DE2206995B2 - Vorrichtung zum erwaermen von stoffen mittels gebuendelter elektronenstrahlen im vakuum - Google Patents
Vorrichtung zum erwaermen von stoffen mittels gebuendelter elektronenstrahlen im vakuumInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Erwärmen von Stoffen mittels gebündelter Elektronenstrahlen
im Vakuum, vorzugsweise zum Verdampfen von Stoffen zur Erzeugung dünner Schichten, bestehend
aus einer beheizbaren Katode, Fokussierungsmitteln und elektromagnetischen Ablenkmitteln zur Umlenkung
und Führung des Strahlenbündels auf bogenförmigen Bahnen in einem Winkelbereich von 90° und
größer auf eine Zielfläche, wobei die Ablenkmittel aus mindestens zwei Polschuhsystemen für die Ausbildung
unterschiedlicher Magnetfelder bestehen, von denen das Hauptpolschuhsystem in der Weise ausgebildet ist,
daß dessen Feldstärke mit wachsendem Krümmungsradius der jeweils in einer Ebene verlaufenden bogenförmigen
Elektronenstrahlbahnen abnimmt, und von denen das Hilfspolschuhsystem von der Zielfläche aus gesehen
hinter der Katode angeordnet ist. Eine Vorrichtung dieser Art ist aus der US-PS 34 46 934 bekannt.
Durch die DT-PS 19 36 434 ist ein Elektronenstrahlerzeuger bekannt, der eine längliche Katode besitzt,
von der ein Elektronenstrahl ausgeht, dessen Querschnitt sich am Anfang der bogenförmigen Elahn beträchtlich
von der Kreisform unterscheidet. Die geometrische Anordnung der Polschuhelemente erfüllt bei der
bekannten Anordnung vornehmlich den Zweck, das ursprünglich bandförmige Elektronenstrahlbündel allmählich
in ein solches von im wesentlichen kreisförmigem Querschnitt umzuwandeln. Durch diese und die
ίο US-PS 31 77 535 ist es bekannt, daß man durch die Anwendung
konkaver Magnetfelder bzw. des konkaven Teils eines symmetrischen Mangetfeldes die Konvergenz
von ursprünglich breiten Elektronenstrahlbündeln erzwingen kann.
Durch die US-PS 34 46 934 ist es ferner bekannt, ein Polschuhsystem für die Ablenkung von bogenförmig
geführten Elektronenstrahlen so auszubilden, daß zusammengesetzte bzw. überlagerte Magnetfelder entstehen.
Dabei ist ein besonderes Polschuhsystem von der Zielfläche des Elektronenstrahlbündels aus; gesehen
hinter der Katode angeordnet. Die Achse dieses zusätzlichen Polschuhsystems ist senkrecht angeordnet,
wobei der einzige von dem freien Schenkel des Magnetjochs gebildete Polschuh auf das bandförmige
Elektronenstrahlbündel gerichtet ist. Durch unterschiedliche Erregung des zusätzlichen Polschuhsystems
wird erreicht, daß der Auftreffpunkt des Elektronenstrahlbündels auf der Zielfläche wandert. Die bekannte
Anordnung dient somit zur Steuerung des Elektronenstrahlbündels, d. h. zum Zwecke des Bestreichens eines
größeren Teils der Zielfläche. Die sich gegenüberliegenden Polschuhe bilden dort einen zum Strahlenbündel
hin geöffneten Keil.
Bei den bekannten Elektronenstrahlerzeugern wurde nun beobachtet, daß ein Teil der von der Katode emittierten
Strahlelektronen von den Ablenkmagnetfeldern nicht genügend beeinflußt und auf die Zielfläche gelenkt
wird. Die »verirrten« Strahlelektronen treffen infolgedessen auf Vorrichtungsteile und erzeugen dort
Wärme, die durch besondere Kühleinrichtungen abgeführt werden muß. Dabei läßt sich naturnotwendig
nicht vermeiden, daß dieser Wärmeanteil für den eigentlichen Prozeß verloren ist. Außerdem erfolgt
durch die »verirrten« Elektronen eine Gasdesorption, die insbesondere in Ultrahochvakuumanlageri unerwünscht
ist. Der Hauptgrund für das mangelhafte Konvergieren des Elektronenstrahlbündels ist in diesem
selbst zu suchen. Ohne Vorhandensein eines Ablenkmagnetfeldes würde sich der Elektronenstrahl unter
der Wirkung einer Fokussierungselektrode und einer Beschleunigungsanode geradlinig ausbreiten, wobei
sich jedoch infolge des für eine bestimmte Leistung erforderlichen Katodenquerschnitts kein beliebig kleiner
Strahlquerschnitt erzeugen läßt, der auch noch auf dem gesamten Strahlweg konstant bleibt. Vielmehr stellt
sich durch die abstoßenden Raumladungskräfte im Elektronenstrahl ein schwach divergierendes Bündel
mit endlichem Strahlquerschnitt ein. Wird ein solches Strahlenbündel einem quer zu dessen Achse gerichteten
Magnetfeld ausgesetzt, so wird es je nach der Polschuhausbildung und der Feldstärke mehr oder weniger
stark auf mehr oder weniger kreisbogenförmige Bahnen umgelenkt.
Für die Strahlelektronen in der Symmetrieebene der Umlenkung stellen sich hierbei Elektronenbahnen mit kleinerem und größerem Radius ein. Unter »Radius« bzw. »kreisförmig« sollen im vorstehenden Zusammenhang nicht unbedingt geometrisch exakte Begriffe ver-
Für die Strahlelektronen in der Symmetrieebene der Umlenkung stellen sich hierbei Elektronenbahnen mit kleinerem und größerem Radius ein. Unter »Radius« bzw. »kreisförmig« sollen im vorstehenden Zusammenhang nicht unbedingt geometrisch exakte Begriffe ver-
standen werden. Vielmehr dienen diese Begriffe zur Beschreibung des wesentlichsten Verlaufs von Elektronenstrahlen
bzw. -strahlbündeln. Das Elektronenstrahlbündel ist in bezug auf die der Betrachtung zugrunde
gelegte Symmetrieebene nach beiden Seiten begrenzt, wobei die Begrenzungslinie bzw. -fläche mit dem kleineren
Radius als Innenkante und diejenige mit dem größeren Radius als Außenkante bezeichnet wird.
Für die Strahlelektronen quer zu der angegebenen Symmetrieebene ergeben sich je nach Anordnung des
Polschuhsystems und der Krümmung der magnetischen Feldlinien fokussierende oder defokussierende Kräfte,
die den Strahlquerschnitt senkrecht zur Umlenkebene mehr oder weniger bündeln. Hier kann durch entsprechende
Polschuhformen ein Einfluß ausgeübt werden, wie er vom Stande der Technik her bekannt ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art ein Ablenkmagnetsystem
anzugeben, mit dem die sich ansonsten verirrenden Strahlelektronen ebenfalls so beeinflußt
werden, daß sie zusammen mit den anderen Elektronen unter Bildung eines möglichst kleinen Brennflecks auf
der Zielfläche auftreffen. Die Zielfläche ist dabei gleichzusetzen mit der Oberfläche des zu erhitzenden Gutes.
Die Vermeidung der den bekannten Vorrichtungen anhaftenden Nachteile und die Lösung der gestellten
Aufgabe werden bei der eingangs beschriebenen Vorrichtung dadurch erzielt, daß erfindungsgemäß das
Hilfspolschuhsystem mit zur Ebene der bogenförmigen Bahnen senkrecht ausgerichteter Achse angeordnet ist
und aus zwei spiegelbildlich zu dieser Ebene angeordneten Polschuhen besteht, die mit je einem Polschuh
des Hauptpolschuhsystems in magnetischer Verbindung stehen und deren sich gegenüberliegende Austrittsflächen
der magnetischen Feldlinien einen in Richtung auf das Strahlenbündel geöffneten Keil bilden.
