DE2248194B2 - Mehrkoordinatenmaschine, insbesondere laengenmessmaschine - Google Patents
Mehrkoordinatenmaschine, insbesondere laengenmessmaschineInfo
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Description
XACT = XREF + -Tr
XL
Y
des am Träger (23) befestigten Meßkopfes (24) bezüglich der Bezugsposition entsprechenden elektrischen
Ausgangssignals, wobei X REF= Distanz eine der Säulen, z. B. 17 von Ausgangsposition in
X-Richtung, ΔΧ= Differenz der Distanzen der
beiden Säulen 16 und 17 in X-Richtung, Y= Abstand zwischen den beiden Säulen 16 und 17 (Länge der
Brücke 22), Y'= Position des Trägers 23 mit Meßkopf 24 entlang Brücke 22 in K-Richtung.
2. Mehrkoordinatenmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb der Säulen
16, 17) aus je einer an den Säulen angebrachten reibungsarmen Mutter (31) besteht, welche eine
Schraube (30) aufnimmt, wobei jeder Schraube ein Elektromotor (34) zugeordnet ist.
3. Mehrkoordinatenmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede der drei Meßeinrichtungen
(40, 41, 42) ein elektrisch-optisches System (43, 44) zugeordnet ist, welches sich der
Moire-Streifen bedient.
4. Mehrkoordinatenmaschine nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jedes elektrisch-optische
System (43,44) ein reflektierendes Zahlenraster (43, 47) und ein Einstellraster (50, 51) aufweist,
welches bezüglich des Skalenrasters verlagerbar ist.
5. Mehrkoordinatenmaschine nach Anspruch 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Abschirmung (65, 68)
welche die Bauteile der elektro-optischen Systeme gegenüber den Umgebungsbedingungen beschützt,
um sie im wesentlichen frei von Staub und Schmutz zu halten und gegenüber Fremdlicht abschützen.
Die Erfindung betrifft eine Mehrkooidinatenmaschi ne, insbesondere Längenmeßmaschine, mit einem
Meßkopf od. dgl., 'der an einem auf einem Werktisch befindlichen Werkstück zur Bestimmung der Position
oder der Größe von Öffnungen, Konturen, Vorsprüngen usw. anlegbar ist, wobei der Träger des Meßkopfes
od. dgl. entlang einer von zwei Säulen getragenen Brücke quer über die Breite des Werktisches und die zu
beiden Seiten des Werkstückes angeordneten Säulen längs des Werktisches in zugehörigen Führungen
beweglich sind.
Bei derartigen Maschinen tritt ein ernsthaftes Problem auf, wenn die beiden vertikalen Ständer oder
Säulen unter Präzision entlang der zugehörigen Führungen längs des Werktisches bewegt werden
sollen, um beide Säulen bezüglich einer Bezugsposition unter genau gleichen Abstand entlang der .Y-Achse zu
verlagern. Dieses Problem kann sogar unter Verwendung teurer Präzisionselemente nicht vollständig
ausgeschaltet werden. Selbst wenn die verschiedenen Bestandteile des Antriebs für die Säulen unter
Beachtung von Präzisionstoleranzen gefertigt sind und selbst wenn die Antriebsmotoren präzise synchron
laufen, ist es nicht auszuschließen, daß sich eine der durch die Brücke verbundenen Säulen der Maschine
etwas weniger oder etwas weiter bewegt als, die andere Säule. Dieser Abstand wird gewöhnlich als X-Achsenabstand
bezeichnet. Infolgedessen muß die tatsächliche X-Achsposition des mit der Brücke bewegten Trägers
des Meßkopfes od. dgl. genau bestimmt werden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Mehrkoordinatenmaschine der genannten Art zu
schaffen, bei der die exakte X-Achsenposition des Meßkopfes bestimmt werden kann, wenn dieser entlang
der y-Achse an der von den beiden Säulen getragenen Brücke bewegt wird und sich die die Brücke tragenden
Säulen bei ihrer Bewegung in der -Y-Richtung unterschiedlich verlagern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1
gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfinung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung beseitigt alle Meßfehler, die auf der ungleichmäßigen Verlagerung der beiden Säulen der
Brücke beruhen. Dadurch wird eine höhere Meßgenauigkeit erzielt, gleichzeitig braucht der Führung der
Säulen keine übermäßige Aufmerksamkeit gewidmet zu werden; es können preisgünstigere Führungen eingesetzt
werden. Auch an den Synchronlauf der beiden die Säulen bewegenden Elektromotoren brauchen keine zu
hohen Anforderungen gestellt zu werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigt
Fig. 1 eine teilperspektivansicht einer Meßmaschine gemäß der Erfindung unter schematischer Wiedergabe
des zugeordneten elektronischen Systems;
Fig. 2 eine Perspektivansicht einer elektrisch-optischen Meßeinrichtung, um Positionen relativ zueinander
bewegter Bauteile in elektrische Signale umzuwandeln, F i g. 3 eine geometrische Darstellung des zu lösenden
Problems.
Gemäß Fig. 1 weist die Meßmaschine eine Basis U mit einem durch die Basis getragenen Werktisch 12 auf,
welcher mit mehreren herkömmlichen und parallel verlaufenden T-Schlitzen 13 ausgestattet ist. Diese
Schlitze werden benutzt, um ein Werkstück in herkömmlicher Weise auf dem Werktisch in Position zu
fixieren.
<ί
Die Meßmaschine 10 ist mit einem Paar paralleler horizontaler Führungen 14 und 15 versehen, welche
sich auf gegenüberliegenden Seiten der Meßmaschine erstrecken. Ein Paar Stützen bzw. vertikaler Säulen 16
und 17 sind auf den Führungen 14 und 15 hin- und herbewegbar angeordnet. Jeder Säule 16 und 17 ist eine
untere Endfläche 20 zugeordnet, welche eine nach unten gerichtete, konvexe und im wesentlichen U-förmige
Gestaltung besitzt. Jede Endfläche 20 ist in einer trogähnlichen, U-förmigen Fläche 21 aufgenommen,
welche die zugehörige Führung 14 bzw. 15 bildet. Auf diese Weise kann jede der vertikalen Säulen oder
Stützen 16 und 17 entlang ihrer zugehörigen horizontalen Führungen 14 bzw. 15 geradlinig hin- und herbewegt
werden.
Die Meßmaschine 10 ist zudem mi? einer Brückenkonstruktion 22 ausgestattet, weiche sich zwischen den
oberen Endteilen der vertikalen Säulen 16 und 17 erstreckt und von diesen getragen ist. Die Brückenkonstruktion
welche öfters als Portal bzw. Brücke bezeichnet ist, erstreckt sich im wesentlichen über die
gesamte Breite der Meßmaschine 10. Die Brücke 22 kann gegebenenfalls lösbar an den Säulen 16, 17
befestigt sein. Sie weist einen Träger 23 auf, welcher über die Breite der Meßmaschine an der Brücke 22 hin-
und herbewegbar ist. Der Träger 23 kann unter Verwendung herkömmlicher Geräte im wesentlichen
reibungslos bewegt werden.
Am unteren Ende eines vertikal verschiebbaren Schaftes 25 des Trägers 23 befindet sich ein Fühl- bzw.
Meßkopf 24, welcher vom Träger verschiebbar getragen ist. Der Kopf 24 trägt einen Meßfühler 26,
welcher lösbar am unteren Ende angebracht ist. Der Fühler 26 kann an einem auf dem Werktisch 12
befindlichen Werkstück angelegt werden, um die Position und/oder Größe von Öffnungen, Konturen,
Vorsprüngen etc. des Werkstückes gemäß bekannter Meßverfahren zu bestimmen oder festzustellen.
Die Meßmaschine 10 ist mit einem Antrieb ausgestattet, um die Säulen 16 und 17 entlang ihrer Führungen 14
und 15 zu bewegen. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel wird jede der Säulen 16 und 17 mit Hilfe einer
zugehörigen Präzisionsschraube 30 bewegt, welche in eine reibungslose bzw. reibungsarme Mutter 31
eingeschraubt ist (beispielsweise eine Mutter, welche umlaufende Kugellager verwendet). Die Mutter ist
jeweils an der zugehörigen Säule vorgesehen. Sie ist in axialer Fluchtung mit einer im Durchmesser großen
öffnung 29 der zugehörigen Säule vorgesehen. Die Öffnung 29 gewährleistet, daß die Schraube 30 bei
Drehung die Säule nicht berührt.
An einem Ende der Schraube 30 ist ein Zahnrad 32 fixiert, welches durch ein mit ihr zusammenwirkendes
Zahnrad 33 angetrieben ist. Das Zahnrad 33 ist zu diesem Zweck an der Welle eines reversiblen Elektromotors
34 angebracht, welcher an einem durch die Basis 11 getragenen Rahmen fixiert ist. Das dem Zahnrad 32
entgegengesetzte Ende der Präzisionsschraube 30 ist im wesentlichen reibungslos in einem geeigneten Lager 35
geführt, wodurch die Präzisionsschraube mit Hilfe des reversiblen Elektromotors 34 leicht im Uhrzeigersinn
oder gegen den Uhrzeigersinn gedreht werden kann. Entsprechend der Drehung wird der zugehörigen Säule
16, 17 eine Linearbewegung in bekannter Weise erteilt, da die Mutter 31 an der zugehörigen Säule fixiert ist.
Selbst wenn die verschiedenen Bestandteile des Antriebs für die Säulen unter Beachtung von Präzisionstoleranzen gefertigt sind und selbst wenn die Antriibs-
motoren präzise synchron laufen, ist es nicht auszuschließen, daß sich eine der durch die Brücke
verbundenen Säulen der Maschine etwas weniger oder etwas weiter bewegt als die andere Säule. Dieser
·'> Abstand wird gewöhnlich als X-Achsenabstand bezeichnet. Infolgedessen muß die tatsächliche *-Achsenposition
des mit der Brücke bewegten Trägers des Meßkopfes od. dgl. genau bestimmt werden.
Zur Feststellung der genauen X-Achsenposition des
Zur Feststellung der genauen X-Achsenposition des
i" Meßkopfes 24 bedient sich die Erfindung einer ersten
Meßeinrichtung 40, welche die Position der einen Säule 16 längs der Führung 14 bestimmt. Ferner ist eine zweite
Meßeinrichtung 41 vorgesehen, welche die Position der zweiten Säule 17 längs der Führung 15 bestimmt. Eine
ι -j dritte Meßeinrichtung 42 bestimmt die Lage des Trägers
23 und infolgedessen die Lage des Meßkopfes 24 entlang der Brücke 22. Jede der Meßeinrichtungen 40,
41 und 42 ist mit einem elektrisch-optischen System versehen, welches mit Moire-Streifen arbeitet, um die
2» Relativpositionen der relativ zueinander bewegten Bauteile festzulegen. Die Meßeinrichtung 40—42
werden benutzt, um sowohl die Größe als auch die Richtung der Bewegung der Säule 16 auf der Führung
14, der Säule 17 auf der Führung 15 und des Trägers 23 > entlang der Brücke 22 jeweils für sich zu bestimmen und
anzuzeigen. Die Meßeinrichtungen 40—42 sind im Aufbau und in der Wirkungsweise einander im
wesentlichen gleich.
Jede der Meßeinrichtungen 40 — 42 arbeitet mit einem
JO reflektierenden Skalenraster 43 und einem relativ dazu bewegten Abtastkopf 44 (F i g. 2). Der Abtastkopf 44
erzeugt elektrische Signale, welche über eine elektrische Leitung 45 in einer elektrischen Schaltung 46
gegeben werden. Diese kann einen Auf- und Abzähler
i) aufweisen, um die elektrischen Impulse des Abtastkopfes
44 zu zählen, wie nachfolgend ausführlich erläutert ist.
Das Skalenraster 43 wird durch mehrere im Abstand zueinander befindliche und parallel gerichtete Rasterli-
■)(> nien 47 gebildet, welche sich auf der oberen
reflektierenden Fläche des Skalenrasters befinden. Der Abtastkopf 44 weist seinerseits ein Hinstellraster 50 auf,
welches mit im Abstand zueinander befindlichen und parallel gerichteten Rasterlinien 51 versehen ist. Der
-t") Abtastkopf 44 wird so an der Meßmaschine angebracht,
daß sein Raster 50 parallel zur Oberseite des Skalenrasters 43 und unter einem Abstand von lediglich
einigen Hunderstel Millimeter angeordnet ist. Das Einstellraster 50 ist beispielsweise aus Glas gefertigt, so
■">() daß seine Fläche zwischen den Rasterlinien 51 Licht
hindurch läßt.
Die Rasterlinien 51 des Einstellrasters 50 wirken mit den Skalenrasterlinien 47 zusammen und erzeugen ein
Interferenzmuster, welches als Moire-Streifenmuster bezeichnet ist. Die Art und Weise der Entstehung eines
Moire-Streifenmusters ist als bekannt anzusehen. Auch die Wirkungsweise der zugeordneten Rasterlinien zur
Erzeugung eines derartigen Musters gilt als bekannt.
Der Abtastkopf 44 weist eine Lichtquelle 52 und eine
en Kollimations- bzw. Bildlinse 53 auf, um das Licht auf das
Einstellraster 50 und auf das Skalenraster 43 zu richten. Das Einstellraster 50 ist im Abtastkopf derart gehalten,
daß die Rastcrünien 51 etwas schräg bezüglich der
Rasterlinien 47 des reflektierenden Skalenrasters 43
bj verlaufen. Das den Einstellraster 50 passierende Licht
wird vom reflektierenden Skalenraster 43 zurückgeworfen, wobei die miteinander wirkenden Rasterlinien ein
Moire-Streifenmuster erzeugen. Der Abtastkopf 44 ist
ferner mit vier fotoclcktrischcn Elementen 54 ausgestattet,
welche bei der Radialbewcgung der beiden Raster 43, 50 die Moire-Streifen abtasten. Die !bioelektrischen
Elemente 54 erzeugen ein entsprechendes elektrisches Signal, welches über eine Leitung 45 einer elektrischen
Schaltung 46 zugeführt wird.
Wenn der Abtastkopf 44 mit seinem Einstellraster 50 quer über das zugeordnete Skalenraster 43 bewegt wird,
entstehen mehrere schwarze Streifen, welche sich bei fortgesetzter Bewegung über das Sichtfeld der fotoelektrischen
Elemente 54 verlagern. Jeder Streifen erstreckt sich in bekannter Weise senkrecht zu den Rasterlinicn
51 über das Skalenraster 50, so daß die fotoelektrischen Elemente 54 in entsprechender Weise angeordnet
wurden. Die schwarzen Streifen werden durch die fotoelektrischen Elemente 54 abgetastet und die
entstehenden elektrischen Signale über die Leitung 45 der elektrischen Schaltung 46 zugestellt.
