 46 w<_<st auf
diese Weise die Charakteristik einer Serienschaltung von zwei Kapazitäten auf.
Die F i g. 4 zeigt eine Ansicht auf die Unterseite des Bodens 32. In diesem Boden 32 sind Durchgangsöffnungen
48, 50, 52 und 54 vorgesehen, die den evakuierten Bezugsdruckraum 28 mit der oberen Oberfläche der
Membrane 36 wirkungsmäßig verbinden. Vier Aussparungen 56, 58, 60 und 62 decken sich mit diesen
Durchgangsöffnungen. Die Zahl der Durchgänge und Aussparungen ist an sich beliebig; sie kann daher von
der beim Ausführungsbeispiel gewählten Anzahl abweichen. In der F i g. 5 ist gezeigt, daß die Membrane 36 mit
einer gleichen Zahl von Durchbrüchen 64,66,68 und 70
versehen ist, die der. Durchbrochen 4g, 50,52 und 54 im
wesentlichen gegenüberliegen. Die Durchbrüche der Membrane 36 stellen eine wirkungsmäßige Verbindung
zwischen den beiden Seiten dieser Membrane her, so
daß die Druckdifferenz an der Membrane 36 Null ist und
an der Membrane 38 bzw. an deren oberen Fläche der Bezugsdruck bzw. das Bezugsvakuum des geschlossenen
Raumes 28 anliegt.
Der untere Abschnitt der Durchbrüche 62,64,66 und
68 ist bei 72, 74, 76 und 78 vorzugsweise abgeschrägt und zwar aus Gründen, die später noch im einzelnen
best/L'ieben werden.
In der Fig.2 ist eine Induktivität 80 gezeigt, die an
der inneren Fläche der Wand 34 angeordnet ist und mit dieser Fläche verbunden ist. Das obere Ende der als
Induktivität verwendeten Spule 80 ist mit dem oberen Ende eines Leiters 82 verbunden, dessen unteres Ende
an der Wandung der Aussparung 56 z. B. durch eine geeignete Verbindung gehalten ist, wie dies beispielsweise
bei 83 in der F i g. 3 oder 6 dargestellt ist. Das sich in den abgeschrägten Teil 72 erstreckende Material der
Elektrode 42 ist mit dem einen Ende eines Leiters 84, L· α. liiifOn Süihjcü, vci umtuen, wobei dieser Lciicr S4
aus einer Vielzahl von feinen Einzeldrähten besteht und mit seinem anderen Ende im Bereich des Durchbruchs
48 am Leiter 82 befestigt ist. In gleicher Weise verbindet der Leiter 86 das untere Ende der Spule 80 mit dem
Material der Elektrode 44, welches sich in die schräge Bohrung 74 erstreckt. Die Kombination der Spule 80 mit
den Kondensatorelektroden 42, 44 und 46 stellt somit einen abstimmbaren Schwingkreis dar, dessen Resonanzcharakteristik
mit dem Druck an der Membrane 38 verändert werden kann. Dieser Schwingkreis kann dann
mit einer beliebigen äußeren Anzeige- bzw. Arbeitseinrich;«ng
verbunden werden. Es ist beispielsweise möglich, eine Koppelspule oder mehrere Koppelspulen,
die nicht dargestellt sind, an der AuBenfläche der Wand 34 in elektromagnetischer Kopplung mit der Spule 80
anzubringen, wobei diese Kopplungsspule bzw. diese Kopplungsspulen eine Verbindung zu einer Oszillatorschaltung
herstellen, deren Frequenz dann den an der Membrane 38 anliegenden Druck widerspiegelt, wie
dies an sich für Fachleute selbstverständlich ist. Wird andererseits eine direkte Kopplung angestrebt, so
können nicht näher dargestellte Verbindungsleitungen durch die Wandung des Gehäuses 24 hindurchgeführt
sein, wobei dann diese Verbindungsleitungen direkt an s die Anschlüsse der Leiter 82 und 86 an der Spule 80
herangeführt sind. Es ist selbstverständlich auch möglich, auf die Spule 80 !überhaupt zu verzichten und
statt dessen lediglich die oberen Enden der Leiter 82 und 86 mit den, durch die Gehäusewandung nach außen
ίο führenden Leitungen zu verbinden.
In der Fig. 7 ist eine weitere Ausflihrungsform
gezeigt, die die beiden druckempfindlichen Teile 136 und 38 aufweist. Ein schmaler bandförmiger Oberflächenbereich
der Oberseite der Membrane 136 ist mit
ι·, dem Ansatz 40 verbunden. Abstandsmittel 137 sind
zwischen einem schmalen Oberflächenbereich an der Unterseite der Membrane 136 und einem schmalen
bandförmigen Oberflächenbereich der Oberseite der membrane 35 vorgesehen, um so liic membranen 136
und 38 an ihren Außenrändern derart am Ansatz 40 zu
befestigen, daß ein Zwischenraum zwischen der unteren Fläche der Membrane 13(1 und der oberen Fläche der
Membrane 38 entsteht. Zur Erzeugung des Abstandes kann entweder ein dünner Abstandsring verwendet
2s werden oder aber der Abstand wird durch Füllmaterial
während des Verbindungsprozesses erhalten.
Der Unterschied zwischen der Ausführungsform gemäß Fig. 7 und der oben beschriebenen Ausführungsform
besteht vor allem darin, daß die untere
in Oberfläche der Membrane 136 eben ausgebildet ist,
während bei der Ausführungsform gemäß den F i g. 2 bis 3 diese Oberfläche als konkave Kugelfläche ausgestaltet
war. Auch die auf diese Oberfläche aufgebrachten Metallelektroden 142 und 144 besitzen damit im
υ Ruhezustand, d. h, solange kein Druck auf die Membrananordnung ausgeübt wird, eine im wesentlichen
ebene Oberfläche, die der Elektrode 46 auf der Membran 38 gegenüberliegt.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (8)
1. Kraft- oder Druck-Meßwandler mit einem von einem Gehäuse gebildeten und mit einem Bezugsdruck beaufschlagten Innenraum sowie mit parallel
zueinander und im Abstand voneinander angeordneten Membranen mit Elektroden, die Kapazitäten
bilden, wobei eine den Innenraum benachbart liegende Membran wenigstens eine durchgehende
öffnung aufweist und eine vom Innenraum entfernter liegende Membran den Innenraum dicht
abschließt und an ihrem Rand abgedichtet am Gehäuse befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, daß lediglich zwei Membranen (36,38,
136) vorgesehen sind, die elektrisch nicht leitend sind und die beide an ihrem Rand abgedichtet am
Gehäuse befestigt sind, daß an der vom Innenraum entfernt liegenden Membran (38) eine erste Elektrode (46) und an der dem Innenraum benachbart
liegenden Membran eine zweite sowie eine dritte Elektrode £42, 44; 142, 144) vorgesehen sind, die
beide der ersten Elektrode (46) gegenüberliegen, und
daß lediglich die zweite sowie dritte Elektrode (42, 44; 142, !44) mit Anschlüssen versehen sind, die
durch die Öffnungen (64,66,68,70) hindurchgeführt
sind.
2. Kraft- oder Druck-Meßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beide Membranen (36,38,136) gleiche mechanische Eigenschaften aufweisen, so daß sie beim Einwirken äußerer
Vibrations- oder Beschleunigungskräfte auf den Meßwandler £''. jchartig reagieren.
3. Kraft- oder Druck-Meßwandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurcn gekennzeichnet, daß beide
Membranen (36, 38, 136) gleiche mechanische
Eigenschaften aufweisen, so daß iie beim Einwirken
äußerer Vibrations- bzw. Beschleunigungskräftc auf den Wandler mit einem nahezu gleich großen
Ausschlag reagieren.
4. Kraft- oder Druck-Meßwandler nach einem der Ansprüche I—3, dadurch gekennzeichnet, daß die
Eigenresonanzfrequenz der Membranen (36,38,136) im wesentlichen gleich ist.
5. Kraft- oder Druck-Meßwandler nach einem der Ansprüche 1 —4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Membranen (36,38,136) aus Siiikatglas bestehen.
6. Meßwandler nach einem der Ansprüche 1—5, dadurch gekennzeichnet, daß die Membranen (36,
38, 136) an ihren einander gegenüberliegenden Oberflächenseiten nahezu gleich ausgebildet sind.
7. Kraft* oder Druck-Meßwandler nach einem der Ansprüche I —5, dadurch gekennzeichnet, daß eine
Membran (36,136) an ihrer der anderen Membran zugewandten Oberflächenseite konkav ausgebildet
ist.
8. Kraft- oder Druck-Meßwandler nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß im
Gehäuse (24) eine über die Anschlüsse mit der zweiten sowie dritten Elektrode (42, 44; 142, 144)
verbundene Induktivität (80) vorgesehen ist.
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