Die Anordnung des Hilfspolschuhsystems »von der Zielfläche aus gesehen hinter der Katode«, bedeutet,
daß das Hilfspolschuhsystem hinter einer durch die Katode in Austrittsrichtung der Elektronen gelegten Symmetrieachse
angeordnet ist. Die durch die Katode gelegte Symmetrieachse verläuft bei haarnadelförmiger
Ausbildung der Katode parallel zu den Schenkeln bzw. Einspannenden und steht damit senkrecht zur Emissionsfläche,
falls diese eben ist. Bei zu einer Spitze gebogener Emissionsfläche verläuft die Symmetrieachse
durch den Scheitelpunkt der Biegung. Bei kreissymmetrischer Ausbildung der Fokussierungselektrode, d. h.
bei Verwendung eines Wehneltzylinder, fällt die Symmetrieachse der Katode mit der Achse des Wehneltzylinders
zusammen. Bei unbeeinflußtem Verlauf der Elektronenstrahlen ist die Symmetrieachse dann auch
mit der Strahlachse identisch.
Der Keilwinkel zwischen den Austrittsflächen schließt in vorteilhafter Weise einen Winkel zwischen
60 und 120°, vorzugsweise zwischen 80 und 100°, ein. Die räumliche Anordnung des Hilfspolschuhsystems ist
in bezug auf die Strahlführung dann besonders günstig, wenn die Flächennormalen der Austrittsflächen des
Hilfspolschuhsystems senkrecht oder annähernd senkrecht zu dem am nächsten liegenden Abschnitt der
Strahlbündelachse verlaufen. Bei einer 180°-Strahlablenkung ist daher das Hilfspolschuhsystem auf etwa '/3
bis 2/3 der Distanz zwischen der Katode und dem Kulminationspunkt
der bogenförmigen Achse des Strahlenbündels angeordnet.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstands und seine Wirkungsweise seien nachfolgend an Hand
der F i g. 1 und 2 näher beschrieben. Es zeigt
F i g. 1 eine Draufsicht auf eine vollständige Vorrichtung mit einer Strahlablenkung von 180°,
F i g. 2 eine Seitenansicht mit teilweiser Wegnahme von sichtbehindernden Bauteilen.
In F i g. 1 ist mit 1 ein wassergekühlter, drehbarer
Tiegel mit vier einzelnen Näpfen 2 bis 5 bezeichnet, deren Mittenachsen auf einem zur Drehachse 6 des
Tiegels konzentrischen Kreis 7 angeordnet sind. Zur
ίο Fokussierung und Umlenkung des Elektronenstrahlbündels
ist ein Paar von blockförmigen Polschuhen 8 und 9 vorgesehen, die mit einer kegelstumpfförmigen
Ausnehmung 10 bzw. 11 versehen sind. Die Mantellinien der kegelstumpfförmigen Ausdrehungen haben
dabei einen solchen öffnungswinkel, daß der bei der Verwendung der Vorrichtung als Elektronenstrahlverdampfer
aufsteigende Dampfstrahl nicht behindert wird bzw. nicht auf den Polschuhflächen kondensiert.
Die Polschuhe 8 und 9 besitzen je eine abgeschrägte Fläche 12 bzw. 13, die zusammen einen etwa V-förmigen
Kanal bilden. Die Polschuhe 8 und 9 mit den Flächen 12 und 13 stellen zusammen das Hauptpolschuhsystem
dar, bei dem die Flächen 12 und 11 eine wesentliche Rolle für die Führung des Elektronenstrahlbündels
spielen. Durch die Ausbildung des Polschuhsystems wird ein Magnetfeld erreicht, dessen Feldstärke in der
Ebene der bogenförmigen Bahnen von der Innenkante des Strahlenbündels zu dessen Außenkante hin abnimmt.
Dies stellt sich gedanklich so dar, daß die Dichte der Feldlinien am Grunde des V-förmigen Kanals am
größten ist, in Richtung auf den Betrachter der F i g. 1 jedoch abnimmt.
