DE2150052A1 - Schalteranordnung zur Anzeige einer bestimmten Beschleunigung - Google Patents

Schalteranordnung zur Anzeige einer bestimmten Beschleunigung

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DE2150052A1
DE2150052A1 DE19712150052 DE2150052A DE2150052A1 DE 2150052 A1 DE2150052 A1 DE 2150052A1 DE 19712150052 DE19712150052 DE 19712150052 DE 2150052 A DE2150052 A DE 2150052A DE 2150052 A1 DE2150052 A1 DE 2150052A1
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conductive
movable
switch
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Application number
DE19712150052
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English (en)
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O'sullivan David D
Hamel Richard G
White Marvin H
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CBS Corp
Original Assignee
Westinghouse Electric Corp
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/135Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by making use of contacts which are actuated by a movable inertial mass
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H35/00Switches operated by change of a physical condition
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H1/00Contacts
    • H01H1/0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]

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Description

  • Schalteranordnung zur Anzeige einer bestimmten Beschleunigung Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Beschleunigungsmesser, insbesondere auf digitale Beschleunigungsmesser, d.h. Beschleunigungsmesser, die anzeigen, ob ein vorgegebener Beschleunigungs-Schwellwert überschritten wurde oder nicht.
  • Eine bekannte Vorrichtung dieser Art verwendet piezoelektrische Kristalle. Zwei solche Kristalle werden zwischen einem Massekörper und einer Grundplatte angeordnet. Der gesamte, so gebildete Aufbau wird dann an einem Gegenstand befestigt. Wirkt eine anwachsende Beschleunigung auf den Gegenstand ein, so übt die Masse auf die Kristalle einen entsprechend zunehmenden Druck aus. Die Kristalle erzeugen dann ihrerseits eine sich ändernde Ausgangsspannung, die der Zunahme bzw. dem Abfall der Beschleunigung proportional ist.
  • Weitere bekannte Anordnungen für die Erfassung von Beschleunigungsänderungen sind in der Form von druckempfindlichen Transistoren vorliegende Meßwertwandler mit Piezoübergang. In diesem Fall wird auf den Emitter-/Basisübergang des Transistors mit zunehmender Beschleunigung ein Druck ausgeübt, so daß die Stromverstärkung geändert wird.
  • Diese bekannten Anordnungen bringen jedoch viele Probleme mit sich.
  • Zunächst erfordern sie eine seismische Massen- und Federanordnung, um die Beschleunigungskraft auf das Fühlorgan zu übertragen, wobei die Verbindung der gesamten Anordnung mit dem Fühlorgan kritisch ist. Ferner wird, da es sich dabei um analoge Fühlorgane handelt, die Beschleunigung fortlaufend abgetastet, so daß Verlustwärme entsteht. Schließlich sind die bekannten Anordnungen besonders groß, außerdem verursachen sie Gewichtsprobleme.
  • Aufgabe vorliegender Erfindung ist daher die Schaffung eines digitalen Beschleunigungsmessers, der leichter und kleiner als bisherige Beschleunigungsmesser ist, so daß er sich beispielsweise an einem Geschoß anbringen läßt. Gleichzeitig soll gewährleistet sein, daß allenfalls eine geringe Verlustleistung auftritt, außerdem Kompatibilität in bezug auf integrierte Schaltkreise gegeben ist.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe ist eine Schalteranordnung zur Anzeige einer bestimmten Beschleunigung erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß auf einer gemeinsamen Trägerplatte ein erster leitender Körper und in geringem Abstand davon und elektrisch davon isoliert ein zweiter leitender Körper angeordnet sind, und daß der zweite leitende Körper so bemessen und dabei sein Abstand von dem ersten leitenden Körper so gehalten ist, daß er bei und nur bei Einwirkung der bestimmten Beschleunigung auf die Schalteranordnung eine Bewegung erfährt, durch die er sich unter Überführung der Schalteranordnung in den leitenden Zustand auf den ersten leitenden Körper zu bewegt.
  • Dadurch läßt sich in der gewünschten Weise ein sehr kleiner, digitaler Festkörper-Beschleunigungsmesser für die Erfassung von Beschleunigungs-Schwellwerten erhalten, der gleichzeitig auch die notwendige Kompatibilität in bezug auf integrierte Schaltkreise aufweist. n schwellwert" bedeutet dabei einen einzigen, vorgegebenen Beschleunigungswert.
