DE2126334B2 - Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode - Google Patents
Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer AnodeInfo
- Publication number
- DE2126334B2 DE2126334B2 DE2126334A DE2126334A DE2126334B2 DE 2126334 B2 DE2126334 B2 DE 2126334B2 DE 2126334 A DE2126334 A DE 2126334A DE 2126334 A DE2126334 A DE 2126334A DE 2126334 B2 DE2126334 B2 DE 2126334B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- cathode
- anode
- ion
- electrode
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/061—Construction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/08—Ion sources
- H01J2237/0815—Methods of ionisation
- H01J2237/082—Electron beam
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2126334A DE2126334B2 (de) | 1971-05-25 | 1971-05-25 | Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2126334A DE2126334B2 (de) | 1971-05-25 | 1971-05-25 | Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2126334A1 DE2126334A1 (de) | 1972-12-14 |
| DE2126334B2 true DE2126334B2 (de) | 1974-03-07 |
| DE2126334C3 DE2126334C3 (enExample) | 1974-10-17 |
Family
ID=5809074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2126334A Granted DE2126334B2 (de) | 1971-05-25 | 1971-05-25 | Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2126334B2 (enExample) |
-
1971
- 1971-05-25 DE DE2126334A patent/DE2126334B2/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2126334A1 (de) | 1972-12-14 |
| DE2126334C3 (enExample) | 1974-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2254904C2 (de) | Elektronenentstrahlvorrichtung zum Bestrahlen eines außerhalb der Vorrichtung angeordneten Bereichs mit einem Elektronenstrahl | |
| DE1814802A1 (de) | Vorrichtung zur Herbeifuehrung von Kernfusionen | |
| DE1930856A1 (de) | Anordnung zur Erzeugung von Verschmelzreaktionen | |
| DE1764117B1 (de) | Neutronengenerator | |
| DE2445603C3 (de) | Ionenquelle | |
| DE3881579T2 (de) | Ionenquelle. | |
| DE3424449A1 (de) | Quelle fuer negative ionen | |
| DE1953659C3 (de) | Ionenquelle für die Zerstäubung mit langsamen Ionen | |
| DE1087718B (de) | Verfahren und Vorrichtung fuer das Einfangen von Atomionen zur Zuendung eines Plasmas | |
| DE1218078B (de) | Vorrichtung zum Erzeugen und Einschliessen eines Plasmas | |
| DE1190590B (de) | Ionenquelle | |
| GB1166051A (en) | Improvements in or relating to Flash X-Ray Generation Methods and Apparatus | |
| DE2126334B2 (de) | Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode | |
| DE1299771B (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem fuer eine parametrische Elektronenstrahlverstaerkerroehre | |
| DE1803033B2 (de) | Lochmasken-Farbbildröhre | |
| DE1220050B (de) | Photozelle mit Sekundaerelektronenvervielfacher | |
| DE1074163B (de) | Kathodenstrahlröhre mit einem Strahlerzeugungssystem mit Ionenfalle | |
| DE1291026B (de) | Ionenquelle | |
| DE1279966B (de) | Ionisationsmanometer | |
| DE2304906C2 (de) | Feldemissions-Strahlerzeugungssystem | |
| DE1916608A1 (de) | Mikrowellenroehre | |
| DE578382C (de) | Glimmverstaerkerroehre | |
| DE4017288A1 (de) | Ionenfalle fuer ionen niedriger energie | |
| DE689532C (de) | Einrichtung zur Erzeugung positiver Ionen | |
| DE1491307C (de) | Elektronenstrahlerzeugersystem für eine Laufzeitröhre |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |