DE2240203A1

DE2240203A1 - Mikrowellenpruefgeraet

Info

Publication number: DE2240203A1
Application number: DE2240203A
Authority: DE
Inventors: Peter Patrick Van Keenan
Original assignee: Lockheed Aircraft Corp
Current assignee: Lockheed Martin Corp
Priority date: 1971-08-18
Filing date: 1972-08-11
Publication date: 1973-02-22
Also published as: GB1333907A; US3710243A; JPS4829462A; FR2150189A5; CA960752A

Description

L 386

PATENTAHWAW1S Int. HAMS RUSCHKE

AGULAR 2240203

■"

Lockheed Aircraft Corporation, Burbank / California 91503 (USA)

Mikrowellenprüfgerät

Die Erfindung betrifft allgemein Güteprüf- und Untersuehungsgeräte und im besonderen einen Mikrowelleninduktionsmessex zum Ermitteln von Mangeln und zum Überwachen und Bestimmen der Versetzung und/oder der Dicke eines leitenden Werkstückes, beispielsweise bei der Erzeugung von Blechen und von aus Metallblechen hergestellten Gegenständen.

Der in der nachfolgenden Beschreibung gebrauchte Ausdruck "Mikrowellen¹¹ soll sich auf elektromagnetische Energiewellen beziehen, deren Frequenzen oberhalb von ungefähr 300 Megahertz liegen.

Die Merkmale der Mikrowellen machen diese höchst geeignetet zum berührungslosen Ermitteln von Mangeln und zum Messen der Dicken und Abmessungen von metallischen und von anderen leitenden Materialien. Die Eindringtiefe der Mikrowell'enenergie in Metalle ist so gering (im allgemeinen weniger als ungefähr 1/400 mm), dass sie in der Praxis nicht berückwichtigt zu werden braucht, weshalb die Mikrowellen allgemein auf alle Metalle ansprechen. Mit anderen Worten, die Mikrowellen sind unempfindlich für die

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Zusammensetzung der Metalle. Da weiterhin die Mikrowellen aus ausgestrahlten Wellen bestehen, so sind sie für berührungslose Messungen geeignet.

Bisher wurden bei der Messung von Dimensionen mittels Mikrowellen Signale verwendet, die von der Außenseite des Metalls reflektiert werden, dessen Dicke gemessen werden soll· Aus dem einen oder mehreren der nachstehend angeführten Gründen hatten solche Messungen nur einen begrenzten Erfolgt (1) wird nur eine Beflexionskopplung benutzt, so zeigen die Messgeräte nur eine geringe Empfindlichkeit für Änderungen der Dicke.(2) besteht ein erheblicher Einfluss aus Umweltsbedingungen, wie öl, Wasser, Staub oder ein Oxidfilm an der Metalloberfläche oder eine staubige Umgebungsluft, beispielsweise bei einem Walzwerk und (3) besteht eine Empfindlichkeit für abmessungsmäßige Abweichungen der Bauteile der Messgeräte, so dass kritische Justierungen vorgenommen werden müssen.

Bei dem erfindungsgemäßen Messgerät wird eine Oberflächenwellenkopplung zum Werkstück und eine Ermittlung der Amplitude der ausgesendeten Mikrowellenenergie benutzt. Mit Ausnahme des Umstandes, dass die Trennung der Measköpfe mit der erforderlichen Genauigkeit eingehalten werden muss, weist das Messgerät nach der Erfindung keine kritischen Abmessungen auf, ist im wesentlichen unempfindlich für Abweichungen bei den Bauteilen, und ferner ist die industrielle Fertigung verhältnismäßig einfach und billig durchzuführen.

Die Erfindung wird nunmehr ausführlich beschrieben. In den beiliegenden Zeichnungen ist die

Fig.1 eine Obersicht über eine Ausführungsform des Mikrowelleninduktionsmessgerätes zum Durchführen von Dickenmessungen,

Fig.2 eine schaubildliche Darstellung des Messkopfes und der Modusübertrager bei der Einrichtung nach der Fig.1,

Fig.3 eine graphische Darstellung der Betriebsmerkmale des Messgerätes nach der Fig.1,

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Fig.4 eine schematische Darstellung einer anderen Ausführung eines Mikrowelleninduktionsmessgerätes zum Ermitteln von Materialmängeln,

Fig.5 eine schaubildliehe Darstellung des Messkopfes der in der Fig.4 dargestellten Einrichtung und die

Fig.6 ein Ausschnitt aus einer Darstellung einer anderen Aus-' führung des Modusübertragers, der für die Einrichtungen nach der Fig.1 oder der Fig.4 verwendet werden kann.

Wie in der Fig.1 dargestellt, führt eine geeignete Mikrowellenquelle Mikrowellenenergie durch den Wellenführer 11 einem T-Verzweigungsglied 12 zu, in dem die Energie aufgeteilt und gesondert zwei auf Abstand stehenden Messköpfen 13 und 14 über die Wellenführer 15» 16 zugeführt wird.. Die Ausgänge aus den Messköpfen 15 und 16 werden den betreffenden Mikrowellenamplitudendetektoren 17t 18 über die Wellenfuhrerabschnitte 19, 20 zugeführt. Das Ausgangssignal Vx aus dem Detektor 17 und das Ausgangssignal Ty aus dem Detektor 18 werden zur Multiplikationsschaltung 21 geleitet, die das Produkt aus den beiden Signalen Vx und Vy, nämlich Vxy erzeugt» Ein Summierungsverstärker 22 empfängt das Produkt Vxy und eine Bezugsspannung V ref, die eine besondere Einstellung b des Messgerätes darstellt, die aus dem körperlichen Abstand der Messköpfe 13 und 14 von einander besteht und in der Fig.1 als die Summe von x+y+t dargestellt ist, wobei t gleich der Dicke des Werkstückes 24 ist. Die Differenzspannung (x+y)-b ist ein Maß für die Dicke des Werkstückes, und die diese Dicke darstellende Ausgangsspannung wird einem geeigneten Aufzeichungsgerät 25 und/oder einer Maschinensteuereinheit 26 zugeführt»

Aus'einer negativen Potentialquelle B- wird über ein Potentiometer 27 dem Summierungsverstärker 22 eine Bezugsspannung V ref zugeführt. Der einen Teil des Potentiometers 27 bildende Schleifkontakt 28 wird mittels eines Bedienungsknopfes 29 an der Schalttafel 30 von Hand eingestellt, wobei der gewählte Abstand der Messköpfe ,13 und 14 von einander angezeigt wird.

Die Fig.2 zeigt den Aufbau des Messkopfes 13, und selbstverständlich sind beide Messköpfe 13, 14 einander gleich bei seiten-

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verkehrter Anordnung der Bauteile. Der Messkopf wirkt zusammen' mit dem Werkstück im Untersuchungsbezirk als Wellenführer mit parallelen Platten, wobei das Werkstück als die eine Platte und das Glied 31 des Messkopfes als die andere Platte wirkt. Am Plattenglied 31 ist eine Nut 32 vorgesehen, die die Abgrenzung der Ausbreitung der Mikrowellenenergie durch den Untersuchungsbezirk unterstützt. Diese Nut weist im wesentlichen die gleiche Weite auf wie die Weite der Wellenführerabschnitte 15 und 19. Die Tiefe der Nut 32 ist nicht kritisch, beträgt jedoch ungefähr 1,25 mm für die Mikrowellenenergie im x-Band. Um die Mikrowellenenergie auf den von der Nut 32 gebildeten Pfad weiterhin einzuschränken, und um den Modus zu stabilisieren, nach dem die Mikrowellenenergie durch den Messkopf geleitet wird, ist in der Mitte der Nut 32 eine Längsrippe 33 angeordnet.

Elektromagnetische Mikrowellenenergie kann in einem Wellenführer auf verschiedene Weise weitergeleitet werden. Der sogenannte Grundmodus, der in der Hadartechnilc allgemein benutzt wird, ist der TE₁₀-MOdUS, nach dem die Energie normalerweise in einem rechteckigen Wellenführer weitergeleitet wird, göeich dem dargestellten Wellenführer 15* Die Bezeichnung TE₁q bezieht sich auf eine Form eines elektromagnetischen feldes, wobei der elektrische Feldvektor quer zur Fortpflanzungsrichtung der Welle verläuft (toansvers electric oder TE). Der Zusats bezieht eich auf die Anzahl der Feldveränderungen in der Querebene.

Der Messkopf wirkt zusammen mit einem Werkstück als abgewandelte Form eines Parallelplattenführers oder ^MQuaslnutenführer^w, der die Mikrowellenenergie als eine Variante oder eine verformte Version dee TE₁Q-MOdUs weiterleitet. Im besonderen erfolgt eine schwache Quer- oder Horizontalpolarisation. Um die Mikrowellenenergie vom Eingangswellenführer 15 aus zum Mesekopf 13 wirksam weiterleitet zu können sowie zum Ausgangswellenführer 19» ist die Verwendung von Modusübertragern 34· und 35 erwünscht. Wie aus den Figuren 1 und 2 zu ersehen ist, verlaufen deren Platten 36, 37 und 38, 39 zu einander geneigt und entfernen eich von einander in Richtung zum Untersuchungsbezirk des Messkopfes 13. Wie am besten aus der Fig.2 zu ersehen ist, ist die Platte 37 mit einer Nut 40 versehen, deren Tiefe in Richtung zum Wellen-

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führer 15 größer wird, sowie mit einer flachen Nut 32 am Mesakopfplattenglied 31. Die Platte 39 ist in der gleichen Weise ausgestaltet, wobei die Nut an den Platten 36 und 38 an der Mündung des Messkopfes die liefe Null aufweisen kann. Es wird ferner darauf hingewiesen, dass die längsrippe 32 am Plattenglied 31 sich mindestens zum Teil in den Weg in die Modusübertrager 34 und 35 hineinerstreckt, um die Streuung gering zu halten.

Sowohl die Messköpfe als auch die Modus-Übertrager werden aus einem leitenden Material, vorzugsweise aus Metall hergestellt wie auch die Wellenführerabschnitte 15 und 19, da dies für die Weiterleitung der Mikrowellenenergie erforderlich ist. Jeder Messkopf weist ferner eine Querrippe 41» 42 auf, die allgemein senkrecht zur Wellenfortpflanzung verläuft und im Messkopf befestigt ist, wie am besten aus der Pig.2 zu: ersehen ist. Jede Rippe gleich der Rippe 41 im Messkopf 13 bildet ein induktives Wellenkopplungsfenster mit dem Werkstück, wie in der Fig.1 dargestellt, mit einer Höhe x. Im Messkopf 14 ist die Kopplungsfensterhöhe mit y bezeichnet, die aus dem Abstand der Rippe 42 von dem Werkstück besteht. Diese quer zur Richtung der Energiefortpflanzung verlaufenden Rippen bewirken einen Kurzschluss des elektrischen Feldes, das im Messkopf allgemein parallel zu den Wandungen verläuft und sich in der Mitte der Nut 32 konzentriert. Die Weiterleitung der Energie an den fenstern vorbei erfolgt im wesentlichen allein durch die Magnetfelder, d.h., über Mikrowellenströme an den leitenden Flächen des Messkopfes und des Werkstückes. Nicht oder schlecht leitende Beläge, z.B. öl, Wasser, Oxide, farbe, Papter usw. am leitenden Werkstück, bei denen die Weiterleitung der elektromagnetischen Welle allein über das elektrische feld erfolgt, haben einen vernachlässigbaren geringen Einfluss auf die Wellenführerleitung oder auf die fensterkopplung.

Die Eindringtiefe der Mikrowellenströme in die Oberfläche des leitenden Werkstückes beträgt weniger als 1/400 mm, so dass bei der Dickenmessung eine Genauigkeit in der gleichen Gröi3enordnung erreicht werden kann. Die Messungen sind im wesentlichen unabhängig von der Gestalt des Werkstückes, der Ziiaanuneuaebzunij des Metalls und von der Anwesenheit von OberflächenfiLwen.

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Die tyfikrowellenströme fließen im Mesakopf hauptsächlich quer mit vernachlässigbaren Längskomponenten. Ein an der Wellenftihrerwandung quer verlaufender Spalt unterbricht den Sitromfluss nur wenig oder gar nicht und übt daher auf die fellenfortpflanzung nur einen sehr geringen Einfluss aus. Aufgrund dieses Umstand es braucht zwischen den Modusübertragern und dem Werkstück keine gute elektrische Verkopplung vorgesehen zu werden und auch nicht zwischen den Querrippen 41» 42 und dem zugehörigen mit einer Nut versehenen Plattenglied wie bei 31 im Hesskopf 13·

Die Pig·3 zeigt die Kopplungemerkmale der Wellenfünrerfenster bei den fensterhöhen χ und y in bezug auf die Signaldämpfung in db (Dezibel). Wie aus der graphischen Darstellung zu ersehen ist, wird die Dämpfung stärker, wenn die Fensterhöhe verkleinert wird. Theoretisch wird die Dämpfung unendlich groß bei einer Fensterhöhe von 0. Aufgrund der Streuung würde jedoch die Dämpfung unendlich groß werden bei einer endlichen Fensterhöhe, die unterhalb des Betriebsbereichs der Messvorrichtung in der Praxis liegt.

Da db dem Logarithmus der Signalamplitude, proportional ist, so würde eine Kurve mit konstantem Abfall eine exponentielle Ansprache bedeuten. Ob die in der Fig.3 dargestellte Ansprachekurve 44 nichtlinear verläuft, so besteht doch eine Annäherung an einen geradlinigen Verlauf besonders im 24 db-Bereich, der einer Fensterhöhe von ungefähr 7,8 mm entspricht bei einem Spielraum von mindestens - 1,25 mm. Dies ist für meisten Dicken- und Versetzungs messungen völlig ausreichend bis zu einer Genauigkeit von ungefähr - 0,0125 mm.

Der fast konstante Abfall der in der Fig.3 dargestellten Kurve ermöglicht eine nicht kritische Festsetzung der Fensterhöhen in den Messköpfen beiderseits des Werkstückes. Versuche haben ergeben, dass eine Fensterhöhe von anfangs 0,125 nun im x-Band bei einer Bewegung von 0,5 mm ausreichte für Dickenmessungen mit einer Genauigkeit von ungefähr 0,0075 mm. Die Strecke zwischen den Metallrippen muss natürlich bis zu der geforderten abmessungBinäBigen Genauigkeit stabil bleiben. Die sehr mäßigen Toleranzen ermöglichen den Aufbau von Messgeräten,, die bei Mikrowellenrmiuenzen bis zu 50, 70 und nogur IOC) Gigahertz arbeiten, so dass iitihr kl ΰ L no ide as köpfe verwendet werdun können, mit denen

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Dickenmessungen mit einer Genauigkeit von ungefähr ί 0,00025 mm ausgeführt werden können.

Aus dem steilen Verlauf der Kurve in der Fig. 3 ist zu ersehen, dass die Linienbreitenauflösung der Messköpfe sich der Dicke der Querrippen 41 und 42 annähert, die ungefähr 2,5 mm oder weniger betragen kann, und die um ungefähr einen Faktor 10 kleiner ist als die Wellenlänge der durch das Messgerät geleiteten Mikrowellenenergie. Diese hohe Empfindlichkeit des verkoppelten Signal für die Dicke der Querrippen 41 und 42 ist charakteristisch für eine induktive Blende, und dieses Merkmal ermöglicht die Entwicklung der in der Iig.4 dargestellten Einrichtung zum Ermitteln von Mängeln bei leitenden Werkstücken. Wird anstelle der Messköpfe beiderseits des Werkstückes nur ein Messkopf gleich dem Messkopf 13 in der Fig.1 verwendet, so würde der Ausgang des Detektors 17 die Versetzung des Werkstückes in bezug auf den Messkopf darstellen und die Verwendung einer solchen Einrichtung zum Messen dieser Versetzung ermöglichen.

Werden am Messkopf 52'an derselben Seite des Werkstückes 54 zwei rechtwinklig zu einander angeordneten Nuten 50 und 51 vorgesehen, wie in den Figuren 4 und 5 dargestellt, so kann eine zweidimensionale Stellengröße erreicht werden, die annähernd der Linienbreitenschnittsteile des Messkopfes entspricht. Mit einem solchen Gerät können winzig kleine Risse und Oberflächenunregelmäßigkeiten mit einer Länge von ungefähr 2,5 mm und mit einer Tiefe von ungefähr 0,0025 mm an einem aus Metall bestehenden oder leitenden Werkstück ermittelt werden. Gleich dem Dickenmessgerät nach den Figuren 1 und 2 ist auch dieses.Gerät zum Ermitteln von Mängeln unempfindlich für schlecht leitende Beläge, wie Öl, Wasser, pxide, Farbe, Papier usw. am leitenden Werkstück.

Bei der Schädenermittlungseinrichtung nach den Figuren 5 und 5 sind in der Mitte der Wellenführernuten 50 und 51 Längsrippen 55 und 56 vorgesehen, die einander schneiden und den Betriebsmodus für die Mikrowellenenergie stabilisieren, die über die beiden Kanäle des Messkopfes ausgesendet wird· Die Rippen 55 und 56 bilden zusammen mit dem Werkstück einander schneidende Wellenführerfenster, von denen jedes Fenster in der gleichen Weioe wirkt, wie bei der Querrippe des Dickenmessgerätes nach den

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den Figuren 1 und 2 beschrieben, wobei die Mikrowellenströme nur über die Magnetfeldkopplung weitergeleitet werden. Diese Ströme dringen in die Oberfläche eines leitenden Werkstückes bis zu einer Tiefe von nicht mehr als 0,0025 mm bei Mikrowellenfrequenzen ein. Bei einer Frequenz von 10 Gigahertz, die einer Wellenlänge von ungefähr 3 cm entspricht, beträgt die Eindringtiefe bei Kupfer 0,00075 mm, die mit ansteigender Frequenz kleiner wird.

Wie in den Figuren 4 und 5 dargestellt, wird der Messkopf aus einem Klystron 57 oder aus einer anderen geeigneten Quelle mit Mikrowellenenergie versorgt. Die Weiterleitung der Energie erfolgt über die T-Verzweigung 58 und über die Wellenführerabschnitte 59 und 60 zu den Modusübertragern 61 und 62, die mit je einer der beiden einander schneidenden Nuten" im Messkopf 52 verkoppelt sind. Die Modusübertrager haben die Aufgabe, den Energiemodus im Wellenführer auf den Modus im Messkopf zu transformieren. Am Ausgangsende der beiden Nuten im Messkopf 52 sind zwei gleiche Modusübertrager 64 und 65 angeordnet. Die Mikrowellenströme, die die einander schneidenden Wellenführerfenster in den beiden Kanälen des Messkopfes durchlaufen, werden gesondert zwei Detektoren 66 und 67 zugeführt, die die Amplitude der Energie ermitteln. Der Ausgang aus den beiden Detektoren wird zu einem Spannungsteiler 68 geleitet, wobei das Verhältnis der beiden Spannungen zu einander für die Ermittlung von Mängeln oder Schäden ausgewertet wird_e Ändert sich der Wert dieses Verhältnisses wesentlich, so wird dadurch das Vorliegen von Rissen oder Sprüngen am Werkstück angezeigt, und wie bereits ausgeführt, reicht die Empfindlichkeit der Einrichtung zum Ermitteln von Schäden und Rissen bis zu einer Tiefe von nicht mehr als 0,0025 mm aus.

Die Verwendung eines Spannungsteilers 68 anstelle einer MuItiplikations schaltung bei dem Dickenmessgerät nach den Figuren 1 und 2 bewirkt eine Kompensation einer relativen Bewegung zwischen dem Messkopf und dem Werkstück. Verlaufen die beiden Energiepfade an derselben und nicht an entgegengesetzten Seiten eines Werkstückes, so ist anstelle einer Multiplikation eine Division erforderlich, um einem Kompensation der Bewegung zu

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bewirken. Werden zwei Messköpfe gleich dem Messkopf 52 verwendet, und zwar je ein Messkopf an einer Seite eines Werkstückes, wie bei der Anordnung nach der Fig.1, so kann mit der Einrichtung nach der Erfindung sowohl eine Dickenmessung als auch eine Ermittlung von Schäden in Form von Rissen oder Sprüngen durchgeführt werden.

Die Modusübertrager oder -wandler 61, 62, 64 und 65 können aus der in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführung bestehen; jedoch kann auch stattdessen ein Übertrager oder Wandler nach der Fig»6 verwendet werden, im besonderen zum Versorgen des Messkopfes nach der Fig.4· Bei dem in der Fig.6 dargestellten Modusübertrager entspricht der Wellenführerabschnitt 70 den Wellenführern 59 oder 60 nach der Fig_e4 und leitet die Mikrowellenenergie aus der Eingangskammer 71 durch die Blende 72 in die Ausgangskammer 74, die aus einem kurzen Abschnitt des Wellenführers 75 besteht, der direkt mit der Nut 50 oder 51 im Messkopf in Verbindung steht. Eine Kurzschlussplatte 76 in der Kammer 71 und eine Kurzschlussplatte 77 in der Kammer 74 ermöglichen bei von einander unabhängiger Bewegung (Pfeile 78, 79) eine Abstimmung des Übertragers oder Wandlers, damit von Kammer zu Kammer und zum Messkopf 52 die größte Energie übertragen werden kann.

Bei den verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung wird die Mikrowellenenergie dem Messkopf zugeführt, wobei das leitende Werkstück in der Auswirkung als die eine Wandung eines abgeänderten Parallelplattenwellenführers, während die andere Wandung aus dem mit Nuten versehenen Plattenglied des Messkopfes besteht. Die im Messkopf angeordnete und quer zur Richtung der Fortpflanzung der Energie verlaufende Sippe bildet zusammen mit dem Werkstück ein induktives Kopplungsfenster, das in der Auswirkung das elektrische Feld kurzschließt und nur Magnetfeldströme weiterleitet. Die Amplitude dieser Mikrowellenströme ist eine Funktion der Höhe des Koppluogsfensters, welche Ströme ermittelt und zum Messen der Dicke und zum Ermitteln von Schäden oder Rissen am Werkstück benutzt werden.

Patentansprüche

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Claims

- ίο - Pate nt ansprüche

1. Mikrowelleninduktionsmessgerät zum Untersuchen von leitenden Werkstücken, gekennzeichnet durch eine Mikrowellenenergiequelle, durch mindestens ein leitendes Plattenglied, das mit Abstand allgemein parallel zu einem leitenden blechartigen Material angeordnet ist und einen Wellenführerkopf bildet, der mit der genannten Energiequelle elektrisch verkoppelt ist, wobei die Mikrowellenenergie sich an der Oberfläche des Werkstückes fortpflanzt, durch eine am leitenden Plattenglied befestigte Rippe, die in Richtung zum Werkstück und quer zur Strömung der Mikrowellenenergie verläuft, wodurch ein Wellenführerfenster gebildet wird, und wobei die das genannte Fenster durchlaufende Mikrowellenenergie eine Amplitude aufweist, die im wesentlichen eine Exponentialfunktion des Abstandes der genannten Rippe vom Werkstück ist, und durch Mittel zum Ermitteln der Amplitude der das Fenster durchlaufenden Mikrowellenenergie, wobei die Größe des genannten Abstandes angezeigt wird.

2. Messgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das genannte leitende Plattenglied mit einer Wellenführernut versehen ist, die die Mikrowellenenergie weiterleitet.

3· Messgerät nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine in der Wellenführernut angeordnete Rippe, die in der Längserstreckung der Nut verläuft und den Arbeitsmodus der Mikrowellenenergie stabilisiert.

4. Messgerät nach Anspruch 1, 2 oder 3, gekennzeichnet durch ein Wellenführerübergangsmittel zwischen der Mikrowellenenergiequelle und dem Plattenglied, das die wirksame Überleitung der Energie aus der genannten Quelle zum genannten Wellenführerkopf sichert.

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5. Messgerät nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4» gekennzeichnet durch je ein leitendes Plattenglied beiderseits des leitenden blechartigen Materials, die zwei Mikrowellenenergiepfade bilden, durch Mittel zum gesonderten Ermitteln des Energiepegels der das Wellenführerf.enster in beiden Energiepfaden durchlaufenden Mikrowellen und durch Mittel zum Multiplizieren der ermittelten Energiepegel mit einander, wobei ein Ausgangssignal erzeugt wird, das proportional der-Dicke des leitenden blechartigen Materials ist.

6. Messgerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei

zu einander rechtwinklig verlaufende und einander schneidende Nuten am genannten Wellenführerkopf, welche Nuten zwei Mikrowellenenergiepfade bilden, die mit der genannten Energiequelle verkoppelt sind und die Mikrowellenenergie an der Oberfläche eines Werkstückes weiterleitet, durch einander schneidende Hippen in den Nuten, wobei Wellenführerfenster gebildet werden, die von der Mikrowellenenergie durchlaufen werden, durch Detektormittel zum gesonderten Ermitteln der Amplitude der jedes Fenster durchlaufenden Mikrowellenenergie, und durch Divisionsmittel, mit denen das Verhältnis der Signale zu einander am Ausgang der Detektormittel erhalten und das Vorhandensein von Mängeln am Werkstück festgestellt werden kann.

7. Messgerät nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch je ein Kopfmittel beiderseits eines Werkstückes, durch Divisionsmittel für jedes Koptmittel, und durch Mittel zum Multiplizieren der Ausgänge, aus den Divisionsmitteln mit einander zum"Ermitteln der Dicke eines Werkstückes.

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