DE2262065C3 - Fotoelektrischer Schrittgeber - Google Patents
Fotoelektrischer SchrittgeberInfo
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Description
35
Die Erfindung betrifft einen fotoelektrischen Schrittgeber zur zweikoordinatigen vorzeichenrichtigen Messung
von Objektverschiebungen mit einem nach zwei Meßkoordinatenrichtungen geteilten Meßgitter, mindestens
einem dem Meßgitter über eine Abbildungsoptik zugeordneten Referenzgitter und einem in der
Ortsfrequenzebene des Meßgitters angeordneten Ortsfrequenzfilter, welches bestimmte Beugungsordnungen
des am Meßgitter gebeugten Lichts durchläßt.
Aus der CH-PS 4 23 278 ist bereits ein Schnttgeber zur Bestimmung der Relativlage eines Objektes nach
zwei Koordinatenrichtungen mit fotoelektrischen Empfängern bekannt, bei dem auf einem auf seiner
Auflageebene beliebig verschiebbaren starren Objekttisch großflächige, nach den beiden gewünschten
Meßkoordinatenrichtungen orientierte Meßraster befestigt sind. Diesen Meßrastern stehen ortsfest montierte
Referenzraster gegenüber, auf welche die erstgenannten Raster abgebildet werden. Den Referenzrastern sind
fotoelektrische Empfänger zugeordnet, welche die das Referenzraster verlassenden Lichtflüsse in elektrische
Signale umwandeln. Nachteilig bei diesem Schrittgeber ist, daß die räumlichen Abmessungen des Tisches durch
die großflächigen, auf ihm befestigten Meßraster mitbestimmt werden und, bezogen auf diese Abmessungen,
ein nur kleiner Meßbereich zur Verfügung steht.
Verwendet man demgegenüber, wie aus der DT-AS 15 48 707 bekannt, als Meß- und Referenzraster ein
Kreuzgitter, so ergibt sich zwar ein räumlich günstigerer Aufbau, es entstehen aber zusätzliche Schwierigkeiten
bei der Signalauswertung. Da die Rückmischung der am Meßgitter gebeugten Strahlungsariteile an einem in
zwei Koordinaten beugenden Gitter erfolgt, erhalten die fotoelektrischen Empfänger Signale, die von beiden
Koordinatenbewegungen beeinflußt sind, Der elektrische Abgleich der Verknüpfungen der Signale ist sehr
schwierig (vgl. Feinwerktechnik [1971], S. 490 - 493). Außerdem treten störende Modulationen durch Streulicht
auf, so daß eine einwandfreie Koordinatentrennunj! in der Praxis kaum möglich ist.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, einen Schnttgeber anzugeben, der in der Meßebene einen
räumlich günstigen Aufbau ermöglicht, ein Übersprechen der Modulation im Signal einer Koordinatenrichtung
auf das Signal der anderen Koordinatenrichtung aber vermeidet.
Diese Aufgabe wird bei einem Schrittgeber der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die im
kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 genannten Merkmale gelöst. Eine vorteilhafte Ausgestaltung des
erfindungsgemäßen Schrittgebers ist in den Merkmalen
des Anspruches 2 angegeben.
Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schrittgebers wird an Hand der Zeichnung ei läutert.
Eine Lichtquelle 2 beleuchtet über einen Teiler 62 und eine; Optik 4 ein nach zwei Meßkoordinatenrichtungen
geteiltes Meßgitter 1. Dieses Meßgitter ist zusammen mit dem Meßobjekt in zwei Koordinatenrichtungen x, y
verschieblich gelagert. Über Optiken 4, 7 wird es auf zwe:i getrennte Lineargitter 8, 8' abgebildet. Die
Teilungsrichtung des Gitters 8 ist parallel zur x-Koordinate,
die Teilungsrichtung des Gitters 8' parallel zur y-Koordinate orientiert. Zwischen den Optiken 4 und 7
liegt paralleler Strahlengang vor. Er wird durch ein Ortsfrequenzfilter 65 aufgespalten. Die lichtablenkenden
optischen Bauelemente des Filters 65 sind im dargestellten Fall so ausgebildet, daß sie außer der
Strihlaufspaltung noch eine Phasenverschiebung von 4 2wischen Strahlkomponenten bewirken, welche sich
in der Polarisierungsrichtung um 90° unterscheiden. Demgemäß sind über Sammel-Optiken 9 entsprechend
orientierte polarisierende Strahlenteiler 20 nachgeschaltet, welche den modulierten Strahlengang auf der
x- bzw. y-Koordinate zugeordnete fotoelektrische Empfänger 12, 12' leiten, die in Gruppen angeordnet
sind. Die Signalphasen sind durch die trigonometrischen Funktionssymbole der Verschiebestrecken symbolisiert.
Die Ausgangssignale der fotoelektrischen Empfänger 12, 12' stellen Drehfeldsignale dar, aus denen in
bekannter Weise Größe und Richtung der Objektgitterverschiebung in den beiden Meßkoordinatenrichtungen
ermittelt werden.
Anstelle der dargestellten Lage der eine ~ -Verschiebung
bewirkenden Bauelemente in der Filierebene 6 können dieselben auch im Strahlengang /wischen diesem
Filter und dem jeweiligen Lineargiiter als
Referenzgitter 8, 8' liegen.
Zwar ist die Erfindung im Ausführungsbeispiel als Auflichtanordnung dargestellt. Sie kann aber ohne
Schwierigkeiten für Durchlicht abgewandelt werden.
Benutzt man als Meßgitter 1 ein Phasengitter, so ist die Möglichkeit gegeben, gleichzeitig mit den Meßsignalen
zusätzlich Gegentaktsignale zu gewinnen, die dann in bekannter Weise zur Störanteilsbefreiung
verwendet werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Fotoelektrischer Schrittgeber zur zweikoordinatigen vorzeichenrichtigen Messung von Objektverschiebungen
mit. einem nach zwei Meßkoordinatenrichtungen
geteilten Meßgitter, mindestens einem dem Meßgitter über eine Abbildungsoptik
zugeordneten Referenzgitter und einem in der Ortsfrequenzebene des Meßgitters angeordneten
Ortsfrequenzfilter, welches bestimmte Beugungsordnungen des am Meßgitter gebeugten Lichts
durchläßt, dadurch gekennzeichnet, daß das Ortsfrequenzfilter (65) lichtumlenkende optische
Bauteile zur Trennung der den Meßkoordinatenrichtungen zugeordneten Strahlengänge aufweist und
als Referenzgitter zwei getrennte, diesen Meßkoordinatenrichtungen zugeordnete Lineargitter (8, 8')
vorgesehen sind.
2. Fotoelektrischer Schrittgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich des
Ortsfrequenzfilters (65) oder zwischen dem Ortsfrequenzfilter und den Lineargittern (8, 8') optische
Bauelemente vorgesehen sind, welche zwischen zwei orthogonalen Polarisationsrichtungen des
ausgefilterten Lichts eine optische Wegdifferenz
von τ erzeugen, und daß im jeder Meßkoordinatenrichtung
zugeordneten Strahlengang ein polarisierender Teiler (20) mit zugeordneten fotoelektrischen
Empfängern vorhanden ist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19722262065 DE2262065C3 (de) | 1972-12-19 | Fotoelektrischer Schrittgeber | |
GB5357073A GB1443220A (en) | 1972-12-19 | 1973-11-19 | Photo-electric incremental transducer |
FR7343804A FR2210762B3 (de) | 1972-12-19 | 1973-12-07 | |
JP48138552A JPS4991260A (de) | 1972-12-19 | 1973-12-11 | |
US425077A US3867035A (en) | 1972-12-19 | 1973-12-17 | Photoelectric step marker |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19722262065 DE2262065C3 (de) | 1972-12-19 | Fotoelektrischer Schrittgeber |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2262065A1 DE2262065A1 (de) | 1974-06-27 |
DE2262065B2 DE2262065B2 (de) | 1976-09-23 |
DE2262065C3 true DE2262065C3 (de) | 1977-08-11 |
Family
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