DE2252630A1 - Gefalteter gaslaser mit zwischenfokussierung - Google Patents

Gefalteter gaslaser mit zwischenfokussierung

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DE2252630A1
DE2252630A1 DE19722252630 DE2252630A DE2252630A1 DE 2252630 A1 DE2252630 A1 DE 2252630A1 DE 19722252630 DE19722252630 DE 19722252630 DE 2252630 A DE2252630 A DE 2252630A DE 2252630 A1 DE2252630 A1 DE 2252630A1
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DE
Germany
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gas laser
discharge tube
folded
folds
laser according
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Pending
Application number
DE19722252630
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English (en)
Inventor
Christian Rueffler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/032Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube
    • H01S3/0323Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube by special features of the discharge constricting tube, e.g. capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/07Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
    • H01S3/073Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076Folded-path lasers

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Description

  • Gefalteter Gaslaser mit Zwischenfokussierung Die Erfindung betrifft einen Gaslaser mit einem aus mehreren gegeneinander gefalteten Abschnitten bestehenden Entladungsrohr und mit optischen, sphärische Wonkavspiegel enthaltenden Umlenkvorrichtungen, die zwischen benachbarten Abschnitten des Entladungsrohres im Bereich dessen Faltungen eine Strahlfokussierung und -umlei:kung bewirkend angeordnet sind.
  • Bin gefalteter Gaslaser dieser Art ist aus der britischen Patentschrift 1 266 067 bekannt. Im einzigen Ausführungsbeispiel dieser Patentschrift ist das FJntladungsrohr nur einmal gefaltet. Dabei hat die zwischenfokussierende Umlenkvorrichtung den Zweck, durch Bündelung der zwischen dem Reflektor und der Auskoppellinsehin- und herreflektierten Laserstrahlung Streuverluste und eine hochdivergente Modenstruktur zu vermeiden, also die Ausgangsleistung des Gaslasers zu erhöhen und den Querschnitt des austretenden Strahls gering zu halten. In dieser vorbekannten Anordnung besteht die zwischenfokussierende Umlenkvorrichtung aus drei sphärischen, eine Strahlenumkehr bewirkenden Konkavspiegeln mit gleichem Krümmungsradius. Zur Vermeidung einer astigmatischen Deformation, die bekanntlich bei der nichtnorrialen RefleXtion eines Strahles mit endlichen Querschnitt an einem sphärischen Spiegel auftritt, soll dabei die gesamte Umlenkvorrichtung um etwa 35° gegen die Falteben geneigt sein. Bei Mehrfachfaltungen des Entladungsrohres ist vorgesehen, jeden Faltungsort mit einer derartigen Umkehrvorrichtung auszustatten.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Gaslaser der eingangs genannten Art anzugeben, der ebenfalls einen weitgehend unverzerrten, geringen Querschnitt des austretenden Strahls aufweist, dabei aber wesentlich einfacher in der Herstellung und im Aufbau als die bekannte Anordnung ist. Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß das Entladungsrohr mindestens zweimal in voneinander verschiedenen Ebenen gefaltet ist und die diesen Faltungen zugeordneten Umlenkvorrichtungen jeweils nur einen sphärischen KorRavspie£el enthalten.
  • Die Erfindung geht von der Überlegung aus, daß es zur Vermeidung astigmatischer Verzerrungen des austretenden Laserstrahls nicht notwendig ist, den Strahl bereits auf der ganzen Länge seines zuges im Resonator verzerrungsfrei zu führen, sondern daß durchaus solche in Strahlengang aufeinanderfolgende Verzerrungen des Strahlquerschnittes zugelassen werden können, die sich bis zum Austritt des Laserstrahls gerade kompensleren. Aufgrund dieser Überlegung ist eine erfindungsgemäß vorgesehene zwischenfokussierende Umlenkvorrichtung höchst einfach mit nur einem einzigen spärischen Konkavspiegel ausgestattet und damit bewußt ein Abbildungsfehler - ein auftreffender Strahl kreisförmigen Ouerschnitts wird in Ellipsenform reflektiert - in Kauf genommen. Im Zusammenwirken mit der ebenfalls erfindungsgemäß vorgeschlagenen Faltung in verschiedenen Ebenen rJi-c jedoch die Verzerrung der einen Umlenkvorrichtut,g durch die der anderen nicht verstärkt, sondern vielmehr korrigiert.
  • Bei geeigneter Taue der 7altecenen zueinander ergänzen und kompensieren sien die nevzeiligen ellipsenförmigen Querschnitts-Verengungen wieder zu einer angenäherten Kreisform.
  • Der vzichtigste Vorzug eines gefalteten Gaslasers gegenüber einen Gaslaser mit gestrecktem Entladungsrohr, namlich sein kompakter Aufbau bei großer Leistung, bleibt beim erfindungsgemäßen Gaslaser voll bewahrt. Für viele Anwendungen sind dessen Querabmessungen sogar noch günstiger als die einer in nur einer Ebene gefalteten Ausführung.
  • In Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, die verschiedenen Ebenen, in denen das Entladungsrohr gefaltet ist, gleiche Winkel miteinander einschließen zu lassen.
  • Bei diesen Winkeln ist die bei einer vorgegebenen Anzahl von astigmatisch verzerrenden Zwischenfokussierungen bewirkte Gesamtverzerrung des austretenden Strahles sehr gering, wobei die noch verbliebenen Verzerrungen ohne Vorzugsrichtung über de Strahlquerschnitt verteilt sind.
  • Eine besonders geringe astigmatische Verzerrung des austretenden Laserstrahle erhält man, wenn die verschiedenen Ebenen aufeinanderfolgender Faltungen des Entladungsrohres senkrecht aufeinanderstehen. Hier ist die kompensierende Wirkung der aufeinanderfolgenden sphärischen Konkavs piegel am stärksten, da nun bei jeder zwischenfokussierenden Umlenkung die Richtungen größter bzw. kleinster Fokussierungskraft wechseln. Es empfiehlt sich hierbei, den gefalteten Gaslaser mit einer geranden Anzahl von erfindungsgemäß vorgesehenen Zwischenfokussierungen auszustatten.
  • Anhand eines in den Figuren der Zeichnung schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels soll die Erfindung nachstehend mit weiteren Merkmalen erläutert werden.
  • Es zeigt: Figur 1 in perspektivischer'Ansicht ein Ausfahrungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Gaslasers, Figur 2 die Resonatoranordnung des Ausführungsbeispiels aus Figur 1.
  • Figur 1 zeigt schematisch von einem erflndungsgemäßen Gas laser das mit 1 bezeichnete Entladungsrohr. Alle für die Erfindung unwesentlichen Teile eines Entladungsrohres, beispielswei.se die Elektroden, sind nicht eingezeichnet.
  • Statt dessen sind der Einfachheit halber in der Darstellung die beiden Lenden des Entladungsrohres 1 mit Verschlüssen 2, 3 abgeschlossen, in denen diejenigen Elektroden, die sich an den Rohrenden'befinden, sowie die optischen Anschlüsse untergebracht sein sollen. Das Entladungsrohr 1 ist zweimal, und zwar in den Faltbereichen 4, 5 um 180° gefaltet. Die 180°-Faltungen sind dabei jeweils durch zwei aufeinanderfolgende 90°-Knickungen des Entladungsrohres 1 gebildet.
  • Die Ebenen der beiden Faltungen stehen senkrecht aufeinander.
  • Wie aus Figur 2 ersichtlich, ist die Resonatoranordnung des als Oszillator betriebenen Ausführungsbeispiels in üblicher Weise abgeschlossen, und zwar durch einen sphärischen Konkavspiegel 10 und einem planparallelen Auskoppelspiegel 11.
  • Im Strahlengang 6 zwischen diesen Elementen, in den Faltbereichen 4, 5 befinden sich nun die gemäß der Erfindung ausgebildeten zwischenfokussierenden Umlenkvorrichtungen.
  • Sie bestehen in diesen Fall aus jeweils zwei Elementen, dem spärischen Konkavspiegel 12 bzw. 13 und einem Planspiegel 14 bzw. 15. Reibenfolge im Strahlengang 6 und Aufteilung des gesamten UnIenkwinkels einer Umlenkvorrichtung sind für die Elemente einer Umlenkvorrichtung, im dargestellten Ausführungsbeispiel also die Spiegel 12, 14 bzw. 13, 15, nicht wichtig. Dagegen kommt es darauf an, daß a2h kompensierend eingesetzten spärischen Konkavspiegel stets um den gleichen Winkel umlenken. Aufgrund der Orthogonalität der Yaltebenen wirken dann die beiden sphärischen Konkavspiegel 12, 13 derart zusammen, daß die bei jedem einzelnen der Konkavspiegel entstehende elliptische Verzerrung durch den anderen Konkavspiegel wieder entzerrt wird. Der Gaslaser senwingt in einem stabilen Modus, der in den Abschnitten zwischen dem Reflektor 10 und dem Faltbereich 4 sowie dem Auskoppelspiegel ii und dem Faltbereich 5 einen annähernd kreisrunden Strahlquerschnitt hat und auch mit rundem Querschnitt aus dem Auskoupelspiegel 11 austritt.
  • Bei einer erfindungsgemäßen Gaslaser-Ausführung, in der nicht jede Umlenkvorrichtung zwischenfokussierend wirken soll, empfiehlt es sich, daß die einen sphärischen Konkavspiegel enthaltenden Umlenkvorrichtungen im Strahlengang des Laserlichts aufeinanderfolgend angeordnet sind. So wird verhindert, daß der astigmatisch verzerrte Laserstrahl eine unerwünscht große Ausdehnung erlangen kant.
  • Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Sie kann genau so gut bei Gaslasern verwendet werden, die im Verstärkerbetrieb arbeiten. Auch braucht das Entladungsrohr nicht um 1800 gefaltet zu seit, sondern kann - wie bei den sogenannten Ringlasern - zu einem in sich geschlossenen Gebilde geknickt sein.
  • 5 Patentansprüche 2 Figuren

