DE2303025A1 - Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens

Info

Publication number
DE2303025A1
DE2303025A1 DE19732303025 DE2303025A DE2303025A1 DE 2303025 A1 DE2303025 A1 DE 2303025A1 DE 19732303025 DE19732303025 DE 19732303025 DE 2303025 A DE2303025 A DE 2303025A DE 2303025 A1 DE2303025 A1 DE 2303025A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
crystal
luminous flux
light
polarization
information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19732303025
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Andrzej Dr Ing Cielecki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
Original Assignee
NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO filed Critical NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
Publication of DE2303025A1 publication Critical patent/DE2303025A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
DE19732303025 1972-01-21 1973-01-22 Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens Pending DE2303025A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL15303272 1972-01-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2303025A1 true DE2303025A1 (de) 1973-07-26

Family

ID=19957167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19732303025 Pending DE2303025A1 (de) 1972-01-21 1973-01-22 Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens

Country Status (3)

Country Link
DD (1) DD101016A5 (enExample)
DE (1) DE2303025A1 (enExample)
FR (1) FR2168824A5 (enExample)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3715518A1 (de) * 1987-05-09 1988-11-17 Max Striffler Gmbh U Co Maschi Vorrichtung zur schlitzfraesenden oder bohrenden bearbeitung von fensterprofilen

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2594227B1 (fr) * 1986-02-08 1990-01-19 Mitsubishi Electric Corp Procede de determination de l'orientation d'un cristal
JPH0672843B2 (ja) * 1986-02-08 1994-09-14 三菱電機株式会社 半導体結晶軸の解析方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3715518A1 (de) * 1987-05-09 1988-11-17 Max Striffler Gmbh U Co Maschi Vorrichtung zur schlitzfraesenden oder bohrenden bearbeitung von fensterprofilen

Also Published As

Publication number Publication date
FR2168824A5 (enExample) 1973-08-31
DD101016A5 (enExample) 1973-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102011055330B4 (de) Verfahren zum Messen der Lebensdauer eines angeregten Zustandes in einer Probe
DE2156617A1 (de) Einrichtung zur bildkorrelation
DE19828498C2 (de) Verfahren zum Messen von Unwuchten rotierender Körper und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE1648753A1 (de) Vorrichtung zur zerstoerungsfreien Werkstoffpruefung von Metallroehren mit Hilfe von Wirbelstroemen
DE2931332A1 (de) Verfahren ueber ein optoelektronisches messystem fuer werkstoffpruefmaschinen
DE4009737C2 (enExample)
DE19720330C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Spannungen in Glasscheiben mit Hilfe des Streulichtverfahrens
EP0017822A1 (de) Vorrichtung zur Analyse des Polarisationszustandes einer Strahlung
DE2061381A1 (de) Interferometer
DE1598101B2 (de) Fotoelektrische Abtastvorrichtung für l/itrazentrifugen
EP0165325A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur akustischen Kontrolle von Justiervorgängen an optischen Vorrichtungen
DE1805286A1 (de) Optischer Korrelator
DE852163C (de) Elektronenbeugungsgeraet
DE1008936B (de) Rechenvorrichtung
DE1598213A1 (de) Dichte-Messungs-Analysiergeraet
DE6900450U (de) Vorrichtung zum pruefen von filmbahnen
DE1498122C (de) Verfahren zum optisch-elektronischen, beruhrungslosen Erfassen der Bewegung eines Gegenstandes sowie Vorrichtung zur Durchfuhrung eines solchen Verfahrens
DE3150106A1 (de) Vorrichtung zum herstellen eines topographischen bildes der oberflaeche eines sich drehenden objekts
DE2010928A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Winkels zwischen der Schwingungsebene linearpolarisierten Lichtes und einer Bezugsebene
DE1446897U (enExample)
AT221824B (de) Einrichtung zur exakten Zuordnung von Zeit- oder Winkelmarken in Meßdiagrammen
DE2061089C3 (de) Optischer Korrelator
DE2221475A1 (de) Verfahren und einrichtung zur bestimmung der geschwindigkeitsrichtung bei laser-doppler-anemometern
DE1101776B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Pruefung von Kreisteilungen
DE1131913B (de) Einrichtung zur Pruefung der Abbildungsguete optischer Systeme