DE2202360B2 - Photographic recording material for the production of intermediate originals and methods for the production of intermediate originals and light masks - Google Patents

Photographic recording material for the production of intermediate originals and methods for the production of intermediate originals and light masks

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DE2202360B2 DE19722202360 DE2202360A DE2202360B2 DE 2202360 B2 DE2202360 B2 DE 2202360B2 DE 19722202360 DE19722202360 DE 19722202360 DE 2202360 A DE2202360 A DE 2202360A DE 2202360 B2 DE2202360 B2 DE 2202360B2
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Description

Sowohl in der graphischen als auch in der elektronischen Technik ist die Verwendung von lichthärtbaren Aufzeichnungsmaterialien allgemein üblich geworden, da sich diese leicht herstellen lassen, sehr gleichmäßig sind, preisgünstig zur Verfugung stehen und auch andere bekannte Vorzüge aufweisen. Während der Fertigung müssen oft Kopien hergestellt werden, die die Verwendung sogenannter Lichtmasken erfordern. Diese Masken werden von einem Original kopiert. Nach einer Arbeitsweise stellt man beispielsweise eine Kopie des Originals auf einem Silberhalogenid-Flachdruc!cfilm her. Dieses Verfahren wird allgemein während der Herstellung gedruckter Schaltungen angewandt. Der Silberhalogenidfilm muß dann gebleicht werden, um die Bilddichte derart zu reduzieren, daß der Verarbeiter durch das Bild hindurch sehen kann, um die Kopie auszurichten, während unter Sicherheitslicht gearbeitet wird. Das hier angewandte Sicherheitslicht ist jenes, das den UV-Anteil ausspart, für den eine photopolymerisierbare Resistmasse empfindlich ist.The use of photohardenable recording materials has become common practice in both graphic art and electronic technology because they are easy to produce, are very uniform, are inexpensive and also have other known advantages. During the production often have copies he made r, which require the use of so-called light masks. These masks are copied from an original. For example, one procedure involves making a copy of the original on flat silver halide printing film. This process is commonly used during printed circuit board manufacture. The silver halide film must then be bleached to reduce the image density so that the processor can see through the image to align the copy while operating under safety light. The safety light used here is the one that leaves out the UV component to which a photopolymerizable resist composition is sensitive.

Gewöhnlich wendet man Gelblicht als Sicherheitslicht an. Unter diesem Licht hindert das schwarze, entwickelte Silber den Verarbeiter daran, durch das Bild zu sehen, um die Kopie auszurichten. Das Bleichverfahren erzeugt jedoch eine braune Farbe, durch die er bequem hindurchsehen kann, während weitere Kopien hergestellt werden. Diese Durchsichtigkeit ist sehr wichtig, da der Verarbeiter oft verschiedene Bildkopien paßgerecht übereinanderlegen muß.
Die dieser Arbeitsweise anhaftenden Nachteile sind offensichtlich. Verschiedene Arbeitsgänge, wie Belichtung, Entwicklung, Bleichung und Waschen, sind erforderlich, um die Maske herzustellen. Sie müssen sämtlich unter Sicherheitslicht für Silberhalogenid ausgeführt werden, das sich wegen der dem photogra-
Usually yellow light is used as a safety light. Under this light, the black, developed silver prevents the processor from seeing through the image in order to align the copy. However, the bleaching process produces a brown color that he can easily see through while making additional copies. This transparency is very important, since the processor often has to superimpose different copies of images so that they fit.
The disadvantages inherent in this procedure are obvious. Various operations such as exposure, development, bleaching and washing are required to make the mask. They must all be carried out under safety light for silver halide, which is due to the photographic

bo phischen Silberhalogenidsystem eigenen Natur von dem Sicherheitslicht für das photopolymerisierbare System unterscheidet. Außerdem sind Löcher als Schädigungen für das Silberhalogenidsystem üblich, wobei ein anschließender Durchgang von ultraviolettem LichtBophic silver halide system inherent in the safety light for the photopolymerizable system differs. In addition, holes are common damage to the silver halide system, with a subsequent passage of ultraviolet light

h5 durch diese Löcher ungewünschte Belichtung in der photopolymeren Kopie hervorruft. Dieses Schadensbild ist z. B. für gedruckte Schaltungen nicht tragbar. Daher müssen häufig viele Masken hergestellt werden, um nurh5 undesired exposure through these holes in the photopolymer copy causes. This damage pattern is z. B. not portable for printed circuits. Therefore Often many masks have to be made just to

eine einzige zu gewinnen, die in jeder Beziehung befriedigt. Außerdem wird bsim Bleichen überschüssiges Silber entfernt, das entweder verloren geht oder aus der Behandlungslösung wiedergewonnen werden muß. Schließlich verwandelt sich auch das gebleichte Bild s nach mehreren Belichtungen in einen stark geschwärzten Zustand zurück, der den Bearbeiter daran hindert eine paßgerechte Oberdeckung sicherzustellen, weshalb die Maske dann verworfen werden muß. Die Anwendung von Masken dieser Art ist daher nur kurze Zeit möglich.a single win that in every relationship satisfied. In addition, the bleaching becomes excess Removes silver that is either lost or must be recovered from the treatment solution. Finally, after several exposures, the bleached image turns into a heavily blackened one State back that prevents the processor from ensuring a fitting cover, which is why the mask must then be discarded. The use of masks of this type is therefore only for a short time possible.

Eine andere Arbeitsweise verwendet sogenannte Lichtmasken für die Herstellung von beispielsweise integrierten Schaltungen mit Hilfe photolithographischer Methoden. Diese Masken werden nach dem is Photoreduktionsverfahren von dem Original kopiert wie bei Madien u.a. beschrieben in »Integrated Circuit Engineering-Basic Technology«, Kapitel 3, 4. Ausgabe (1966), veröffentlicht durch die Boston Technical Publishers, Inc. Die als Masterkopie bezeich- m nete ursprüngliche Zeichnung wird in einer 200- bis lOOOfachen Vergrößerung des tatsächlichen Formats hergestellt und wegen der hohen Herstellungskosten sorgfältig geschützt Kopien dieses Originals werden gewöhnlich auf beispielsweise optisch klaren photogra- 2r> phischen Glasplatten hergestellt die mit einer feinkörnigen Silberhalogenidemulsion von hoher Auflösung beschichtet sind. Wegen der sehr empfindlichen und zerbrechlichen Natur dieser Masken kann nur eine begrenzte Anzahl von Kopien hergestellt werden. Außerdem leiden auch diese Masken unter den schon erwähnten Schädigungen durch Löcher.Another way of working uses so-called light masks for the production of, for example, integrated circuits with the aid of photolithographic methods. These masks are copied from the original using the photoreduction process as described by Madien et al. In "Integrated Circuit Engineering-Basic Technology", Chapter 3, 4th Edition (1966), published by Boston Technical Publishers, Inc. This is referred to as the master copy. m designated original drawing is prepared and in a 200 to lOOOfachen magnification of actual size because of the high manufacturing cost carefully protected copies of the original are generally prepared, for example, optically clear photogra- 2 r> phical glass plates which are coated with a fine grain silver halide emulsion of high resolution . Because of the very delicate and fragile nature of these masks, only a limited number of copies can be made. In addition, these masks also suffer from the damage caused by holes, as mentioned above.

Eine andere im allgemeinen für diese Methode benutzte Maskenart ist bei George und Seaman beschrieben in »Photo-Methods for Industry«, October 1967, S. 66/67. Es handelt sich dabei um Masken vom »Metall-auf-Glas-Typ«, die gewöhnlich dünne Ablagerungen einer Nickel-Chrom-Eisen-Legierung oder von Chrom auf einer Glasunterlage darstellen. Es wird dann eine Photoresistschicht über die Ablagerung aufgebracht und die ursprüngliche Masterkopie nach bekannten, in der Literaturstelle beschriebenen Methoden auf einer Photoresistschicht abgebildet. Der ungehärtete gebliebene Bereich der photopolymerisierbaren Schicht wird durch Lösungsmittelentwicklung ausgewaschen und das Metall bis auf das Glas in diesen Bereichen mit speziellen Ätzlösungen, wie anorganischen Säuren, weggeätzt. Das Verbliebene des gehärteten Photoresists wird dann entfernt und das Metallbild unter Lieferung einer geeigneten Lichtmaske gründlich gereinigt. Die Metallmaske ist der Emulsionsmaske weit überlegen, bedingt durch ihre Härte und ihre Eignung zur weitgehend getreuen Wiedergabe des Originals. Jedoch ist die Herstellung dieser Metallmasken sehr kostspielig, die zu ihrer Herstellung erforderlichen vielen Verfahrensschritte verhindern ihre Anwendung in jenen technischen Bereichen, bei denen die Kosten einen Hauptfaktor darstellen. Diese Metallmasken leiden gleichfalls unter Schädigungen durch Löcher und sind auch relativ undurchlässig für sichtbares Licht, eo weshalb eine gute paßgerechte Registrierung schwierig ist.Another type of mask commonly used for this method is that of George and Seaman described in "Photo-Methods for Industry", October 1967, pp. 66/67. These are masks from "Metal-on-glass type," which are usually thin deposits a nickel-chromium-iron alloy or chromium on a glass base. It will then A layer of photoresist is applied over the deposit and the original master copy is made known, described in the literature methods imaged on a photoresist layer. Of the unhardened remaining area of the photopolymerizable layer is made by solvent development and washed out the metal down to the glass in these areas with special etching solutions, such as inorganic Acids, etched away. What remains of the cured photoresist is then removed and the metal image Thoroughly cleaned with the delivery of a suitable light mask. The metal mask is far from the emulsion mask superior, due to their hardness and their ability to reproduce the original largely faithfully. However, these metal masks are very expensive to manufacture, as are those required to manufacture them many procedural steps prevent their application in those technical areas in which the costs represent a major factor. These metal masks also suffer from damage from holes and are also relatively opaque to visible light, which is why proper registration is difficult is.

Bekannt ist es weiterhin, zur Herstellung von Zwischenoriginalen lichtempfindliche Diazotypiematerialien einzusetzen, siehe hierzu beispielsweise DE-OS e.5 17 72 329. Zwar kann auf diese Weise auf die Mitverwendung von Silbersalzen verzichtet werden, es müssen jedoch andere Nachteile und Begrenzungen in Kauf genommen werden. So ist die Instabilität der auf Basis von Diazoniumverbindungen arbeitenden Diazotypiematerialien allgemein bekannt wodurch beträchtliche Schwierigkeiten in der praktischen Anwendung entstehen. Man weiß darüberhinaus, daß Photomasken auf dieser Basis einen vergleichsweise kleinen Differenzbetrag zwischen D„,„ und Dm« zeigen. Für die Praxis liegt damit die optische Dichte in den Nicht-Bildbereichen verhältnismäßig hoch, während sie in den Bildbereichen vergleichsweise zu niedrig ist Hieraus entstehen dann wiederum Schwierigkeiten bei der Verwendung solcher Lichtmasken.It is also known to use light-sensitive diazotype materials to produce intermediate originals, see for example DE-OS e.5 17 72 329. Although the use of silver salts can be dispensed with in this way, other disadvantages and limitations have to be accepted . The instability of the diazotype materials working on the basis of diazonium compounds is generally known, which gives rise to considerable difficulties in practical use. It is also known that photomasks show a comparatively small difference between D "," and Dm "on this basis. In practice, the optical density in the non-image areas is therefore relatively high, while it is comparatively too low in the image areas. This in turn gives rise to difficulties when using such light masks.

Bekannt sind schließlich mehrlagige photographische Aufzeichnungsmaterialien auf Basis von photopolymerisierbaren Schichten, die aus einem Schichtträger einer photopolymerisierbaren lichthärtbaren Schicht und einer Deckfolie bestehen, wobei zwischen Schichtträger und der photopolymerisierbaren lichthärtbaren Schicht auch eine polymere Zwischenschicht vorgesehen sein kann, vgl. hierzu beispielsweise NL-PS 67 14 36] und DE-AS 12 85 876. Die Verwendung von Farbstoffen in der photopolymerisierbaren Schicht oder auch in der polymeren Zwischenschicht ist vorgeschlagen worden, wobei auch die Mitverwendung UV-Licht absorbierender Farbstoffe bekannt ist Photographische Aufzeichnungsmaterialien mit einem zielgerichteten Aufbau für die Herstellung von Zwischenoriginalen auf Basis solcher photopolymerisierbarer Systeme sind jedoch noch nicht vorgeschlagen worden.Finally, multilayer photographic recording materials based on photopolymerizable materials are known Layers, which consist of a support of a photopolymerizable, photohardenable layer and consist of a cover sheet, with between the support and the photopolymerizable light-curable layer a polymeric intermediate layer can also be provided, see for example NL-PS 67 14 36] and DE-AS 12 85 876. The use of dyes in the photopolymerizable layer or in the polymeric intermediate layer has been proposed, with the use of UV light absorbing Photographic recording materials with a targeted structure for dyes is known the production of intermediate originals based on such photopolymerizable systems are, however not yet proposed.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die für den Stand der Technik aufgezeigten Nachteile zu beseitigen und ein lichthärtbares Material zur Verfügung zu stellen, das sich nach einer einfachen, nur wenig Arbeitsgänge und Kosten erfordernden Methode zu Zwischenoriginalen und Lichtmasken für die Herstellung von Kopien verarbeiten läßt.The invention is based on the object of eliminating the disadvantages indicated for the prior art and to provide a photohardenable material that is easy to use and requires only a few operations and costly method to intermediate originals and light masks for making copies can be processed.

Gegenstand der Erfindung ist dementsprechend in einer ersten Ausführungsform ein photographisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Zwischenoriginalen aus einem Schichtträger, einer darauf aufgetragenen Schicht aus einem makromolekularen organischen Polymeren und mindestens einem Farbmittel, einer photoresist-bildenden Schicht und einer abziehbaren Deckschicht, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die das makromolekulare Polymere enthaltende Schicht mindestens ein im wesentlichen für UV-Licht undurchlässiges, aber für sichtbares Licht durchlässiges Farbmittel enthält und daß die Haftfestigkeit der Deckschicht an der photoresist-bildenden Schicht niedriger ist als die Haftfestigkeit der für UV-Licht undurchlässigen Schicht an ihr, daß die UV-Licht undurchlässige Schicht in Lösungsmitteln löslich ist und daß der Schichtträger transparent ist.Accordingly, in a first embodiment, the invention relates to a photographic one Recording material for the production of intermediate originals from a support, one on top applied layer of a macromolecular organic polymer and at least one colorant, a photoresist-forming layer and a peelable top layer, which is characterized is that the layer containing the macromolecular polymer has at least one essentially for UV light contains impermeable, but transparent to visible light colorant and that the adhesive strength of the The top layer on the photoresist-forming layer is lower than the adhesive strength for UV light impermeable layer on it that the UV light impermeable layer is soluble in solvents and that the support is transparent.

Unter den hier benutzten Begriff »Farbmittel« fallen sowohl Farbstoffe als auch Pigmente, die in der Lage sind, die damit versetzte Schicht des makromolekularen Polymeren gegen die Einwirkung von UV-Licht undurchlässig zu machen.The term "colorant" used here includes both dyes and pigments that are capable of are, the offset layer of the macromolecular polymer against the action of UV light to make impermeable.

Das photographische Aufzeichnungsmaterial der Erfindung entspricht damit dem nachstehenden Aufbau:The photographic recording material of the invention thus corresponds to the following structure:

Deckschicht A
photoresistbildende Schicht (a)
UV-Licht absorbierende Polymerenschicht (b)
Schichtträger B
Top layer A
photoresist-forming layer (a)
UV light absorbing polymer layer (b)
Layer support B

Das mehrschichtige Aufzeichnungsmaterial ist im wesentlichen für aktinisches Licht im sichtbaren BereichThe multilayer recording material is essentially for actinic light in the visible range

des Spektrums transparent, besitzt jedoch wegen des in der UV-Licht absorbierenden Schicht (b) vorliegenden ultravioletten Farbstoffs oder Pigments eine optische Dichte von mindestens 0,5 oder höher, beispielsweise bis etwa 5,0, für jenen Bereich des Spektrums, der ausgenutzt wird, um die Photoiiärtung in Gang zu bringen. Hier handelt es sich um den Bereich zwischen 200 und 500 mu. Die photoresistbildende Schicht und die UV-Licht absorbierende Schicht sollen fest genug aneinanderheften, um einen Bruch oder ein Aufreißen zu vermeiden, wenn die Deckschicht A oder der Schichtträger B von der anliegenden Fläche abgezogen werden.of the spectrum is transparent, but because of the in the ultraviolet dye or pigment present in the UV light absorbing layer (b) is an optical one Density of at least 0.5 or higher, for example up to about 5.0, for that region of the spectrum which is used to get the photohardening going. This is the area between 200 and 500 mu. The photoresist-forming layer and the UV light absorbing layer should be strong enough tack together to avoid breaking or tearing when the top layer A or the Layer support B can be peeled off the adjacent surface.

Eine für lithographisches Arbeiten unter Transparenz geeignete Maske steht zur Verfügung, wenn der Schichtträger B fester an der UV-Licht absorbierenden Schicht (b) haftet als die Deckschicht A an der photoresistbildenden Schicht (a). Man belichtet dann die photoresistbildende Schicht durch die Deckschicht A und zieht A vor der anschließenden Entwicklung durch Auswaschen ab, um eine geeignete Maske auf dem Schichtträger B auszubilden.A mask suitable for lithographic work under transparency is available if the Layer support B adheres more firmly to the UV light absorbing layer (b) than the top layer A to the photoresist forming layer (a). You then expose the photoresist-forming layer through the top layer A and pulls A through before the subsequent development Wash off to form a suitable mask on the substrate B.

Eine gute Lichtmaske kann auch bei umgekehrten Haftfestigkeitsverhältnissen erhalten werden, d. h. wenn der Schichtträger B weniger fest an der UV-Licht absorbierenden Schicht (b) haftet als die Deckschicht A an der photoresistbildenden Schicht (a). Nach Abziehen von B können die verbleibenden drei Schichten auf einen maßhaltigen und starren Schichtträger auflaminiert werden, beispielsweise auf optisches Glas. Nach Auflaminieren und Belichtung wird die Deckschicht A entfernt und die Lösungsmittelentwicklung der Schicht (a) liefert dann die Lichtmaske unter dem Resist.A good light mask can also be obtained with reverse bond strength ratios; H. if the substrate B adheres less firmly to the UV light absorbing layer (b) than the cover layer A. on the photoresist forming layer (a). After peeling off B, the remaining three layers can be applied a dimensionally stable and rigid support can be laminated, for example on optical glass. To Lamination and exposure remove the top layer A and the solvent development of the layer (a) then provides the light mask under the resist.

In beiden Fällen fallen Masken an, die in jeder Beziehung der Wiedergabetreue und Schärfe den nach gängigen Verfahren erhaltenen Masken entsprechen.In both cases there are masks that in every respect of the fidelity and sharpness of the image masks obtained correspond to current methods.

Die auf Basis der Erfindung erhaltenen Zwischenoriginale bzw. Masken haben den großen Vorteil, daß ihre Herstellung im wesentlichen geringere Kosten und erheblich weniger Bedienungsarbeit erfordert. Außerdem sind die Materialien der Erfindung für sichtbares Licht transparent, so daß es der Bedienung ermöglicht wird, bei der Reproduktion von Kopien von diesen Masken eine paßgerechte Registrierung sicherzustellen. Die mit der geringen Bedienungsarbeit zusammenhängenden niedrigen Kosten gestatten einen größeren Spielraum, wenn zufällige Irrtümer oder Mißverständnisse auftreten. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß Zwischenoriginale und Masken zur Verfügung gestellt werden, die verhältnismäßig frei von Löchern sind und andere Schichtbeschädigungen, wie sie mit der Anwendung von Silberhalogenidemulsionen oder Metallmasken einhergehen, nicht aufweisen. Die Masken sind auch wesentlich beständiger gegenüber Rißbildung, wie sie bei normaler Weiterbehandlung auftreten kann. In gleicher Weise sind die Masken beständig gegenüber einem Verblassen und haben dementsprechend eine längere Lebensdauer als die auf der Basis von Silberhalogenidsystemen hergestellten Masken. Darüberhinaus ist das System der Erfindung mit anderen photopolymerisierbaren Systemen verträglich, und man kann bei relativ hellem Sicherheitslicht arbeiten. Dieser Vorzug ist von Bedeutung für die Verarbeiter. Die neuen Materialien können auch unter demselben Sicherheitslicht angewandt werden, das früher zum Einsatz kam.The intermediate originals or masks obtained on the basis of the invention have the great advantage that their Substantially lower cost to manufacture and significantly less operator labor required. aside from that For example, the materials of the invention are transparent to visible light so that it can be operated is to ensure a correct registration when reproducing copies of these masks. The low cost associated with the low manual labor permits a greater one Room for maneuver if accidental errors or misunderstandings arise. Another advantage is that Intermediate originals and masks are made available that are relatively free of holes and other layer damage, such as that with the application of silver halide emulsions or metal masks go hand in hand, not have. The masks are also much more resistant to cracking like they are can occur with normal further treatment. In the same way, the masks are resistant to each other a fading and accordingly have a longer lifespan than those based on Masks made using silver halide systems. Moreover, the system of the invention is with others photopolymerizable systems compatible, and you can work in a relatively bright safety light. This Preference is important to processors. The new materials can also be under the same Safety light that was used earlier can be applied.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform enthält das photographische Aufzeichnungsmaterial der ErfindungIn a preferred embodiment, the photographic recording material of the invention contains

(a) eine lichthärtbare Schicht in inniger Berührung mit(a) a photohardenable layer in intimate contact with

(b) einer Schicht aus einem in Lösungsmitteln löslichen Harz, beispielsweise Polyvinylacetat, mit einer UV-Licht absorbierenden Verbindung in einer Konzentration, die eine Absorption von mindestens 99% des aktinischen Lichts im Bereich des Spektrums von 200 bis 500 πιμ sicherstellt, während die in Form eines dünnen Oberzugs vorliegende Schichtmischung für aktinisches Licht eine optische Dichte von 0,5 oder mehr und vojzugsweise von 1,0 oder mehr aufweist.(b) a layer of a solvent-soluble resin, for example polyvinyl acetate, with a UV light absorbing compound in a concentration that has an absorption of at least 99% of the actinic light in the range of the spectrum from 200 to 500 πιμ ensures, while the layer mixture for actinic light present in the form of a thin coating is an optical one Density of 0.5 or more, and preferably 1.0 or more.

Die Schichten können nach den in der Technik bekannten Methoden aufgebracht oder zusammenlaminiert werden.The layers can be applied or laminated together by methods known in the art will.

Beide Schichten (a) und (b) sind zwischen dem Schichtträger B und der Deckschicht A angeordnet, die aus Polyäthylenterephthalat oder Polyäthylen bestehen. Der Schichtträger und die Deckschicht dienen dazu, sowohl die ultraviolettes Licht absorbierende Schicht als auch die lichthärtbare Schicht zu tragen oder zu schützen. Die vorstehend beschriebenen Materialien können als transparente lithografische Maske benutzt werden, indem man durch die Deckschicht belichtet, die Deckschicht entfernt, das erhaltene Bild entwickelt und die unterhalb des Bildes liegende polymere Schicht auswäscht unter Zurücklassung der Maske auf dem Schichtträger, der der UV-Licht absorbierenden Schicht anliegt. In gleicher Weise kann man die vorstehend beschriebenen Materialien als Lichtmaske anwenden, indem man zunächst den Schichtträger von der UV-Licht absorbierenden Schicht abzieht, die verbliebenen drei Schichten auf einen starren oder stärker maßhaltigen Schichtträger auflaminiert, wobei die UV-Licht absorbierende Schicht dem Schichtträger anliegen soll. Dann belichtet man die fotoresistbildende Schicht mit aktinischem Licht, entfernt die Deckschicht auf der fotoresistbildenden Schicht und entwickelt, wie vorstehend beschrieben, unter Zurücklassung einer Lichtmaske auf dem starren Schichtträger.Both layers (a) and (b) are arranged between the layer support B and the cover layer A, the consist of polyethylene terephthalate or polyethylene. The support and the top layer serve to to wear or to wear both the ultraviolet light absorbing layer and the photohardenable layer protection. The materials described above can be used as a transparent lithographic mask are by exposing through the top layer, removing the top layer, developing the image obtained and the polymeric layer below the image washes out, leaving the mask on the Layer support that rests against the UV light absorbing layer. In the same way one can use the above Apply the materials described as a light mask by first removing the substrate from the UV light absorbing layer peel off the remaining three layers on a rigid or stronger one dimensionally stable support, the UV light absorbing layer being the support should be applied. The photoresist-forming layer is then exposed to actinic light and the top layer is removed on the photoresist layer and developed as described above, leaving a Light mask on the rigid support.

Die polymeren, in Lösungsmitteln löslichen, UV-Licht absorbierenden Schichten verwenden als Bindemittel makromolekulare, organische Polymere, die feste Filme bilden. Beispiele: Polystyrol, Mischpolymere von Vinylidenchlorid und Acrylnitril, Polyacrylate und Polymethacrylate, Polyamide, Polyvinylester. Diese Polymeren können Molekulargewichte im Bereich von 500 bis 150 000 haben und sollen in Lösungsmitteln oder Entwicklerlösungen löslich sein, die im allgemeinen zum Entwickeln von Fotoresists benutzt werden. Beispiele: Methylchloroform, Trichlorethylen, Lösungsmittelgemische, wie solche aus Methylisobutylketon und lsopropanol sowie andere dem Fachmann bekannte Substanzen. Die Erfindung ist nicht notwendigerweise auf jene Lösungsmittel beschränkt, die zur Entwicklung von Fotoresists brauchbar sind, jedoch dürfen die zum Angriff und zur Entfernung der polymeren, UV-Licht absorbierenden Schicht brauchbaren Lösungsmittel auf keinen Fall befähigt sein, die polymerisierten Bereiche des anliegenden lichtgehärteten Bildes aufzulösen. Besonders brauchbare Materialien sind solche, bei denen dasselbe Lösungsmittel angewendet werden kann, um das Fotoresistbild zu entwickeln und gleichzeitig die den UV-Licht absorbierenden Farbstoff oder Pigment enthaltende Polymerisatschicht aufzulösen, wodurch man Bedienungsarbeit einspart.The polymeric, solvent-soluble, UV light absorbing layers are used as binders macromolecular organic polymers that form solid films. Examples: polystyrene, copolymers of vinylidene chloride and acrylonitrile, polyacrylates and polymethacrylates, polyamides, polyvinyl esters. These polymers can have molecular weights in the range of 500 to 150,000 and are said to be in solvents or Soluble developing solutions generally used for developing photoresists. Examples: Methyl chloroform, trichlorethylene, mixed solvents such as those of methyl isobutyl ketone and isopropanol as well as other substances known to the person skilled in the art. The invention is not necessarily limited to that Solvents that are useful for developing photoresists are limited, but are allowed to Attack and solvents useful for removing the polymeric, UV light absorbing layer in no case be able to dissolve the polymerized areas of the adjacent photohardened image. Particularly useful materials are those using the same solvent can to develop the photoresist image and at the same time the dye absorbing the UV light or to dissolve pigment-containing polymer layer, which saves operator work.

Mit den in Lösungsmitteln löslichen polymeren Bindemitteln können zwecks Herstellung der MaskeThe solvent-soluble polymeric binders can be used to produce the mask

alle ultraviolettes Licht absorbierenden Substanzen vermischt oder dispergiert werden. Brauchbare Substanzen sind: 2,3-Dihydroxybenzophenon unc| 2,2'-Dihydroxy-4-methoxy-benzophenon. all ultraviolet light absorbing substances are mixed or dispersed. Usable substances are: 2,3-Dihydroxybenzophenon unc | 2,2'-dihydroxy-4-methoxy-benzophenone.

Da einige lichthärtbare bildliefernde Schichten auch gegen aktinisches Licht gerade unterhalb des UV-Bereiches des Spektrums empfindlich sind und da die meisten UV-Farbstoffe schärfere Grenzpunkte aufweisen, ist es auch zweckmäßig, in die UV-Licht absorbierende Schichten Gelb- oder Orange-Farbstoffe einzuarbeiten, wie Oil Yellow 3G (Colour Index Nr. 29) und Luxol Fast Yellow T (C. I. Nr. 47). Alternativ kann man auch einen einzigen Farbstoff verwenden der sowohl im gelben als auch im ultravioletten Bereich des Spektrums absorbiert. Für die UV-Licht absorbierende Schicht ist es wertvoll, wenn die optische Dichte der aus einer Mischung von ultraviolettem Absorptionsmittel, Farbstoff und Bindemittel bestehende Schicht im aktinischen Bereich eine optische Dichte von mindestens 1,5 bis 5,0 aufweist und einen anschließenden Durchgang des aktinischen Lichts in jenen Spektralbereich verhindert, der angewandt wird, um die Fotopolymerisation zu initiieren, nämlich den Bereich von etwa 200 bis 500 πιμ. Sehr zahlreich sind die lichthärtbaren, lichtempfindlichen Massen und Materialien, die sich für die Herstellung der über die UV-Licht absorbierende Substanz der beschriebenen Art gelegten Schicht eignen unter Lieferung einer Kombination, die das als Maske zu verwendende Bild erzeugt. Zu diesen Massen gehören gleichmäßig vernetzbare, fotohärtbare Materialien entsprechend der US-Patentschrift 35 25 504 und die fotopolymerisierbaren Massen nach der US-Patentschrift 34 69 982. Wie in der US-Patentschrift 35 26 504 beschrieben, vernetzen die Fotoresistmassen, wenn sie mit aktinischem, an ultravioletter Strahlung reichem Licht belichtet werden, und bilden eine harte, polymere Oberfläche in diesen belichteten Bereichen aus. Andere Resist- oder resistartige Schichten sind bei J. K ο s a r beschrieben in »Light-Sensitive Systems«, 1965, veröffentlicht durch John Wiley and Sons. Hierher gehören die sogenannten Cinnamate (vgl. I.e., S. 14Off.). dichromatisierte Kolloide (vgl. I.e., Kapitel 2), und Diazotyp-Verfahren (vgl. l.c, Kapitel 6) sowie viele andere übliche Resistmassen, die im Handel zugänglich und der Fachwelt bekannt sind. Diese Schichten können einzeln auf gesonderte Träger aufgebracht und dann zusammenlaminiert werden oder aufeinanderfolgend übereinandergeschichtet oder extrudiert werden, wonach man sie auf die Schichtträgerfilme aufzieht oder auflaminiert. Auch andere Methoden sind für diesen Zweck möglich. Durch Aufbringen von Haftschichten auf den Schichtträger oder die Deckschicht kann man entweder dem Schichtträger oder der Deckschicht die Eigenschaft verleihen, stärker auf der anliegenden Schicht zu haften als der andere.Since some light-curable image-providing layers also against actinic light just below the UV range of the spectrum are sensitive and since most UV dyes have sharper cutoff points, it is It is also useful to incorporate yellow or orange dyes into the UV light absorbing layers, such as Oil Yellow 3G (Color Index No. 29) and Luxol Fast Yellow T (C.I. No. 47). Alternatively, you can also do one use only dye that absorbs in both the yellow and ultraviolet regions of the spectrum. It is valuable for the UV light absorbing layer if the optical density of the Mixture of ultraviolet absorbent, dye and binder consisting of a layer in the actinic Area has an optical density of at least 1.5 to 5.0 and a subsequent passage of the prevents actinic light in that spectral range that is used to cause the photopolymerization initiate, namely the range from about 200 to 500 πιμ. The photo-curable, photosensitive masses and materials that can be used for the Production of the layer placed over the UV light absorbing substance of the type described suitable with delivery of a combination that creates the image to be used as a mask. To these crowds include uniformly crosslinkable, photohardenable materials according to US Pat. No. 3,525,504 and the photopolymerizable compositions according to US Pat. No. 3,469,982. As in US Pat. No. 3,526,504 described, the photoresist compositions crosslink when exposed to actinic, ultraviolet radiation Light are exposed, and form a hard, polymeric surface in these exposed areas. Other Resist or resist-like layers are described by J. K o sar in "Light-Sensitive Systems", 1965, published by John Wiley and Sons. The so-called cinnamates belong here (cf. I.e., p. 14ff.). dichromated colloids (see I.e., Chapter 2), and Diazo type process (cf. l.c, Chapter 6) as well as many other customary resist materials that are commercially available and are known to those skilled in the art. These layers can be applied individually and then on separate supports are laminated together or sequentially stacked or extruded, whereafter they are drawn or laminated onto the base films. Other methods are also available for this Purpose possible. By applying adhesive layers to the substrate or the top layer, you can give either the support or the top layer the property of being stronger on the adjacent one Layer to adhere than the other.

Beispiele für Bindemittel, die sich für die UV-Licht absorbierende Schicht eignen, sind die folgenden:Examples of binders that are suitable for the UV light absorbing layer are as follows:

Chemisc!«e ZusammensetzungChemical composition Molekular-
gewicht
molecular
weight
Viskosität (Centipoise in ange
gebener Lösung bei 25 °C)
Viscosity (centipoise in ang
given solution at 25 ° C)
Schmelz
punkt
Enamel
Point
(0C)( 0 C) Polystyrol harzPolystyrene resin 15001500 800 (46% in Toluol)800 (46% in toluene) 100100 PolystyrolharzPolystyrene resin 300-400300-400 6000 (80% in Toluol)6000 (80% in toluene) 7575 Mischpolymeres von Vinylidenchlorid
und Acrylnitril
Mixed polymer of vinylidene chloride
and acrylonitrile
- 80 (20% Methyläthyl keton)80 (20% methyl ethyl ketone) -
PolyvinylchloridPolyvinyl chloride -- 40 (20% in Aceton)40 (20% in acetone) -- Polyamid (Schmelzindex von 10° bei 225°C)Polyamide (melt index of 10 ° at 225 ° C) -- -- -15 bis -10-15 to -10 PolyvinylformalPolyvinyl formal 26-34 00026-34,000 -- -- PolyvinylbutyralPolyvinyl butyral 45-55 00045-55,000 -- -- CelluloseacetatbutyratCellulose acetate butyrate -- 98 (15% in Benzol)98 (15% in benzene) -- 90 Mol-% Methylmethacrylat λ
10 Mol-% Methacrylsäure 1
90 mole percent methyl methacrylate λ
10 mol% methacrylic acid 1
30 00030,000 2-Äthoxyäthanol2-ethoxyethanol --
Lineares y-MethylstyrolharzLinear γ-methylstyrene resin - 10 000 bei 1490C
(60% in Toluol)
10,000 at 149 ° C
(60% in toluene)
-
Mischpolymeres von 89,5-91,5%
Vinylchlorid und Vinylacetat als Rest
Mixed polymer of 89.5-91.5%
Vinyl chloride and vinyl acetate as the remainder
- - -
Mischpolymeres von 85—88% Polyvinyl-Mixed polymer of 85-88% polyvinyl -- 70 (15% in Toluol)70 (15% in toluene) --

Chlorid, 0,8-1,2% Maleinsäure,
10% Vinylacetat
Chloride, 0.8-1.2% maleic acid,
10% vinyl acetate

Mischpolymeres von Methylmethacrylat und
Methacrylsäure (pH-Wert = 8)
Mixed polymer of methyl methacrylate and
Methacrylic acid (pH = 8)

Chlorierter Kautschuk mit 30% ChlorChlorinated rubber with 30% chlorine

Mischpolymeres von Vmylpyrolliden undCopolymer of vinyl pyrollids and

StyrolStyrene

PolymethylmethacrylatPolymethyl methacrylate

Polyvinylalkohol (99-100% hydrolysiert)Polyvinyl alcohol (99-100% hydrolyzed)

Mischpolymeres von Vinylpyrollidon undMixed polymer of vinyl pyrollidone and

VinylacetatVinyl acetate

30 000 500 (29,5 bis 31,5 % in Wasser) -30,000,500 (29.5 to 31.5% in water) -

17-25 (25% in Benzol)
1000 (Schmelzviskosität)
17-25 (25% in benzene)
1000 (melt viscosity)

70-1400 (37,5 % in Toluol)
55-65 (4% in Wasser bei 200C)
25 000 (Schmelzviskosität)
70-1400 (37.5% in toluene)
55-65 (4% in water at 20 0 C)
25,000 (melt viscosity)

Nachstehend Beispiele für Ultraviolettfarbstoffe, Ultraviolettabsorptionsmittel und andere Farbstoffe, die in den vorstehend beschriebenen Bindemitteln dispergiert oder mit diesen vermischt werden können:Below are examples of ultraviolet dyes, ultraviolet absorbers and other dyes, which can be dispersed in or mixed with the binders described above:

r> r >

2,2'-Dihydroxy-4-methoxy-benzophenon, 4-Dodecyloxy-2-hydroxybenzophenon, 2,4- Dihydroxybenzophenon,
Hydroxyphenylbenzotriazol,
2,2'-dihydroxy-4-methoxy-benzophenone, 4-dodecyloxy-2-hydroxybenzophenone, 2,4-dihydroxybenzophenone,
Hydroxyphenylbenzotriazole,

2(2'-Hydroxy-5'-methoxyphenyl)-benzotriazol, io2 (2'-Hydroxy-5'-methoxyphenyl) -benzotriazole, io

Resorcinolmonobenzoat,
2-Hydroxy-4-methoxybenzophenon, 2,2'-Dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenon, 2,2'-4,4'-Tetrahydroxybenzophenon, 2-Hydroxy-4-methoxy-benzopheno!i-5-sulfonsäurc 15
Resorcinol monobenzoate,
2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenone, 2,2'-4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxy-benzopheno! I-5-sulfonic acid 15

(auch dessen Natriumsalz),
Äthyl^-cyano^-diphenylacrylat,
2-Äthylhexyl-2-cyano-3,3-diphenylacrylat, Luxol Fast Orange
(also its sodium salt),
Ethyl ^ -cyano ^ -diphenyl acrylate,
2-ethylhexyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, Luxol Fast Orange

(GRL Color Index Nr.25)(Solvent Orange) 20(GRL Color Index No 25) (Solvent Orange) 20

(GS Color Index Nr. 24) (Solvent Orange)(GS Color Index No. 24) (Solvent Orange)

(R Color Index Nr. 20)(Solvent Orange) Plasto Orange(R Color Index No. 20) (Solvent Orange) Plasto Orange

(M Color Index Nr. 21)(Solvent Orange) Oil-Orange 2r>(M Color Index No. 21) (Solvent Orange) Oil-Orange 2 r >

(Color Index Nr. 12 055)(Color Index No. 12 055)

(Solvent Yellow Nr. 14)
Sudan-Orange RA
(Solvent Yellow No. 14)
Sudan Orange RA

(Color Index Nr. 12 055)(Color Index No. 12 055)

(Solvent Yellow N r. 14) jo(Solvent Yellow No. 14) jo

Latyl-Orange 3RLatyl Orange 3R

(Color Index Nr. 26) (Disperse Orange) Capracyl-Orange R(Color Index No. 26) (Disperse Orange) Capracyl-Orange R

(Color Index Nr. 60) (Acid Orange) Luxol Fast Yellow j5(Color Index No. 60) (Acid Orange) Luxol Fast Yellow j5

(G Color Index Nr. 45) (Solvent Yellow)(G Color Index No. 45) (Solvent Yellow)

(TColor Index Nr.47)(Solvent Yellow) Plasto Yellow(TColor Index # 47) (Solvent Yellow) Plasto Yellow

(GRColor Index Nr. 39) (Solvent Yellow)(GRColor Index No. 39) (Solvent Yellow)

(MGS Color Index Nr.40)(Solvent Yellow) 40(MGS Color Index No. 40) (Solvent Yellow) 40

Oil-YellowOil-Yellow

(3G Color Index Nr. 29) (Solvent Yellow)(3G Color Index No. 29) (Solvent Yellow)

(N Color Index Nr. 2)(Solvent Yellow) Sudan-Yellow(N Color Index No. 2) (Solvent Yellow) Sudan Yellow

(Color Index Nr. 30)(Solvent Yellow) 45(Color Index No. 30) (Solvent Yellow) 45

Latyl-YellowLatyl-Yellow

(3G Color Index Nr. 54)(Disperse Yellow) Latyl-Orange(3G Color Index No. 54) (Disperse Yellow) Latyl Orange

(NSTColor Index Nr. 25) (Disperse Orange) Capracyl-Yellow 50(NSTColor Index No. 25) (Disperse Orange) Capracyl-Yellow 50

(N Color Index Nr. 113) (Acid Yellow) Latyl-Yellow(N Color Index No. 113) (Acid Yellow) Latyl-Yellow

" (YWL Color Index Nr. 42) (Disperse Yellow) Capracyl-Yellow"(YWL Color Index No. 42) (Disperse Yellow) Capracyl-Yellow

(NW Color Index N r. 113) (Acid Yellow) 55(NW Color Index No. 113) (Acid Yellow) 55

Capracyl-OrangeCapracyl Orange

(R Color Index Nr. 60) (Acid Orange) Bakcar-Yellow(R Color Index No. 60) (Acid Orange) Bakcar-Yellow

(CY Color Index Nr. 75) (Disperse Orange) Yellow 60(CY Color Index No. 75) (Disperse Orange) Yellow 60

(2G Color Index N r. 3) (Disperse Yellow) Primrose-Yellow(2G Color Index No. 3) (Disperse Yellow) Primrose Yellow

(Color Index Nr. 77 603) (Pigment) Chrome-Yellow light(Color Index No. 77 603) (pigment) Chrome-Yellow light

(Color Index Nr. 77 603) (Pigment) 65(Color Index No. 77 603) (pigment) 6 5

Chrome-Yellow MediumChrome-Yellow Medium

(Color Index Nr. 77 600) (Pigment) Dispergiertes Mangandioxyd(Color Index No. 77 600) (pigment) Dispersed manganese dioxide

Toluidine-YellowToluidine Yellow

(GWCo1orIndexNr.71 680)(Pigment)
Molybdate-Orange
(GWCo1orIndex No. 71 680) (pigment)
Molybdate Orange

(Color Index Nr. 77 605)(Pigment)
Dalamar-Yellow
(Color Index No. 77 605) (pigment)
Dalamar Yellow

(ColorlndexNr.il 741)(Pigment)
Green-Gold
(Colorlndex No.il 741) (pigment)
Green gold

(Color Index Nr. 12 775)(Pigment)
Graphtol-Yellow
(Color Index No. 12 775) (pigment)
Graphtol Yellow

(Color Index Nr. Pigment Yellow Nr.61)
Graphtol-Orange
(Color Index No. Pigment Yellow No. 61)
Graphtol orange

(Color Index Nr. Pigment Orange Nr. 13)
Victoria Pure Blue
(Color Index No. Pigment Orange No. 13)
Victoria Pure Blue

(BO Color Index Nr. 42 595)(BO Color Index No. 42 595)

Die Erfindung wird durch die nachstehenden Beispiele veranschaulicht:The invention is illustrated by the following examples:

Beispiel 1example 1

Es wurden die nachstehenden beiden Lösungen A und B hergestellt:The following two solutions A and B were prepared:

Lösung ASolution a

(zur Verwendung bei der Herstellung der
UV-Licht absorbierenden Schicht)
(for use in making the
UV light absorbing layer)

g 15% Acrylsäurehydrosol in Wasser, das ein Terpolymeres darstellt, hergestellt von 55% Methylmethacrylat, 40% Äthylacrylat und 5% Acrylsäure, Feststoffgehalt: 30 Gew.-% mit einer Teilchengröße von 0,01 bis 0,05 Mikron
95 g Capracyl-Yellow NW, Color Index Nr. 113
95 g Capracyl-Orange R, Color Index Nr. 60
35 g Bakcar-Yellow CY, Color Index Nr. 75
50 g Yellow 2G, Color Index Nr. 3
g Wasser.
g 15% acrylic hydrosol in water which is a terpolymer made from 55% methyl methacrylate, 40% ethyl acrylate and 5% acrylic acid, solids content: 30% by weight with a particle size of 0.01 to 0.05 microns
95 g Capracyl-Yellow NW, Color Index No. 113
95 g Capracyl-Orange R, Color Index No. 60
35 g Bakcar-Yellow CY, Color Index No. 75
50 g Yellow 2G, Color Index No. 3
g of water.

Diese Mischung wurde 1 Std. durchgerührt und dann folgende Bestandteile zugefügt:This mixture was stirred for 1 hour and then the following ingredients were added:

20 g Trimethylolpropantriacrylat
5 g konz. Natriumlaurylsulfat
20 grams of trimethylol propane triacrylate
5 g conc. Sodium lauryl sulfate

(10% in Wasser)
10gl0%ige wäßrige Lösung eines fluorierten Kohlenwasserstoffs nachstehender chemischer Struktur:
(10% in water)
10% aqueous solution of a fluorinated hydrocarbon with the following chemical structure:

^C8F17-SO2-N CH2 C-O j K"^ C 8 F 17 -SO 2 -N CH 2 CO j K "

Lösung BSolution b

(zur Verwendung bei der Herstellung
der Fotoresistschicht)
(for use in manufacturing
the photoresist layer)

g Mischpolymeres von Methylmethacrylat (90g copolymer of methyl methacrylate (90

Mol-%) und Methacrylsäure (10 Mol-%)
24gDimeres von o-Chlorphenyl-4,5-bis-(m-methoxyphenyl)-imidazol
Mol%) and methacrylic acid (10 mol%)
24g dimers of o-chlorophenyl-4,5-bis- (m-methoxyphenyl) -imidazole

12 g 4,4'-bis-{Dimethylamino)-benzophenon
72 g Mischester von Triäthylenglykol-dicaproat und -dicaprylat
12 grams of 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone
72 g mixed esters of triethylene glycol dicaproate and dicaprylate

g Trimethylolpropantriacrylat
g 2-{2-Äthoxy)-äthanol
g Trichlorethylen
g trimethylol propane triacrylate
g 2- {2-ethoxy) ethanol
g trichlorethylene

Viskosität: 16 Cps bei 25" C.Viscosity: 16 cps at 25 "C.

Die Lösung A wurde maschinell auf einen 0,18 mm dicken klaren Schichtträger aus Polyäthylenterephthalat aufgebracht, der auf einer Seite eine Haftschicht aus einem Harz trug und entsprechend den Angaben des Beispiels IV der US-Patentschrift 27 79 684 hergestelltSolution A was applied by machine to a 0.18 mm thick clear film support made of polyethylene terephthalate applied, which had an adhesive layer made of a resin on one side and according to the specifications of the Example IV of US Pat. No. 2,779,684

worden war. Lösung A wurde auf die mit der Haftschicht ausgestattete Seite aufgeschichtet unter Verwendung einer in der Fachwelt bekannten Luftbürste. Nach dem Erhitzen und Trocknen wurde über die Schicht A die Lösung B aufgebracht und das dann vorliegende Produkt in gleicher Weise mit einem 0,019 mm dicken, klaren, biaxial orientierten und in der Hitze formfest gemachten Polyäthylenterephthalatfilm laminiert unter Ausbildung eines dem vorstehend beschriebenen Aufbau entsprechenden Materials. Dabei ist A das biaxial orientierte und formfest gemachte Polyäthylenterephthalat, (a) ist eine fotopolymerisierbare, mit der Lösung B hergestellte, in der Trockene 0,0025 mm dicke Schicht, (b) ist die UV-Licht absorbierende Schicht aus der Lösung A, die gleichfalls im trocknen Zustand 0,0025 mm dick ist, während B den mit einer Haftschicht ausgestatteten Polyäthylenterephthalatfilm bezeichnet. Das Produkt wurde 2 Min. mit einem Kohlebogen-Belichtungsgerät belichtet. Abstand: 45,7 cm. Belichtet wurde durch ein Testbild, das aus einer Bleistiftzeichnung bestand, die eine gedruckte Schaltung nachbildete. Nach dem Abstreifen der Deckschicht A wurde das auf (a) gebildete Fotoresistbild in der folgenden Lösung entwickelt:had been. Solution A was coated on the side provided with the adhesive layer under Use of an air brush known to those skilled in the art. After heating and drying, the Layer A applied the solution B and the then present product in the same way with a 0.019 mm thick, clear, biaxially oriented polyethylene terephthalate film which has been made dimensionally stable in the heat laminated to form a material corresponding to the structure described above. Included A is the biaxially oriented and dimensionally stable polyethylene terephthalate, (a) is a photopolymerizable, layer produced with solution B, 0.0025 mm thick when dry, (b) is the UV light absorbing Layer of solution A, which is also 0.0025 mm thick in the dry state, while B has the polyethylene terephthalate film provided with an adhesive layer. The product was 2 min. With a Carbon arc exposure device exposed. Distance: 45.7 cm. Was exposed through a test image that made consisted of a pencil drawing that recreated a printed circuit board. After stripping the Cover layer A, the photoresist image formed on (a) was developed in the following solution:

60 ml 2-(2-Butoxy)-äthanol
2 ml Octylphenoxyäthoxyäthanol
66,5 g Natriumsilikatlösung(60% Feststoffe in Wasser) Rest: Wasser zu 1 Liter.
60 ml 2- (2-butoxy) ethanol
2 ml octylphenoxyethoxyethanol
66.5 g sodium silicate solution (60% solids in water) Remainder: 1 liter of water.

Diese Lösung entwickelte nicht nur das Fotoresistbild auf dem Fotopolymeren, sondern löste auch die polymere, UV-Licht absorbierende Schicht in den identischen Bereichen unterhalb des Bildes auf unter Erzeugung eines gelb gefärbten, exakten, sauberen Zwischen-Originals, das für die Herstellung weiterer Kopien brauchbar war.This solution not only developed the photoresist image on the photopolymer, but also dissolved that polymeric, UV light absorbing layer in the identical areas below the image on below Creation of a yellow-colored, exact, clean intermediate original, which is used for the production of further Copies was usable.

Beispiel 2Example 2

Nachstehende Lösungen A und B wurden hergestellt: Lösung AThe following solutions A and B were prepared: Solution A

1000 g Polyvinylacetat mit einer Viskosität von 13 bis 18 Cps in Form einer 8,6%igen Lösung in Benzol bei 20° C1000 g of polyvinyl acetate with a viscosity of 13 to 18 cps in the form of an 8.6% solution in benzene at 20 ° C

60 g eines Terpolymeren, hergestellt durch Umsetzung von 1200 g Methylmethacrylat, 50 g Methacrylsäurenitril und 500 g Methacryloxypropyltrimethoxysilan mit einem Molekulargewicht von 15 700 (Analyse: 1,03% N und 3,15% SiO2)60 g of a terpolymer, produced by reacting 1200 g of methyl methacrylate, 50 g of methacrylic acid nitrile and 500 g of methacryloxypropyltrimethoxysilane with a molecular weight of 15,700 (analysis: 1.03% N and 3.15% SiO 2 )

100 g Trimethylolpropantrimethacrylat
100 g 2,2'-Dihydroxy-4-methoxybenzophenon
100 g Luxol Fast Yeitow-T,Colour Index Nr.47
100 g Äthylalkohol
14 500 g Trichlorethylen.
100 g trimethylolpropane trimethacrylate
100 g of 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone
100 g Luxol Fast Yeitow-T, Color Index No 47
100 g of ethyl alcohol
14,500 g trichlorethylene.

Diese Lösung enthielt 7% Feststoffe und hatte eine Viskosität von 17 Cps bei 25°CThis solution contained 7% solids and had a viscosity of 17 cps at 25 ° C

Lösung BSolution b

578 g Polymethylmethacrylat;578 grams of polymethyl methacrylate;

Molekulargewicht 30 000
220 g Polymethylmethacrylat;
Molecular weight 30,000
220 grams of polymethyl methacrylate;

Molekulargewicht 60 000
95 g Terpolymeres entsprechend »A«
835 g Trimethylolpropantrimethacrylat
135 gTriäthylenglykoldiacetat
Molecular weight 60,000
95 g terpolymer according to "A"
835 grams of trimethylol propane trimethacrylate
135 g triethylene glycol diacetate

24 g o-Chlorpheryl-4,5-bis-(n-methoxy-24 g of o-chloropheryl-4,5-bis (n-methoxy-

phenyl)-imidazol-Dimeres
9 g 7-Diätnylamino-4-methylcoumarin
9 g 2-Merkaptobenzothiazol
•\ 1000 g Methylalkohol
7975 g Methylenchlorid.
phenyl) imidazole dimer
9 grams of 7-diet nylamino-4-methylcoumarin
9 g of 2-mercaptobenzothiazole
• \ 1000 g methyl alcohol
7975 grams of methylene chloride.

Diese Lösung enthielt etwa 17,5% Feststoffe.This solution contained approximately 17.5% solids.

Lösung A wurde auf einen klaren, 0,023 mm dicken, biaxial orientierten und in der Hitze formfest gemachtenPolyäthylenterephthalatschichtträger aufgebracht.Solution A was applied to a clear, 0.023 mm thick, biaxially oriented, heat set, polyethylene terephthalate support upset.

Die Beschichtung wurde unter Verwendung einer Rakel durchgeführt. Nach dem Trocknen wurde der Film mit 0,025 mm dickem Polyäthylen laminiert, um die erhaltene UV-Licht absorbierende Schicht, zu schützen, die eine Trockendicke von 0,010 mm aufwies, und die folgenden optischen Dichten zeigte (gemessen auf einem Cary-optischen Spektrophotometer):Coating was carried out using a doctor blade. After drying, the film was with 0.025 mm thick polyethylene laminated to protect the UV light absorbing layer obtained, which had a dry thickness of 0.010 mm and showed the following optical densities (measured on a Cary optical spectrophotometer):

450 πιμ= 1,73
400 Γημ = 2,59
350 πιμ=3,32
300 ιημ = 2,25.
450 πιμ = 1.73
400 Γημ = 2.59
350 πιμ = 3.32
300 ιημ = 2.25.

Diese UV-Licht absorbierende Schicht wurde dann auf einen abdeckenden Glas-Objektträger der Abmessung 7,62 cm χ 10,16 cm übertragen, der durch Scheuern mit Lösungsmitteln sorgfältig gereinigt worden war. Die Übertragung der Schicht erfolgte durch Entfernung der Polyäthylendeckschicht und Auflaminieren der UV-This UV light absorbing layer was then placed on a covering glass slide of the size 7.62 cm 10.16 cm transferred by scrubbing thoroughly cleaned with solvents. The layer was transferred by removing the Polyethylene top layer and lamination of the UV

jo Licht absorbierenden Schicht auf die Glasplatte mit Hilfe auf 100 bis 1200C erhitzter Walzen bei einer Geschwindigkeit von 1,83 m/Min.jo light-absorbing layer on the glass plate with the aid of rollers heated to 100 to 120 ° C. at a speed of 1.83 m / min.

Die Lösung B wurde in gleicher Weise auf einen 0,019 mm dicken, klaren, biaxial orientierten und in der Hitze formfest gemachten Schichtträger aus Polyäthylenterephthalat aufgebracht Nach dem Trocknen lag dann eine 0,010 mm dicke Fotoresistschicht vor, die mit einer Polypropylen-Deckschicht laminiert wurde, um die bildtragende Schicht während der Weiterbehandlung zu schützen.The solution B was oriented in the same way on a 0.019 mm thick, clear, biaxially oriented and in the Heat-solidified layer support made of polyethylene terephthalate applied after drying lay then a 0.010 mm thick layer of photoresist laminated with a polypropylene top layer to protect the image-bearing layer during further processing.

Der Polyäthylenterephthalat-Schichtträger wurde dann von der fest auf das Glas auflaminierten UV-Licht absorbierenden Schicht abgezogen, wonach die Polypropylen-Deckschicht von der Fotoresistschicht entfernt und die beiden Schichten wie vorstehend beschrieben zusammenlaminiert wurden. Es entstand dabei ein laminiertes fotopolymerisierbares, der vorstehend beschriebenen Struktur entsprechendes Material, wobei A aus Polyäthylenterephthalat bestand, (a) die fotopolymerisierbare Schicht und (b) die UV-Licht absorbierende Schicht ist, während B aus Glas bestand.The polyethylene terephthalate support was then exposed to the UV light which was firmly laminated onto the glass peeled off absorbent layer, after which the polypropylene cover layer is removed from the photoresist layer and laminating the two layers together as described above. It came into being a laminated photopolymerizable material corresponding to the structure described above, where A consisted of polyethylene terephthalate, (a) the photopolymerizable layer and (b) the UV light is absorbent layer, while B was made of glass.

Die fotopolymerisierbare Schicht (a) wurde dann 10 Sek. im Abstand von 40,6 cm mit einer 1000-Watt-Quarz-Jod-Lampe iliiich ein Negativ belichtet, das ein Standard-Prüfmuster zeigte. Dieses bestand aus einer nachgebildeten elektronischen gedruckten Schaltung. Die Polyäthylenterephthalat-Deckschicht A wurde durch Abziehen entfernt und das erhaltene Bild durch Eintauchen in eine Lösung entwickelt, die aus einer Mischung von 90 Gew.-% Methylisobutylketon und 10 Gew.-% Isopropanol bestand. Anschließend wurde mit Wasser gesprüht und das vorliegende gelbe Bild durch Aufblasen komprimierter Luft getrocknet Das hierbei angewandte Lösungsmittel löste sowohl die ungehärteten Bereiche der Fotoresistschicht als auch anschließend die gefärbte polymere Unterschicht unter Zurücklassung einer geeigneten positiven Maske auf einem starren Glasträger, geeignet zum Aufbringen vonThe photopolymerizable layer (a) was then 10 seconds at a distance of 40.6 cm with a 1000 watt quartz iodine lamp iliiich exposed a negative that a Standard test sample showed. This consisted of a simulated electronic printed circuit. The polyethylene terephthalate top layer A was removed by peeling it off and the image obtained through Immersion in a solution made up of a mixture of 90% by weight methyl isobutyl ketone and 10 % By weight isopropanol. It was then sprayed with water and the present yellow image through Inflation of compressed air dried. The solvent used here dissolved both the uncured Areas of the photoresist layer as well as then the colored polymeric underlayer leaving behind a suitable positive mask on a rigid glass support suitable for the application of

Bildern auf Fotoresists mit einer Lichtempfindlichkeit zwischen 300 bis 450 ιημ.Images on photoresists with a light sensitivity between 300 and 450 ιημ.

Beispiel 3Example 3

Die in Beispiel 2 beschriebenen Lösungen wurden wie angegeben hergestellt und auf ihre entsprechenden Unterlagen aufgebracht. Nach dem Abstreifen der Polyäthylen-Deckschicht von der UV-Licht absorbierenden Schicht entsprechend Lösung A wurde das Material nach der beschriebenen Technik auf ein Stück klaren Polymethylmethacrylats auflaminiert. Die Fotoresistschicht wurde dann mit der UV-Licht absorbierenden Schicht auf dem Polymethylmethacrylat wie beschrieben unter Ausbildung eines Aufzeichnungsmaterials vom beschriebenen Aufbau vereinigt, wobei A Polyäthylenterephthalat ist, (a) Fotoresist, (b) UV-Licht absorbierende Schicht und B Polymethylmethacrylat. Ein negatives Prüfbild wurde durch Schicht A auf die Schicht (a) 6 Sek. mit einer 1000-Watt-Quarz-Jod-Lampe im Abstand von 40,64 cm belichtet. Dann wurde Schicht A entfernt und das Fotoresistbild entwickelt durch Besprühen (30 Sek.) mit Methyichloroform, anschließendes zweites Besprühen mit 2-Methoxyäthanol und längeres Besprühen mit Wasser. Das auf dem festen Polymethylmethacrylat-Schichtträger entständene positive gelbe Bild, das sich für die Verwendung als Lichtmaske eignete, wurde dann mit Druckluft getrocknet. The solutions described in Example 2 were prepared as indicated and based on their corresponding Documents applied. After stripping the polyethylene cover layer from the UV light absorbing Layer corresponding to solution A, the material was applied to one piece using the technique described clear polymethyl methacrylate laminated on. The photoresist layer was then absorbent with the UV light Layer on the polymethyl methacrylate as described with formation of a recording material combined from the structure described, where A is polyethylene terephthalate, (a) photoresist, (b) UV light absorbent layer and B polymethyl methacrylate. A negative test image was applied through layer A to the Layer (a) exposed for 6 seconds with a 1000 watt quartz iodine lamp at a distance of 40.64 cm. Then became Layer A removed and the photoresist image developed by spraying (30 sec.) With methyl chloroform, subsequent second spraying with 2-methoxyethanol and longer spraying with water. That on the Solid polymethyl methacrylate base produced a positive yellow image, which is suitable for use as a Suitable for a light mask, it was then dried with compressed air.

Beispiel 4Example 4

3030th

Eine für die Anwendung als UV-Licht absorbierende Schicht vorgesehene Lösung A wurde wie folgt hergestellt:Solution A for use as an ultraviolet light absorbing layer was made as follows manufactured:

2000 g des im Beispiel 1 beschriebenen Acrylsäurehydrosols 2000 g of the acrylic acid hydrosol described in Example 1

50gl0%ige Lösung von Natriumlaurylsulfat in Wasser50% solution of sodium lauryl sulfate in water

30 g fluorierter Kohlenwasserstoff als 10%ige wäßrige Lösung entsprechend Beispiel 1.30 g of fluorinated hydrocarbon as a 10% aqueous solution according to Example 1.

Diese Lösung wurde auf 35° C erhitzt und langsam eine Mischung nachstehender Substanzen zugefügt:This solution was heated to 35 ° C and a mixture of the following substances was slowly added:

40 g Latyl Yellow 3G, Colour Index Nr. 5440 g Latyl Yellow 3G, Color Index No. 54

35 g Luxol Fast Orange GS, Colour Index Nr. 2435 g Luxol Fast Orange GS, Color Index No. 24

20 g 2,2'-Dihydroxy-4-methoxybenzophenon.20 g of 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone.

4545

Diese Lösung wurde auf einen 0,18 mm dicken klaren, mit einer Haftschicht überzogenen Polyäthylenterephthalatschichtträger aufgebracht, wobei entsprechend Beispiel 4 der US-Patentschrift 27 79 684 gearbeitet wurde unter Verwendung einer Rakel und Ausbildung einer trockenen, 0,005 mm dicken Schicht. Wiederum wurde dieser Überzug auf eine dünne Folie aus Polyäthylen auflaminiert, um eine Oberflächenschädigung während der Lagerung und Übertragung zu verhindern. Nach Entfernung der Deckschicht wurde das Fotoresistmaterial des Beispiels 2 auf die UV-Licht absorbierende Schicht auflaminiert, die auf dem mit einer Harz-Haftschicht ausgestatteten Polyester lag, ω wobei ein laminiertes, fotopolymerisierbares Material erhalten wurde, bei dem entsprechend dem vorstehend beschriebenen Aufbau A Polyäthylenterephthalat ist, (a) Fotoresist, (b) UV-Licht absorbierende Schicht und B mit einer Harz-Haftschicht überzogenes Polyäthylenterephthalat Über A wurde ein negatives Prüfbild gelegt, 10 Sek. mit einer 1000-Watt-Quarz-Jod-Lampe im Abstand von 40.64 cm belichtet A wurde dann abgezogen und das Fotoresistbild auf (a) entwickelt durch 35 Sek. Besprühen mit Methylchloroform, nochmaliges 15 Sek. Besprühen mit 2-(2-Butoxy)-äthanol und 1 Min. Besprühen mit Wasser. Dieses Entwicklungsverfahren löste auch die UV-Licht absorbierende Schicht in demselben unterhalb des Bildes liegenden Bereich auf. Das erhaltene orange-gelbe Bild wurde mit Druckluft getrocknet. Dann wurde ein fotopolymerisierbares Material nachstehender Zusammensetzung hergestellt:This solution was applied to a 0.18 mm thick clear polyethylene terephthalate support coated with an adhesive layer, the procedure being carried out as in Example 4 of US Pat. No. 2,779,684, using a doctor blade and forming a dry, 0.005 mm thick layer. Again, this cover was laminated to a thin sheet of polyethylene to prevent surface damage during storage and transfer. After removing the cover layer, the photoresist material of Example 2 was laminated onto the UV light absorbing layer which was on the polyester provided with a resin adhesive layer, to obtain a laminated, photopolymerizable material having the structure A described above, polyethylene terephthalate is, (a) photoresist, (b) UV light absorbing layer and B polyethylene terephthalate coated with a resin adhesive layer. A negative test image was placed over A for 10 seconds with a 1000 watt quartz iodine lamp at a distance of 40.64 cm exposed A was then peeled off and the photoresist image on (a) developed by spraying with methyl chloroform for 35 seconds, spraying again for 15 seconds with 2- (2-butoxy) ethanol and spraying with water for 1 minute. This development process also dissolved the UV light absorbing layer in the same area below the image. The orange-yellow image obtained was dried with compressed air. A photopolymerizable material was then prepared with the following composition:

525 g Polymethylmethacrylat,525 g polymethyl methacrylate,

Molekulargewicht: 30 000
300 g Polymethylmethacrylat,
Molecular weight: 30,000
300 g polymethyl methacrylate,

Molekulargewicht: 60 000
525 g Trimethylolpropantriacrylat
128 g Triäthylenglykoldiacetal
Molecular weight: 60,000
525 grams of trimethylol propane triacrylate
128 g of triethylene glycol diacetal

9 g 4,4'-bis-(Diäthylamino)-benzophenon
42,3 g o-ChlorphenyI-4,5-bis-(n-Methoxy-
9 g of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone
42.3 g of o-chlorophenyI-4,5-bis (n-methoxy-

phenyl)-imidazol-Dimeres
2,1 g Tri-(4-diäthylamino-3-methyl)-
phenyl) imidazole dimer
2.1 g tri- (4-diethylamino-3-methyl) -

phenylmethan
500 g Methylalkohol
7970 g Methylenchlorid
Viskosität: 17 Cps bei 25° C.
phenylmethane
500 g of methyl alcohol
7970 grams of methylene chloride
Viscosity: 17 cps at 25 ° C.

Dieses Material wurde auf einen klaren, biaxial orientierten, 0,019 mm dicken und in der Hitze formfest gemachten Polyäthylenterephthalatschichtträger aufgeschichtet unter Ausbildung einer Trockendicke von 0,008 mm, wonach mit einer Deckschicht aus Polypropylen laminiert wurde. Die fotopolymerisierbare Schicht hatte eine Lichtempfindlichkeit im Bereich von 300 bis 400 mu- Nach Entfernung der Polypropylen-Deckschicht wurde dieses Fotoresist mit Hilfe heißer Walzen entsprechend Beispiel 2 auf eine Folie aus anodisiertem Aluminium auflaminiert. Die wie beschrieben hergestellte Lichtmaske wurde dann über die Polyäthylenterephthalat-Deckschicht gelegt und 5 Sek. im Abstand von 40,64 cm unter Verwendung der 1000-Watt-Quarz-Jod-Lichtquelle belichtet Nach dem Abziehen des Polyäthylenterephthalatschichtträgers wurde das Fotoresistbild entwickelt durch 30 Sek. Besprühen mit Methylchloroform und 1 Min. Besprühen mit Wasser. Das anodisierte Aluminium wurde in jenen Bereichen, in denen die Fotoresistschicht entfernt worden war, durch Eintauchen in eine 10%ige wäßrige Natriumhydroxydlösung geätzt unter Zurücklassung einer genauen Nachbildung der Lichtmaske, die fest auf die Aluminiumplatte geätzt war.This material was oriented to a clear, biaxially oriented, 0.019 mm thick and dimensionally stable in the heat made polyethylene terephthalate support coated to form a dry thickness of 0.008 mm, after which it was laminated with a top layer of polypropylene. The photopolymerizable Layer had a photosensitivity in the range of 300 to 400 µm. After removal of the polypropylene top layer this photoresist was made on a film with the aid of hot rollers according to Example 2 laminated with anodized aluminum. The as described produced light mask was then placed over the polyethylene terephthalate cover layer and 5 sec. exposed at a distance of 16 inches using the 1000 watt quartz iodine light source Peeling off the polyethylene terephthalate support, the photoresist image was developed for 30 seconds. Spray with methyl chloroform and 1 min. Spray with water. The anodized aluminum was in those Areas where the photoresist layer had been removed by immersion in a 10% aqueous solution Sodium hydroxide solution etched leaving an exact replica of the light mask that stuck on the aluminum plate was etched.

Beispiel 5Example 5

Für die Verwendung als UV-Licht absorbierende Schicht wurde eine Lösung A wie folgt hergestellt:For use as a UV light absorbing layer, a solution A was prepared as follows:

100g5%ige Lösung von Polyvinylacetat in Wasser100g5% solution of polyvinyl acetate in water

(Viskosität: 55 bis 65 Cps bei 200C)
1 g Oil Yellow 3G, Colour Index Nr. 29
1 g Luxol Fast Yellow T, Colour Index Nr. 47
1 g 2£'-Dihydroxy-4-methoxybenzophenon
(Viscosity: 55 to 65 cps at 20 0 C)
1 g Oil Yellow 3G, Color Index No. 29
1 g Luxol Fast Yellow T, Color Index No. 47
1 g of 2 £ '-dihydroxy-4-methoxybenzophenone

50 ml ÄthanoL50 ml EthanoL

Nach gründlichem Durchrühren wurde diese Mischung auf einen klaren Polyäthylenterephthalatschichtträger aufgeschichtet der entsprechend den Angaben der US-Patentschrift 34 43 950 hergestellt und mit einer Haftschicht überzogen und außerdem noch mit einer dünnen Haftschicht aus Gelatine (0,5 mg/dm2) überschichtet worden war. Nach dem Trocknen hatte die UV-licht absorbierende Schicht eine Dicke vonAfter thorough stirring, this mixture was coated onto a clear polyethylene terephthalate support which had been prepared in accordance with the information in US Pat. No. 3,443,950 and coated with an adhesive layer and also covered with a thin adhesive layer of gelatin (0.5 mg / dm 2 ). After drying, the UV light absorbing layer had a thickness of

0,05 mm. Das Fotoresistmaterial dss Beispiels 2 wurde auf die getrocknete, UV-Licht absorbierende Schicht oben auflaminiert unter Abbildung eines fotopolymerisierbaren Aufzeichnungsmaterials, des vorstehend beschriebenen Aufbaus, wobei A Polyethylenterephthalat ist (a) Fotoresist (b) UV-Licht absorbierende Schicht und 3 mit einer Gel-Haftschicht ausgestattetes PoIyäthylenterephthalat Auf A wurde ein Prüfbild gelegt uiid 30 Sek. mit einer Xenon-Bogenlampe im Abstand von 40,64 cm belichtet Die Schicht A wurde dann abgezogen und das Fotoresistbild durch Aufsprühen von Methylchloroform (25 Sek.) und Aufsprühen von heißem Wasser (25 Sek.) und kaltem Wasser (15 Sek.) entwickelt Das erhaltene Bild mit einer gefärbten nachbildenden Unterschicht lieferte eine ausgezeichnete Lichtmaske.0.05 mm. The photoresist material of Example 2 was used laminated to the top of the dried, UV light absorbing layer to form a photopolymerizable one Recording material, of the structure described above, wherein A is polyethylene terephthalate is (a) photoresist (b) UV light absorbing layer and 3 polyethylene terephthalate equipped with a gel adhesive layer A test image was placed on A for 30 seconds with a xenon arc lamp at a distance exposed from 40.64 cm. Layer A was then peeled off and the photoresist image was sprayed on of methyl chloroform (25 sec.) and spraying of hot water (25 sec.) and cold water (15 sec.) developed. The obtained image with a colored replica underlayer gave an excellent one Light mask.

Beispiel 6Example 6

Für die UV-Licht absorbierende Schicht wurde Lösung A wie folgt hergestellt:For the UV light absorbing layer, solution A was prepared as follows:

2000 g 15%iges Acrylsäurchydrosol (in Beispiel 1 beschrieben)2000 g of 15% acrylic acid hydrosol (described in Example 1)

35 g Dalamar-Yellow (Colour Index Nr. 11 741) 0,5 g Natriumlaurylsulfat
0,05gVictoria Pure Blue BO (Colour Index Nr.
35 g Dalamar Yellow (Color Index No. 11,741) 0.5 g sodium lauryl sulfate
0.05gVictoria Pure Blue BO (Color Index No.

42 595)42 595)

1,5 g 2,2'-Dihydroxy-4-methoxybenzophenon
5 g Trimethylolpropantriacrylat
1.5 grams of 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone
5 grams of trimethylol propane triacrylate

Diese Lösung wurde 2 Stunden durchgerührt und auf einen 0,18 mm dicken, mit einer Harzhaftschicht ausgestatteten Polyäthylenterephthalatschichtträger, der im Beispiel 3 beschrieben ist, unter Ausbildung einer T.ockendicke von 0,05 mm aufgeschichtet. Das Material hatte eine optische Dichte von 5 — 7 zwischen 300 und 500 mu. Dann wurde ein Fotoresist-Beschichtungsgemisch nachstehender Zusammensetzung hergestellt:This solution was stirred for 2 hours and applied to a 0.18 mm thick, adhesive resin layer equipped polyethylene terephthalate, which is described in Example 3, with the formation of a Stacked pitch thickness of 0.05 mm. The material had an optical density of 5-7 between 300 and 500 mu. A photoresist coating mixture was then applied with the following composition:

5g5g

Ig
3g
Ig
3g

Polymethylmethacrylat,Polymethyl methacrylate,

Molekulargewicht: 30 000Molecular weight: 30,000

TriäthylenglykoldiacetatTriethylene glycol diacetate

Trimethylolpropantriacrylat
0,1 g Benzophenon
0,1 g 4,4'-bis-(Dimethylamino)-
Trimethylol propane triacrylate
0.1 g benzophenone
0.1 g 4,4'-bis (dimethylamino) -

benzophenon
1 g Äthanol
Rest: Methylenchlorid zu 50 g.
benzophenone
1 g of ethanol
Remainder: methylene chloride to 50 g.

Dieses Gemisch wurde auf einen 0,019 mra dicken Poiyäthylenterephthalatschichtträger aufgebracht und dann wie vorstehend beschrieben auf die UV-Licht absorbierende Schicht auflaminiert Es entstand ein fotopolymerisierbares Aufzeichnungsmaterial, wobei entsprechend dem vorstehend erläuterten Aufbau A Polyethylenterephthalat ist, (a) das Fotoresist (b) die UV-Licht absorbierende Schicht und B das mit einer Harzhaftschicht überzogene Polyethylenterephthalat Dieses Aufzeichnungsmaterial wurde 5 Sek. mit einem Höhensonnengerät, das mit 1000 Watt arbeitete, im Abstand von 40,64 cm durch ein fotografisches Silberhalogenid-Negativ-Prüfbild belichtet, das oben auf die Schicht A aufgelegt worden war. Die Schicht A wurde abgezogen und das Fotoresistbild durch 10 Sek. Besprühen mit Chloroform entwickelt. Durch weiteres 25 Sek. Besprühen mit 2-Äthoxyäthanol und anschließend 1 Min. Waschung mit Wasser wurde das Entwickeln vervollständigt und jeder Bereich der UV-Licht absorbierenden Schicht entfernt, der unter dem unbelichteten Bereich des bereits aufgelösten Fotoresists lag. Nach dem Trocknen wurde das grönfarbene Positiv benutzt um folgende lichtempfindliche Materialien zu belichten:This mixture was applied to a 0.019 mra thick Poiyäthylenterephthalatschichtträger and then laminated onto the UV light absorbing layer as described above photopolymerizable recording material, wherein according to the structure A Polyethylene terephthalate, (a) the photoresist (b) the UV light absorbing layer and B that with a Adhesive Resin Coated Polyethylene Terephthalate This recording material was treated with a A solar device operating at 1000 watts at a distance of 40.64 cm through a photographic silver halide negative test image exposed, which had been placed on top of layer A. Layer A was peeled off and the photoresist image through 10 sec. Spray developed with chloroform. By spraying with 2-ethoxyethanol for a further 25 seconds and then 1 min. Water wash, development was completed and each area of the Removed UV light absorbing layer from underneath the unexposed area of the already dissolved Photoresists lay. After drying, the green-colored positive was used to create the following photosensitive ones Exposing materials:

1) Eine in der US-Patentschrift 34 58 311 beschriebene fotopolymere Druckplatte wurde durch diese Maske 45 Sek. bei einem Abstand von 91,44 cm unter dem aufrechten Kohlenbogengerät belichtet Linien- und Halbtonmuster wurden mit dem Entwickler entwickelt, der in der US-Patetitschrift 34 58 311 beschrieben ist und eine geeignete Druckform erhalten.1) One described in US Pat. No. 3,458,311 The photopolymer printing plate was passed through this mask for 45 seconds at a distance of 91.44 cm exposed under the upright carbon arc device. Line and halftone patterns were exposed with the Developed developer described in US Pat. No. 3,458,311 and a suitable one Preserved printing form.

2) Folgendes »klebriges« fotopolymeres System wurde hergestellt:2) The following "sticky" photopolymer system was made:

40,2% Polymethyimethacrylat40.2% polymethyl methacrylate

Molekulargewicht: 30 000
50,2% polyoxyäthyliertes Trimethylolpropantriacrylat
Molecular weight: 30,000
50.2% polyoxyethylated trimethylolpropane triacrylate

5,6% Polyoxyäthylenlauryläther
0,16% 2-MerkaptobenzothiazoI
0,16% 7-Diäthylamino-4-methylcoumarin
1,6% o-Chlorphenyl-4,5-bis-(m-methoxy-
5.6% polyoxyethylene lauryl ether
0.16% 2-mercaptobenzothiazoI
0.16% 7-diethylamino-4-methylcoumarin
1.6% o-chlorophenyl-4,5-bis (m-methoxy-

phenyl)-imidazol- Dimeres
25% Festste fe in Trichlorethylen.
phenyl) imidazole dimer
25% solids in trichlorethylene.

4040

4545

5050

5555

6060

b5 Dieses Material wurde unter Ausbildung einer Trockendicke von 0,010 mm auf einen mit einer Harzhaftschicht überzogenen Polyäthylenterephthalatschichtträger aufgeschichtet und überschichtet durch Auflaminieren einer 0,019 mm dicken Polyäthylen terephthalatfolie. Auf diesem Material wurde die Lichtmaske abgebildet durch Belichtung mit einem Xenon-Lichtbogengerät (Belichtungszeit: 15 Sek.; Abstand: 45,7 cm). Das durch Härtung des klebrigen Polymeren in dem belichteten Bereich ausgebildete Bild wurde nach Entfernung des Polyäthylenterephthalat-Deckfilms entwickelt durch Bestäuben mit einem trockenen, gefärbten Farbstoff, der an jenen klebrigen Bereichen haftete. Dieses Material ist in der US-Patentschrift 33 07 943 beschrieben. Das erhaltene gefärbte Bild wurde durch Laminierung bei 110° C auf ein beschichtetes Ausgangspapier übertragen, wonach eine ausgezeichnete positive Kopie der Lichtmaske festgehalten war. b5 This material was coated onto a polyethylene terephthalate support coated with an adhesive resin layer to form a dry thickness of 0.010 mm, and overlaid by lamination with a 0.019 mm thick polyethylene terephthalate film. The light mask was imaged on this material by exposure to a xenon arc device (exposure time: 15 seconds; distance: 45.7 cm). The image formed by curing the tacky polymer in the exposed area was developed after removal of the polyethylene terephthalate cover film by dusting with a dry, colored dye which adhered to those tacky areas. This material is described in US Pat. No. 3,3 07,943. The colored image obtained was transferred to a coated starting paper by lamination at 110 ° C., after which an excellent positive copy of the light mask was retained.

3) Ein verhältnismäßig gering empfindlicher orthoempfindlicher Silberhalogenidfilm, der hauptsächlich aus Chlorbromid mit geringen Jodidmengen bestand, wurde 10 Sek. mit derselben Lichtmaske unter Verwendung einer 100-Watt- und 20-Volt-Standard-Glühlampe im Abstand von 134,6 cm durch ein 0,6neutrales Dichtefilter und ein Nr.-47-Wratten-Filter belichtet. Das Bild wurde in einem für viele Verfahren geeigneten Standard-Entwickler (Metol-Hydrochinon) entwickelt, wonach das Fixieren in einem üblichen fotografischen Fixiermittel erfolgte. Nach in üblicher Weise durchgeführter Waschung und Trocknung wurde ein Schwarz-Weiß-Bild von sehr hoher Auflösung erhalten.3) A relatively less sensitive orthosensitive one Silver halide film consisting mainly of chlorobromide with small amounts of iodide was ten seconds with the same Light mask using a 100 watt and 20 volt standard incandescent lamp spaced apart 134.6 cm through a 0.6 neutral density filter and a No. 47 Wratten filter exposed. The image was made in a standard developer suitable for many processes (Metol-Hydroquinone) developed, after which the fixing in a usual photographic Fixative took place. After washing and drying carried out in the customary manner, was get a very high resolution black and white image.

Beispiel 7Example 7

Zur Verwendung als UV-Licht absorbierende Schicht wurde ein Gemisch hergestellt, indem nachstehende Bestandteile in eine Kugelmühle gegeben wurden:For use as a UV light absorbing layer, a mixture was prepared by the following Ingredients were placed in a ball mill:

909 531/143909 531/143

500gl5%iges Acrylsäurehydrosol (in Beispiel 1 beschrieben)500 μl 5% acrylic acid hydrosol (in example 1 described)

50 g 10%ige wäßrige Saponinlösung
30 g Latyl Yellow YWL, Colour Index Nr. 42
8 g Latyl Orange NST, Colour Index Nr. 25
10 g Trimethylolpropantriacrylat
25 g eines Hamstoff-Formaldehyd-
50 g of 10% aqueous saponin solution
30 g Latyl Yellow YWL, Color Index No. 42
8 g Latyl Orange NST, Color Index No. 25
10 grams of trimethylol propane triacrylate
25 g of a urea formaldehyde

Mischpolymeren
5 g 2£'-DihydΓoxy-4-methoxybenzophenon.
Mixed polymers
5 g of 2 £ '-dihydΓoxy-4-methoxybenzophenone.

Nach 16 Stunden Vermahlung wurde das Gemisch durch einen Filz filtriert und unter Ausbildung einer Trockendicke von 0,05 mm auf einen Polyäthylenschichtträger aufgeschichtet, der eine Unterschicht entsprechend Beispiel 4 trug. Der Schichtträger wurde dann erhitzt, um das Polymere zum Zuammenfließen zu bringen, wonach eine transparente, orange-gefärbte Schicht erhalten wurde, die die nachstehenden optischen Dichten zeigte:After 16 hours of milling, the mixture was filtered through a felt and formed into a Coated dry thickness of 0.05 mm on a polyethylene layer carrier, which is an underlayer according to Example 4 carried. The support was then heated to cause the polymer to flow together bring, after which a transparent, orange-colored layer was obtained, which has the following optical Densities showed:

Wellenlänge (ηιμ)wavelength (ηιμ)

Optische DichteOptical density

500
400
350
300
500
400
350
300

>4,52
>4,52
>2
>2
> 4.52
> 4.52
> 2
> 2

Lösung B
(für die Herstellung der Fotoresistschicht)
Solution b
(for making the photoresist layer)

Die vorstehenden Lösungen entsprechen Prozentangaben für eine 20% Feststoffe enthaltende Lösung in einer Mischung von 3 Teilen Methylethylketon und 1 Teil Isopropanol.The above solutions correspond to percentages for a 20% solids solution in a mixture of 3 parts of methyl ethyl ketone and 1 part of isopropanol.

Lösung A wurde auf einen 0,18 mm dicken Polyäthylenterephthalatschichtträger wie in Beispiel 1 beschrieben aufgebracht und getrocknet. Dann wurde Lösung B über A geschichtet unter Ausbildung eines Schichtgewichtes von 87 mg Festsloff/dmJ und getrocknet. Diese Schicht wurde dann mit einer 3%igen. wäßrigen Lösung von PoIw in\laIkuhol (mittlere Viskosität; 99% verseift).Solution A was applied to a 0.18 mm thick polyethylene terephthalate support as described in Example 1 and dried. Solution B was then layered over A to form a layer weight of 87 mg solids / dm J and dried. This layer was then treated with a 3% strength. aqueous solution of PoIw in \ laIkuhol (medium viscosity; 99% saponified).

1010

1515th

2020th

2525th

3030th

Das in Beispiel 2 beschriebene Fotoresistmaterial wurde dann auf diese Schicht auflaminiert und die belichtende Entwicklung in gleicher Weise durchgeführt, wie in diesem Beispiel beschrieben. Dieses Masken-Material war brauchbar für das Aufbringen von Bildern auf mit Fotoresistmasse abgedeckte Kupferplatten für gedruckte Schaltungen.The photoresist material described in Example 2 was then laminated onto this layer and the exposure development was carried out in the same manner as described in this example. This Mask material was useful for applying images to photoresist covered copper plates for printed circuits.

Beispiel 8
Folgende zwei Lösungen wurden hergestellt:
Example 8
The following two solutions were made:

Lösung ASolution a

(für die Herstellung der UV-Licht
absorbierenden Schicht)
(for making the UV light
absorbent layer)

Die gleiche, wie in Beispiel 1 beschrieben.The same as described in Example 1.

Mischpolymeres von 90 Molen Methyl-Mixed polymer of 90 moles of methyl 53,80/053.80 / 0 5050 methncrylat und 10 Molen Methacrylsäuremethacrylate and 10 moles of methacrylic acid Pentaerythrittriacrylat,Pentaerythritol triacrylate, enthaltend 0,4% p-Methoxyphenolcontaining 0.4% p-methoxyphenol 44,1%44.1% als thermischen Inhibitoras a thermal inhibitor 2,0%2.0% Tertiär-ButylanthrachinonTertiary butyl anthraquinone 5555 Ethyl VioletEthyl violet 0,1%0.1% (C. 1. Basic Violet 4)-Farbstoff(C. 1. Basic Violet 4) dye

die 2% einer oberflächenaktiven Substanz aus Polyoxyäthylen enthielt, wie in der US-Patentschrift 34 58 311, Beispiel 1, beschrieben, überschichtet. Das Oberzugsgewicht der getrockneten Polyvinylalkoholschicht betrug 12 mg/dm2. Das mehrfach beschichtete Material wurde dann 3 Sek. mit einem aufrechten Kohlebogen-Belichtungsgerät durch ein Testbild belichtet, das eine integrierte elektrische Schaltung nachbildete (Belichtungsabstand: 43,18 cm). Das erhaltene Fotoresistbild wurde mit einem Entwickler nachstehender Zusammensetzung entwickelt:containing 2% of a polyoxyethylene surfactant, as described in US Pat. No. 3,458,311, Example 1, overlaid. The top coat weight of the dried polyvinyl alcohol layer was 12 mg / dm 2 . The multi-coated material was then exposed for 3 seconds with an upright carbon arc exposure device through a test image which simulated an integrated electrical circuit (exposure distance: 43.18 cm). The photoresist image obtained was developed with a developer having the following composition:

Isopropylalkohol (99%)Isopropyl alcohol (99%)

NatriumhydroxydSodium hydroxide

Wasserwater

10VoL-°/c10VoL- ° / c

0,1 VoL-'0.1 vol- '

89,9 Vol.-1 89.9 vol. - 1

4040

4545

bo Das Aufzeichnungsmaterial wurde mit dem F.ntwickler überdeckt und 30 Sek. einweichen gelassen. Die gesamte Deckschicht sowie die unbelichteten Bereiche der fotopolymerisierbaren Schicht und die gefärbte polymere Schicht unterhalb den entsprechenden Bereichen wurde durch Behandlung mit einem Schlamm entfernt Das entwickelte Aufzeichnungsmaterial wurde mit Wasser gespült und getrocknet, wonach eine gelb gefärbte Kopie des Originals entstanden war, die sich für die Verwendung als Maske eignete. bo The recording material was covered with the developer and left to soak for 30 seconds. The entire top layer as well as the unexposed areas of the photopolymerizable layer and the colored polymeric layer below the corresponding areas were removed by treatment with a slurry Use as a mask.

Es ist nicht wesentlich, daß die Schichten des Materials zwischen einem Schichtträger und einer Deckschicht liegend angeordnet sind. Andere Ausführungsformen sind möglich, beispielsweise indem man die UV-Licht absorbierende Schicht (b) in genügender Dicke herstellt, so daß ein Anteil dieser Schicht thermisch gehärtet werden kann, um als Schichtträger für das Material zu dienen. Außerdem kann die Entfernung der Deckschicht von praktischer Bedeutung sein. Die beschriebenen und veranschaulichten Ausführungsformen sind jedoch bevorzugt.It is not essential that the layers of material be between a support and a Cover layer are arranged horizontally. Other embodiments are possible, for example by the UV light absorbing layer (b) produces a sufficient thickness so that a portion of this layer can be thermally cured to serve as a support for the material. In addition, the Removal of the top layer may be of practical importance. The described and illustrated embodiments however, they are preferred.

Beispiel 9Example 9

Lösung A (die UV-Licht absorbierende Schicht) wurde, wie im Beispiel 1 beschrieben, hergestellt und auf einen 0,18 mm dicken Polyäthylenterephthalatschichtträger aufgebracht. Eine vernetzbare Isoprenresistmasse, die von W. L Hunter und P. N. Crabtree zusammengestellt wurde und beschrieben ist in »Photographic Science and Engineering«, Bd. 13, Nr. 5, S. 271 (1969) wurde über die getrocknete, UV-Licht absorbierende Schicht geschichtet unter Verwendung einer im Abstand von 0,05 mm gehaltenen Rakel. Die Resistschicht wurde 2 Min. bei 38°C getrocknet und dann wie im Beispiel 1 beschrieben mit einem Prüfbild belichtet, wonach das erhaltene Produkt in einem Entwickler auf Xylolbasis entwickelt wurde, indem man es 10 Min. bei Raumtemperatur in den Entwickler eintauchte. Das Aufzeichnungsmaterial wurde dann mit einer Mischung von 50 Teilen Äthanol und 50 Teilen Wasser gespült. Die erhaltene Maske eignete sich zur Herstellung anderer Kopien.Solution A (the UV light absorbing layer) was prepared as described in Example 1 and applied applied a 0.18 mm thick polyethylene terephthalate support. A crosslinkable isoprene resist, compiled by W. L Hunter and P. N. Crabtree and described in U.S. Pat "Photographic Science and Engineering", Vol. 13, No. 5, p. 271 (1969) was about the dried, UV light absorbent layer layered using a doctor blade held 0.05 mm apart. the The resist layer was dried for 2 minutes at 38 ° C. and then as described in Example 1 with a test image exposed, after which the product obtained was developed in a xylene-based developer by it was immersed in the developer for 10 minutes at room temperature. The recording material was then with a mixture of 50 parts of ethanol and 50 parts of water. The mask obtained was suitable for Making other copies.

Beispiel 10Example 10

Lösung A des Beispiels 1 wurde für die UV-Licht absorbierende Schicht hergestellt und wie im Beispiel 9 beschrieben aufgeschichtet und getrocknet. Dann wurde nachstehende Mischung unter Verwendung einer im Abstand von 0,05 mm gehaltenen Rakel über dieser Schicht aufgebracht:Solution A of Example 1 was prepared for the UV light absorbing layer and as in Example 9 described piled up and dried. Then the following mixture was made using an im Distance of 0.05 mm held squeegee applied over this layer:

10 g Gelatine für fotografische Zwecke 90 g destilliertes Wasser10 g gelatin for photographic use 90 g of distilled water

5 g Kaliumdichromat5 g potassium dichromate

5 g 10%ige wäßrige Sa poninlösung.5 g of 10% aqueous saponin solution.

Die Gelatine wurde im Wasser aufgelöst durch Eintauchen und Einweichen bei 380C, wonach Kaliumdichromat und Saponin langsam unter Rühren zugesetzt wurden. Nach dem Aufbringen dieser Mischung auf die UV-Licht absorbierende Schicht vorstehend beschriebener Art wurde der Überzug mit warmer^ Luft getrocknet und das erhaltene Aufzeichnungsmaterial 5 Min. durch das Testbild belichtet, wobei die gleichen Belichtungsbedingungen und die gleiche Lichtquelle angewandt wurde-wie im Beispiel 1. Das belichtete is Aufzeichnungsmaterial wurde dann durch Eintauchen (30 Sek.) in nachstehende Lösung entwickelt:The gelatin was dissolved in the water by immersion and soaking at 38 ° C., after which potassium dichromate and saponin were slowly added with stirring. After this mixture had been applied to the UV light absorbing layer of the type described above, the coating was dried with warm air and the recording material obtained was exposed for 5 minutes through the test image, using the same exposure conditions and the same light source as in Example 1 The exposed recording material was then developed by immersion (30 seconds) in the following solution:

9,6 g Natriumboratdecahydrat9.6 g sodium borate decahydrate

2,0 g 10%ige Lösung von Octylphenoxyäthanol2.0 g of 10% solution of octylphenoxyethanol

in Wasserin water

180,0 g 2-(2-Butoxyäthanol) Rest: Wasser zu 1 Liter.180.0 g 2- (2-butoxyethanol) Remainder: 1 liter of water.

Das entwickelte Bild wurde mit kaltem Wasser gespült und getrocknet. Es verblieb eine gelbe Kopie des Originals, die für Licht einer Wellenlänge zwischen 200 bis 500 ΐημ undurchlässig war und sich für die Verwendung als Maske des Originals eignete.The developed image was rinsed with cold water and dried. A yellow copy remained of the original, which was impermeable to light with a wavelength between 200 to 500 ΐημ and is suitable for the Use as a mask of the original.

Beispiel 11Example 11

3030th

Wie im Beispiel 9 beschrieben, wurde eine Lösung A für die UV-Licht absorbierende Schicht hergestellt und aufgebracht. Dann wurde ein vernetzbares lichtempfindliches Gemisch hergestellt durch Auflösung von 0,5 g (l,4-Butandiol)-dibenzoat-4,4'-bis-(diazoniumzinkchlorid) in 25 ml Aceton, enthaltend: 2,5 g Polymethylmethacrylat/hydroxyäthylmethacr/lat (Molekulargewicht: etwa 30000; 90 Mol-% Methylmethacrylat), 0,5 g p-Toluolsulfonsäure, 1,0 g Triäthylenglykoldiacetat, 2 ml Äthanol und 1 ml Wasser. Dieses Gemisch wurde auf die getrocknete UV-Licht absorbierende Schicht aufgebracht Dann wurde ein Testbild auf die getrocknete, lichtempfindliche Schicht gelegt und 2 Min. im Abstand von 61 cm mit einem Kohlebogenbelichtungsgerät belichtet (2500 Watt; 14 Ampere). Anschließend wurde durch Behandlung mit Ammoniakdämpfen entwickelt, und dann die belichteten Bereiche mit 1,1,1-Trichloräthan ausgewaschen. Das für das Auswasehen der belichteten Bereiche des lichtempfindlichen Gemisches angewandte Lösungsmittel entfernte auch die gleichen Bereiche aus der UV-Licht absorbierenden Schicht unter Zurücklassung eines negativen Bildes des Originals, das sich als Lichtmaske für das Aufbringen von Bildern auf nachfolgende Kopien eignete.As described in Example 9, a solution A for the UV light absorbing layer was prepared and upset. Then a crosslinkable photosensitive composition was prepared by dissolving 0.5 g of (1,4-butanediol) dibenzoate 4,4'-bis (diazonium zinc chloride) in 25 ml of acetone, containing: 2.5 g of polymethyl methacrylate / hydroxyethyl methacrylate / lat (molecular weight: about 30,000; 90 mol% Methyl methacrylate), 0.5 g of p-toluenesulfonic acid, 1.0 g of triethylene glycol diacetate, 2 ml of ethanol and 1 ml of water. This mixture was applied to the dried UV light absorbing layer. A test image was then applied to the dried, light-sensitive layer and exposed for 2 min. At a distance of 61 cm with a carbon arc exposure device (2500 watts; 14 amperes). This was followed by treatment with ammonia vapors developed, and then washed out the exposed areas with 1,1,1-trichloroethane. The one for washing out the exposed areas of the photosensitive Mixture of applied solvents also removed the same areas from the UV light absorbing Layer, leaving behind a negative image of the original, which turns out to be a light mask for application of images on subsequent copies.

Beispiel 12Example 12

Lösung A für die UV-Licht absorbierende Schicht wurde, wie im Beispiel 9 angegeben, hergestellt, aufgeschichtet und getrocknet Dann wurde entsprechend den Angaben der US-Patentschrift 33 76 139 ein Diallylisophthalat-Vorpolymeres hergestellt Dieses lichtempfindliche Vorpolymere wurde dann in Methylisobutylketon aufgelöst unter Einhaltung eines Verhältnisses von Lösungsmittel zu Vorpolymeren! von 5:1. Anschließend wurde durch Zugabe von 4,4'-bis-(Dimethylamin)-benzophenon (0,01 g des Sensibilisierungsmittels je 63 g Lösung) sensibilisiert Die erhaltene Lösung wurde durch Aufsprühen auf die UV-Licht absorbierende Schicht aufgebracht und getrocknet Dicke der getrockneten Schicht: 0,003 mm. Nunmehr wurde das Prüfbild wie im Beispiel 1 beschrieben oben auf das Material gelegt, belichtet und das erhaltene Produkt durch 30 Sek. Eintauchen in 1,1,1-Trichloräthan entwickelt Erhalten wurde eine gefärbte Kopie des Originals, die sich zur Anfertigung weiterer Kopien eignete.Solution A for the UV light absorbing layer was prepared as indicated in Example 9, then coated and dried according to the specifications of US Pat. No. 3,376,139 Diallyl isophthalate prepolymer prepared. This photosensitive prepolymer was then dissolved in methyl isobutyl ketone while maintaining a solvent to prepolymer ratio! from 5: 1. The resulting solution was then sensitized by adding 4,4'-bis (dimethylamine) benzophenone (0.01 g of the sensitizing agent per 63 g of solution) was applied to the UV light absorbing layer by spraying and dried the thickness of the dried layer: 0.003 mm. The test image was then applied to the above as described in Example 1 Material placed, exposed and the product obtained by immersion in 1,1,1-trichloroethane for 30 seconds A colored copy of the original was obtained, which can be used to make further copies suited.

Beispiel 13 Es wurde die nachstehende Lösung hergestellt:Example 13 The following solution was made:

Mischpolymeres vonMixed polymer of Äthylacrylat (etwa 88%) undEthyl acrylate (about 88%) and Acrylsäure (etwa 12%)') 100 gAcrylic acid (about 12%) ') 100 g NH4OH-LösungNH 4 OH solution

(gesättigt, etwa 58% N H3) 12g(saturated, approx. 58% NH 3 ) 12g

destilliertes Wasser 888 gdistilled water 888 g

*) Dieses Mischpolymere ist ein thermoplastisches Acrylsäurepolymeres mit einem Molekulargewicht von etwa 260000, das eine Anzahl von Carboxylsäuregruppen enthält Das in der vorstehenden Lösung gebildete Ammoniumsalz hatte eine Zugfestigkeit von 4100 PST.*) This copolymer is a thermoplastic acrylic acid polymer with a molecular weight of approx 260000 which contains a number of carboxylic acid groups The ammonium salt formed in the above solution had a tensile strength of 4100 PST.

50 g dieser Lösung wurden mit 50 g des in Beispiel 1 beschriebenen Acrylsäurehydrosols gemischt plus 5 g einer 25%igen wäßrigen Lösung eines fluorierten Kohlenwasserstoffs, der im Beispiel 1 angegebenen chemischen Struktur. Dann wurden 10 g festes Kaliumpermanganat zugefügt und die Mischung 2 Std. gerührt, bis die Gasentwicklung aufhörte. 10 ml 2-(2-Äthoxyäthanol) wurden zugefügt und die Lösung auf einen 0,18 mm dicken Polyäthylenterephthalatfilm entsprechend Beispiel 1 aufgebracht unter Verwendung einer im Abstand von 0,05 mm gehaltenen Rakel unter Lieferung eines Trockengewichts von 50 mg/dm2. Dieses mehrschichtige Material wurde dann mit der lichtempfindlichen Resistmasse des Beispiels 1 (Lösung B) überschichtet und wie im gleichen Beispiel angegeben laminiert, mit einem Prüfbild belichtet und entwickelt. Die braun«. MnO2-Kopie des Originalbildes absorbierte stark zwischen 200-500 ηιμ und stellte ein brauchbares Zwischenoriginal dar.50 g of this solution were mixed with 50 g of the acrylic acid hydrosol described in Example 1 plus 5 g of a 25% strength aqueous solution of a fluorinated hydrocarbon, the chemical structure given in Example 1. Then 10 g of solid potassium permanganate were added and the mixture was stirred for 2 hours until the evolution of gas ceased. 10 ml of 2- (2-ethoxyethanol) were added and the solution was applied to a 0.18 mm thick polyethylene terephthalate film according to Example 1 using a doctor blade held at a distance of 0.05 mm to give a dry weight of 50 mg / dm 2 . This multilayer material was then overlaid with the photosensitive resist composition of Example 1 (solution B) and laminated as indicated in the same example, exposed to a test image and developed. The brown «. MnO2 copy of the original image strongly absorbed between 200-500 ηιμ and was a useful intermediate original.

Claims (6)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Photographisches Aufzeichnungsmaterial zur Herstellung von Zwischenoriginalen aus einem Schichtträger, einer darauf aufgetragenen Schicht aus einem makromolekularen organischen Polymeren und*mindestens einem Farbmittel, einer photoresist-bildenden Schicht und einer abziehbaren Deckschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die das makromolekulare Polymere enthaltende Schicht mindestens ein im wesentlichen für UV-Licht undurchlässiges, aber für sichtbares Licht durchlässiges Farbmittel enthält und daß die Haftfestigkeit der Deckschicht an der photoresist-bildenden Schicht niedriger ist als die Haftfestigkeit der für UV-Licht undurchlässigen Schicht an ihr, daß die für UV-Licht undurchlässige Schicht in Lösungsmitteln löslich ist und daß der Schichtträger transparent ist1. Photographic recording material for the production of intermediate originals from a Layer support, a layer made of a macromolecular organic polymer applied to it and * at least one colorant, a photoresist-forming one Layer and a removable cover layer, characterized in that the the layer containing macromolecular polymers is at least one essentially for UV light contains impermeable, but transparent to visible light colorant and that the adhesive strength of the The top layer on the photoresist-forming layer is lower than the adhesive strength for UV light impermeable layer on her that the layer impermeable to UV light is soluble in solvents and that the support is transparent 2. Photographisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die für ultraviolettes Licht undurchlässige Schicht eine optische Dichte von 1,5 bis 5 für den Bereich zwischen 200 und 500 ηιμ aufweist.2. Photographic recording material according to claim 1, characterized in that the for ultraviolet light opaque layer has an optical density of 1.5 to 5 for the area has between 200 and 500 ηιμ. 3. Photographisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die photoresist-bildende Schicht additionspolymerisierbar oder lichtvernetzbar ist.3. Photographic recording material according to claim 1 and 2, characterized in that the photoresist-forming layer is addition polymerizable or photo-crosslinkable. 4. Photographisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Schichtträger weniger fest an der für UV-Licht undurchlässigen Schicht haftet als die Deckschicht an der photoresist-bildenden Schicht.4. Photographic recording material according to one of Claims 1 to 3, characterized in that that the substrate adheres less firmly to the layer impermeable to UV light than that Top layer on the photoresist-forming layer. 5. Verfahren zur Herstellung von Zwischenoriginalen unter Verwendung eines Aufzeichnungsmaterials aus einem Schichtträger, einer darauf aufgetragenen Schicht aus einem makromolekularen organischen Polymeren und mindestens einem Farbmittel, einer photoresist-bildenden Schicht und einer abziehbaren Deckschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die das makromolekulare Polymere enthaltende Schicht mindestens ein im wesentlichen für UV-Licht undurchlässiges, aber für sichtbares Licht durchlässiges Farbmittel enthält und daß die Haftfestigkeit der Deckschicht an der photoresistbildenden Schicht niedriger ist als die Haftfestigkeit der für UV-Licht undurchlässigen Schicht an ihr, daß die für UV-Licht undurchlässige Schicht in Lösungsmitteln löslich und der Schichtträger transparent ist und daß man durch bildmäßige Belichtung durch die an der photoresist-bildenden Schicht haftende Deckschicht hindurch, Abziehen der Deckschicht und anschließende Entwicklung ein Photoresistbild herstellt und dabei die ungehärteten Bereiche der photoresist-bildenden Schicht und die unter diesen liegenden Anteile der für UV-Licht undurchlässigen Schicht auswäscht.5. A method for producing intermediate originals using a recording material from a layer support, a layer applied on top of a macromolecular organic Polymers and at least one colorant, a photoresist-forming layer and one removable cover layer, characterized in that the macromolecular polymer containing Layer at least one substantially impermeable to UV light but to visible light Contains permeable colorant and that the adhesion of the top layer to the photoresist-forming Layer is lower than the adhesive strength of the layer which is impermeable to UV light to it the layer which is impermeable to UV light is soluble in solvents and the layer support is transparent and that by imagewise exposure through the adhered to the photoresist-forming layer Cover layer through, peeling off the cover layer and then developing a photoresist image produces and thereby the uncured areas of the photoresist-forming layer and those below them washes out lying parts of the layer impermeable to UV light. 6. Verfahren zur Herstellung von Lichtmasken unter Verwendung eines Aufzeichnungsmaterials aus einem Schichtträger, einer darauf aufgetragenen Schicht aus einem makromolekularen organischen Polymeren und mindestens einem Farbmittel, einer photoresist-bildenden Schicht und einer Deckschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die das makromolekulare Polymere enthaltende Schicht mindestens ein im wesentlichen für UV-Licht undurchlässiges, aber für sichtbares Licht durchlässiges Farbmittel enthält und daß die Haftfestigkeit der6. Process for the production of light masks using a recording material from a layer support, a layer applied on top of a macromolecular organic Polymers and at least one colorant, a photoresist-forming layer and a top layer, characterized in that the layer containing the macromolecular polymer at least one substantially impermeable to UV light but permeable to visible light Contains colorants and that the adhesive strength of the Deckschicht an der photoresist-bildenden Schicht niedriger ist als die Haftfestigkeit der für UV-Licht undurchlässigen Schicht an ihr, daß die für UV-Licht undurchlässige Schicht in Lösungsmitteln löslich ist und daß die Haftfestigkeit des Schichtträgers an der für UV-Licht undurchlässigen Schicht niedriger ist als die Haftfestigkeit der Deckschicht an der photoresist-bildenden Schicht, daß man den Schichtträger entfernt, das verbleibende photographische Aufzeichnungsmaterial mit der für UV-Licht undurchlässigen Schicht auf einen starren transparenten Schichtträger auflaminiert und daß man darch bildmäßige Belichtung, Abziehen der Deckschicht und anschließende Entwicklung ein Photoresistbild herstellt und dabei die ungehärteten Bereiche der photoresist-bildenden Schicht und die unter diesen liegenden Anteile der für UV-Licht undurchlässigen Schicht auswäschtThe top layer on the photoresist-forming layer is lower than the adhesive strength for UV light impermeable layer on her that the layer impermeable to UV light is soluble in solvents and that the adhesive strength of the support to the layer which is impermeable to UV light is lower than the adhesive strength of the top layer to the photoresist-forming layer that one is the support removed, the remaining photographic recording material with the opaque to UV light Layer laminated onto a rigid transparent support and that one darch imagewise exposure, peeling off the cover layer and subsequent development of a photoresist image produces and thereby the uncured areas of the photoresist-forming layer and those below them washes out lying parts of the layer impermeable to UV light
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