DE2303025A1 - Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens - Google Patents

Verfahren zur nachweisung von defekten in halbleiterkristallen, sowie vorrichtung zur anwendung dieses verfahrens

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NAUKOWO PROD CT POLPRZEWODNIKO
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties

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