DE2164607A1 - Vorrichtung zur erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen fahrstrahles - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen fahrstrahles

Info

Publication number
DE2164607A1
DE2164607A1 DE2164607A DE2164607A DE2164607A1 DE 2164607 A1 DE2164607 A1 DE 2164607A1 DE 2164607 A DE2164607 A DE 2164607A DE 2164607 A DE2164607 A DE 2164607A DE 2164607 A1 DE2164607 A1 DE 2164607A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
axis
mirror
rotation
parallel
angles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2164607A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2164607B2 (de
DE2164607C3 (de
Inventor
Arthur Dipl Ing Dr Walter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Original Assignee
Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Erwin Sick GmbH Optik Elektronik filed Critical Erwin Sick GmbH Optik Elektronik
Priority to DE712164607A priority Critical patent/DE2164607C3/de
Priority to IT32892/72A priority patent/IT971849B/it
Priority to FR7245989A priority patent/FR2164899B1/fr
Priority to SE7216924A priority patent/SE383212B/xx
Priority to GB5938172A priority patent/GB1408459A/en
Priority to US00318620A priority patent/US3814495A/en
Publication of DE2164607A1 publication Critical patent/DE2164607A1/de
Publication of DE2164607B2 publication Critical patent/DE2164607B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2164607C3 publication Critical patent/DE2164607C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01VGEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V8/00Prospecting or detecting by optical means
    • G01V8/10Detecting, e.g. by using light barriers
    • G01V8/12Detecting, e.g. by using light barriers using one transmitter and one receiver
    • G01V8/18Detecting, e.g. by using light barriers using one transmitter and one receiver using mechanical scanning systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

FA. ERWII-T SICK
Wal durch
Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles aus einem auf einer Achse einfallenden Lichtstrahl mit wenigstens einer um eine senkrecht auf der Lichtstrahlachse stehende Drehachse umlaufenden, parallel zu der Drehachse angeordneten ebenen Spiegelfläche, welche bei der Drehung die Lichtstrahlachse zeitweise schneidet, und mit einer gekrümmten Spiegelfläche, welche von der ebenen Spiegelfläche zurückgeworfene Lichtstrahlen in zueinander parallele Bahnen reflektiert. Derartige Vorrichtungen werden vorzugsweise bei der Erzeugung von Lichtvorhängen angewendet, welche beim Einbringen eines Hindernisses ein Alarmsignal auslösen sollen.
Es sind bereits zahlreiche derartige Vorrichtungen bekannt, welche im allgemeinen mit Spiegelrädern oder Schwingspiegeln sowie mit Parabelzylinderspiegeln arbeiten. Um eine exakte Parallelversdiebung des Fahrstrahls zu erzielen, muss jedoch ein relativ hoher optischer Aufwand getrieben werden.
Das Ziel'der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung der ein-
: · Dr. DwM · Dipi-Ιηβ- fineterwtM
Dr. ■* Dr. ManHZ · Dr. DwM · Dlpi.-Ine. FJnrterwtM Dipl.-Ing. Oftafcow
t München «, RotMrt-Koch-Stra·· 1 7 Stuttgvt-tad OmnMatt, Marfettra·· »
T»lelonfe»t1)SejM§,T»t«c».S«mi*p·! Ttdten (ΙΠ1) «««
gangs genannten Gattung zu schaffen, welche einen streng zu sich selbst parallel verschobenen Fahrstrahl liefert, ohne dass komplizierte oder einerkostspieligenBearbeitung bedürfende optische Einrichtungen verwendet werden müssen.
Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, dass die gekrümmte Spiegelfläche ein Zylinderspiegel ist, dessen Krümraungsmittelpunkt mit der Drehachse zusammenfällt, und dass die ebene Spiegelfläche von einer zu ihr parallelen, durch die Drehachse verlaufenden gedachten Fläche einen Abstand gleich der Hälfte des Krümmungsradius des Zylinderspiegels hat. Erfindungsgemäss werden also lediglich einfach in der erforderlichen Genauigkeit herstellbare ebene und zylindrische optische Spiegelflächen verwendet. Gleichwohl wird aufgrund der erfindungsgemäss gewählten besonderen Anordnung dieser Flächen eine absolute Parallelität bei der Parallelverschiebung des Fahrstrahles erzielt.