Die Angabe der Bewegungsrichtung der bewegten Säulen 14 und 15 bzw. des Tragers 23 entlang ihrer
Führungen wird in bekannter Weise erhalten, indem der Ausgang eines der fotoelek'.rischcn Elemente 54 des
Abtastkopfes 44 um 90° C bezüglich des Ausgangs eines anderen fotoelektrischen Elements 54 dieses Abtastkopfes
versetzt wird. Dadurch erzeugt eines der fotoelektrischen Elemente 54 ein elektrisches Signal in
Form einer Sinuswelle, während das andere Element ein Signal in Form einer Kosinuswelle erzeugt. Die
Sinus-Kosinus-Wellenbcziehung ermöglicht in bekannter Weise die Bestimmung der Bewegungsrichtung des
Einstellrasters 50 und damit des mit ihm verbundenen Bauteils relativ zum Skalenraster 43. In der elektrischen
Schaltung 46 werden die durch die fotoelektrischen Elemente 54 erzeugten Signale multipliziert, die Signale
in Impulse umgesetzt und diese durch einen herkömmlichen Auf- und Abzähler gezählt, so daß sowohl die
Größe der Bewegung als auch die Bewegungsrichtung des beweglichen Rasters festgestellt werden kann. Die
Schaltung 46 benutzt dabei bekannte impuls-quadriercnde Schaltungen, profilierende Schaltungen etc. Da
dadurch scharf ausgeprägte Impulse erhalten werden.
Die von den drei Meßeinrichtungen 40, 41, 42 kommenden Signale wurden einem elektrischen System
56 über Leitungen 57 zugeführt. Dieses elektrische System 56 erzeugt ein elektrisches Ausgangssignal
(Leitung 61), welches der tatsächlichen Position des am Träger 23 befestigten Meßkopfes 24 bezüglich einer
Bezugsposition entspricht. Die Wirkungsweise des elektrischen Systems 56 ist nachfolgend erläutert.
Selbst mit den besten in der Industrie erhältlichen Geräten ist es praktisch unmöglich, die vertikalen
Ständer bzw. Säulen 16 und 17 um die genau gleiche Entfernung in Richtung der Λ'-Achse entlang ihrer
Führungen 14 und 15 zu bewegen, um entsprechend die X-Achsenposition des am Träger 23 befestigten
Meßkopfes 24 jederzeit zur Verfügung zu haben. Die A'-Achscnposition definiert den horizontalen Abstund
bezüglich einer Bezugslage, /.. B. bezüglich einer senkrecht zu den parallelen Führungen 14 und 15
verlaufenden Ebene. Die V'-Achse verläuft senkrecht zur Λ'-Achse gleichfalls in horizontaler Ebene, während
die /-Achse in vertikaler Ebene verläuft.
I·" i g. 3 zeigt schematisch die Errechnung der tatsächlichen X-Position des am Träger 23 befestigten
Meßkopfes 2'i bezüglich einer Bezugsposition. Die auf den Säulen bzw. Ständern 16 und 17 angebrachte
Brücke 22 besitzt eine Länge V. Wenn eine der Säulen,
/. B. die Säule 17. von einer Ausgangsposition um eine
Distanz X /ü/:Fentlang ihrer Führung bewegt wird und
die andere Säule 16 in gleicher Weise um eine Distanz X /?fc7-"plus eines Zuwachses Δ X bewegt wird, so ist die
tatsächliche Entfernung X/\C7'des Meßkopfcs 24 von
■-, der Bezugsposition unbekannt und hängt von der Position V seines Trägers 23 entlang der Brücke 22 ab
(y-Achse).
Es sei angenommen, daß gemäß F i g. 3 der Meßkopf
24 die Position Y" entlang der Brücke 22 einnimmt.
κι Dann gilt:
XACT = XREF ±
'■' Aus F i g. 3 ergibt sich ferner
.IX
.IX
■*
tan β =
Y '
AB
tan β = -γ;-
Hierbei ist AB die Entfernung, um welche der Meßkopf 24 über die Position XREF hinaus bewegt
wurde.
Aus Gleichung 2 und 3 ergibt sich
ΛΒ-™.
