DE2259782C3 - Spektrometer - Google Patents
SpektrometerInfo
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- DE2259782C3 DE2259782C3 DE19722259782 DE2259782A DE2259782C3 DE 2259782 C3 DE2259782 C3 DE 2259782C3 DE 19722259782 DE19722259782 DE 19722259782 DE 2259782 A DE2259782 A DE 2259782A DE 2259782 C3 DE2259782 C3 DE 2259782C3
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- 230000003287 optical Effects 0.000 claims description 30
- 230000003595 spectral Effects 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000051 modifying Effects 0.000 description 6
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N Lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002596 correlated Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent Effects 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Description
2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden Monochromatoren (12; 38) derart ausgebildet sind daß sie jeweils
unterschiedliche Frequenzbänder ausblenden.
3. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Monochromatoren
(12; 38) derart ausgebildet sind, daß sie jeweils das gleiche Frequenzband ausblenden.
4. Spektrometer nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Strahlungsquellen (11 ;37) unterschiedliche Emissionsspektren
haben.
5. Spektrometer nach Anspruch 1. 2 oder 3. dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Strahlungsquellen (11: 37) gleiche Emissionsspektren haben.
6. Spektrometer nach einem derAnsprüche 1 bis 5. Jadurch gekennzeichnet, daß jeder Monochromator
(12: 38) ein akustisch-optisches Filter umfaßt. Jas an einen mit der programmierbaren Steuer-
40 einrichtung (13) verbundenen durchstimmbaren
HF-Generator (12') angeschlossen ist.
7. Spektrometer nach Anspruch 6. dadurch gekennzeichnet, daß das akustisch-optische Filter aus
Quarz, CaMoO4, Lithiumniobat oder Proustit besteht.
8. Spektrometer nach einem derAnsprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler (21)
eine optisch wirksame Platte umfaßt, die einen Teil der beiden auftreffenden Strahlungen hindurchläßt
und einen Teil der beiden Strahlungen reflektiert.
9. Spektrometer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte aus Quarz besteht.
10. Spektrometer nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch Einrichtungen (41,43;
42, 44Ji zur elektronischen Modulation der Strahlung
jeder Strahlungsquelle (11; 37) und durch Einrichtungen
(45, 46; 47, 48) zur elektronischen Demodulation der Ausgangssignale der beiden photoelektrischen
Wandler (24; 25) und Trennung der von den beiden Strahlungsquellen (11, 37) herrührenden
Signalanteile.
11. Spektrometer nach Anspruch 10. dadurch gekennzeichnet,
daß eine Frequenzmodulation vorgesehen ist.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Spektrometer gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Spektrometer, bei denen eine Probe chemisch oder physikalisch durch Messung der Absorption einer
durch die Probe geleiteten optischen Strahlung als Funktion der Wellenlänge analysiert wird, sind in verschiedenen
Bauformen bekannt. Bei einem typischen Spektrometer wird über ein Spektrum von 2000 bis
8000 Ä mit einer Auflösung von beispielsweise 1 bis 10 Ä abgetastet. Bei dem relativ einfachen Einstrahl-System
wird die von einer Lichtquelle ausgehende Strahlung über eine Linse in einen Monochromator
gelenkt, der beispielsweise durch ein optisches Prismensystem oder ein Beugungsgitter gebildet ist und zur
Trennung des schmalen Wellenlängenbandes dient, das auf die jeweils untersuchte Probe gerichtet werden
soll. Im allgemeinen wird der Monochromator mit mechanischen Mitteln, beispielsweise mit einem bewegbaren
Zerleger, durch einen Schlitz über den vollen, jeweils interessierender. Spektralbereich abgetastet.
Das aus der Probe austretende Licht wird mit einem optischen Detektor, beispielsweise einem Photovervielfacher
gemessen und die prozentuale Lichttransmission mit einem geeigneten Aufzeichnungsgerät, beispielsweise
einem X-F-Schreiber als Funktion der abgetasteten Strahlung aufgezeichnet. An Hand der so
gewonnenen Aufzeichnung wird dann die Probe analysiert.
Diese Spektrometer sind in verschiedene Klassen je nach den speziellen baulichen Merkmalen eingeteilt.
