DE2215132A1 - Bilateraler thyristor - Google Patents
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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Description
SIEIiENS AKTIENGESELLSCHAFT München 2, 2 E MRZ1972
Berlin und München - Wittelsbacherplatz 2
Bilateraler Thyristor
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen bilateralen Thyristor mit einein Halbleiterkörper mit fünf Zonen abwechselnden
Leitungstyps, dessen erste und fünfte Zone einen ersten und einen zweiten Emitter bilden, der die aweite bzw.
vierte Zone nicht vollständig bedeckt, bei dem der erste Emitter auf dem Halbleiterkörper gegenüber dem zweiten Emitter
versetzt angeordnet ist,und mit auf dem ersten und zweiten Emitter angeordneten, auch mit der zweiten bzw. vierten Zone
kontaktierten Elektroden.
Ein solcher bilateraler Thyristor wurde bereits beschrieben. Dieser Thyristor wird im Sprachgebrauch "Triac" genannt.
Diese Bezeichnung wird im folgenden ausschließlich verwendet. Ein Triac ist ein Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterkörper,
in dem ein Normalthyristor und ein in Antiparallelrichtung
geschalteter Antithyristor vereinigt ist. Er hat nur eine einzige Steuerelektrode, mit der der Triac je nach
Polarität der anliegenden Spannung in der einen oder anderen Richtung leitend gesteuert werden kann. An die Steuerelektrode
kann sowohl eine positive als auch eine negative Steuerspannung angelegt werden. Der Triac kann daher als V/echselstromsteller
sowohl für die positive als auch für die negative Halbwelle einer Y/echselspannung verwendet werden. Eine solche Betriebsweise
ist solange unproblematisch, wie die mit dem Triac in Reihe liegende Last rein Ohmschen Charakter hat. Wirkt die Last jedoch
vorwiegend induktiv, so steigt beim Nulldurchgang des Stromes, ' den z. B. der Normalthyristor geführt hat, die Spannung am Triac
steil an. Die hierbei auftretende imstiegsgeschwindigkeit wird Kommutierungs-du/dt genannt. Übersteigt das Kommutierungs-du/dt
einen bestimmten Wert, kommt es zu einer unerwünschten Zündung
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des Antithyristors. Eine Einstellung der dem Verbraucher zugeführten Leistung ist damit unmöglich.
Ein unerwünschtes Zünden des Antithyristors ließe sich zwar
dadurch vermeiden, daß der Uo.raal thyristor und der Antithyristor
soweit auseinandergelegt werden, daß eine gegenseitige Beeinflussung beider Eleraente nicht mehr stattfinden kann.
Es wurde jedoch gefunden, daß je it wachsender Entfernung der zur Zündung des Antithyristors erforderliche Steuerstrom stark
ansteigt.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, einen Triac der eingangs erwähnten Gattung so weiterzubilden,
daß einerseits ein hohes Kommutierungs-du/dt auftreten kann, ohne daß das andere System des Triac in unerwünschter Weise
zündet, daß aber andererseits der erforderliche Steuerstrom
für den Antithyristor des Triac nicht allzu hoch wird.
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß sich erster und zweiter Emitter nicht überlappen und daß die mittlere
12 14- — '6
Zone des Halbleiterkörpers 10 bis 10 Atone cm Gold enthält.
Vorteilhafterweise liegen zwischen dem Abbild des in die vierte Zone projizierten ersten Emitters und dom zweiten Emitter ein
Abstand von höchstens 300/U. Der Abstand kann 0 bis 100/u betragen
/ / IX
und die mittlere Zone des Halbleiterkörpers enthält etwa 10
—"5S
Atome cm Gold.
Atome cm Gold.
Die Erfindung wird an Hand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung
mit den Figuren 1 bis 3 näher erläutert. Ea zeigen: Figur 1 einen Schnitt durch einen Triac mit eingezeichneten
Ladungsträgern,
Figur 2 den Strom- und Spannungsverlauf am Triac bei induktiver
Figur 2 den Strom- und Spannungsverlauf am Triac bei induktiver
Last und
Figur 3 den Schnitt durch einen Triac, bei dem der Abstand des in die untere Zone projizierten ersten Emitters von zweiten Emitter difiniert ist.
Figur 3 den Schnitt durch einen Triac, bei dem der Abstand des in die untere Zone projizierten ersten Emitters von zweiten Emitter difiniert ist.
VPA 9/110/1095 309840/0666 " ' "
In Figur 1 ist der Halbleiterkörper eines Triac gezeigt. Er weist fünf Zonen 1, 2, 3f 4 und 5 abwechselnden Leitungstyps auf. Die Zonenfolge kann s« B. npnpn sein. Die erste
Zone 1 bildet einen ersten Emitter, den Emitter des Normalthyristors. Die fünfte Zone 5 bildet einen zweiten Emitter,
den Emitter des Antithyristors. Der Emitter des Normalthyristors
und die aweite Zone 2 ist mit einer Elektrode 6 bedeckt.
Me Elektrode 6 ist mit einem Anschluß A1 versehen, der die Anode 1 bildet. Die vierte Zone 4 ist mit einer
Elektrode 7 versehen, der mit einem Anschluß A2 verbunden ist. Dieser Anschluß bildet die Anode 2. In der zweiten Zone 2
liegt eine weitere Zone 8, die bei der oben angegebenen Zonenfolge negative Leitfähigkeit hat. Die Zone 8 ist mit einer
Steuerelektrode 9 versehen, die elektrisch auch mit der Zone 2 verbunden ist. Zwischen den Zonen 1 und 2 liegt ein pn-übergang
10, zwischen den Zonen 2 und 3 ein pn-übergang 11, zwischen den Zonen 3 und 4 ein pn-übergang 12 und zwischen den Zonen 4
imd 5 ein pn-übergang 13.
An die Anode A1 wird negatives und an die Anode A2 positives
Potential gelegt. Die Steuerelektrode 9 erhält einen positiven Steuerstrom. Mit den angegebenen Potentialen ist der pn-übergang
11 gesperrt, an ihm fällt die Blockierspannung ab«, Werden in die Zone 2 über die Steuerelelrbroden 9 positive
Ladungsträger injiziert, so zündet der aus den Zonen 1, 2, 3 und 4 bestehende Norinalthyristor. Die mittlere Zone 3 wird damit
von aus der Zone 4 stammenden positiven und aus der Zone 1 stammenden negativen Ladungsträgern überschwemmtΦ Der Weg, d.en
diese Ladungsträger nehmen, ist durch ausgezogene_ Pfeile dargestellt.
Aus der Zone 4 bewegen sich jedoch auch positive und aus der Zone 1 negative Ladungsträger in den Bereich des Antithyristors
hinein. Geht nun der durch den Triac, fließende Strom durch Null, so kommutiert bei induktiver Last die Spannung
sprungartig, und an der Anode Al liegt positive und an der Anode A2 negative Polarität an.
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309840/0666
Diese Vorgänge sind in Figur 2 dargestellt. Die am Triac anliegende Spannung ist mit u und der durch den Triac
fließende Strom mit i bezeichnet. Da der Triac mit einer induktiven Last in Reihe liegt, eilt der Strom der Spannung
um 90° voraus. Zum Zeitpunkt ti wird der Normalthyristor
gezündet. Die Spannung bricht zusammen, der Strom steigt bis zu seinem Scheitelwert an und sinkt dann kontinuierlich bis
auf Null, Der Nulldurchgang des Stroms tritt zur Zeit t2 ein. Hier kommutiert die Spannung auf einen negativen Wert. Diese
Spannung, auch Komiuutierungsspannung genannt, hat zur Folge,
daß die in der Mittelzone 3 im Bereich des Antithyristors gespeicherten
Ladungsträger zur Anode A2 und die gespeicherten negativen Ladungsträger zur Anode A1 abgesaugt werden (gestrichelte
Pfeile). Der hierbei fließende Strom ist dem Kommutierungs-du/dt und der Anzahl der Ladungsträger im Bereich
des Antithyristors proportional. Bei der angegebenen, durch die Kommutierungsspannung bedingten Polarität ist der
pn-Übergang 13 durchlässig. Daher fließen im Bereich des Antithyristors
vorhandene positive Ladungsträger in den zweiten Emitter 5 und verursachen damit eine Injektion von negativen
Ladungsträgern aus dem Emitter 5 in die vierte Zone 4. Die
Absenkung des Potentials auf der Seite der Zone 4 am pn-übergang 12 hat eine Injektion von positiven Ladungsträgern aus
der Zone 2 zur Folge (Gepunktete Pfeile). Ist das Kommutierungsdu/dt und die Anzahl der gespeicherten Ladungsträger groß genug,
zündet der aus den Zonen 5» 4> 3 und 2 bestehende Antithyristor
auch ohne einen äußeren Zündstrom. Der Triac ist damit nicht mehr steuerbar. Der eben erwähnte Vorgang wiederholt
sich beim nächsten Nulldurchgang des Stroms in umgekehrter Richtung. Die Anzahl der gespeicherten Ladungsträger in der
mittleren Zone 3 im Bereich des Antithyristors hängt von dem seitlichen Abstand der Emitter 1 und 5 und von der Lebensdauer
der gespeicherten Ladungsträger ab.
Es wurde nun gefunden, daß diejenige Spannungsanstfgsge-
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schwindigkeit, bei der kein unerwünschtes Zünden eintritt
stark gesteigert werden kann, wenn die Mittelzone 3 des Halbleiterkörpers mit 1012 bis 1014 Atomen cm"5 Gold dotiert"
wird. Dies führt zu einer schnellen Rekombination der aus dem Normalthyri3tor stammenden Ladungsträger im Gebiet des Antithyristors.
Dabei ist wesentlich, daß sich die Emitter 1 und 5 nicht überlappen.
Der Abstand dea in die vierte Zone projezierten ersten Emitters
vom aweiten Emitter sollte 300 /U nicht überschreiten (Fig. 3).
Als zweckmäßig hat sich ein Abstand d von 0 bis 100/U erwiesen.
/ 13 -3
Die Golddotierung der mittleren Zone kann dann etwa 10 cm
Es wurde gefunden, daß durch die angegebenen Golddiffusion
und die Einhaltung der angegebenen seitlichen Abstände der beiden Emitter eine wesentliche Erhöhung der Anstiegsgeschwindigkeit
der Kommutierungsspannung z. B. von 0,5 v//us auf 10 V//US bei 3A/ ms Stromanütieg erzielt werden konnte, ohne
daß der Antithyristor durchzündete. Die angegebene Golddotierung kann man z. B. durch stromloses Vergolden des Halbleiterkörpers
und nachfolgendes Eindiffundieren erzielen. Bei einer Tempera-
tür von etwa 8000O und einer Diffusionszeit von 1 Stunde erhält
man eine Golddotierung der mittleren Zone 3 von etwa 10
-3
Atome cm .
3 Patentansprüche
3 Figuren
3 Figuren
VPA 9/110/1095 309840/0666
Claims (3)
- Patentansprüche/j.))Bilateraler Thyristor rait einem Halbleiterkörper mit fünf Zonen abwechselnden Leitungstyps, dessen erste und fünfte Zone einen ersten und einen zweiten Emitter bilden, der die zweite bzw. vierte Zone nicht vollständig bedeckt, bei dem der erste Emitter auf dem Halbleiterkörper gegenüber dem zweiten Emitter versetzt angeordnet ist und mit auf dem ersten und zweiten Emitter angeordneten auch mit der zweiten und vierten Zone kontaktierten Elektroden, dadurch gekennzeichnet , daß sich erster (1) und zweiter (5) Emitter nicht überlappen, und daß die mittlere Zone (3) des Halbleiterkörpers 10 bis 10 Atome cm Gold enthält.
- 2.) Thyristor nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Abbild des in die vierte Zone (4) projizierten ersten Emitters (1) und dem zweiten Emitter (5) ein Abstand (d) von höchstens 300/U liegt.
- 3.) Thyristor nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichne t , daß zwischen dem Abbild des in die vierte Zone (4) projizierten ersten Emitters (1) und dem zweiten Emitter (5) ein Abstand (d) von 0 bis 100/u liegt und daß die mittlere Zone (3) des Halbleiterkörper 1015 Atome cm~5 Gold enthält.VPA 9/110/1095309840/0866
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