  • Die Schalteranordnung nach der Erfindung ist somit nur in der Lage, einen einzigen, vorgegebenen Beschleunigungswert zu ermitteln. Es ist jedoch häufig wünschenswert zu wissen, wann ein Gegenstand einen ganz bestimmten Beschleunigungswert durchläuft oder was für bestimmte Beschleunigungskräfte auf einen bestimmten Gegenstand in einer bestimmten Richtung einwirken, so daß jeweils nur die Erfassung eines bestimmten Schwellwertes notwendig ist. Beispielsweise kann es wünschenswert sein, die Zentrifugalbeschleunigung einer umlaufenden Maschine wie einer Turbine oder eines Generators zu kennen. Oder aber, es besteht-das Bedürfnis zu erfahren, wann ein von einer geeigneten Abfeuereinrichtung abgeschossenes Geschoß eine bestimmte Beschleunigung erreicht, was dann ein Beispiel für eine Rückschlagbeschleunigung ist. Ebenso kann das Bedürfnis bestehen, die Beschleunigungskräfte zu messen, die auf ein in einen Unfall verwickeltes Automobil einwirken, was ein Beispiel für eine Aufschlagbeschleunigung darstellt. Über die drei vorgenannten Beispiele hinaus gibt es unzählige weitere Situationen, wo es wünschenswert sein kann, das Überschreiten eines bestimmten Beschleunigungs-Grenzwertes zu erfassen.
  • Eine besonders günstige praktische Einsatzmöglichkeit der Schalteranordnung nach der Erfindung ergibt sich, wenn ihre beiden leitenden Körper elektrisch an eine durch die Über führung der Schalteranordnung aus ihrem nicht-leitenden in ihren leitenden Zustand bzw. umgekehrt steuerbare elektronische Schalteinrichtung angeschlossen sind.
  • Sollen mehrere Beschleunigungs-Schwellwerte bzw. -Grenzwerte festgehalten werden, um einen Überblick über die Änderung der Beschleunigung in Abhängigkeit von der Zeit zu erhalten, so kann in vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung die erfindungsgemäße Schalteranordnung, insbesondere in Verbindung mit der ihr zugeordneten elektronischen steuerbaren Schalteinrichtung, einer Mehrzahl gleichartiger Schalteranordnung parallelgeschaltet sein, die jeweils auf unterschiedliche Beschleunigungswerte ansprechen.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der zugehörigen Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigen: Fig. 1 perspektivisch eine Ansicht eines bevorzugten Ausführungsbeispiels einer Schalteranordnung nach der Erfindung; Fig. 2 schematisch ein die Schalteranordnung nach Fig. 1 verwendendes Schaltbild; Fig. 3 eine etwas abgewandelte Ausführungsform einer Schalteranordnung nach der Erfindung; Fig. 4 schematisch eine Schaltungsanordnung mit einer Mehrzahl von Schalteranordnungen nach der Erfindung sowie einer Mehrzahl diesen zugeordneter Transistoren zur Messung des Beschleunigungsprofils eines Gegenstandes; Fig. 5A ein typisches Eeschleunigungsprofil; Fig. 5B ein Diagramm, das das Ansprechen einer Reihe etwa entsprechend Fig. 4 zusammengeschalteter Schalteranordnungen nach der Erfindung bei der Gewinnung des Beschleunigungsprofils nach Fig. SA erkennen läßt.
  • Im einzelnen zeigt Fig. 1 eine Schalteranordnung 10, wie sie sich leicht an einem zu untersuchenden Gegenstand (nicht dargestellt) wie einem Automobil, einem Artilleriegeschoß oder auch einer Drehbank anbringen läßt. Aus Erläuterungsgründen - ohne daß dadurch jedoch die Anwendbarkeit der Erfindung eingeschränkt werden soll -sei angenommen, daß die Schalteranordnung 10 sich in Richtung eines Pfeiles 7, d.h. bezogen auf die Zeichnung senkrecht nach oben, bewegt. Wenn die Geschwindigkeit des mit der Schalteranordnung 10 ausgestatteten Gegenstandes zunimmt, so erfahren Gegenstand und Schalteranordnung eine Beschleunigung in Richtung des Pfeiles 7. Entsprechend den beiden Newtonschen Gesetzen, wonach die Kraft dem Produkt aus Masse und Beschleunigung bzw. actio = reactio ist, erfahren der Gegenstand und die Schalteranordnung 10 in der mit einem Pfeil 8 angedeuteten Richtung, also entgegengesetzt zur Bewegungsrichtung entsprechend dem Pfeil 7, eine neschleunigungskraft. Die Schalteranordnung 10 ist in der Lage anzusprechen, wenn die Beschleunigungskraft in Richtung des Pfeiles 8 aufgrund einer weiter zunehmenden Beschleunigung einen bestimmten Grenzwert überschreitet, wobei ein allgemein mit 12 bezeichneter Schalter durch Auslenkung einer oberen Zunge 18 zu einer unteren Gegenzunge 14 hin betätigt wird.
  • Die Gegenzunge 14 bildet einen ersten leitenden Körper, der den unteren Kontakt des Schalters 12 darstellt. Die Gegenzunge 14 ist ein einfaches, ebenes Gebilde, das über seine gesamte Länge leitend und in Fig. 1 als feststehend wiedergegeben ist. Die Gegenzunge 14 kann aus jedem geeigneten leitenden Material hergestellt sein. Vorzugsweise besteht sie jedoch aus Gold.
  • An die Gegenzunge 14 anschließend erstreckt sich eine Schicht 16 aus Titan, die jedoch ebenfalls aus anderen Werkstoffen bestehen kann, sofern diese nur eine ausreichende Haftung an einem den Schalter 12 aufnehmenden Substrat 11 gewährleisten und sich im übrigen ohne Beeinträchtigung des die Gegenzunge 14 bildenden Materials ätzen lassen. Die Verbindung zwischen Gegenzunge 14 und Schicht 16 wird durch intermetallische Kräfte hervorgerufen, wobei die Einzelheiten im Rahmen der vorliegenden Erfindung jedoch nicht von Bedeutung sind, so daß darauf nicht weiter eingegangen wird.
  • Die Gegenzunge 14 ruht mit der Schicht 16 auf dem Substrat 11 auf, das aus einem Isolierwerkstoff wie Glas oder Aluminiumoxid hergestellt ist und eine typische Dicke im Bereich von etwa 0,05 bis 0,5 mm haben kann. Das Titan soll nicht nur ein einwandfreies Ätzen ermöglichen, sondern auch dazu dienen, die vorzugsweise aus Gold bestehende Gegenzunge 14 an dem aus Isolierwerkstoff bestehenden-Substrat 11 haften lassen zu können.
  • Die freie Zunge 18 bildet einen zweiten leitenden Körper. Sie ist eben und beweglich ausgebildet und über ihre gesamte Länge leitend.
  • Das in Fig. 1 linke, durch einen Rand 20 begrenzte Ende der freien Zunge 18 steht an seiner dem Substrat 11 zugewandten Seite mit einem aus leitendem Material hergestellten Distanzstück 26 mittels intermetallischer Kräfte mit einem Bereich in Verbindung, der durch den Rand 20 sowie einen Punkt 21 definiert ist. Mit einem weiteren Bereich, der durchseinen am in Fig. 1 rechten Ende der Zunge 18 befindlichen Rand 22 sowie einen - bezogen auf die Zeichnung - links davon angeordneten Punkt 23 definiert ist, ragt die freie Zunge 18 bis in den Bereich der feststehenden Gegenzunge überlappend hinein. Der zwischen dem Punkt 21 und dem Rand 22 liegt gende Teil der freien Zunge 18 ist durch keinerlei zwischengescha~ tetes Material abgestützt. Wenn ein mit der Schalteranordnung 10 ausgestatteter Gegenstand sich in Ruhe befindet, vedäuft der zwischen dem Punkt 21 und dem Rand 22 befindliche Bereich der freien Zunge 18 im wesentlichen parallel zu der Gegenzunge 14. Das Distanzstück 26 bestimmt den Abstand y zwischen den beiden Teilgebieten, in denen die freie Zunge 18 und die Gegenzunge 14 einander überlappen. Im Ruhezustand des Gegenstandes nehmen die beiden Zungen 14 und 18 daher eine im wesentlichen feststehende Lage relativ zueinander ein.
  • Die freie Zunge 18 ist ebenso wie die Gegenzunge 14 vorzugsweise aus Gold hergestellt, obwohl andere Metalle in gleicher Weise einsetzbar sind, sofern sie eine ausreichende Nachgiebigkeit und Elastizität, ferner eine zur leichten Einstellung ihrer Dicke geeignete Ätzbarkeit aufweisen. Ferner muß das Metall genügend gleichförmig und frei von Fehlstellen sein, eine gegenüber den anderen verwendeten Metallen unterschiedliche Ätzbarkeit und einen Elastizitätsmodul E haben, der sich mit der Temperatur nur geringfügig ändert. Das Distanzstück kann aus Nickel, Molybdän oder einem anderen Material bestehen, das sich unter einer aus Gold bestehenden freien Zunge 18 leicht herausätzen läßt, ohne daß die Zunge selbst durch den Atzvorgang angegriffen wird.