Nach einer bevorzugten Aueführungsform sind symj&trisch zu der gedachten Fläche zwei ebene Spiegelflächen vorgesehen, welche gemeinsam mit gleicher Drehzahl um die Drehachse umlaufen. Dabei sind vorzugsweise beide ebenen Spiegelflächen an einem um die Drehachse umlaufenden Körper ausgebildet.· Diese Ausführungsform
/p«rallelen entspricht einem Spiegelrad mit zwei'ebenen spiegelnden Flächen.
Eine weitere besondere bevorzugte Aueführungsform ist so ausgebildet, dass bei senkrecht auf der Eingangslichtstrahlachse stehenden ebenen Spiegelflächen die Abmessungen der Spiegelflächen in Richtung senkrecht zur Eingangslichtstrahlachse durch zwei unterschiedlich groese Winkel um die Drehachse in bezug auf die Lichtstrahlachse begrenzt sind» Dabei ist der grössere der beiden Kinkel vorteilhafterweise kleiner oder gleich 60°. Hierbei wird eine optimale Ausnutzung der spiegelnden Flächen dadurch erzielt, dass die Abmessungen des Zylinderspiegels in Umfangsrichtung durch
309826/0681
eben die gleichen beiden Winkel, jedoch abgezogen von 180° begrenzt sind. Vorzugsweise sind die Abmessungen des Zylinderspiegels in Umfangsrichtung nach beiden Seiten jedoch noch etwas verlängert·
Um einen möglichst grossen Auslenkbereich des Fahrstrahls zu bekommen, sind die beiden Winkel erfindungsgemäss wie folgt verknüpft: tg/2 - 3.tgyi#
Der die ebenen Spiegelflächen tragende Drehkörper hat bevorzugt senkrecht zur Drehachse einen Parallelogrammquerschnitt, wobei die ebenen Spiegelflächen zweckmässigerweise an den kleinen Parallelogrammseiten ausgebildet sind·
Aufgrund der erfindungsgemäss vorgeschlagenen Abmessungen und Anordnung der ebenen Spiegelflächen und der Zylinderspiegelfläche wird unter strenger Einhaltung der Parallelitätsbedingung ein optimaler Abtastbereich erzielt. Wegen der durch die erfindungsgemässen Bedingungen erforderlichen Anordnung des Drehspiegels in der Nähe des Zylinderspiegels kommt es besonders auf die von derErfindung vorgeschlagenen Bemessungsregeln an, um einen akzeptablen Abtaatbereich zu erzielen.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist so ausgebildet, dass der Fahrstrahl durch einen Strahlenteilerspiegel und ein Messfeld auf einen Reflektor und von dort in sich zurück über den Strahlenteiler in eine erste Photofcelle gelenkt wird. Zweckmässigerweise wirdder ?ahrstrahl ausserdem über den Strahlenteilerspiegel auf ein Raster mit senkrecht zur Bewegungsrichtung des auftreffenden Fahrstrahls verlaufenden Rasterstrichen gelenkt, wobei das das Raster passierende Licht in einer zweiten Photozelle gesammelt wird, deren Ausgangssignal als Taktmassstab verwendet wird. Aufgrund der exakten Parallelität des *
3Q9826/Q681
periodisch hin und her verschobenen Fahrstrahls dank der erfindungsgemessen Anordnung kann.auf diese Weise eine ausserordentlich exakte Ortsbestimmung.eines Hindernisses in dem Messfeld erfolgen.
