DE2136009C3 - Verfahren zur Herstellung von Photo Widerstandszellen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Photo Widerstandszellen

Info

Publication number
DE2136009C3
DE2136009C3 DE2136009A DE2136009A DE2136009C3 DE 2136009 C3 DE2136009 C3 DE 2136009C3 DE 2136009 A DE2136009 A DE 2136009A DE 2136009 A DE2136009 A DE 2136009A DE 2136009 C3 DE2136009 C3 DE 2136009C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layers
film
plate
resistance
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2136009A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2136009A1 (de
DE2136009B2 (de
Inventor
Norifumi Tokio Tachihara
Hiroshi Tokorozawa Saitama Yamaguchi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KK Koparu Tokio
Original Assignee
KK Koparu Tokio
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KK Koparu Tokio filed Critical KK Koparu Tokio
Publication of DE2136009A1 publication Critical patent/DE2136009A1/de
Publication of DE2136009B2 publication Critical patent/DE2136009B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2136009C3 publication Critical patent/DE2136009C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Hybrid Cells (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Photowidcrstandszellen, bei dem eine Wi-Jerstandsplattc, die einen photoleitfähigen Teil sowie mit diesem elektrisch verbundene leitende Elektroden aufweist, und zwei Anschlußleitungen, die in elektrischen Kontakt mit den entsprechenden Elektroden gebracht werden, zwischen zwei filmartige, elektrisch isolierende Schichten, von denen die die Lichteinfallsseite der Widerstandsplattc bedeckende Schicht mindestens an der den lichtempfindlichen Teil der Widerstandsplatte bedeckenden Stelle transparent ist, eingebettet und die zwei filmartigen Schichten außerhalb des Randes der Widerstandsplatte miteinander dicht verbunden werden.
Durch bemerkenswerte Fortschritte bei der Herstellung von Halbleiterelementen können neuerdings die verschiedensten lichtempfindlichen Materialien zur Herstellung "on photoleilendcn Zellen verwendet werden. Bei diesen Materialien besteht aber stets das Problem, daß sie sehr anfällig gegen Feuchtigkeit sind, d. h. ihre Lichtempfindlichkeit in starkem Maße abfallt, sobald sie Feuchtigkeit absorbieren. Aus diesem Grund ist es notwendig, die lichtempfindlichen Werkstoffe durch Einkapselung vor der feuchten äußeren Atmosphäre zu schützen. In der Praxis ist es üblich, das lichtempfindliche Material in Metallgehäuse, Glaskolben oiler aus einem Harzmatcrial bestehende Kapseln einzuschließen.
In Fig. la ist beispielsweise eine konventionelle Photowidcrstands/elle dargestellt, die sich in einem Metallgehäuse mit Glasfenster befindet Bei der Herstellung einer solchen Zelle wird ein blankes Element 1, das mit einem lichtempfindlichen Material beschichtet ist, mittels einer Grundplatte 2, die mit von Isolierstücken la getragenen Leitungsdrähten 2b versehen ist, und mittels einer metallischen Kappe 3, in deren Oberseite sich ein Glasfenstei 3« befindet, eingekapselt Das blanke Element 1 ist mit einem lichtempfindlichen Teil la, das mit einem lichtempfindlichen Material, wie /.. B. CdS, beschichtet ist, sowie mil Elektrodenteilen lh, welche aus einem aufgedampfton leitenden Stoff, wie z. U. Indium, bestehen, der die Elektroden bildet, versehen. In die Befestigungslocher 1 c, die als Zentren der Sammelzonen der Elektrodenteile lh dienen, werden die Leitungsdrähte 2/) während der Montage des Photowiderstandes eingesetzt Ein leitendes Material, wie z. B. Silbe rpastc 4, wird auf die Bereiche der Befestigungslöcher, welche die eingesetzten Leitungsdrähte 2h halten, aufgebracht Eine solche Photowidersiandszelle in einem metallischen Gehäuse hat an sich den Vorteil, daß sie nicht wasseraufnahmefähig ist. Durch das obere Glasfenstei 3« ist aber seine Festigkeit gegen mechanische Beschädigungen gering. Außerdem ist das metallische Gehäuse relativ aufwendig und entsprechend kostspielig und muß unter Berücksichtigung der Wärmedehnungskoelfizienten von Metall und Glas sorgfältig ausgewählt werden. Ferner hat diese bekannte Photowiderstandszelle den Nachteil, daß /u viele Befestigungs- und Abdichtungsschritte bei seiner Herstellung erforderlich sind, und daß die Gestalt der Einzelteile teilweise für eine Massenproduktion ungeeignet ist.