Beispielsweise können die Spektrometer mit optischen Prismen. Beugungsgittern, kombinierten Systemen aus
Prismen und Gittern oder kombinierten Systemen aus Filiern und Gittern zur Erzeugung des schmalen
Linienspektrums am Ausgang des Monochromator arbeiten. Spektrometer können ferner als Einstrahloder
als Zweistrahlinstrumente ausgebildet sein, wobei die Zweistrahlinstrumente wiederum danach weiter
unterteilt werden, ob der optische Strahl in bezug auf
die Intensität oder nach einem Zeitmultiplex-Schema unterteilt wird
Bei den Fmstrahlinstrumenten ist das Signal am
Ausgang das Produkt der folgenden allgemeinen haktoren. die sämtlich eine Funktion der W eilenlänge sind:
Die Leistungsabgabe der Lichtquelle P (/.). der Wirkungsgrad
der 1 ichttransmission des Monochromator* und der zugeordneten Optik £ U). der Transniisstons-\\
tikungsgrad des Probenmaurials 7 üiund
der I ichtempttndlichkeii des Detektors S U). Obwohl
eigentlich mn der Transmissions-Wirkungsgrad des
Probenuiateuals als Funktion der abgetasteten Strahlung
gemessen werden soll, gehen also auch die anderen
drei F.ikioien :n das Ausgangssignal des Systems ein.
Um d«e uik'iwünschten Faktoren im Ausgangssignal
/u kompensieren, hat man bei bekannten Instrumenten
versucht, das System \orher zu eichen, wobei die Be-■Siemmcspeison
instruiert wurde, die Eichung des Instrumentes im verwendeten SpektralVreich bei der
An.ih su-i !!!)>! des Ausg.mgssjgnais zu berücksichtigen.
I m die l'ichung und ihre Berücksichtigung durch
die Bedienungsperson /u erübrigen, werden Zweistrahlinstiuineme
mn zvsei getrennten Strahlengangen
Tür die optische Strahlung angewendet. In dem einen
Stiahlengang ist das /u analysierende Probenmaterial,
in dem anderen Strahlengang ein Referen/material angeordnet
Die Ausgangssignale der entsprechenden /wei Detektoren werden in der Art verglichen, daß das
endgültige Ausgangssignal dem Verhältnis TP TR der
im Probenstr.ihlengang gemessenen Lichttn-nsmission
Tp /u der im Referenzstrahlengang gemessenen
Lichttransmission 7~R gleicht.
Bei einer Bauform eines Zweistrahl-Instrumentes
wird die Strahlung \om Monochromator durch einen Strahlenteiler geleitel, »o die Aufteilung der Strahlung
auf /we; getrennte Strahlengange erfolgt. Der eine Strahl wird durch das Referenzmatenal und der andere
Strahl durch das untersuchte Probenmaterial geleitet
Die durch das Referenzmatenal hindurchgetretene Strahlung gelangt zu einem ersten optischen Detektor
und die durch die Probe hindurchgetretene Strahlung zu einem /weiten optischen Detektor. Die Ausgangssignale
der beiden optischen Detektoren werden einer elektronischen Tellerschaltung zugeleitet, die ein Ausgangsstgnal
proportional dem Verhältnis TP TR als
Funktion von U) erzeugt. Durch die Quotientenbildung heben <>ich die verschiedenen unerwünschten,
wellenlängenabhängigen Faktoren mit Ausnahme eventueller Unterschiede der Empfindlichkeit der beiden
optischen Detektoren gegenseitig auf. Ein Zweistrahl-Instrument in dieser Bauform hat den Vorteil,
daß im Strahlungsweg vom Monochromator zu den beiden optischen Detektoren keine beweglichen Teile
angeordnet sind. Jedoch sind diese Instrumente gegenüber einer ungleichmäßigen Aufteilung der Strahlung
im Strahlenteiler und gegenüber unterschiedlichen Empfindlichkeiten der Photovervielfacher empfindlich.