Wenn auch die Verwendung eines umlaufenden Drehspiegels bei der Vorrichtung gemäss der Erfindung bevorzugt ist, lässt sich der Erfindungsgedanke auch dann verwirklichen, wenn ein um die Drehachse hin und her beweglicher Schwingspiegel verwendet"wird, α sofern die vorstehend definierten Dimeneionsforderungen erfüllt sind·
Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise anhand der Zeichnung beschrieben} in dieser zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer bevorzugten Vorrichtung gemäss der Erfindung,
Fig. 2 eine Fig. 1 entsprechende Ansicht zur Veranschaulichung der Erzeugung des in sich selbst parallel verschobenen Fahrstrahles und
m Fig. 3 einen schematischen Strahlengang einer erfindungsgemäs-
sen Vorrichtung zur digitalen Längenmessung.
Nach Fig. 1 fällt entlang der Achse 13 ein Eingangslichtstrahl in die erfindungsgemässe ,Vorrichtung ein. Auf der Lichtstrahlach» 13 befindet sich die Drehachse 14- eines Körpers 17 mit Parallelogrammquerschnitt senkrecht zur Drehachse 14, welche auf der Zeichenebene senkrecht steht. An den kleinen Seiten des Perallelogrammkb'rpern 17 befinden sich ebene Spiegelflächen 15, ·
/ ο c β 1
Zur Definition der Lage der ebenen Spiegelflächen 15, 15' ist es wichtig, dass der Körper 1? momentan in der Stellung nach Pig. 1 festgehalten gedacht wird. In dieser Lage stehen die ebenen Spiegelflächen 15» 15* senkrecht auf der Lichtstrahlachse
Die beiden Spieeelflächen 15» 15' weisen von einer gedachten, zu ihnen, parallelen und durch die Drehachse 14- "verlaufenden Fläche 18 einen Abstand r/2 auf, d. h. ihr gegenseitiger Abstand beträgt insgesamt r.
Von der Drehachse 14- ausgehende Vektoren zu den vier Ecken des Parallelogramms schliessen mit der Lichtstrahlachse 13 Winkel ι/., Yp* " Ιλ und"i/2 e^n" 1^1"011 cü-0150 Angaben wird die Lage der Spiegelflächen 15» 15* eindeutig definiert.
Das zweite wichtige Element des Erfindungsgegenstand.es ist eine Zylinderspiegelfläche 16, deren Krümmungsradius gleich dem Abstand der ebenen Spiegelflächen 15» 15'» nämlich r ist.
Die räumliche Lage und Abmessung des Zylinderspiegels 16 sind einmal dadurch bestimmt, dass die Zylinderachse mit der Drehachse 14- zusammenfällt· Zum anderen ist die Ausdehnung des Zylinderspiegels 16 in Umfangsrichtung durch die gleichen beiden Winkel jL und 4^ gegenüber der Lichtstrahlachse 13 bestimmt wie die Anordnung der ebenen Spiegelflächen 15» 15'· Betrachtet man die Aaordnung von Pig. 1 als ein Koordinatensystem mit der Drehachse 14- als Ursprung und der Lichtstrahl achse 13 als x-Achse, so ist die Umfangsabmessung des Zylinderspiegels 16 durch die Winkel 180 -,/-ι und 180 - /p bestimmt *'sofern die Winkel der ebenen Spiegelfläche 15' mit f^ und /^ bezeichnet werden. Die die ebene Spiegelfläche 15 definierenden Winkel lauten dann a 180 + Z1 und 180» + J2 (mit -y^ und -f2 bezeichnet)
+) (mit Z1 und J0 bezeichnet)
J1 /2 30$e20/
In Fig· 2 sind diejenigen zwei Grenzstellungen des Drehkörpers 17 eingezeichnet, die die beiden am weitesten voneinander entfernten Fahrstrahlen 11, 11' liefern. Die von der Drehachse 14 zu den Reflektionspunkten auf dem Zylinderspie gel 16 verlaufenden Vektoren dieser Grenz-Fahrstrahlen 11, 11' schliessen die Winkel fa und y*2 mit der Lichijstrahlachse 13 ein. Die Drehrichtung des Körpers 17 ist durch den Pfeil f angedeutet.
Um einen optimalen Abtastbereich zu erzielen, muss erfindungsgemäss die Forderung
erfüllt sein.
line weitere erfindungsgemässe Optimierungsbedingung für die Winkel JL und Jg lautet:
Für die Höhen yi und y2 der Fahrstrahlen 11, 11' über der Licht strahlachse 13 gelten folgende Bedingungen;
yi ■ r v
y2 « r ·
Demnach ist der für die Abtastung mit einem parallel su sich selbst verschobenen Fahrstrahl ausnutzbare Bereich wie folgt:
Ay » r · (siny2 - sin
Im folgenden wird ein praktisches Zahlenbeispiel gegeben:
309826/0681
Es sei angenommen,dass » 22° und /ρ β ^ 30'· Es gilt dann
y2 m 0,772 · r
yi - 0,375 · r.
Daraus fol*gt
Ar - 0,397 r.
Zweckmässigerweise wählt man Äy jedoch etwas kleiner, z. B. gleich 0,357 · r, um nach unten und oben noch etwas Reserve zu haben· Ss ergeben sich somit folgende effektive Maximal- und' Minimalwerte für y:
y2 - 0,752 · * y1 - 0,395 · s?*
Damit ergibt sich folgende Bedingung für die Wahl von r r - 2,8 ·
so dass für einen gewünschten Abtastbereich Ay ohne weiteres der Betrag r bestimmt werden kann«
Der durch die erfindungsgemässe Vorrichtung erzielbare streng in sich selbst parallel verschobene Ifahrstrahl 11 kann sehr vorteilhaft für Messzwecke ausgenutzt werden. Wegen der durch ihn erreichbaren hohen Messgenauigkeit bietet sich eine di^itale Auswertung an, die zu_dem den vorteil naj5~ aasSyOT« Gleichung
r ♦ ii i η
" Π ί π ? Γ- / CJ 0
Eine bevorzugte Anwendung für Messzwecke zeigt Fig. 3· Die Ablenkeinheit 19 enthält die erfindungsgemässe Ablenkvorrichtung, aus der also dor innerhalb des Bereiches Aj ständig parallel verschobene Fahrstrahl 11 (11') austritt. Der Fahrstrahl gelangt einmal durch einen vorzugsweise unter 4-5° angeordneten Strahlenteilerspiegel auf einen Reflektor 21, der den Fahrstrahl in sich zurückwirft· Der Fahrstrahl wird dann an dem Teilerspiegel 20 reflektiert und durch eine geeignete Optik 27 in eine erste Photozelle 23 gelenkt. Der Bereich vor dem Reflektor 21 bis zum Lichtaustritt aus dem Gerät (gestrichelte Linie) stellt das Messfeld 22 dar, in dem beispielsweise ein Hindernis 26 angeordnet sein kann.
Ausserdem wird der Fahrstrahl 11 durch den Teilerspiegel 2o auf ein Raster 24 gelenkt, Das das Raster passierende Licht wird durch eine Optik 28 in eine zweite Photozelle 25 gelenkt. Das Ausgangssignal der Photozelle 25 liefert einen Taktmassstab, der für die genaue Örtliche Feststellung des Hindernisses 26 wesentlich ist. Die in Fig. 3 dargestellte Anordnung lässt sich mit Vorteil auch bei Einsatz anderer Ablenksysteme verwenden. Die Ausgangssignale der beiden Photozellen 23, 25 werden erfindungsgemäss logisch derart verknüpft, dass die gewünschte Länge innerhalb der Messstrecke dargestellt wird.
Bei den oben angenommenen Werten 22° für jfc und 50° 30* für f~ und einer angenommenen Spiegeldrehzahl von 3OOO UpM ergibt sich die Durchlaufzeit des Fahrstrahles 11 durch den Nutzbereich Ay wie folgt:
Da auf dem Spiegelradkörper 17 zwei ebene Spiegelflächen vorliegen, ergibt sich die Abtastfrequenz wie folgt:
·. 2 - 100 Hz.
2!$4607
Eine Abtastperiode hat folgenden Wert:
T « 1/f « 10 ms.
Bei diesem Beispiel beträgt also die Zeit, während der der Abtastfahrstrahl zur Verfügung steht ca. 30 % der Gesamtperiodenzeit.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Schaffungje'ines digital messenden Präzisions-Iiichtvorhanges verläuft wie folgt:
Die Breite Ay des Abtastfeldes 22, die Tiefe des Messfeldes und die Auflösung A werden vorgegeben. Zu bestimmen sind nunmehr nocl der Radius r sowie die Winkel J* und J^ und der Rastermassstab.
Zunächst wird einer der Winkel oder J^ vorgegeben und der andere Winkel nach der oben angegebenen Formel ausgerechnet. Da die Messhöhe <dy vorgegeben ist, lässt sich nunmehr aus den obigen Formeln der Radius r bestimmen. Hierbei sollte noch die etwas kleinere Wahl der effektiven Grenzen des Abtastbereiches berücksichtigt werden. Wegen der überstrahlung des Lichtstrahles werden zweckmässigerweise nur 90 # des maximal ausnutzbaren Bereiches verwendet.
Die Rasterfeldbreite B ergibt sich aus folgender Beziehung; B.2A·
Unter Berücksichtigung der oben für j * und j>2 angenommenen Werte von 22° bzw. 50° 30* werden für die übrigen Grossen folgende Werte angenommen: ,
j&y β 20, Iiänge des Messfeldes =* 60, A *
309826/06t1
•te - 0,397.
Berücksichtigt man, dass nur 90 # des maximal möglichen Abtastbereiches ausgenutzt werden sollen, so ergibt sich für
20
r = ö,9 · ö,397 " 56»5 mm
Abgerundet wird für r ein Wert von 56 mm gewählt. Die Rasterfeldbreite B bestimmt sich wie folgt:
B « 2 · 7ßßQ = 0,04 mm.
Die theoretische Messgenauigkeit beträgt:
£ H"· A ■ + 0,02 mm.
Als Werkstoff für den Zylinder und den Drehspiegel werden vorzugsweise Materialien mit kleiner Wärmeausdehnung verwendet. Insbesondere eignen sich Quarzglas und Zerodur sowie Jenaer Glas n2000fl.
Patentansprüche
309826/0611

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles aus einem auf einer Achse einfallenden Lichtstrahl mit wenigstens einer um eine senkrecht auf der Lichtstrahlachse stehende Drehachse umlaufenden, parallel zu der Drehachse angeordneten ebenen Spiegelfläche, welche bei der Drehung die Lichtstrahlachse zeitweise schneidet, und mit einer gekrümmten Spiegelfläche, welche von der ebenen Spiegelfläche zurückgeworfene Lichtstrahlen in zueinander parallele Bahnen reflektiert, dadurch gekennzeichnet, i dass die gekrümmte Spiegelfläche ein Zylinderspiegel (16) ist, dessen Krümmungsmittelpunkt mit der Drehachse (14-) zusammenfällt, und dass die ebene Spiegelfläche (15) von einer zu ihr parallelen, durch die Drehachse (12I-) verlaufenden gedachten Fläche (18) einen Abstand^^gleich der Hälfte des Krümmungsradius (r) des Zylinderspiegels (16) hat.
    2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass symmetrisch zu der gedachten Fläche (18) zwei ,parallele
    'ebene Spiegelflächen (15» 15') vorgesehen sind, welche gemeinsam mit gleicher Drehzahl um die Drehachse (14-) umlaufen.
    J. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch g e k ο η η ζ s i c u. not, dass beide ebenen Spiegelflächen (15» 15') &a einem um die Drehachse (14) umlaufenden Körper (17) ausgebildet sind.
