DE2209252C2 - Einrichtung zum Ausrichten eines kleinen plattenförmigen, rechteckigen Werkstückes - Google Patents

Einrichtung zum Ausrichten eines kleinen plattenförmigen, rechteckigen Werkstückes

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    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

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