  • Mit dem Distanzstück 26 ist eine Lage 28 aus leitendem Metall, vorzugsweise wiederum Gold, verbunden. Die Lage 28 erstreckt sich in demselben Höhenabstand von der oberen Begrenzungsebene des Substrats 11 wie die Gegenzunge 14. Ein kleiner Teil der Lage 28 steht mit dem Distanzstück 26 in Verbindung. An die Lage 28 angrenzend erstreckt sich eine Schicht 17 aus Titan. Die Schicht 17, die Lage 28 und das Distanzstück 26 stellen einen ersten, leitenden Bestandteil der Abstützung der freien Zunge 18 dar, dessen zweiten Bestandteil das isolierende Substrat 11 bildet.
  • Bei der Bestimmung der den Schalter 12 bildenden Elemente müssen eine Reihe von Faktoren berücksichtigt werden. Zu diesen Faktoren gehören die Länge L, mit der die freie Zunge 18 von dem Punkt 21 aus über das Distanzstück 26 hinausragt, der Abstand y zwischen der freien Zunge 18 und der Gegenzunge 14, die Resonanzfrequenz der freien Zunge 18, die elektrostatischen Anziehungskräfte zwischen den Zungen und die Stärke d der oberen freien Zunge 18.
  • Wie bei jedem Schalter steht zwischen den Zungen 18 und 14 eine Spannung an, wenn der Schalter sich im geöffneten Zustand befindet. Wegen der besonders kleinen Größe des Schalters nach der Erfindung bringen daher übermäßig große Spannungen zwischen den Zungen Probleme mit sich. Eine Begrenzung für die Betriebsspannung ergibt sich aus der dielektrischen Durchbruchsspannung für Luft, die typischerweise in dem Bereich von 2-3 x 106 V/m liegt. Es ist wünschenswert, daß dieser Durchbruch eintritt, wenn der Schalter sich bis auf 5 % seines ursprünglichen Abstandswertes - d.h. den Abstand zwischen der freien Zunge 18 und der Gegenzunge 14 für den Ruhezustand von Gegenstand und zugeordnetem Schalter - geschlossen hat. Diese Zusammenhänge lassen sich wie folgt ausdrucken: VBetr < 2-3 x 106 V/m, (1) 0,05 y = worin y der Abstand zwischen den Zungen ist, wenn der mit dem Schalter versehene Gegenstand sich im Ruhezustand befindet. Wie ersichtlich, wird entsprechend der Beziehung (1) die Arbeitsspannung zwischen den Zungen auf einen sehr kleinen Wert von vorzugsweise weniger als 1 Volt begrenzt.
  • Eine weitere Einschränkung für die Betriebs spannung ergibt sich aus der elektrostatischen Wirkung, die ggf. durch eine zu große, auf die Zungen einwirkende Spannung hervorgerufen werden kann. In einem solchen Fall könnte es zu einer vorzeitigen Schließung der Kontakte infolge elektrostatischer Anziehung kommen. Mit anderen Worten, die Zungen würden schließen, bevor die Schwellwert-Beschleunigung erreicht worden ist, so daß der Beschleunigungswert ungenau angezeigt würde. Um den Einfluß der elektrostatischen Wirkung weitestgehend auszuschalten, sollte die Betriebsspannung daher weniger als 5 % der Spannung ausmachen, bei der es zu einem Anziehen kommen kann. Um eine einwandfreie Anzeige einer bestimmten Schwellwert-Beschleunigung zu erhalten, muß daher gelten: VBetr 50,05 VAnz (2) Die Anzug-Stannung - VAnz der Beziehung (2) ist die Spannung, die die Kontakte vorzeitig zum Schließen bringt, ehe die gewünschte Schwellwert-Beschleunigung a(t)Schwell erreicht worden ist. Die Anzug-Spannung bestimmt sich wie folgt:
    VAnZ158-y Q r Q WL'd a(t)Schwel , (3)
    w 276 olfL' lY K g
    worin E0 die Dielektrizitätskonstante von Luft, W die Breite der Zunge 18, L' der Abstand zwischen dem Rand 22 und dem Punkt 23 der Zunge 18 ist, in dem freie Zunge 18 und Gegenzunge 14 einander überlappen, y der Abstand zwischen den beiden Zungen 14 und 18 im Ruhezustand der schalteranordnung,? die Dichte der freien Zunge 18, d die Dicke der freien Zunge 18, g die Erdbeschleunigung und K die Federkonstante der Zunge 18 entsprechend der Beziehung K = 3Ed3WL' (4) 3L4 und E in der Beziehung (4) der Elastizitätsmodul der Zunge 18 sind.