    4-. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , dass bei senkrecht auf der Eingangslichtstrahlachse (13) stehenden ebenen Spiegelflächen (15i 15'j Fig. 1) die Abmessungen der Spiegelflächen in Richtung senkrecht zur Eingangslichtstrahlachse durch zwei unterschiedlich grosse Winkel (jtit/^i ~£\* ~Jb) um
    (14-) in Bezug auf die Lichtstrahlachse (13) begrenzt sind.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 4·, dadurch gekennse.ichn e t , dass der grössere der !seiden Winkel (/o) kleiner oder gleich 60 ist·
    6. Vorrichtung nach Anspruch 4· oder 5» dadurch gekennzeichnet , dass die Abmessungen des Zylinderspiegels (16) in ümfangsrichtung durch eben die gleichen beiden Winkel jedoch abgezogen von 180° (180°-^, 180°-/p) begrenzt sind.
    7· Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessungen des Zylinderspiegels (16) in Umfangerichtung nach beiden Seiten noch etwas verlängert sind.
    8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4- bis 7» dadurch gekennzeichnet , dass die beiden Winkel· (J^tP^) wie folgt verknüpft sind:
    tgjf2 - 3 · tg^j .
    9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , dass der die ebenen Spiegelflächen (15» 15') tragende Drehkörper (17) senkrecht zur Drehachse (14·) einen Parallelogrammquerschnitt hat.
    /insbesondere
    10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
    gekennzeichnet , dass der Fahrstrahl (11) durch einen Strahlenteilerspiegel (20) und ein Messfeld auf einen Eeflektor (21) und von dort in sich zurück über den Strahlenteiler (20) in eine erste Photozelle (23) gelenkt wird.
    11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich-
    3G982G/QG8t
    net, dass der Fahrstrahl (11) über den Strahlenteilerspiegel (20) ausserdem auf ein Raster (24) mit senkrecht zur Bewegungsrichtung des auftreffenden Fahrstrahls (11) verlaufenden Rasterstrichen gelenkt wird, wobei das das Raster (24) passierende Licht in einer zweiten Photozelle (25) gesammelt wird, deren Ausgangssignal als Taktmassstab verwendet wird.
    12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch g e k e η n- ! zeichnet, dass die Länge de? Hessfeldes (22) durch optische Mittel vergrössert oder verkleinert wird, um eine Anpassung an die Grosse des Messobjektes zu erzielen, " wobei die optischen Mittel hinter dem Teilerspiegel (20) angeordnet sind, damit nur am Messfeld (22) und Reflektor (21) etwas zu ändern ist.
    309826/0681
DE712164607A 1971-12-24 1971-12-24 Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles Expired DE2164607C3 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE712164607A DE2164607C3 (de) 1971-12-24 1971-12-24 Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles
IT32892/72A IT971849B (it) 1971-12-24 1972-12-14 Dispositivo per la produzione di un raggio vettore spostato parallelamente a se stesso
FR7245989A FR2164899B1 (de) 1971-12-24 1972-12-22
SE7216924A SE383212B (sv) 1971-12-24 1972-12-22 Anordning for att alstra en parallellt med sig sjelv forskjuten gangstrale.