In der Darstellung gemäß Fig. 1 nimmt der Napf 2
eine solche Position ein, daß er bzw. sein Inhalt die Zielfläche für ein aus der öffnung 14 austretendes Elektronenstrahlbündel
darstellt. Das Elektronenstrahlbündel wird im Innern einer Strahlerzeugungskammer 15
erzeugt. Die Symmetrieachse der Katode, die zentrisch im Innern der öffnung 14 liegt, ist senkrecht auf den
Betrachter gerichtet.
Mit den Polschuhen 8 und 9 stehen abgewinkelte, zueinander spiegelbildlich angeordnete Bügel 16 und 17
in magnetischer Verbindung, die ein Hilfspolschuhsystem 18 bilden, dessen beide Polschuhe 19 und 20 von
der Zielfläche bzw. dem Napf 2 aus gesehen hinter der Symmetrieachse der Katode bzw. der öffnung 14 liegen.
Die sich gegenüberliegenden Enden der Polschuhe 19 und 20 bilden Austrittsflächen 21 und 22, die einen in
Richtung auf die öffnung 14 geöffneten Keilwinkel ein-
schließen. Der öffnungswinkel beträgt im vorliegenden
Falle 90°.
Die sich innerhalb des Hilfspolschuhsystems ausbildenden Feldlinien sind gestrichelt dargestellt. Ihre
Dichte ist in der Nähe der sich am nächsten gegenüberstehenden Kanten der Polschuhe 19 und 20 am größten
und nimmt in Richtung auf die öffnung 14 allmählich ab. Da das durch die strichpunktierte Linie in F i g. 2
angedeutete Strahlenbündel 23 in Richtung auf den Napf 2 bogenförmig verläuft, ist durch die Ausbildung
der Polschuhe 19 und 20 in F i g. 1 erreicht, daß die Feldstärke in der Ebene der bogenförmigen Bahnen
von der Außenkante des Strahlenbündels zu dessen Innenkante hin abnimmt.
In F i g. 2 sind gleiche Teile wie in F i g. 1 mit gleichen
Bezugszeichen versehen. Innerhalb der Strahlerzeugungskammer 15 befindet sich — hier nur symbolisch
dargestellt — eine elektrisch beheizbare Katode 24, deren Emissionsfläche 25 von einer Fokussierungs-
elektrode 26 in Form eines Wehneltzylinders umgeben ist. Die Symmetrieachse dieser Anordnung fällt mit
dem anfänglichen Verlauf der Achse des Strahlenbündels 23 zusammen. Das Strahlenbündel 23 beschreibt
im wesentlichen einen Kreisbogen und trifft innerhalb des Napfes 2 auf die Zielfläche bzw. das zu beheizende
oder verdampfende Material auf. Die auf Erdpotential liegende Kammerwand 56 ist gleichzeitig Beschleunigungsanode.
Sie enthält die öffnung 14 für den Durchtritt des Elektronenstrahlbündels 23.
Der Tiegel 1 ist um die vertikale Drehachse 6 (Fig. 1) drehbar angeordnet. Zur Herbeiführung der
Drehbewegung dient ein Zahnkranz 27 in Verbindung mit einem nicht dargestellten Ritzel. Der Tiegel ist
hohlwandig ausgeführt und auf einem hohlen Lagerzapfen 28 befestigt, der auch zur Hin- und Rückleitung
der Kühlflüssigkeit dient. Der Lagerzapfen 28 ist an einem Flansch 29 befestigt, der zum Zweck der Austauschbarkeit
verschiedener Tiegelsysteme gegeneinander lösbar an einem Grundrahmen 30 befestigt ist.
Der Grundrahmen 30 ist mit einem im einzelnen nicht dargestellten System von Kühlkanälen versehen, die
die Verbindung zwischen dem Hohlraum des Tiegels 1 und den Kühlmittelzu- und -ableitungen 31 herstellen.