Eine andere bekannte Photowiderstandszelle, die in ein Glasgehäuse 5 eingeschlossen ist, ist in F i g. 1 b dargestellt. Hei der Herstellung einer solchen Zelle werden die Leitungsdrähte 2b, die mit dem Element 1 durch Silberpaste 4 verbunden sind, während dei Einkapselung an den Auslaßteilen 5a, die im Bodenteil des Glasgehäuses 5 gebildet sind, an das Glas angeschmolzen. Hier muß man also das blanke Element 1 vor Hitze schützen. Aus diesem Grund muß ein he-
[riiclUlicher Abstand zwischen dein H<ideiiti.il des Glasgehäuse* 5 und dem hlemciit I eingehalten wer-Jcn, das oberhalb eines Vcrsteilungsglicdcs 6 monlitrt M. Bei dieser Anordnung ist es jedoch schwierig, Line genügend kleine oder kompakte Photowiderstandszelle zu schaffen. Ferner kann das Glasgehäuse naturgemäß durch Stöße beschädigt werden. Weiterhin besteht hei dem Glasgehäuse das Problem, daß us nur unter Schwierigkeiten eine genaue gleichmäßige äußere Gestalt erhalten kann. Ein weiterer Nachteil dieses bekannten Photowiderstandes besieht darin, daß er ähnlich wie im Falle des Metallgehäuses Schwierigkeiten bei der Massenproduktion bereitet.
I- ig. 1 c zeigt noch einen weiteren konventionellen l'hotowiderstand, der sich in einem Gehäuse aus Harzmatcrial befindet. Dieser Photowiderstand hat an sich den Vorteil, daß er sehr stoßfest ist und bei seiner Herstellung in der Massenfertigung eine gleichmäßige Gestalt besitzt. Andererseits kommt aber häufig zwischen der Kappe 7 und der Grundplatte 8, die beide aus dem Harzmaterial bestehen, nicht die Verbindung 9 in der gewünschten Weise zustande, und nach der Herstellung der Verbindung können sich feine durchgehende Poren oder Sprünge bilden. Durch diese Poren oder Sprünge kann das blanke Element 1 leicht der unerwünschten Feuchtigkeit ausgesetzt werden und diese absorbieren. Weitere Nachteile dieser bekannten Zelle bestehen darin, daß die erforderliche Festigkeit der Verbindung nicht gewährleistet ist, insbesondere hinsichtlich zeitlicher Änderungen beim Verbindungsverfahren. Im übrigen hat auch dieser bekannte Photowiderstand ähnliche Nachteile wie die beiden oben beschriebenen bekannten Bauelemente.
Aus der deutschen Patentschrift 829 194 ist ferner ein Halblciter-Fotowiderstand bekannt, bei dem ein lichtempfindliches Halbleiterelement und zugehörige Anschlußdrähle /wischen einer isolierenden Grundplatte aus einem durch ein Lösungsmittel lösbaren Kunststoll und einer (einzigen) Filmschicht aus dem gleichen Kunststoff eingeschichtet sind. Die Filmschicht wird im gelösten Zustand aufgebracht und muß dann tagelang getrocknet werden. Dieses Verfahren ist umständlich und zeitraubend und für eine Massenfertigung wenig geeignet.
Aus der USA.-Patentschrift 3 .137 XW ist ein licht empfindliches Bauelement bekannt, bei dem eine Schicht aus lichtempfindlichem Halbleitermaterial auf einer isolierenden Grundplatte liegt und ihrerseits getrennte Ilekliodenbelägc trägt.
Hm Verfahren der eingangs genannten Art ist bereits aus der deutschen Auslegeschrift 1 162011 bekannt. Durch das bekannte Verfahren soll ebenfalls eine photoleitende Zelle gegen atmosphärische Einflüsse geschützt werden, dtKh ist es relativ aufwendig bei der Massenfertigung von Bauelementen.
Aufgabe der Erfindung ist, dieses Verfahren auf möglichst einfache Weise so zu verbessern, daß es die gleichzeitige Herstellung einer Mehrzahl von Photowiderstandszellcn ermöglicht.
Die Erfindung löst diese Aufgabe bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch, daß gleichzeitigeine Mehrzahl von mit jeweils einer isolierenden Grundplatte versehenen Widerstandsplatten mit jeweils einem Paar von Anschlußleitungen zwischen den zwei filmartigen Schichten angeordnet, die Schichten dann durch Zusammendrücken außerhalb des Randes der Widerstandsplatten verbunden und die Schichten dann längs ihrer Verbindungsstellen zerschnitten werden.
Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß es sich besonuers gut für die Massenfertigung eignet. Es ist einfacher als die bekannten Verfahren und ermöglicht die gleichzeitige Herstellung bzw. Einkapselung mehrerer Zellen in relativ kurzer Zeitdauer.
Die dichtende Verbindung der beiden filmartigen Schichten kann durch ein Vakuumverfahren erfolgen. Hierbei kann man sich eines Klebe- oder Bindemittels, eines Warmschweißverfahrens, eines Hochfrequenzschweißverfahrens oder eines Ultraschallschweißverfahrens bedienen.
Die Erfindung wird an Hand eines Ausführungsbeispiels näher eriäutert. In den sich darauf beziehenden Teilen der Zeichnung zeigt
Fi g. 2 eine Seitenansicht der Einzelteile einer Photowiderstandszelle, bevor sie gemäß der Erfindung zwischen zwei Schichten eingekapselt werden, die dicht und fest miteinander verbunden werden, Fi g. 3 eine Draufsicht auf eine Photowiderstandszelle, aus der die Anordnung der Einzelteile nach der Zusammenschichtung und Abdichtung erkennbar ist,
F i g. 4 »"inen Schnitt durch F i g. 3 längs der Ebene IVlV,
Fig. 5 eine Drauisicht auf einen Photowiderstand, der die für seine Verwendung geeignete Form erhalten hat,
Fig. 6 eine Draufsicht auf eine andere Ausführungsform eines Photowiderstandes, der eine andere Form als gemäß Fig. 5 erhallen hat,
Fig. 7 eine der Fig. 3 entsprechende Draufsicht auf eine Anordnung, wie sie beispielsweise für die Massenproduktion geeignet ist,
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht einer transparcnteti filmartigen Schicht, der vorbereitend Leitungsdrähte einstückig angeformt worden sind,
Fig. 9 ein Diagramm zum Vergleich der Eigenschaften eines nach der Erfindung hergestellter·. Photowiderstandes mit denen eines bekannten Baueleinentes hinsichtlich des Anderungsverhaltens des Beleuchtungswiderstandes,
Fig. 10ein Diagramm, das das Ergebnis von Wärmeversuchen mit einem gemäß der Erfindung herge stellten Photowiderstand und einein bekannten Bauelement zeigt,
Fig. 11 ein Diagramm mit Vergleichseigcbnissen, die bei Feuchtigkeitssicherheitsversuchen mit einem erfindungsgemäß hergestellten Photowideistand und einem bekannten Photowidei stand erzielt wurden. In den Fig. 2 bis 6 ist eine elektrisch isolierende Grundplatte 10 dargestellt, die einen lichtempfindlichen Teil 10a, der durch Aufschichtung eines auf Licht ansprechenden Materials geschaffen wurde, und einen Elektrodenteil 10b aufweist, der durch Bcschichtung der Platte mit einem leitenden Material zustande kommt, und elektrisch mit dem lichtempfindlichen Teil 10a verbunden ist. Diese Grundplatte 10 entspricht dem oben als »blankes Element« bezeichneten Teil. Leitungsdrähte 11α und lib sind derarl fio angeordnet, daß ihre Positionen denjenigen der Elektrodcnteile 106 entsprechen. Eine flache, band- odei filmartige, elektrisch isolierende Schicht 12 ist optisch transparent oder durchscheinend. Eine weitere solche band- oder filmartige Schicht 13 ist ebenfalls elek trisch isolierend. Selbstverständlich müssen diese bei den Schichten 12 und 13 von ausgezeichnetem Feuch tigkeits- und Wetterbeständigkeit sein.