GB5938172A GB1408459A (en) 1971-12-24 1972-12-22 Apparatus for producing a beam of light moving parallel to itself
US00318620A US3814495A (en) 1971-12-24 1972-12-26 Apparatus for producing a moving beam displaced parallel to itself

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE712164607A DE2164607C3 (de) 1971-12-24 1971-12-24 Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2164607A1 true DE2164607A1 (de) 1973-06-28
DE2164607B2 DE2164607B2 (de) 1978-07-13
DE2164607C3 DE2164607C3 (de) 1979-03-08

Family

ID=5829251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE712164607A Expired DE2164607C3 (de) 1971-12-24 1971-12-24 Vorrichtung zur Erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen Fahrstrahles

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3814495A (de)
DE (1) DE2164607C3 (de)
FR (1) FR2164899B1 (de)
GB (1) GB1408459A (de)
IT (1) IT971849B (de)
SE (1) SE383212B (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3992623A (en) * 1975-03-14 1976-11-16 Graphic Sciences, Inc. Optical scanner
DE2532602C3 (de) * 1975-07-21 1979-07-05 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optische Vorrichtung mit einem Lichtvorhang
DE2927845C3 (de) * 1979-07-10 1982-01-28 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Einen Taktmaßstab aufweisender Lichtvorhang
DE10239940A1 (de) * 2002-08-30 2004-03-25 Sick Ag Lichtschranke oder Lichtgitter

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3511551A (en) * 1966-12-06 1970-05-12 Us Air Force Wideband optical modulator
US3544165A (en) * 1967-04-18 1970-12-01 Mason & Hanger Silas Mason Co Tunneling by lasers
US3510191A (en) * 1967-05-03 1970-05-05 Singer Inc H R B Optical scanning system
GB1270651A (en) * 1968-04-01 1972-04-12 Hawker Siddeley Dynamics Ltd Improvements in or relating to optical scanning equipment

Also Published As

Publication number Publication date
FR2164899B1 (de) 1976-08-27
US3814495A (en) 1974-06-04
GB1408459A (en) 1975-10-01
SE383212B (sv) 1976-03-01
FR2164899A1 (de) 1973-08-03
DE2164607B2 (de) 1978-07-13
IT971849B (it) 1974-05-10
DE2164607C3 (de) 1979-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3804079C2 (de) Meßvorrichtung
DE2532602A1 (de) Optische vorrichtung zur verbreiterung eines lichtvorhanges
DE4445136A1 (de) Axialspiegel-Abtastsystem und -verfahren
DE2333281C3 (de) Verfahren zur Ermittlung der Fokussierung eines auf ein Objekt ausgesandten kohärenten Lichtstrahls
DE2539427A1 (de) Optische abtasteinrichtung
DE2050315A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beob achten, Feststellen und Korrigieren von periodischen Strukturen in einem beweg ten Band
DE3503086C1 (de) Verfahren bzw.Vorrichtung zur Messung der Wanddicke von transparenten Gegenstaenden
DE1903311C3 (de) Verfahren zur Erzeugung und Rekonstruktion eines Hologramms einer dreidimensionalen Szene
DE2107334B2 (de) Lichtfleckabtasteinrichtung
DE1548292B2 (de) Meßvorrichtung zur berührungslosen Breitenmessung eines durchlaufenden Bandes
CH674774A5 (de)
DE2164607A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines parallel zu sich selbst verschobenen fahrstrahles
DE3824820C2 (de)
CH436742A (de) Vorrichtung zur berührungslosen photoelektrischen Bestimmung der Dickenabmessung eines Körpers
DE2601327A1 (de) Strahlungsabtastsystem
DE4029259A1 (de) Optisches abtastsystem
DE1226797B (de) Fotoelektrische Einrichtung mit optischen Gittern als Anzeigemittel zum Anzeigen der Lageaenderung eines beweglichen Teiles
DE1548361B2 (de) Meßeinrichtung zur berührungslosen Bestimmung der Abmessungen von Körpern
DE2822639A1 (de) Einrichtung zur erzeugung fotografischer belichtungen mit hilfe eines digital gespeicherten bildinhaltes und eines relativ zu einem lichtempfindlichen material bewegten reproduktionskopfes
DE1773316C3 (de) Vorrichtung zur automatischen Flächenmessung unregelmäßig gestalteter, ebener Gegenstände
DE2151528A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Abtastung eines interferometrischen Linienmusters
DE4029643C1 (de)
DE3145638A1 (de) Reflektierender schwenkspiegel fuer eine einaeugige spiegelreflexkamera.
DE658245C (de) Zeitordinatenschreiber
DE3012500A1 (de) Retroreflektor

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
EHJ Ceased/non-payment of the annual fee