Für die exakte X-Position des Meßkopfes 24 auf der λ'-Achse ergibt sich somit
X ACT = XREF +
Y' IX
Um also die exakte Position auf der X-Achse festzulegen, d. h. den Wert X ACT des Meßkopfes 24,
muß das elektrische System 56 über geeignete elektrische Elemente verfugen, um eine elektrische
Lösung der obengenannten Gleichung vornehmen zu können. Diese Lösung ist ohne weiteres durch bekannte
elektrisch logische Mittel erreichbar. Aus den Signalen der drei Schaltungen 46, die über die elektrischer
Leitungen 57 dem elektrischen System 56 zugeführt werden, erzeugt das elektrische System 56 eil
Ausgangssignal 61, welches den exakten l'ositionswer X ACTdes Meßkopfes 24 und seines Fühlers 26 cntlanj
der X-Achse wiedergibt, wobei dieser bezüglich eine Bezugsebene oder Bezugslinie anzusehen ist welch
senkrecht zu den horizontalen Führungen 14 und 1 steht.
Das Ausgangssignal 61 kann einem geeignete Anzeigegerät zugeführt werden, z. B. einer Anzeigetali
62, welche zur Anzeige von räumlichen Messung».' dient. Die Anzeige kann auf einer optischen Iv \
visuellen Anzeigescheibe bzw. platte und/oder a permanente Aufzeichnung auf einem geeigneten lila
oder einer Karte gemäß herkömmlicher VoHaIm wiedergegeben und festgehalten werden.
Die Meßmaschine 10 besitzt Schutzkörper in For streckbarer und zusammi-nziehharer hakenförmig
Abschirmungen 65 zum Schutz vor Staub und Schmu Die Abschirmungen 65 sind an den entgej-cnr.esei/i
Seiten jeder Säule 16 und "<7 und an nach oben si erstreckenden plattenförmigen Teilen 66 tier Basis
angebracht. Die Abschirmungen werden aus einem geeigneten elastomeren Material gefertigt und können
durch Metallschrauben 67 oder dergleichen lösbar in ihrer Position fixiert werden. Die Abschirmungen 65
schützen die Bestandteile des elektrisch-optischen Systems der Meßeinrichtungen 40 und 41 gegenüber
Schmutz, Staub und verfälschendem Licht etc. Die Meßeinrichtung 42 für den Träger 23 ist in vergleichbarer
Weise mit einer Abschirmung 68 versehen. Die Abschirmung 68 besteht aus einem Paar elastomerer
Körper 70, welche entlang eines Seilenteils an der Träger- bzw. Brückenkonstruktion 22 angebracht sind
und unbefestigte und einander überlappende Kanteniei-Ie
aufweist. Die elastomeren Körper 70 sind so aufgebaut und angeordnet, daß der Träger 23
hindernisfrei entlang der Brücke 22 verschiebbar ist, während die Abschirmung 68 ihre Funktion ausübt.
Im Verlaufe der Beschreibung ist der Antrieb jeder vertikalen Säule der Meßmaschine 10 als unabhängiger
Schraubenantrieb mit einem Elektromotor wiedergegeben, wobei die zum Antrieb dienenden Elektromotoren
gemäß herkömmlicher Verfahren präzise synchronisiert sind. Es können naturgemäß auch andere geeignete
Verfahren benutzt werden, um die Säulen 16 und 17 zu bewegen. Dabei werden primär mechanische Systeme
zum Einsatz gebracht, welche einen einzelnen Motorantrieb und geeignete mechanische Verbindungen wie
Schrauben, Zahnräder etc. aufweisen, um die vertikalen Säulen 16 und 17 entlang ihrer Führungen zu verlagern.