  • Es ist für den einschlägigen Fachmann ohne weiteres ersichtlich, daß der zuvor erwähnte 5 %-Wert für die dielektrische Durchbruchsspannung von Luft und die Anzug-Spannung je nach den Bedingungen, unter denen der Beschleunigungsmesser eingesetzt werden soll, eine Änderung erfahren kann.
  • Bei der Bestimmung der Länge der Zunge 18 zwischen dem Punkt 21 und dem Rand 22 muß der Resonanzfrequenz der Zunge Rechnung getragen werden. Diese Resonanzfrequenz ergibt sich aus der Beziehung:
    res = 0t505 d F (Hz). (5)
    'Nachdern Länge und Dicke der Zunge 18 unter Verwendung der anderen Faktoren bestimmt worden sind, muß die Zunge 18 neu ausgelegt werden, so daß ihre Resonanz frequenz mehrere Oktaven über der höchsten Frequenzkomponente liegt, die in einem weiter unten noch zu erläuternden Beschleunigungsprofil enthalten ist.
  • Die Wahl der geometrischen Abmessungen wird ebenfalls durch den Beschleunigungs-Schwellwert bestimmt. Bei der Wahl des Abstandes zwischen den Zungen 14 und 18 muß daher auf die folgende Beziehung Rücksicht genommen werden:
    y = 3 e L4 1 + a(t)Schwell] (m) (6)
    2EdZ g
    .
    = 0,384 1 + a(t)Schwell
    freie
    - 0,334 a(t)Schwell (m).
    2 g
    fres
    Daher kann, nachdem eine Annäherung zwischen der Länge und der Dicke der freien Zunge 18 vorgenommen worden ist, der Abstand zwischen den Kontakten durch Einsetzen des gewünschten Wertes für die Schwellwert-Beschleunigung in Gleichung (6) ermittelt werden.
  • Für ein praktisches Ausführungsbeispiel käme die Verwendung von Gold mit einer Dichte von 2 x 1Q4 kg/m3 und ein Elastizitätsmodul von E = 8 x 109 kg/m2 in Frage.
  • Die Abmessungen für den Schalter könnten beispielsweise folgende sein: y = 6 Mikron, d = 6 Mikron, L = 0,05 mm und W - 0,025 mm.
  • Damit würde eine Schwellwert-Beschleunigung aschwell = 560 g erhalten und die Resonanzfrequenz fres = 6 kHz sein.
  • An die Zunge 14 und die Lage 28 sind Anschlußdrähte 30 bzw. 31 beispielsweise durch Herstellung einer Druckverbindung (thermal compression bonding) angeschlossen. Für die Anschlußdrähte 30 und 31 soll dasselbe Metall wie für die Gegenzunge 14 bzw. die Lage 28 verwendet werden, um die Bildung einer galvanischen Zellenwirkung möglichst gering zu halten. Vorzugsweise bestehen die Anschlußdrähte 30 und 31 daher aus Gold. Statt der Drähte 30 bzw. 31 können auch Goldstreifen-Zufhrungen verwendet werden, die über den Rand des Substrats 11 hinausragen.
  • Fig. 2 gibt eine elektrische Schaltung wieder, die anzeigt, oh der Schalter sich im geöffneten oder geschlossenen Zustand befindet.
  • Dieser Schaltkreis enthält einen Transistor 32 mit einem Kollektor 33, einer Basis 34 sowie einem Emitter 35. Der Emitter 35 liegt an Masse 40 und ist somit über den Anschlußdraht 30 mit der Gegenzunge 14 verbunden. Die Basis 34 steht mit der beweglichen freien Zunge 18 des Schalters 12 über das Distanzstück 26, die Lage 28 sowie den Anschlußdraht 31 in Verbindung. über einen Widerstand 37 liegt das Potential +V einer Speisespannung an der Basis 34. Wie erwähnt, ist die Betriebsspannung VBetr = VEB, wie das in Fig. 2 gezeigt ist, und kleiner als 1 V. Das Pontential +V liegt über einen Widerstand 39 ebenfalls an dem Kollektor 33. Im Betrieb ist der Transistor 32 normalerweise zwischen seinem Kollektor 33 und seinem Emitter 35 leitend. Im leitenden Zustand des Transistors erscheint an dessen Kollektorausgang nur eine geringe oder gar keine Spannung, weil der Widerstand des Transistors gegenüber dem Widerstandswert des Widerstandes 39 gering ist. Wenn jedoch der mit der Schalteranordnung nach der Erfindung ausgestattete Gegenstand die vorgegebene Schwell-Beschleunigung erreicht, so berührt die freie Zunge 18 die Gegenzunge 14, so daß der Schalter 12 in den geschlossenen bzw. leitenden Zustand UbergeWt. Dementsprechend fließt ein Strom von der das Potential +V führenden Anschlußklemme über den Widerstand 37, den Anschlußdraht 31, die Lage 28, das Distanzstück 26, die freie Zunge 18, die Gegenzunge 14, den Anschlußdraht 30 an Masse. Bei Schließung des Schalters 12 wird die Basis des Transistors 32 praktisch mit Masse kurzgeschlossen, so daß die Spannung VEB QF o und der Transistor nicht-leitend gemacht wird. In diesem Fall wird der Widerstand des Transistors im Verhältnis zu dem Widerstand 39 sehr groß, so daß an dem Kollektor 33 eine Ausgangsspannung auftritt. Diese erhöhte Ausgangsspannung am Kollektor 33 kann durch verschiedene logische Niedrigwert-Tore, beispielsweise DTL-(Dioden-Transistor-Logik) oder TTL (Transistor-Transistor-Logik)-Transistor-Tore oder C/MOS (Complementär-Metalloxidhalbleiter)-Tore erfaßt werden.
  • Mit Fig. 3 ist eine etwas abgewandelte Ausführungsform des Schalters der Fig. 1 wiedergegeben. Der Hauptunterschied besteht darin, daß die bewegliche Zunge aus einem Streifen besteht, der nicht nur an seinem einen, sondern an beiden Enden eingespannt ist.
  • Die Schalteranordnung der Fig. 3 weist eine Trägerschicht 50 auf, die, wie zuvor erläutert, aus einem Isolierwerkstoff hergestellt sein kann. An der Oberseite der Trägerschicht 50 befindet sich eine Schicht 51 aus Siliziumdioxid. Die Trägerschicht 50 nimmt die hier mit 54 bezeichnete Gegenzunge als feststehenden Kontakt auf.
  • Die bewegliche Zunge 56 ist mittels Enden 56a bzw. 56b an der Schicht 51 aus Siliziumdioxid befestigt. Der Abstand zwischen der Mitte der beweglichen Zunge 56 und der feststehenden Gegenzunge 54 hängt von der anzuzeigenden Schwellwert-Beschleunigung ab. Der Abstand läßt sich entsprechend der nachstehenden Beziehung berechnen:
    y - e L4 1 + a(t)Schwell (7)
    32d2E g
    Die Stärke der Schicht 51 aus Siliziumdioxid wird durch den zwischen den beiden Zungen erforderlichen Abstand bestimmt.
  • Naturgemäß treten hier die gleichen Probleme wie bei dem Ausführungsbeispiel mit frei auskragender Zunge auf.
  • Um es zu wiederholen, die dabei zu berücksichtigenden Faktoren waren: llektrostatische Wirkungen, Anzug-Spannung, dielektrischer Durchbruch für Luft, Stärke der beweglichen Zunge, Resonanzfrequenz, Länge L der beweglichen Zunge sowie Abstand zwischen den Zungen.Wie bei dem Ausführungsbeispiel mit frei auskragender Zunge werden beide Zungen aus Gold hergestellt, ebenso die Anschlußdrähte (nicht dargestellt) für die Verbindung der Schalterkontakte mit einem Transistor.
  • Zur Anzeige, wann der Schalter der Fig. 3 eine Betätigung erfährt, ist an die beiden Zungen in gleicher Weise wie mit Fig. 2 veranschaulicht ein Transistor angeschlossen.
  • Häufig soll in Form eines Diagramms aufgetragen werden können, wie ein bestimmter Gegenstand beschleunigt und anschließend wieder verzögert wird. Ein solches Diagramm wird als Beschleunigungsprofil bezeichnet. Fig. 5A gibt ein typisches derartiges Beschleunigungsprofil wieder, das - wie aus Fig. 5A ersichtlich - lediglich eine Aufzeichnung der Beschleunigung in Abhängigkeit von der Zeit ist.
  • Fig. 4 zeigt eine Schaltung mit einer Mehrzahl mit von 1 bis n bezeichneten Erfassungskreise, wie sie sich in vorteilhafter Weise zur Ermittlung eines Beschleunigungsprofils einsetzen läßt. Jeder dieser Erfassungskreise hat eine Schalteranordnung sowie einen Transistor, der die Betätigung des ihm zugeordneten Schalters anzeigt. Die Schalter können entweder der Ausführungsform der Fig. 1 mit frei auskragender beweglicher Zunge oder aber der Ausführungsform der Fig. 3 mit-beidseitig befestigter Zunge entsprechen. Die Längen der beweglichen Zungen sind unterschiedlich gehalten, so daß verschiedene Beschleunigungswerte erfaßbar sind.
  • Zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung nach Fig. 4 sei angenommen, daß mehrere der Erfassungskreise in Fig. 4 entsprechender Parallelschaltung an einem Artilleriegeschoß befestigt sind. Wenn das Geschoß abgefeuert wird, steigt die Beschleunigung bis zu einem Wert an, bei dem der Schalter 61 schließt. Die Schließung des Schalters 61 erfolgt zum Zeitpunkt tl, so daß am Ausgang eines Transistors 71 ein Signal abgegeben wird, wie das mit dem Kurvenzug 1 der Fig. 5B gezeigt ist. Wie daraus ersichtlich, bleibt der Schalter 61 geschlossen, bis die Beschleunigung des Geschosses wieder unter den vorgegebenen Schwellwert abfällt, so daß der Schalter wieder öffnet, der Transistor 71 leitend wird und die Ausgangsspannung des Transistors auf ihren Ausgangswert zurückgeht.
  • Diese erneute Öffnung des Schalters 61 erfolgt entsprechend Fig.
  • 5A zum Zeitpunkt tal2.
  • Bei weiterer Beschleunigung des Artilleriegeschosses schließt auch der Schalter 62 zu einem Zeitpunkt t2, wie mit dem Kurvenzug 2 der Fig. 5B angedeutet. Wenn der Schalter 62 schließt, liefert der Transistor 72 vom Zeitpunkt t2 ab eine größere Ausgangsspannung.
  • Der Schalter 62 bleibt geschlossen, bis die Beschleunigung des Artilleriegeschosses unter den vorgegebenen Schwellwert absinkt.
  • Dies erfolgt, wie mit dem Kurvenzug 2 der Fig. 5B dargestellt, zum Zeitpunkt tll.
  • In der gleichen Weise schließen alle an dem Artilleriegeschoß befestigten Schalter aufeinanderfolgend mit zunehmender Beschleunigung des Geschosses. Der weitere Ablauf läßt sich den Fig. 5A bzw.
  • 5B ohne weiteres entnehmen.
  • Es versteht sich, daß der Einsatz einer Mehrzahl von Erfassungseinrichtungen entsprechend der Schaltung der Fig. 4 nicht auf die Messung des Beschleunigungsprofils eines Artilleriegeschosses beschränkt ist. Wie oben erwähnt, läßt sich eine Mehrzahl solcher Erfassungskreise auch in Verbindung mit einer Turbine oder einem Generator einsetzen, um die Dreh- oder Zentrifugal-Beschleunigungskräfte zu messen. Ebenso kommt ein Einsatz für Automobile in Frage, an denen die Wirkung von Zusammenstößen untersucht werden soll, um das Verhalten eines Automobils bei einem Unfall zu bestinmen.
  • Die Erfindung stellt somit einen Beschleunigungsmesser zur Verfügung, der erfassen und anzeigen kann, wann eine bestimmte Schwellwert-Beschleunigung erreicht worden ist. Dabei können mehrere solcher Beschleunigungsmesser Verwendung finden, um eine kontinuierliche Ablesung von Änderungen sowohl zunehmender als auch abnehmender Natur der Beschleunigung zu erhalten.
  • Patentansprüche:

Claims (14)

  1. Patentansprüche.
    O Schalteranordnung zur Anzeige einer bestimmten Beschleunigung, dadurch gekennzeichnet, daß an einer gemeinsamen Stützeinrichtung ein erster leitender Körper und in geringem Abstand davon und elektrisch davon isoliert ein zweiter leitender Körper angeordnet sind und daß der zweite leitende Körper so bemessen und dabei sein Abstand von dem ersten leitenden Körper so gehalten ist, daß er bei und nur bei Einwirkung der bestimmten Beschleunigung auf die Schalteranordnung eine Bewegung erfährt, durch die er sich unter Überführung der Schalteranordnung in den leitenden Zustand auf den ersten leitenden Körper zu bewegt.