Nachlolgend soll das erfindungsgemäß durchge
führte Herstellungsverfahren eines Photowiderstandes erläutert werden. Seine Einzelteile 13, 10, 11a, 116 und 12 werden in der in F i g. 2 dargestellten Reihenfolge aufeinandergelegt. Dieser Stapel aus Einzelteilen wird in der in Fig. 3 gezeigten Weise in einen Raum 14 gebracht, der durch (nicht dargestellte) Teile gebildet ist, die dafür sorgen, daß dieser Raum (zwischen den Schichten 12 und 13) luftdicht ist. Von unterhalb der Schicht 13 wird dann die im Raum 14 vorhandene Luft zur Schaffung eines Vakuums abgesaugt. Die beiden Schichten 12 und 13 werden daraufhin in feste Berührung miteinander kommen, wobei zwischen ihnen sowohl die Grundplatte 10 als auch die an die Elektrodenteilc 106 angehefteten Leitungsdrähte 11a bzw. 116 eingeschlossen werden. Die eine der beiden Schichten, nämlich die Schicht 12, die zunächst noch flach gewesen war, deformiert sich dadurch und legt sich um die Grundplatte 10 herum. Es sei bemerkt, daß sich auch beide Schichten 12 und 13 deformieren können. Die Grundplatte 10 ist also nun eingekapselt. Nun werden die Berührungsbereiche 15 (Fig. 4) durch ein geeignetes Bindemittel fest miteinander verbunden, damit diese Bereiche luftdicht sind. Wenn der Stapel aus den Einzelteilen sich in diesem Zustand befindet, werden die Leitungsdrähte 11« und 116 unter Druck mit den Elektrodcnteilen 106 der Grundplatte 10 kontaktiert; sie dienen als Anschlußelcktroden, die aus der Schichtkapsel herausragen. Nach der Montage wird der Photowiderstand von an ihn angrenzenden ähnlichen Einheiten abgeschnitten und dabei in eine für die Verwendung geeignete Form gebracht, wie sie in F i g. 5 dargestellt ist. Wenn man die Leitungsdrähte Ha und 116 zuvor an geeignete Stellen gebracht hat, kann man auch einen Photowiderstand mit der in Fig. 6 dargestellten Form erhalten.
Oben wurde erläutert, wie ein Photowiderstand durch ein Vakuum-Einkapselungsverfahren montiert werden kann. Selbstverständlich kann die Montage aber auch auf andere Weise erfolgen. Eine Möglichkeit besteht z. B. darin, die Schicht 12 unter Verwendung einer geeigneten Schablone oder Spannvorrichtung direkt nach unten auf die Schicht 13 zu drücken. Statt dessen kann auch in der Schicht 12 durch eine Spann- oder Schablonenvorrichtung ein kappenartiger Bereich gebildet werden, worauf die so behandelte Schicht 12 nach unten auf die andere Schicht 13 gepreßt wird. Mit einem Bindemittel werden die beiden Schichten 12 und 13 fest miteinander verbunden, so ■ daß eine fertige Zelle entsteht, die beispielsweise die in Fi g. 4 dargestellte Form haben kann. Statt die einander eng berührenden Flächen der beiden Schichten durch einen Klebstoff miteinander zu verbinden, können die beiden Schichten auch durch Hochfrequenzerhitzen oder durch Ultraschallschwingungen zusammengeschweißt werden.
Fi g. 7 zeigt in verkleinertem Maßstab eine Teilansicht einer Anordnung von Teilen, wie sie bei dem erfindungsgemäß ausgeführten Verfahren in der Massenproduktion angewandt werden kann. Fig. 3 zeigt eine dieser Einheiten, nachdem sie aus der in der Teildarstellung der Fig. 7 gezeigten Anordnung herausgeschnitten worden ist. Aus Fig. 7 ist ersichtlich, daß man eine Anzahl im Abstand voneinander angeordneter Zelleneinheitcn, deren Einzelteile an den gewünschten Positionen liegen, gleichmäßig zur gleichen Zeit montieren kann. Sie müssen lediglich nach ihrer Montage in eine geeignete Form geschnitten werden.
Falls eine Anzahl von Photowiderständen mit einheitlicher Anordnung gleichzeitig hergestellt werden soll. kann man die Massenproduktivität noch dadurch verbessern, daß man aus dünnen Kupferstreifen gebildete Leitungsdrähte entsprechend den Drähten 11« und
I i/'diiekt auf die eine Seite der Schicht 12 aufdruckt, wie dies in Fig. S dargestellt ist.
Die Art und Weise, wie Photowidcrsliiiulc nach dem Verfahren der Erfindung hergestellt werden, soll ίο nun an einigen Beispielen noch näher erläutert werden.