Beispielsweise kann in dem einen Lichtstrahl der Rotanteil 60° 0 und der Blauanteil 40° 0 betragen.
während die Verhältnisse bei dem anderen Lichtstrahl gerade umgekehrt sind. Außerdem ist es notwendig.
daß die optischen Detektoren sehr genau aneinander angepaßt sind. Schließlich leidet dieses System noch
unter dem Nachteil, daß der durch die Probe geleitete Strahl nur die Hälfte der gesamten, ν on der Quelle abgegebenen
Strahlung darstellt.
Um die Schwierigkeiten, die damit zusammenhän
gen, daß nur die Hälfte der Strahlung durch die Probe
geleitet wird und daß genau aneinander angepaßte Detektoren erforderlich sind, zu vermeiden, wird ein
Zweistrahl-Instrunjeni in einer anderen Bauform verwendet,
bei welcher die optische Strahlung nach einem 7.eit/nultiplexsehema aufgeteilt wird. Dabei gelangt die
Strahlung während eines Teils eines Zeitintervalls durch das Referenzmaierial und während eines anderen
Teils des Zeitintervalls durch das Probenmaterial. DK-Strahlung vom Monochromator wird mittels eines
Umschalters in Form eines rotierenden Spiegels aul die beiden Strahlengänge aufgeteilt. Die durch das
Referenzmaterial und durch die Probe hindurchgetretene Strahlung gelangt auf einen zweiten rotierenden
Spiegel, welcher mit dem ersten Spiegel synchronisiert ist und die beiden auftreffenden Strahlen zu einem einzigen
optischen Detektor leitet. Das Ausgangssignal dieses Detektors wird zu einer geeigneten elektronischen
Schaltung gegeben, mittels welcher das Verhältnis Tf TK berechnet wird. Spektrometer in dieser
Bauform sind relativ kompliziert, da in beiden Sirahlengangen
bewegliche Teile angeordnet sind. Außerdem arbeiten die Instrumente auf Grund der mechanischen
Umschaltung relativ langsam. Schließlich müssen außerdem die Spiegel sehr sorgfältig aufeinander
abgestimmt sein, damit das Reflexionsvermögen im
gesamten abgetasteten Wellenlangenbereieh bei beiden
Spiegeln gleich ist.
Bei einem bekannten Spektrometer (Rev. Sei. ln^tr.
41 [1970]. S. 111 bis 115) ist ein beweglicher Spiegel
vorgesehen, der abwechselnd Licht zweier verschiedener
Wellenlangen zu einer Probe leitet. Außerdem ist ein Strahlenteiler vorgesehen, der jedoch nur dazu
dient, einen relativ kleinen Anteil des Lichtstrahls vor der Probe abzuspalten und für eine Rauschkompen-
!,ation zur Verfügung zu stellen. Ein Referenzstrahlengang
ist nicht vorhanden.
Schließlich ist es bei Spektrometern noch bekannt, das Spektrum erst ohne und dann mit Probe zu durchfahren,
wobei das beim Messen ohne Probe erhaltene Signal in einem Speicher gespeichert und beim Messen
mit Proben mit dem dann erhaltenen Signal verglichen wird (K ο r ; ü m. »Kolorimetrie. Photometric Spektrometrie«.
Springer-Verlag. Berlin. 1962. S. 306 und 307).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Spektrometer
der eingangs genannten Gattung so weiterzubilden, daß es ohne bewegliche Teile auskommt, extrem
schnell arbeitet und daß keine Eichung und ententsprechende Berechnung durch die Bedienungsperson
nach jeder Probeanalyse notwendig ist. wobei die spektrale Bandbreite, die Lichtintensität und oder
das Anwendungsgebiet in konstruktiv einfacher Weise vergrößert werden können. Diese Aufgabe wird durch
das im Anspruch 1 gekennzeichnete Spektrometer gelost.
Die von jedem Monochromator abgegebene Strahlung wird mittels eines Strahlenteilers in zwei getrennte
Strahlen aufgeteilt. Der eine Strahl wird durch ein Referenzmaterial und der andere Strahl durch das zu
untersuchende Probenmaterial geleitet. Ein optischer Detektor am Ende des Referenz-Strahlengangs gibt
<e\n Ausgaiüssianal an den einen Eingang einer leilerschaltung
ab. welche an einem weiteren F.mgang das Ausgangssignal vom optischen Detektor im Proben-Strahlengang
erhält. Das Ausgangssignal der Teilerschaltung ist mit dem Verhältnis der gemessenen
Strahiungstransmission in den beiden Strahlengängen
korrclicrt. Bei einem ersten Durchgang wird das
Referenz- und Probenmaterial fortgelassen und das Transmissions-Verhältnis für die beiden S:Tahlengänge
als Funktion der Spektralabtastung im Speicher aufgezeichnet. Bei einer folgenden Abtastung sind sowohl
das Referenz- als auch das Probematerial im jeweiligen Strahlengang angeordnet: die Ausgangssignale
der beiden strahlungsempfindlichen Detektoren gelangen zu einer Teilerschaltung, deren Ausgangssignal
mit dem Verhältnis der in den beiden Strahlengängen gemessenen Strahlung korreliert ist. Das Ausgangssignal
dieser Teilerschaltung wird dann in einer zweiten Teilerschaltung mit dem Ausgangssignal des
Speichers bei jeweils einander entsprechenden Wellenlängen verglichen, so daß sich ein Ausgangssignal ergibt,
das mit dem Verhältnis der beiden Verhältnisse korreliert ist.
In bestimmten Fällen können die Strahlen der beiden Strahlungsquellen die gleiche Wellenlänge
haben: für andere Anwendungsfälle kann mit unterschiedlichen Wellenlängen gearbeitet werden.
Als Monochromator wird vorzugsweise ein akustisch-optisches Filter verwendet, das elektronisch
über den gewünschten Spektralbereich durchgestimmt wird und mit dessen Durchstimmung der Speicher
synchronisiert ist.
Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Im folgenden ist die Erfindung an Hand schematisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert.
In den Zeichnungen zeigt
F i g. 1 das Blockdiagramm eines Zweistrahl-Spcktrometers.
F i g. 2 das Blockschaltbild der Spannungsversorgung für die beiden strahlungsempfindlichen Detektoren
im Spektrometer nach F i g. 1 und
F i g. 3 das Blockdiagramm eines anderen Zweistrahl-Spektrometers für zwei getrennte, gleichzeitige
Analysen.
Das in F i g. 1 dargestellte Spektrometer umfaßt eine Strahlungsquelle 11 mit einem breiten Emissionsspektrum
und einen Monochromator 12 zur Auswahl eines schmalen Wellenlängenausschnittes I /. von beispielsweise
1 bis 10 Ä. Dem Monochromator 12 ist eine programmierte Steuereinrichtung 13 zugeordnet,
mittels welcher der schmalbandige Monochromator-Ausgang über den gewünschten Spektralbereich von
beispielsweise 2000 bis 8000 Ä oder von 2.5 bis 15 um
verstellt wird.
Der Monochromator 12 ist im vorliegenden Beispiel durch ein akustirxh-optisches Filter gebildet,
welches durch seinen Spektralbereich elektronisch durchstimmbar ist. Die Frequenz der aus dem Filter
austretenden optischen Strahlung wird dadurch über ein relativ breites Frequenzband von beispielsweise
2000 bis 4000 Ä im Falle eines Quarzfilters und von 4000 bis 8000 Ä im Falle eines CaMoO4-Kristalls verstellt,
daß die Frequenz einer kolinear mit der optischen Welle im Kristall ausgerichteten akustischen
Welle verändert wird. Die akustische Welle wird mittels eines Wandlers durchgestimmt, der am Kristall
angebracht ist und aus einem abstimmbaren HF-Generator
12' gespeist wird. Derartige abstimmbare akustisch-optische Filter sind in einem Aufsatz »Acoustooptic
Tunable Filter« im Journal of the Optical Society of America, Bd. 59, Nr. 6, Juni 1969, S. 744 bis
747. und in einem Aufsatz »Electronically Tunable Acousto-Optic Filter« in Applied Physics Letters,
Bd. 15. Nr. 10. November 15. 1969. S. 325 und 326 beschrieben.
Die Verwendung eines akustisch-optischen Filters ist in verschiedener Hinsicht vorteilhaft. Da das Filter
elektrisch einstellbar ist. besitzt das System wahlfreien Zugriff: es können aus dem breiten Spcktralbereich
leicht spezielle Ausschnitte ausgewählt werden, ferner ist das Umschalten von einem diskreten Frequenzbereich
zu einem anderen elektronisch ohne weiteres
ίο möglich.
Bei den bisher verwendeten Monochromatoren wird das gesamte Licht einschließlich der unerwünschten
Streustrahlung umgeschaltet. Entsprechend wird das unerwünschte Licht auch durch den Detektor er-S
faßt, da es die korrekte, jeweils eingeschaltete Frequenz besitzt, und ein entsprechendes Fehlersignal erzeugt.
Da bei einem akustisch-optischen Filter nur die gewünschten Wellenlängen des vom Filter ausgehenden
Lichtes umgeschaltet werden, können unerwünschte Lichtwellenlängen leicht mittels elektronischer Maßnahmen
eliminiert werden.
Die meisten Monochromatoren besitzen einen langen Strahlenweg, was zu Fehlern auf Grund atmosphärischer
Absorption führt. Ein akustisch-optisches Filter hat einen relativ kurzen Strahlenweg. Außerdem
werden keine optischen Beläge oder überzüge, z. B.
Aluminiumreflektoren, verwendet, welche altern und dadurch Fehler in das System einführen können.
Wie in F i g. 1 gezeigt, gibt die Strahlungsquelle 11
ihre breitbandige Strahlung über ein nach Bedarf vorgesehenes Linsensystem 1Γ an den Monochromator 12
ab. Dieser wird durch Abstimmung eines durch die programmierte Steuereinrichtung 13 gesteuerten HF-Generators
12' über einen Betriebs-Wellenlängenbereich abgetastet bzw. verstellt.
Die aus dem Filter 12 heraustretende Strahlung wird mittels eines Strahlenteilers 21 in zwei getrennte
Strahlen aufgeteilt.
Der Strahlenteiler 21 ist beispielsweise durch eine
Schmelzquarzplatte ohne überzug gebildet. Der eine
Strahlengang 22 verläuft durch eine Zone für das Referenzmaterial und der andere Strahlengang 23
durch eine Zone für das Probenmaterial. Eine gleichmäßige Aufteilung der Strahlung wird vorgezogen, ist
jedoch nicht notwendig.
Der Referenz-Strahlengang 22 endet an einem geeigneten optischen Detektor 24, z. B. einem Photovervielfacher.
Der Proben-Strahlengang endet an einem gleichen optischen Detektor 25. Die Ausgänge der
beiden Detektoren sind mit einer Teilerschaltung 26 verbunden, die ein Ausgangssignal erzeugt, welches
dem Verhältnis der im Proben-Strahlengang gemessenen Strahlung zur im Referenz-Strahlengang gemessenen
Strahlung entspricht.
Der Ausgang der Teilerschaltung 26 ist über die eine Stellung eines Schalters 27 mit einem Speicher 28 verbunden,
beispielsweise einem Digitalspeicher, und über die zweite Stellung des Schalters mit einer weiteren
Teilerschaltung 29. Der zweite Eingang der Teiler-
schaltung 29 steht mit dem Ausgang des Speichers 28 in Verbindung. Der Ausgang der Teilerschaltung 29
ist über einen Schalter 31 wahlweise mit einem weiteren
Speicher 32 oder einem Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät 33 verbunden.
1 m Betrieb wird eine erste Abtastung ohne Referenzmaterial 34 und ohne Probenmaterial 35 im Strahlengang
22 bzw. 23 ausgeführt, wobei der Schalter 27 so eingestellt ist, daß der Ausgang der Teilerschaltung 26
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mit dem Speicher 28 verbunden ist. Dieser Eich-Durchgang kann beispielsweise als erstes am Morgen
ausgeführt werden oder aber auch mehrmals am Tage, wenn die Bedienungsperson eine Neueichung für notwendig
hält.