Claims (5)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Gaslaser mit einem aus mehreren gegeneinander gefalteten Abschnitten bestehenden Entladungsrohr und mit optischen, sphärische Konkavspiegel enthaltenen Umlenkvorrichtungen, die zwischen benachbarten Abschnitten des Entladungsrohres in Bereich dessen Faltungen eine Strahlfokussierung und -umlenkung bewirkend angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, das das Entladungsrohr mindestens zweimal in voneinander verschiedenen Ebenen gefaltet ist und die diesen Faltungen zugeordneten Um nkvorricsltungen jeweils nur einen' spärischen Konkavspiegel enthalten.
  2. 2. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkvorrichtungen aus einem sphärischen Konkavspiegel und einem Planspiegel bestehen.
  3. 3. Gaslaser nach einen der Ansprüche 1 - 2, dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen Ebenen, in denen das Entladungsrohr gefaltet ist, jeweils gleiche Winkel miteinander einschließen.
  4. 4. Gaslaser nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß, die verschiedenen Ebenen aufeinanderfolgender Faltungen des Entladungsrohres senkrecht aufeinanderstehen.
  5. 5. Gaslaser nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch eine gerade Anzahl von Faltungen des Entladungsrohres.
DE19722252630 1972-10-26 1972-10-26 Gefalteter gaslaser mit zwischenfokussierung Pending DE2252630A1 (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3330238A1 (de) * 1982-08-23 1984-02-23 Metalworking Lasers International Ltd., Neve Sharett Hochleistungslaser
DE3546210A1 (de) * 1985-12-27 1987-07-02 Gugg Anton Dipl Ing Fh Laserentfernungsmesser
EP0580867A1 (de) * 1992-02-19 1994-02-02 Fanuc Ltd. Laser

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