Beispiel I
Es wurden Schichten 12 und 13 aus Polyimid verwendet. Auf die Oberfläche der Schicht 12 wurden als Leitungsdrähte 1 la und 116 dienende Streifen aus Kupferfolie durch ein Aufschmcl/vcrfahrcn aufgebracht. Eine Anzahl vorbereiteter Grundplatten 11) wurden im Abstand voneinander auf die Schicht 13 gelegt, wie dies in I· i g. 7 dargestellt ist. Auf die Oberseite aller dieser bcabstandeten Elemente wurde die Schicht 12 gelegt. Dann wurden die Schichten 12 uml 13 an entgegengesetzten Seiten zusammcngcpicßl, um sie in enge Berührung miteinander zu bringen Schließlich wurden die Bcrührungsbercichc der beiden Schichten 12 und 13 durch Erhitzen miteinander verschmolzen.
B c i s ρ i e I 11
Es wurden wieder Schichten 12und 13 aus Polyimid verwendet. Auf die Innenseite der Schicht 13 wurde ein Klebstoff aufgebracht. Eine Anzahl blanker Elemente wurde dann auf die gleiche Weise wie beim Beispiel I eingekapselt.
Beispiel Nl
Es wurden Schichten 12 und 13 aus transparentem Polyester verwendet. Auf die Innenfläche der Schicht 12 wurde ein Klebstoff in Form von mikroverkapseltem transparentem Epoxydharz aufgetragen. Andererseits wurde auf die Innenfläche der Schicht 13 ein mikroverkapseltes Epoxydhärtungsmittel aufgebracht. Grundplatten 10 und Leitungsdrähte 11 o, 11 b
wurden aufeinandergelegt zwischen die Schichten 12 und 13 gepackt. Die gegenseitigen Bcrührungsbcrciche der Schichten 12 und 13 wurden durch Anleger von Druck an diese Bereiche von entgegengesetzter Richtungen miteinander verbunden.
Die nach dem Beispiel III eingekapselten Photowiderstände wurden an ihren lichtempfindlichen Teiler nicht durch das Härtungsmittel chemisch beeinträchtigt. Die Berührungsbereiche der Schichten 12 unc 13 waren außerordentlich gut miteinander verbunden
Vergleicht man daher die gemäß Beispiel III hergestellten Photowiderstände mit Bauelementen, die nach dem konventionellen Metall-Glas-Einkapse lungsverfahrcn mit »hermetischem Abschluß« herge stellt wurden, wie eingangs erläutert wurde, so zeigi
sich, daß ein gemäß der Erfindung hergestellter Pho towiderstand in seinen Betriebseigenschaften den bc kannten Bauelementen in keiner Weise unterlegen ist Dies geht aus den Diagrammen der Fig. 9, 10 unc
I1 hervor. Fig. 9 zeigt einen Vergleich zwischen den Verhalten des Beleuchtungswidcrstandcs zweier ZeI
len, deren Beleuchtungsabhängigkeit γ konstant nahi bei 1 liegt. Die eine dieser Zellen ist cntspreehenc Ί·ίιι Verfahren cit-i vorliegenden Erfindung einge
kapselt worden (ausgezogene Linie), die andere auf konventionelle Weise (gestrichelte Linie).
Fig. 10 zeigt einen Vergleich zwischen den Ergebnissen einer Temperaturwechselprüfung. Bei dieser Prüfung wurde ein Photowiderstand zunächst 23 Stunden lang bei normaler Temperatur im Dunklen belassen. Danach wurde die Zelle eine Stunde lang mit 300 Lux beleuchtet. Als Referenzwert wurde der Widerstandswert verwendet, den die in der obenerwähnten Weise behandelte Zelle aufweist, wenn ihre dem Licht ausgesetzte Stirnfläche mit 1 Lux beleuchtet wird. Der Punkt α zeigt die Änderungsrate des Widerstandswertes der Zelle, die sich ergibt, wenn man sie zuerst 24 Stunden lang bei 70° C und dann noch 23 Stunden lang bei 25° C im Dunklen hält, sie dann eine Stunde lang mit 300 Lux beleuchtet, und ihre Oberfläche anschließend der Beleuchtung von 1 Lux aussetzt. Der Punkt b hingegen zeigt die Änderungsrate des Widerstandes, die sich ergibt, wenn die Zelle zunächst 24 Stunden lang bei -20° C und dann noch 23 Stunden lang bei 25° C im Dunklen beläßt, sie dann eine Stunde lang mit 300 Lux beleuchtet und ihre Lichtempfangsfläche anschließend der Beleuchtung von 1 Lux aussetzt. Bei diesem Diagramm entspricht die ausgezogene Linie wieder dem erfindungsgemäß hergestellten Photowiderstand, während die unterbrochene Linie den Widerstandswert der nach dem bekannten Verfahren hergestellten Zelle wiedergibt.
Fig. 11 zeigt einen Vergleich zwischen den Ergebnissen einer Wechselprüfung zur Feststellung dei Feuchtigkeitssicherheit. Bei dieser Prüfung wurde ein Photowiderstand zuerst 23 Stunden lang in der Dunkelheit auf Normaltemperatur gehalten. Danacli wurde er eine Stunde lang mit 300 Lux beleuchtet Der Widerstandswert, der sich ergab, wenn die in dei oben beschriebenen Weise behandelte Zelle mit ihrei Oberfläche der Beleuchtung von 1 Lux ausgesetzi wurde, diente wieder als Referenzwert. Der Punkt ( repräsentiert die Änderungsrate des Widerstandswertes der Zelle, die zunächst 8 Stunden lang bei 55° C
is und einer relativen Feuchtigkeit von 95% und danr 13 Stunden lang bei 25° C und einer relativen Feuch tigkeit von 50% im Dunklen gehalten wurde, danr eine Stunde lang mit 300 Lux beleuchtet wurde unc schließlich mit ihrer Lichtempfangsfläche der Be leuchtung von 1 Lux ausgesetzt wurde. Die Punkte t und e zeigen die jeweiligen Änderungsraten bei Wie derholung der Verhältnisse gemäß Punkt c. Auch ii diesem Diagramm entspricht die ausgezogene LinU dem Wert der durch das Verfahren gemäß der Erfin
a5 dung hergestellten Zelle, während die unterbrochene Linie einer konventionell hergestellten Zelle ent spricht.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung von Photowiderstandszellen, bei dem eine Widerstandsplatte, die einen photoleitfähigen Teil sowie mit diesem elektrisch verbundene leitende Elektroden aufwo··»!, und zwei Anschlußleitungen, die in elektrischen Kontakt mit den entsprechenden Elektroden gebracht werden, zwischen zwei filmartige, elekirisch isolierende Schichten, von denen die die Lichteinfallsseite der Widerstandsplatte bedekkende Schicht mindestens an der den lichtempfindlichen Teil der Widerstandsplatte bedeckenden Stelle transparent ist, eingebettet und die zwei filmartigen Schichten außerhalb des Randes der Widerstandsplatte miteinander verbunden werden, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig eine Mehrzahl von mit jeweils einer isolierenden Grundplatte (10) versehenen Widerstandsplattcn (10, 10«, IQb) mit jeweils einem Paar von Anschlußleitungen (Πα, 1l/>) zwischen den zwei filmartigen Schichten (12, 13) angeordnet, die Schichten (12, 13) dann durch Zusammendrucken außerhalb des Randes der Widerstandsplattcn verbunden und die Schichten (12, 13) dann längs ihrer Verbindungsstellen zerschnitten werden.
2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußleitungen (Ht/, lib) vorbereitend auf die der Widerstandsplatte (10, 10«. 10/)) zugekehrte Oberfläche einer der filmartigen Schichten aufgebracht werden.
.V Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei filmartigen Schienten (12,13) jeweils auf ihrer Außenseite aus einem Polyiinid und an ihrer Innenseite aus einem transparenten Kunstharz bestehen, und daß das Verbinden der einander berührenden Bereiche (15) der beiden Schichten durch Warmverschmclziing erfolgt.
4. Verlaine η nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden filmartigen Schichten (12. 13) aus Polyester-Kunstharz bestehen, daß die Innenseite dei einen dieser Schichten mil der mikroverkapselten Hauptkomponente eines Epoxydharzklchstoffes bedeckt wird, daß die uncleie dieser Schichten auf ihrer Innenseite mit einem mikroverkapselten Epoxydhärtungsmiltel bedeckt wird, und daß die Berührungsbeieiche (15) der beiden Schichten (12, 13) durch Druck zusammengefügt und durch die Reaktion zwischen dem Epoxydharzkkhstoff und dem Hartungsniittel fest miteinander verbunden werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Verbinden der beiden filmartigen Schichten (12, 13) durch Hochfrequenz- oder Ultraschallverschweißen erfolgt
DE2136009A 1970-07-20 1971-07-19 Verfahren zur Herstellung von Photo Widerstandszellen Expired DE2136009C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6341870 1970-07-20

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE2136009A1 DE2136009A1 (de) 1972-01-27
DE2136009B2 DE2136009B2 (de) 1974-10-17
DE2136009C3 true DE2136009C3 (de) 1975-06-05

Family

ID=13228708

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2136009A Expired DE2136009C3 (de) 1970-07-20 1971-07-19 Verfahren zur Herstellung von Photo Widerstandszellen

Country Status (2)

Country Link
US (1) US3753197A (de)
DE (1) DE2136009C3 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2829260A1 (de) * 1978-07-04 1980-01-24 Licentia Gmbh Lichtempfindliche halbleiter-fotodiode
US5298742A (en) * 1993-02-24 1994-03-29 The United States Of America As Represented By Department Of Health & Human Services Light sensor for photo-dynamic therapy having a transparent housing
US7300182B2 (en) * 2003-05-05 2007-11-27 Lamina Lighting, Inc. LED light sources for image projection systems

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2987686A (en) * 1956-09-21 1961-06-06 Itt Photocells
US3013232A (en) * 1957-12-16 1961-12-12 Hupp Corp Control of response curves for photoelectric cells
US3177576A (en) * 1961-08-15 1965-04-13 Rca Corp Method of photocell manufacture by simultaneously sintering the photosensitive material and sealing the cell
US3444614A (en) * 1966-01-12 1969-05-20 Bendix Corp Method of manufacturing semiconductor devices

Also Published As

Publication number Publication date
DE2136009A1 (de) 1972-01-27
DE2136009B2 (de) 1974-10-17
US3753197A (en) 1973-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3236567C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Optokopplers und Leiterrahmenzuschnitt zur Anwendung bei dem Verfahren
DE3805572C2 (de) Trägerband für elektronische Bauelemente sowie Verfahren zum Herstellen einer Folge von elektronischen Bauelementen
DE2363600B2 (de) Elektrolumineszente anzeigevorrichtung
DE1515208B2 (de) Verfahren zur herstellung einer elektrischen heizscheibe
DE3324285C2 (de)
DE2937886A1 (de) Leiterplatte fuer gedruckte schaltung
DE3005773A1 (de) Oberflaechenwellen-bauelement
DE2136009C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Photo Widerstandszellen
DE19500655A1 (de) Chipträger-Anordnung sowie Chipträger zur Herstellung einer Chip-Gehäusung
EP0071311A2 (de) Verfahhren zur Herstellung von auf AnschluBflächen eines integrierten Bausteins aufgesetzten Kontaktelementen
EP3111474B1 (de) Verfahren zum herstellen einer leiterplatte mit eingebettetem sensorchip sowie leiterplatte
DE3031751A1 (de) Verfahren zur herstellung elektrotechnischer bauteile und nach diesem verfahren hergestellter schiebe- oder drehwiderstand
DE19721101A1 (de) Elektronische Komponenten mit Harz-überzogenen Zuleitungsanschlüssen
DE19739495A1 (de) Piezoelektrisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung desselben
DE102005010350A1 (de) LED-Herstellungsverfahren
DE4225990C1 (en) Mfg. electrical heating device with PTC elements - joined to heat removing elements by conductive adhesive in inner region but by non-conductive adhesive at outer edges
DE2326861C2 (de)
DE3035933A1 (de) Pyroelektrischer detektor sowie verfahren zur herstellung eines solchen detektors
DE2332208B2 (de) Flüssigkristallzelle und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3622223A1 (de) Verfahren zum herstellen eines elektronischen netzwerkbausteins
EP0111734B1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung
DE2031285C3 (de) Verfahren zum Herstellen einer Anzahl plättchenförmiger elektronischer Bauelemente mit Kunststoffgehäuse
DE1464143B2 (de) Elektrische Glühlampe
DE112021005830T5 (de) Chip-bauteil
DE2060332C3 (de) Festkörper-Bildverstärker und Verfahren zu seiner Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)