Das Ausgangssignal der Teilerschaltung 26 entspricht dem Verhältnis der gemessenen optischen
Strahlungstransmission im Proben-Strahlengang /u derjenigen im Referenz-Strahlengang. Dieses Verhältnis
liegt nahe bei 1 und ändert sich über den spektralen Arbeitsbereich des Systems. Es ist eine Funktion der
Reflektivität und der Transmission der Quar/platle
und der Quanten-Wirkungsgrade der beiden Photovervielfaeher.
Wenn der Strahlenteiler die Strahlung bei jeder Wellenlänge zu genau gleichen Teilen auf die
beiden Strahlengänge aufteilen und wenn beide Photovervielfachcr bei jeder Wellenlänge die gleiche Hmpfindlichkeit
haben wurden, wäre das im Speicher gespeicherte Verhältnis bei jeder Wellenlänge genau 1.
Dieses Verhältnis lautet
K1 =
Λ (2:
".Ol
wobei / die Lichtintensität vom Filter. ,;, die 'Iransmission der Platte 21. «i die Retiektiviiät der Platte 21
und Q1 undQ; die Quanten-Wirkungsgrade der beiden
Photodetekloren 24 bzw. 25 bedeuten. Die Strahlungsintensität / (/.. /I kürzt sich in dem Ausdruck weg. Alkfolgenden
Meßdurchgänge werden mit einem Refcrenzmatciial im Referenz-Strahlengang und einem
ProbenmattHal im Proben-Strahlengang durchgeführt.
Dabei wird der Schalter 27 so eingestellt, daß der Ausgang der Teilerschallung 26 mit der zweiten Teilerschaltung
29 verbunden ist. Das Ausgangssignal der Teilerschaltung 26 entspricht einem neuen Verhältnis
R2. das zusätzliche Information bezüglich der Transmission TR bzw. TP der beiden Materialien enthält.
Dieses neue Verhältnis lautet
R =
Iw. I)1^Q1
' z HUhQ
,-', Q2 T1.
Während der Abtastung, während welcher der Ausgang der Teilerschaltung 26 mit der Teilerschaltung 29
verbunden ist. wird der Speicher 28 synchron mit der Abtastung derart angesteuert, daß das gespeicherte
Verhältnis an die Teilerschaltung 29 abgegeben wird. Diese bildet aus den beiden Verhältnissen Rx und R2
an ihren Eingängen ein neues Verhältnis R3 am Ausgang.
Dieses lautet
R3 —
"lO,
Ersichtlich fallen alle Faktoren ausgenommen TP
und T
n
heraus. Das resultierende Verhältnis bildet eine
sehr genaue Messung der jeweils zu analysierenden Probe.
Dieses Verhältnis kann in dem zweiten Speicher 32 gespeichert oder mittels des Gerätes 33, das beispielsweise ein X-Y-Schreiber ist, auch sichtbar aufgezeichnet werden. Wenn das im Speicher 28 gespeicherte
Verhältnis nur einmal verwendet werden muß. kann der Speicher 28 an Stelle des Speichers 32 verwendet
werden, indem das neue Verhältnis gespeichert und gleichzeitig das bisherige Verhältnis aus dem Speicher
28 entfernt wird.
Vorzugsweise wird ein festes Verhältnis der Empfindlichkeit der beiden optischen Detektoren eingehalten,
da relative Änderungen der F.mpfindlichkeit Fehler im Ausgangssignal des Systems erzeugen.
ίο Außerdem werden die Detektoren am besten im
linearen Abschnitt ihrer Kennlinie betrieben. Um das feste Verhältnis der Empfindlichkeit möglichst genau
aufrechtzuerhalten, werden die beiden Detektoren 24 und 25 aus dem gleichen Netzgerät 36 gespeist. Vor-
is zugsweise werden dabei für die beiden Detektoren die
gleichen Spannungsteiler-Widerstände zur Erzeugung der Elektrodenspannungen gemäß F i g. 2 verwendet.
Um den Bereich des Systems zu erweitern, weist es
eine zweite optische Strahlungsquelle 37, ein Linsensystem 37' und einen zweiten Monochromator in
Form eines akustisch-optischen Filters 38 auf. Wenn das Filter 12 ein Quarzfilter in Verbindung mit einer
Deuterium- oder UV-Quelle 11 im Spcktralbereich von 2000 bis 4000 A ist, kann der weitere Bereich von
4000 bis 8000 A mittels eines zweiten Filters 38 aus einem CaMoO4-K.ristal! in Verbindung mit einer
Wolfram-Quelle 37 für sichtbares Licht abgedeckt werden. Die programmierte Steuereinrichtung betätigt
dann zuerst die Quelle H und das Filter 12 zur Abtastung des kurzwelligen Spcktralbcreiches und
schaltet dann zur Betätigung der Quelle 37 und des Filters 38 2ur anschließenden Abtastung des langwelligen
Sptktralbereiches um. Das System kann auch
so betrieben werden, daß beide Quellen 11 und 37 gleichzeitig angeschaltet sind.
Das System nach F i g. 1 kann auch in anderer Weise derart betrieben werden, daß zwei gleiche Monochromatoren
12 und 38 verwendet und beide im gesamten, durch die Strahlungsquellen 11 und 37 vorge-
λο gebenen Spektralbereich betrieben werden. Bei dieser
Betriebsweise arbeiten beide Monochromatoren gleichzeitig, und beide Strahlungsquellen tragen gleichzeitig
zur Signalstärke bei, obwohl der Welleniängenbereich maximaler Lichtabgabe bei den beiden Lampen unterschiedlich
ist.
Wenn die beiden Materialien mit Licht größerer Intensität durchstrahlt werden sollen, können die
beiden Strahlungsquellen 11 und 37 und die beiden
Monochromatoren 12 und 38 gleich ausgebildet sein und gleichzeitig eingeschaltet bzw. abgetastet werden.
wodurch die Lichtintensität im System im wesentlichen verdoppelt wird.
Bei der Ausbildungsform nach F i g. 3 haben die beiden getrennten Lichtstrahlen zwei getrennte WeI-
lenlängen von beispielsweise 3700 und 4000 Ä, so daß die Probe mit diesen beiden getrennten Wellenlängen
gleichzeitig analysiert werden kann.
Das eine akustisch-optische Filter 12 wird an einem
HF-Generator 41 mit einer HF-Frequenz «ujvon ζ. Β
100 MHz entsprechend 3700 Ä und das andere Filtei
38 an einem HF-Generatur 42 mit einer HF-Frequenz Oj2 von z. B. 90 MHz entsprechend 4000 Ä betrieben. Die Frequenz W1 wird mittels eines Modulators 43 mit der Frequenz ω3 von z. B. 1 kHz modu
liert Die Frequenz n>2 wird mittels eines Modulators 4<
ir t einer Frequenz Oj4. von z. B. 1,7 kHz moduliert.
Die beiden modulierten Frequenzen bzw. Wellen·
Ii igen gelangen durch das Referenzmaterial 34 unc
609641/21;
die Probe 35 zu den zugeordneten optis;hen Detektoren
24 bzw. 25. An den Ausging des Detektors 24 sind zwei elektronische Filter 45 und 46 mit einer
Mittenfrequenz f<3 bzw. ι·<4 angeschlossen. Zwei weitere
gleiche elektronische Filter 47 und 48 sind an den Ausgang des Detektors 25 angeschlossen. Die Ausgange
der beiden <-»3-Filter 45 und 47 sind mit einer
Teilerschaltung 26 verbunden und lassen das der 3700 Α-Komponente entsprechende Signal zu der
Teilerschaltung und der zugeordneten Meßschaltung 27 bis 33 gelangen. Die Ausgänge der beiden <>4-Filter
46 und 48 sind mit einer weiteren Teilerschaltung 26' verbunden und lassen das der 4000 A-Komponente
entsprechende Signal zu dieser Teilerschall ung und der zugeordneten Meßschaltung 27' bis 33' gelangen.
Beide Monochromatoren können auf ihre jeweilige Wellenlänge für die beiden getrennten Messungen fest
eingestellt sein. Beide können aber auch mittels der Steuereinrichtung 13 in der oben erläuterten Weise abgetastet
werden. Schließlich kann auch nur einer der Monochromatoren abgetastet und der andere auf eine
Frequenz fest eingestellt werden.