Die intensive Kühlung des Grundrahmens stellt gleichzeitig eine wirksame Wärmeabschirmung für die darunter
angeordnete Magnetspule 32 dar. Diese Magnetspule umschließt das Joch 33 des Hauptpo schuhsystems
8/9. Der vordere Schenkel des Jochs 33 ist zum
Zweck der Einblicknahme in die Vorrichtung fortgelassen, der hintere Schenkel, welcher zum Polschuh 8
führt, wird praktisch vollständig durch den Tiegel 1 verdeckt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Vorrichtung zum Erwärmen von Stoffen mittels gebündelter Elektronenstrahlen im Vakuum,
vorzugsweise zum Verdampfen von Stoffen zur Erzeugung dünner Schichten, bestehend aus einer beheizbaren
Katode, Fokussierungsmitteln und elektromagnetischen Ablenkmitteln zur Umlenkung und
Führung des Strahlenbündels auf bogenförmigen Bahnen in einem Winkelbereich von 90° und größer
auf eine Zielfläche, wobei die Ablenkmittel aus mindestens zwei Polschuhsystemen für die Ausbildung
unterschiedlicher Magnetfelder bestehen, von denen das Hauptpolschuhsystem in der Weise ausgebildet
ist, daß dessen Feldstärke mit wachsendem Krümmungsradius der jeweils in einer Ebene verlaufenden
bogenförmigen Elektronenstrahlbahnen abnimmt, und von denen das Hilfspolschuhsystem
von der Zielfläche aus gesehen hinter der Katode angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet,
daß das Hilfspolschuhsystem (18) mit zur Ebene der bogenförmigen Bahnen senkrecht ausgerichteter
Achse angeordnet ist und aus zwei spiegelbildlich zu dieser Ebene angeordneten Polschuhen (19, 20)
besteht, die mit je einem Polschuh des Hauptpolschuhsystems (8,9) in magnetischer Verbindung stehen
und deren sich gegenüberliegende Austrittsflächen (21, 22) der magnetischen Feldlinien einen in
Richtung auf das Strahlenbündel (23) geöffneten Keil bilden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Keilwinkel, den die Austrittsflächen
(21, 22) für die Feldlinien einschließen, zwischen 60 und 120° beträgt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Keilwinkel, den die Austrittsflächen
(21, 22) für die Feldlinien einschließen zwischen 80 und 100° beträgt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer Strahlablenkung um 180°
das Hilfspolschuhsystem (18) auf etwa Ά bis 2h der
Distanz zwischen Katode (24) und dem Kulminationspunkt der bogenförmigen Achse des Strahlenbündels
angeordnet ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19722206995 DE2206995C3 (de) | 1972-02-15 | Vorrichtung zum Erwärmen von Stoffen mittels gebündelter Elektronenstrahlen im Vakuum | |
GB589473A GB1361771A (en) | 1972-02-15 | 1973-02-06 | Apparatus for heating material by means of a electron beam in a vacuum |
US330177A US3869675A (en) | 1972-02-15 | 1973-02-07 | Heating arrangement with focused electron beams under vacuum |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19722206995 DE2206995C3 (de) | 1972-02-15 | Vorrichtung zum Erwärmen von Stoffen mittels gebündelter Elektronenstrahlen im Vakuum |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2206995A1 DE2206995A1 (de) | 1973-08-23 |
DE2206995B2 true DE2206995B2 (de) | 1976-03-25 |
DE2206995C3 DE2206995C3 (de) | 1976-11-04 |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2849933A1 (de) * | 1977-11-22 | 1979-05-23 | Balzers Hochvakuum | Elektronenstrahlverdampfungseinrichtung fuer vakuumaufdampfanlagen |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2849933A1 (de) * | 1977-11-22 | 1979-05-23 | Balzers Hochvakuum | Elektronenstrahlverdampfungseinrichtung fuer vakuumaufdampfanlagen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2206995A1 (de) | 1973-08-23 |
US3869675A (en) | 1975-03-04 |
GB1361771A (en) | 1974-07-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
E77 | Valid patent as to the heymanns-index 1977 | ||
EGA | New person/name/address of the applicant | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE |