DE2218615A1

DE2218615A1 - TURBOMOLECULAR PUMP WITH ROTOR AND STATOR

Info

Publication number: DE2218615A1
Application number: DE19722218615
Authority: DE
Inventors: Karl-Heinz Dipl Phys Dr Mirgel; Hansjoachim Walther
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1972-04-18
Filing date: 1972-04-18
Publication date: 1973-10-31

Description

72.00972.009

LEYBOLD-HERAEUS GMBH, & CO, KG. Koln-BayentalLEYBOLD-HERAEUS GMBH, & CO, KG. Koln-Bayental

Turbomolekularpumpe mit Rotor und "StatorTurbomolecular pump with rotor and "stator

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe, bestehend aus einem in einem Gehäuse angeordneten Stator und einem damit zusammenwirkenden Rotor,The invention relates to a turbo molecular pump, consisting of a stator arranged in a housing and a rotor interacting therewith,

Statoren von Turbomolekularpumpen sind in der Regel in der Weise aufgebaut, daß abwechselnd ein Ring mit nach innen gerichteten Schaufeln und ein Abstandsring übereinander angeordnet sind (vergl, z.B. DT-OS 1 428 239). In die durch die Abstandsringe gebildeten Zwischenräume greifen die Rotorschaufeln ein. Der Rotor besteht dabei ebenfalls aus einzelnen Ringen und der Zusammenbau der Pumpe erfolgt in der Weise, daß abwechselnd ein Rotorschaufelring und ein Statorschaufelring mit dem jeweiligen Abstandsring montiert werden. Bei derartigen Pumpen erfordert die Montage bzw, Demontage sehr viel Zeit, was sich insbesondere bei Reparatur- und Wartungsarbeiten als sehr nachteilig erwiesen hat.Turbomolecular pump stators are usually constructed in such a way that a ring alternates with inwardly directed Blades and a spacer ring are arranged one above the other (see e.g. DT-OS 1 428 239). In through the spacer rings The rotor blades engage in the intermediate spaces formed. The rotor also consists of individual rings and the assembly of the pump takes place in such a way that a rotor blade ring and a stator blade ring alternate be mounted with the respective spacer ring. With pumps of this type, the assembly or disassembly requires a lot of time, which has proven to be very disadvantageous, especially in repair and maintenance work.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekularpumpe zu schaffen, die sehr schnell demontiert bzw, montiert werden kann. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Turbomolekularpumpe, bestehend aus einem in einem Gehäuse angeordneten Stator und einem damit zusammenwirkenden Rotor dadurch gelöst, daß der Stator aus zwei zylindrischen Schalen besteht. Die Schalen sind vorzugsweise als Halbschalen ausgebildet. The invention is based on the object of a turbo molecular pump to create that can be dismantled or assembled very quickly. According to the invention, this object is in a Turbomolecular pump, consisting of a stator arranged in a housing and a rotor that interacts with it solved that the stator consists of two cylindrical shells. The shells are preferably designed as half-shells.

Die Montage einer in der erfindungsgemäßen Weise ausgebildeten Turbomolekularpumpe ist sehr einfach. Die Statorschalen brauchen nach der Montage des Rotors nur noch von der Seite her eingeschoben zu werden. Danach erfolgt die Montage des Gehäuses,The assembly of a turbo molecular pump designed in the manner according to the invention is very simple. The stator shells need after assembly of the rotor only to be pushed in from the side. Then the assembly of the housing takes place,

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- 2 das die Statorschalen zusammenhält,- 2 that holds the stator shells together,

Eine vorteilhafte Weiterbildung besteht darin, daß die Schalen aus einander gegenseitig zentrierenden Ringabschnitten bestehen. Diese können vor der eigentlichen Montage der Pumpe zusammengesetzt werden. Zwischen den Ringabschnitten sind vorzugsweise Kunststoffdichtungen vorgesehen, damit Gasrückflüsse zwischen dem Gehäuse und dem Stator vermieden werden können.An advantageous further development is that the shells consist of mutually centering ring sections. These can be put together before the actual assembly of the pump. Plastic seals are preferably provided between the ring sections so that gas flows back between the housing and the stator can be avoided.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch, die Schalen einstückig auszubilden. Die Herstellung derartiger Schalen ist wesentlich einfacher als z,B. die Herstellung einer Vielzahl von genau bearbeiteten Einzelteilen, die danach zu einer Schale zusammengesetzt werden müssen, Außerdem können dadurch die eventuell gasenden Spalträume auf ein Minimum reduziert werden. Dazu ist es noch vorteilhaft, wenn auch etie zwischen den Berührungsflächen der Schalen Kunststoffdichtungen vorgesehen sind.However, it is particularly advantageous to form the shells in one piece. The manufacture of such trays is essential easier than e.g. the production of a multitude of precisely machined individual parts that are then made into a shell must be put together, in addition, the possibly gassing gap spaces can be reduced to a minimum. In addition, it is also advantageous if etie between the Contact surfaces of the shells plastic seals are provided.

Eine besonders vorteilhafte Maßnahme besteht im Rahmen der Erfindung noch darin, daß auch der Rotor einstückig ausgebildet ist. Abgesehen davon, daß ein solcher Rotor ebenfalls wesentlich einfacher herzustellen ist, besteht der besondere Vorteil der vorgeschlagenen Maßnahme noch darin, daß auch das Auswuchten des Rotors weniger Schwierigkeiten mehr macht.A particularly advantageous measure within the scope of the invention is that the rotor is also made in one piece is. Apart from the fact that such a rotor is also much easier to manufacture, there is a particular advantage the proposed measure still in the fact that the balancing of the rotor makes less difficulties more.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand eines in der Figur dargestellten Ausführungsbeispieles erläutert werden.Further advantages and details of the invention are to be explained on the basis of an exemplary embodiment shown in the figure will.

Die Figur zeigt eine stark vereinfacht dargestellte Ausführung einer Turbomolekularpumpe, bestehend aus dem Gehäuse I₁ den Stator-Schalen 2 und 3 mit den Statorschaufeln 4 bzw. 5 sowie dem Rotor 6 mit den Rotorschaufeln 7, welcher drehbar auf dem Pumpenflansch 8 gehaltert ist. Die Stator-Schalen weisen jeweils noch einen Zentrieransatz 9 bzw, 10 auf, der dem Pumpenflansch 8 entspricht,The figure shows a highly simplified version of a _{turbo molecular pump, consisting of the housing I 1,} the stator shells 2 and 3 with the stator blades 4 and 5, and the rotor 6 with the rotor blades 7, which is rotatably supported on the pump flange 8. The stator shells each have a centering attachment 9 or 10, which corresponds to the pump flange 8,

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Die Montage der dargestellten Pumpe erfolgt in der Weise, daß die Statorschalen 2 und 3 seitlich eingeschoben werden, bis die Zentrieransätze 9 und 10 dem Pumpenflansch 8 anliegen, Die Rotor- und Statorschaufein haben dann die gewünschte Lage zueinander. Danach wird das Gehäuse 1 über die Statorschalen geschoben. Die Abdichtung des Gehäuses gegenüber den Statorschalen erfolgt durch nicht-dargestellte O-Ringe.The assembly of the pump shown takes place in such a way that the stator shells 2 and 3 are pushed in from the side, until the centering lugs 9 and 10 rest against the pump flange 8, the rotor and stator blades then have the desired Position to each other. The housing 1 is then pushed over the stator shells. The sealing of the housing with respect to the stator shells is carried out by means of O-rings (not shown).

Die Statorschale 2 besteht-aus einzelnen Ringen, nämlich den Schaufelringen 11 und den Abstandsringen 12, Die Abstandsringe 12 weisen eine solche Form auf, daß sie sich zueinander zentrieren. Die Statorschalen 3 sowie der Rotor 6 sind einstückig ausgebildet.The stator shell 2 consists of individual rings, namely the blade rings 11 and the spacer rings 12, The spacer rings 12 have such a shape that they are mutually center. The stator shells 3 and the rotor 6 are formed in one piece.

Zur Vermeidung von Gasrückflüssen zwischen dem Gehäuse 1 und den Statorschalen können zwischen den Ringabschnitten 11 und 12 Kunststoffdichtungen vorgesehen sein. Für den Fall, daß beide Statorschalen einstückig' ausgebildet sind, genügt es, wenn die Berührungsflächen 13 und IU abgedichtet sind.To avoid gas backflows between the housing 1 and the stator shells, between the ring sections 11 and 12 plastic seals may be provided. For the In the event that the two stator shells are formed in one piece, it is sufficient if the contact surfaces 13 and IU are sealed are.

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Claims

PATENT

1J turbo molecular pump, consisting of one in a housing arranged stator and a rotor cooperating therewith, characterized in that the Stator consists of two cylindrical shells (2,3) - preferably half-shells.

2, turbo molecular pump according to claim 1, characterized in that the shells (2, 3) mutually separate from one another centering ring sections (11,12) exist.

3, turbo molecular pump according to claim 2, characterized in that that suitable plastic seals are provided between the ring sections (11, 12),

4, turbo molecular pump according to claim 1, characterized in that that the shells (2, 3) are designed in one piece,

5, turbo molecular pump according to one of the preceding claims, characterized in that between the contact surfaces (13,14) of the shells (2,3) plastic ; seals are provided,

6, turbo molecular pump according to one of the preceding claims, characterized in that between the shells (2, 3) and the housing (1) sealing rings are provided.

7, turbo molecular pump according to one of the preceding claims, characterized in that the rotor (6) is constructed in one piece.

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