Unabhängig vom verwendeten Antrieb tritt stets das Problem einer präzisen Positionseinstellung des Trägers
und der Säulen entlang ihrer Führung auf, so daß die erfindungsgemäßen Maßnahmen zur genauen Positionsbestimmung
des Meßkopfes 24 immer erforderlich
Die vertikalen Säulen 16 und 17 sind bisher als auf horizontalen Führungen bewegbar wiedergegeben,
welche im wesentlichen U-förmigen Querschnitt besitzen; naturgemäß können auch andere Führungen oder
Schienen vorgesehen sein. Darüber hinaus können die Säulen auf Kugellagern, auf Rollenlagern, auf l.uftleitlagern
oder auf anderen reibungsarmen Lagermiiteln aufgestützt sein.
Die Führungen können auch vertikal ausgerichtet auf einer Mehrkoordinatenmaschine befestigt sein oder
jede gewünschte Winkellage bezüglich der Horizontalebene aufweisen. Die erfindungsgemäßen Maßnahmen
zur exakten Positionsbestimmung des Meßkopfes bezüglich einer Bczugsposition sind in gleicher Weise
anwendbar.
Fs wurde eine Mehrkoordinaleiimaschine beschrieben,
welche sich der erfindungsgemäßen Maßnahmen bedient, um die exakte Position eines einen Meßfühler
26 aufweisenden Meßkopfes 24 bezüglich einer Bezugslage festzustellen und zu bestimmen. Die
erfindungsgemäßen Maßnahmen sind jedoch in gleicher Weise auch auf andere Maschinen anwendbar, /.. B. auf
Werkzeugmaschinen, welche andere Arbeitsteile oder Arbeitsmechanismen aufweisen, wie /.. H. Schneidwerkzeuge
oder dergleichen. Die Merkmale gemäß der Erfindung sind auch auf numerisch gesteuerte Maschinen
jeglicher Bauform anwendbar.
Die zum Bewegen des Trägers 23 entlang der Brückt 22 dienende Vorrichtung wurde vorstehend nichi
erläutert oder dargestellt, es ist aber ersichtlich, dal: jede geeignete Vorrichtung für diesen Zweck anwend
bar ist, einschließlich manueller oder automaiischei
Einrichtungen.
llieivu I HWiH Zeichnungen
Claims (1)
1. Mehrkoordinatenmaschine, insbesondere Längenmeßmaschine, mit einem Meßkopf od. dgl., dei
an einem auf einem Werktisch befindlichen Werkstück zur Bestimmung der Position oder der Größe
von öffnungen, Konturen, Vorsprüngen usw. anlegbar ist, wobei der Träger des Meßkcpfes entlang
einer von zwei Säulen getragenen Brücke quer über die Breite des Werktisches und die zu beiden Seiten
des Werktisches angeordneten Säulen längs des Werktisches in zugehörigen Führungen beweglich
sind, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Meßeinrichtung (40) die Position der einen
Säule (16) längs der Führung (14) bezüglich einer Bezugsposition mißt und ebenso eine zweite
Meßeinrichtung (41) die Position der anderen Säule (17) längs der Führung (15)bezüglich der Bezugsposition
mißt sowie eine dritte Meßeinrichtung (42) die Position des Trägers (23) des Meßkopfes (24) entlang
einer Führung der Brücke (22) bestimmt, und daß die der Positionsverlagerung nach Größe und Richtung
entsprechenden elektrischen Ausgangssignale dreier den Meßeinrichtungen (40, 41, 42) zugeordneten
elektrischen Schaltungen (46) einem elektrischen System (56) zugeführt werden zur Erzeugung eines
der tatsächlichen X-Achsenposition
ίο
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US18565071A | 1971-10-01 | 1971-10-01 |
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DE2248194B2 true DE2248194B2 (de) | 1977-12-15 |
Family
ID=22681883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19722248194 Ceased DE2248194B2 (de) | 1971-10-01 | 1972-10-02 | Mehrkoordinatenmaschine, insbesondere laengenmessmaschine |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3749501A (de) |
JP (2) | JPS4843959A (de) |
CA (1) | CA952300A (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8235 | Patent refused |