Obwohl für die akustisch-optischen Filter Quarzoder CaMoO4-Kristallc angegeben worden sind, können
natürlich auch andere Kristalle wie Lithiumniobat und Proustit verwendet wurden. Das dem Spektrometer
zugrunde liegende Prinzip kann in einem weiten optischen Wellenlängenbereich einschließlich des Infrarotbereiches,
des Bereiches des sichtbaren Lichtes und des Ultraviolettbereiches zwischen 1000 Λ und
1000 am angewendet werden. Als Strahlungsquellen und als optische Detektoren kommen verschiedene
Bauformen einschließlich Halbleiterbauelementen in Betracht. Die Systeme bzw. Instrumente können modular
aufgebaut sein, so daß Strahlungsquellen und oder Detektoren zur Einstellung des Instrumentes auf verschiedene
Frequenzbereiche ausgetauscht werden können. Beispielsweise kann ein Ultraviolett-Instrument
mit Zusatzeinheiten für das Arbeiten im sichtbaren Bereich und im Infrarotbereich vorgesehen sein.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Spektrometer mit einer optischen Sirahlungsqucllenanordnung
mit Monochromatoreinrichtungen, mit einer photoelektrischen Empfangseinrichtung
und mit einer daran angeschlossenen Auswerteschaltung,
die einen Speicher zur Speicherung eines in einem ersten Durchlauf des untersuchten
Spektralbereichs in Abwesenheit der Meßprobe gewonnenen Vergleichssignals sowie Normiereinrichtungen
zur Erzeugung eines Meß->ignals aus dem in einem anschließenden Durchlauf erhaltenen
Absorptionssignal einer Meßprobe und dem gespeicherten Vergleichssignal enthalt, dadurch
gekennzeichnet, daß
a) die optische Strahlungsquellenanordnung zwei getrennte Strahlunesquellen (Il bzw. 37) umfaßt.
b) die Monochromatoreinriciitungen aus 7v,vi
getrennten, jeweils von einer der Strahlungsquellen (11 bzw. 37) beaufschlagten Monochromatoren
(12 bzw. 38) bestehen,
c) ein Strahlenteiler (21) zur Aufteilung der von den Monochromatoren (12 bzw. 38) ausgehen- '
den Strahlungen auf jeweils einen gemeinsamen Vergleichsstrahlengang (22) und einen
gemeinsamen Meßstrahlengang (23) vorgesehen ist,
d) die photoelektrische Empfangseinrichtung ^0
einen im Vergleichsstrahlengang (22) and einen im Meßstrahlengang (23) anjeordneten photoelektrischen
Wandler (24 bzw. 25) aufweist.
e) die Normiereinrichtungen eine erste, mit den
beiden photoelektrischen Wandlern (24 bzw. 25) verbundene Teilerschaltung (26). eine
zweite Teilerschaltung (29) sowie eine Schalteinrichtung (27) zur v-ahlweisen Verbindung
der ersten Teilerschaltung (26) mit Jer zweiten Teilerschaltung (29) oder mit dem ausgangsseitig
an die zweite Teilerschaltung (29) angeschlossenen Speicher (28) enthalten und
f) eine programmierbare Steuereinrichtung (13) zur Ein- und Ausschaltung der Strahlungsquellen (11 bzw. 37), zur Duichstimmung der
Monochromatoren (12 bzw. 38) und zur Betätigung der Schalteinrichtung (27) vorgesehen
ist.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US20524371A | 1971-12-06 | 1971-12-06 | |
US20524371 | 1971-12-06 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2259782A1 DE2259782A1 (de) | 1973-06-07 |
DE2259782B2 DE2259782B2 (de) | 1976-02-26 |
DE2259782C3 true DE2259782C3 (de) | 1976-10-07 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10207733B4 (de) * | 2002-02-22 | 2006-03-23 | Perkin Elmer Bodenseewerk Zweigniederlassung Der Berthold Gmbh & Co. Kg | Spektroskopieverfahren |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10207733B4 (de) * | 2002-02-22 | 2006-03-23 | Perkin Elmer Bodenseewerk Zweigniederlassung Der Berthold Gmbh & Co. Kg | Spektroskopieverfahren |
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