  2. 2. Schalteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche erste leitende Körper mit einem ersten, durch einen Rand C20) begrenzten Ende an der Stützeinrichtung befestigt ist und ein ein zweites Ende, das durch einen Rand (22) begrenzt ist, enthaltender Abschnitt des beweglichen ersten leitenden Körper sich ohne weitere Abstützung bei Stillstand der Schalteranordnung in im wesentlichen feststehender Zuordnung parallel zu dem ersten leitenden Körper und der Stützeinrichtung erstreckt.
  3. 3. Schalteranordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die im wesentlichen feststehende Zuordnung den Abstand zwischen dem Abschnitt und dem ersten leitenden Körper definiert, wenn die Schalteranordnung sich im Stillstand befindet, und daß die Länge des beweglichen zweiten leitenden Körpers und der Abstand durch die vorgegebene Beschleunigung a(t) entsprechend der Beziehung y = 3 L4 [1 + bestimmt sind, woriny der Abstand, e die Dichte2Ed des g beweglichen leitenden Körpers, L die Länge des beweglichen leitenden Körpers, E der Elastizitätsmodul des beweglichen leitenden Körpers, d die Stärke des beweglichen leitenden Körpers und g die Erdbeschleunigung sind.
  4. 4. Schalteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche zweite leitende Körper mit zwei Endbereichen (56a, 5Gb) auf eer Stützeinrichtung aufruht und der zwischen den beiden Endbereichen (56a, 56b) liegende Abschnitt des beweglichen zweiten leitenden Körpers bei Stillstand der Schalteranordnung eine im wesentlichen feststehende Lage relativ zu dem ersten leitenden Körper einnimmt und daß die Länge des beweglichen zweiten Körpers und der Abstand entsprechend der vorgegebenen Beschleunigung y = 34 L4 [1 + a(t)] bestimmt sind, worin y der Abstand, e die Dichte des beweglichen leitenden Körpers, L die Länge des beweglichen leitenden Körpers, E der Elastizitätsmodul des beweglichen leitenden Körpers ,d die Stärke des beweglichen leitenden Körpers und g die Erdbeschleunigung bedeuten.
  5. 5. Schalteranordnung nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Stützeinrichtung den ersten leitenden Körper gegenüber dem beweglichen zweiten leitenden Körper isoliert.
  6. 6. Schalteranordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der isolierende Teil der Stützeinrichtung aus Glas oder Aluminiumoxid besteht.
  7. 7. Schalteranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe der Stützeinrichtung etwa 0,05 bis 0,5 mm beträgt.
  8. 8. Schalteranordnung nach Anspruch 1, 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein erster Bereich der Stützeinrichtung leitend und ein zweiter Bereich der Stützeinrichtung nicht leitend ist.
  9. 9. Schalteranordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß der erste leitende Körper und der bewegliche zweite leitende Körper aus im wesentlichen gleichem Material bestehen.
  10. 10. Schalteranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Material Gold ist.
  11. 11. Schalteranordnung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß ihre beiden leitenden Körper elektrisch an eine durch die Überführung der Schalteranordnung aus ihrem nicht-leitenden in ihren leitenden Zustand bzw. umgekehrt steuerbare elektronische Schalteinrichtung angeschlossen sind.
  12. 12. Schalteranordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß sie einer Mehrzahl gleichartiger, jedoch jeweils auf unterschiedliche Beschleunigungswerte ansprechender Schalteranordnungen parallelgeschaltet ist.
  13. 13. Schalteranordnung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die steuerbare elektronische Schalteinrichtung sich im leitenden Zustand befindet, wenn der erste und der zweite leitende Körper einen ersten Schaltzustand einnehmen, und sich im nicht-leitenden Zustand befindet, wenn der erste und zweite leitende Körper einen zweiten Schaltzustand einnehmen.
  14. 14. Schalteranordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die steuerbare elektronische Schalteinrichtung ein Transistor (32; 71, 72 ...) ist und der erste und der zweite leitende Körper mit zwei Anschlüssen des Transistors verbunden sind.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3917611A1 (de) * 1989-05-31 1990-12-06 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren zur eichung eines beschleunigungsaufnehmers

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DE3917611A1 (de) * 1989-05-31 1990-12-06 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Verfahren zur eichung eines beschleunigungsaufnehmers

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