DE20314499U1

DE20314499U1 - Rückschlagventil für Vakuumpumpen

Info

Publication number: DE20314499U1
Application number: DE20314499U
Authority: DE
Original assignee: BOC Group Ltd
Current assignee: Edwards Ltd
Priority date: 2002-09-20
Filing date: 2003-09-17
Publication date: 2004-03-11
Anticipated expiration: 2013-09-18
Also published as: EP1400690A2; JP3100586U; US20040120838A1

Abstract

Vakuumpumpen-Rückschlagventil mit einem Ventilgehäuse (12), das einen Durchgangskanal mit einem Einlassende (14i) und einem Auslassende (14e) bildet, gekennzeichnet durch einen ringförmigen elastomerischen Einsatz, der in dem Ventilgehäuse (12) zwischen dem Einlassende und dem Auslassende angeordnet ist und einen Ventilsitz (16) bildet, und eine Kugel (18), die so angeordnet ist, daß sie sich gegen den Ventilsitz legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslassende (14e) zum Einlassende (14i) zu verhindern, und die im Gebrauch durch druckbeaufschlagtes gasförmiges Medium im Einlassende (14i) vom Ventilsitz (16) verdrängbar ist, um den Durchgang des gasförmigen Mediums vom Einlassende (14i) zum Auslassende (14e) zu ermöglichen.

Description

In Vakuumpumpen werden üblicherweise Rückschlagventile eingesetzt. Ein Rückschlagventil wird meistens an der Ausstoßseite einer trockenen Vakuumpumpe eingesetzt und so ausgelegt, daß es das Ausstoßen von Gas/Dampf aus der Pumpe zulässt, aber eine Rückströmung des Gases/Dampfes verhindert.
Ein bekanntes Rückschlagventil arbeitet mit einer schwerkraftbeaufschlagten Kugel. Im Betrieb legt sich diese Kugel gegen einen Ventilsitz an, bis der Ausstoßdruck ausreichend groß ist, um die Kugel entgegen der Schwerkraft vom Sitz abzuheben. Solange der Abgasdruck groß genug ist, um die Kugel vom Sitz abgehoben zu halten, ist das Ventil offen und ermöglicht den Durchtritt von Gas/Dampf aus der Pumpe. Wenn der Abgasdruck auf ein Maß abgefallen ist, bei welchem er die Kugel nicht mehr gegen die Schwerkraft abgehoben halten kann, fällt die Kugel zurück auf den Ventilsitz und verhindert eine Rückströmung von Gas/Dampf in die Pumpe.
Der Ventilsitz des bekannten Rückschlagventils ist aus Metall hergestellt, und um gute Gasdichtungseigenschaften zu erhalten, ist die Kugel entweder aus elastomerischen Material hergestellt oder besteht aus einem Metallformkörper, der mit einem elastomerischen Material beschichtet ist Der Elastomer muß ausreichend nachgiebig sein, um eine gute Gasdichtung zu erzeugen.
Das bekannte Rückschlagventil arbeitet gut, aber es entstehen Probleme, wenn korrosive Gase/Dämpfe befördert werden. Ein Beispiel eines solchen Gases/Dampfes ist ein Gas/Dampf, das bzw. der Fluor enthält. Die normalerweise bei Vakuumpumpendichtungen verwendeten elastomerischen Verbindungen wie beispielsweise Fluorelastomere, zum Beispiel Viton (Handelsname) unterliegen dem Angriff durch den Fluorgehalt des Vakuumpumpenabgases. Die Metallkomponenten werden durch dieses korrosiven Gase/Dämpfe ebenfalls angegriffen, sind aber typischerweise viel resistenter als die normalerweise verwendeten elastomerischen Verbindungen.
Um das Pumpen korrosiver Gase/Dämpfe zu ermöglichen, können Elastomere mit erhöhter Widerstandsfähigkeit gegen Angriff eingesetzt werden. Beispiele von Elastomeren mit erhöhter Widerstandsfähigkeit gegen Fluorangriff sind Perfluorelastomere, wie beispielsweise Chemraz (eingetragene Marke) und Kalrez (eingetragene Marke). Jedoch sind diese Materialien beträchtlich teurer als die üblicherweise verwendeten Materialien wie beispielsweise Viton, und obwohl eine zufriedenstellende Kugel aus massivem Chemraz oder Kalrez hergestellt werden kann, trägt dies in enormer Weise zu den Herstellkosten eines Rückschlagventils bei. In Fällen, wo die Kugel durch Beschichten eines Metallformkörpers hergestellt werden soll, kann das Kostenproblem verringert werden, aber die Auswahl von Elastomeren, die dafür benutzt werden können, ist durch das Erfordernis begrenzt, daß sie auf einen Metallformkörper aufbringbar sein müssen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eines oder mehrere der oben erwähnten Probleme mindestens teilweise zu überwinden und/oder eine brauchbare Alternative bereitzustellen.
Die Erfindung beinhaltet daher ein Vakuumpumpen-Rückschlagventil mit einem Ventilgehäuse, das einen Durchgangskanal mit einem Einlassende und einem Auslassende bildet, gekennzeichnet durch einen ringförmigen elastomerischen Einsatz, der zwischen dem Einlaßende und dem Auslaßene im Ventilgehäuse angeordnet ist und einen Ventilsitz bildet, und durch eine so angeordnete Kugel, daß sie sich gegen den Ventilsitz legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslassende zum Einlassende zu verhindern und im Betrieb durch druckbeaufschlagte gasförmige Medien im Einlassende vom Ventilsitz verdrängbar ist, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Einlassende zum Auslassende zuzulassen.
Die Erfindung beinhaltet auch ein Vakuumpumpen-Rückschlagventil mit einem Ventilgehäuse, das einen Durchgangskanal mit einem Einlassende und einem Auslassende bildet, einem zwischen dem Einlassende und dem Auslassende angeordneten Ventilsitz und einer Kugel, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitz durch einen aus einem elastomerischen Material hergestellten Einsatz gebildet ist und die Kugel so angeordnet ist, daß sie sich gegen den Ventilsitz legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslassende zum Einlassende zu verhindern, und im Betrieb durch druckbeaufschlagtes gasförmiges Medium im Einlassende vom Ventilsitz verdrängbar ist, um den Durchtritt des gasförmigen Mediums vom Einlassende zum Auslassende zu ermöglichen.
Vorzugsweise ist die Kugel aus Metall hergestellt. Die Kugel kann mit einem nichthaftenden Material beschichtet sein, um ein Anhaften am Ventilsitz zu verhindern. Bei einer alternativen Anordnung kann die Kugel jedoch aus einem inerten polymerischen Material wie beispielsweise PTFE hergestellt sein. Als weitere Alternative kann die Kugel aus einem keramischen Material hergestellt sein.
Der Einsatz ist vorzugsweise ein O-Ring. Der Einsatz kann aus einem Fluor-Elastomer oder einem Perfluor-Elastomer hergestellt sein.
Das Ventilgehäuse ist vorzugsweise ein Gussteil.
Die Erfindung umfasst auch ein Vakuumpumpen-Rückschlagventil, das ein Gussgehäuseteil mit einem Einlaß, einem Auslaß und einer Aufnahmestelle zur Aufnahme eines Einsatzes aufweist, gekennzeichnet durch einen Einsatz, der aus einem elastomerischen Material hergestellt und an der Aufnahmestelle positioniert ist, und durch eine Kugel, wobei der Einsatz einen Ventilsitz bildet und die Kugel so angeordnet ist, daß sie sich auf den Ventilsitz legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslaß zum Einlaß zu verhindern, und im Betrieb durch Gasdruck, der auf ihre stromaufwärtige Seite wirkt, vom Ventilsitz verdrängbar ist, um das gasförmige Medium vom Einlaß zum Auslaß durchtreten zu lassen.
Die Erfindung erstreckt sich auch auf eine Vakuumpumpe, vorzugsweise eine trockene Vakuumpumpe, die mit einem Rückschlagventil der oben erwähnten Art ausgestattet ist.
Die Erfindung umfasst auch eine Vakuumpumpe mit einem Bauteil, das einen Strömungsweg für gasförmige Medien bildet, und mit einem Rückschlagventil in dem Strömungsweg, wobei das Rückschlagventil einen Ventilsitzeinsatz und eine Kugel umfasst, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitzeinsatz aus einem elastomerischen Material hergestellt und relativ zum Strömungsweg so positioniert ist, daß, wenn sich die Kugel im Betrieb auf den Ventilsitz legt, die Strömung gasförmiger Medien in dem Strömungsweg verhindert wird, und, wenn ein vorgegebener Gasdruck in dem Strömungsweg stromauf des Rückschlagventils vorhanden ist, die Kugel durch den Gasdruck vom Ventilsitz so wegbewegt wird, daß das gasförmige Medien zu stromab des Rückschlagventils befindlichen Stellen des Strömungswegs strömen kann.
Die Erfindung umfasst auch eine Vakuumpumpe mit einem Rückschlagvenitl in einem Strömungsweg für gasförmige Medien, die aus der Pumpe ausgestoßen werden, wobei das Ventil einen Ventilsitzeinsatz und eine Kugel umfasst, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitzeinsatz aus einem elastomerischen Material hergestellt und relativ zum Strömungsweg so positioniert ist, daß, wenn im Betrieb die Kugel sich an den Ventilsitzeinsatz legt, die Strömung von gasförmigen Medien in dem Strömungsweg verhindert wird, und wenn ein vorgegebener Gasdruck in dem Strömungsweg stromauf der Kugel vorhanden ist, die Kugel durch den Gasdruck so vom Ventilsitzeinsatz wegbewegt wird, daß das gasförmige Medium in den Strömungsweg stromab der Kugel strömen kann.
Wo der Ventilsitz Gasen/Dämpfen ausgesetzt werden muß, die aggressive Medien enthalten, wie beispielsweise Fluor, ist das elastomerische Material vorteilhafterweise aus Verbindungen mit verbesserter Beständigkeit gegen chemischen Angriff ausgewählt. Beispiele geeigneter Verbindungen sind Chemraz, Kalrez oder Simriz. Jedoch ist die Erfindung nicht auf diese Verbindungen beschränkt, und können nach Bedarf durch Ventilsitze aus elastomerischen Materialien mit den gewünschten Eigenschaften für eine bestimmte Pumpenumgebung substituiert werden.
Damit die Erfindung richtig verstanden werden kann, wird nunmehr ein Ausführungsbeispiel hiervon, das nur beispielshalber angegeben ist, nachstehend mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben, in welchen zeigt:
1 einen Schnitt durch ein Rückschlagventil, das an einer Vakuumpumpe montiert ist, und
2 eine Darstellung entsprechend 1 einer modifizierten Version des Rückschlagventils.
Gemäß 1 weist ein Rückschlagventil 10 ein Ventilgehäuse 12 auf. Das Ventilgehäuse ist typischerweise ein hohles Metallgussteil. Das Ventilgehäuse 12 bildet einen Durchgangskanal mit einer Einlassseite 14i und einer Auslassseite 14e. Zwischen der Einlassseite 14i und der Auslassseite 14e ist ein Ventilsitz 16 durch einen U-Ring gebildet, auf welchem eine Kugel 18 sitzt. Über dem Ventilsitz 16 auf der Auslassseite 14e des Rückschlagventils befindet sich eine Kammer 20, in welche die Kugel aufsteigen kann. Die Kammer 20 ist an ihrem äußeren Ende offen, um das Einführen und Herausnehmen eines Kerns während des Gießvorgangs zu ermöglichen. Das offene Ende der Kammer 20 ist durch eine Platte 22 verschlossen, die mittels Kopfschrauben oder dergleichen am Ventilgehäuse befestigt ist. Die Platte 22 liegt an einer Dichtung 24 an, die zwischen dem Ventilgehäuse 12 und der Platte zur Herstellung einer gasdichten Abdichtung eingelegt ist.
Ein Flansch 26 ist am äußeren Ende der Einlassseite 14i des Durchgangskanals vorgesehen, d. h. an dem vom Ventilsitz 16 entfernten Ende. Der Flansch ist mit geeigneten Durchgangsbohrungen (nicht dargestellt) versehen, durch welche Schrauben hindurchgesteckt werden können, um das Rückschlagventil an einer Vakuumpumpe 28 zu befestigen. In dem Flansch 26 ist eine Aussparung 30 zur Aufnahme einer Dichtung wie beispielsweise eines U-Rings gebildet, um eine gasdichte Abdichtung zwischen einer Vakuumpumpe 28 und dem Flansch 26 herzustellen. In ähnlicher Weise ist das äußere Ende der Auslassseite 14e des Durchgangskanals mit einem Flansch 32 und einer Aussparung 34 versehen, um eine gasdichte Verbindung mit einer stromabwärtigen Einrichtung oder einer zu einer solchen Einrichtung führenden Leitung herzustellen.
Am unteren bzw. innenliegenden Ende der Kammer 20 bildet das Ventilgehäuse 12 eine Schulter, auf welcher der O-Ring 16 sitzt. Der O-Ring besteht aus einer geeigneten elastomerischen Verbindung. Wenn das Rückschlagventil zum Pumpen aggressiver fluorhaltiger Gase/Dämpfe eingesetzt werden soll, sollte der O-Ring aus einer in geeigneter Weise beständigen Verbindung hergestellt werden, wie beispielsweise Chemraz oder Kalrez.
Die Kugel kann aus einem Metall wie beispielsweise rostfreiem Stahl oder einem anderen geeigneten Metall hergestellt sein, das üblicherweise nach seiner Korrosionsbeständigkeit ausgewählt wird. Jedoch erfordert eine Metallkugel den Aufbau eines gewissen Maßes an Druck hinter ihr, bevor ein Bewegen und damit ein Betätigen des Ventils möglich ist. In einer weiteren Ausführungsform kann auch ein inertes polymeres Material wie beispielsweise massives Polytetrafluoräthylen (PTFE) zur Herstellung der Kugel eingesetzt werden. Eine aus einem solchen Material hergestellte Kugel ist beträchtlich leichter als eine entsprechende Metallkugel, so dass der zum Abheben der Kugel erforderliche Druck reduziert wird. Auf diese Weise wird ein Ventil geschaffen, das empfindlicher gegen Druckschwankungen ist und folglich wird die Größe des auf den Pumpenauslaß wirkenden Rückdrucks verringert. Weitere Vorteile eines solchen Alternative ergeben sich daraus, daß eine polymere Kugel nicht nur leichter, sondern auch billiger und leichter herzustellen ist und im Betrieb beträchtlich geräuschärmer arbeitet.
Als Alternative kann auch keramisches Material zur Herstellung der Kugel eingesetzt werden.
Im Betrieb, wenn die Pumpe 28 pumpt, gelangen Abgase aus der Pumpe in die Einlaßseite 14i des Durchgangskanals und, wenn dort ausreichend Druck herrscht, wird die Kugel 18 vom O-Ring abgehoben, welcher den Ventilsitz 16 bildet, so daß der Durchtritt der Abgase in das untere Ende der Kammer 20 und von dort aus in die Auslassseite 14e des Durchgangskanals ermöglicht wird, von wo aus die Gase aus dem Rückschlagventil herausgelangen. Wenn der Druck aus der Pumpe 28 auf eine Maß abfällt, das nicht mehr ausreicht, die Kugel 18 anzuheben, fällt die Kugel unter Schwerkrafteinfluß gegen den Ventilsitz 16 zurück. Wenn die Kugel 18 am Ventilsitz 16 anliegt, der durch den O-Ring gebildet ist, ist eine im wesentlichen gasdichte Abdichtung zwischen den Seiten 14i, 14e des Durchgangs kanals hergestellt, wodurch eine Rückströmung von Gasen in die Pumpe 28 verhindert wird.
Es versteht sich, daß das Ventilgehäuse 12 viele Formen haben kann. Beispielsweise ist es nicht wesentlich, die Auslassseite 14e des Durchgangskanals in der dargestellten Weise anzuordnen. Stattdessen kann die Kammer 20 das Auslassende des Durchgangskanals auch durch Entfernen der Platte 22 bilden. Bei einer solchen Anordnung wäre an dem von der Platte 22 in 1 eingenommenen Bereich typischerweise ein Flansch ähnlich den Flanschen 26, 32 vorgesehen.
Es versteht sich, daß, wo teure Verbindungen wie beispielsweise Chemraz oder Kalrez zu verwenden sind, das Rückschlagventil 10 Vorteile gegenüber dem bekannten Ventil mit einer massiven elastomerischen Kugel bietet. Wie vorstehend angedeutet, sind Verbindungen wie beispielsweise Chemraz und Kalrez teuer, und schätzungsweise kostet ein Ventilsitz 16 in Gestalt eines O-Rings, der aus solchen Materialien hergestellt ist, nur etwas im Bereich von 7% der Kosten einer massiven Kugel, die aus demselben Material hergestellt ist.
Ein weiterer Vorteil des in 1 gezeigten Rückschlagventils im Vergleich mit einem Ventil, das mit einer Kugel aus einem mit einer Verbindung beschichteten Metallformkörper besteht, liegt darin, daß keine Beschränkung auf die Verwendung von Verbindungen besteht, die in der Lage sind, sich auf einen Metallformkörper ausbringen zu lassen. Infolgedessen wird die Freiheit der Auswahl einer geeigneten Verbindung durch den Konstrukteur für eine bestimmte Betriebsumgebung vergrößert.
Des weiteren, weil der Konstrukteur nicht so sehr durch die Kosten der Verbindung oder den Zwang, daß die Verbindung sich auf einen Formkörper ausbringen lassen muß, beschränkt ist, wenn neue Elastomere mit verbesserten Eigenschaften verfügbar werden, ist es relativ einfach, diese in dem Rückschlagventil zur Anwendung zu bringen.
Es versteht sich, daß, während der Ventilsitz 16 zweckmäßigerweise durch einen O-Ring gebildet ist, wie in 1 dargestellt, der Ventilsitz auch durch Einsatzdichtungen mit einer anderen Konfiguration gebildet sein kann, falls dies erforderlich und/oder wünschenswert sein sollte.
Die aus Metall hergestellte Kugel kann mit einem nichthaftenden Material beschichtet sein, um ein Anhaften derselben am Ventilsitz 16 zu vermeiden. Ein Beispiel eines geeigneten nichthaftenden Materials ist Polytrifluor-Chloräthylen (PTFE).
Während bei den beschriebenen Ausführungsbeispiel Flansche vorgesehen sind, mit welchen das Rückschlagventil an einer Vakuumpumpe und von der Vakuumpumpe wegführenden Leitungen mittels Schrauben oder dergleichen befestigbar ist, ist dies nicht beschränkend zu verstehen. Beispielsweise könnte das Ventilgehäuse mit Schraubgewinden versehen sein, so daß das Ventil direkt in ein entsprechendes Schraubgewinde einer Vakuumpumpe ein- oder aufschraubbar ist.
Es ist auch klar, daß das Rückschlagventil durch Einbau des Einsatzventilsitzes 16 und der Kugel 18 in einen Kanal realisiert werden kann, der in der Pumpe selbst gebildet ist, und in diesem Fall bildet die Pumpe bzw. ein Teil der Pumpe das Ventilgehäuse 12.
Eine mögliche Modifikation des Rückschlagventils 10 ist in 2 dargestellt. Die Modifikation umfasst das Vorsehen einer Druckfeder 40 zwischen der Kugel 18 und der Platte 22. Die Feder 40 ist so ausgelegt, daß sie die Kugel in eine Position vorspannt, in welcher sie an dem durch den O-Ring gebildeten Ventilsitz 16 anliegt. Es ist klar, daß die Feder so gewählt werden kann, daß die Kugel sich erst dann vom Ventilsitz abhebt, wenn der Druck des Gases/Dampfes in der Einlassseite 14i des Durchgangskanals mindestens einen vorgegebenen Schwellenwert erreicht hat, und das Vorhandensein der Feder stellt sicher, daß, wenn der Druck in der Einlassseite unter diesen Schwellendruck abfällt, die Kugel sofort gegen den Ventilsitz zurückgedrückt wird, um eine Rückströmung des Gases/Dampfes aus der Auslassseite l4e zur Einlaßseite 14i zu verhindern.
Zusammengefasst beinhaltet das Vakuumpumpen-Rückschlagventil nach der Erfindung also einen Ventilkörper 12, der einen Durchgangskanal mit einer Einlassseite 14i und einer Auslassseite 14e bildet. Ein Ventilsitz 16 ist zwischen der Einlassseite und der Auslassseite des Durchgangskanals gebildet. Der Ventilsitz 16 ist durch einen Einsatz aus elastomeri schen Material gebildet. Das Rückschlagventil hat eine Kugel 18, die so angeordnet ist, daß sie sich an den Ventilsitz anlegt, um den Durchtritt von gasförmigen Medien von der Auslassseite 14e zur Einlassseite 14i zu verhindern. Die Kugel ist im Betrieb vom Ventilsitz durch druckbeaufschlagtes gasförmiges Medium in der Einlassseite des Durchgangskanals abhebbar, um den Durchtritt von gasförmigen Medium von der Einlassseite zur Auslassseite des Durchgangskanals zu ermöglichen.

Claims

Vakuumpumpen-Rückschlagventil mit einem Ventilgehäuse (12), das einen Durchgangskanal mit einem Einlassende (14i) und einem Auslassende (14e) bildet, gekennzeichnet durch einen ringförmigen elastomerischen Einsatz, der in dem Ventilgehäuse (12) zwischen dem Einlassende und dem Auslassende angeordnet ist und einen Ventilsitz (16) bildet, und eine Kugel (18), die so angeordnet ist, daß sie sich gegen den Ventilsitz legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslassende (14e) zum Einlassende (14i) zu verhindern, und die im Gebrauch durch druckbeaufschlagtes gasförmiges Medium im Einlassende (14i) vom Ventilsitz (16) verdrängbar ist, um den Durchgang des gasförmigen Mediums vom Einlassende (14i) zum Auslassende (14e) zu ermöglichen.
Vakuumpumpen-Rückschlagventil mit einem Ventilgehäuse (12), das einen Durchgangskanal mit einem Einlassende (14i) und einem Auslassende (14e) bildet, einem zwischen dem Einlassende und dem Auslassende angeordneten Ventilsitz (16), und einer Kugel (18), dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitz (16) durch einen aus einem elastomerischen Material hergestellten Einsatz gebildet ist, und daß die Kugel so angeordnet ist, daß sie sich gegen den Ventilsitz (16) legt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslassende (14e) zum Einlassende (14i) verhindert, und im Gebrauch durch druckbeaufschlagtes gasförmiges Medium im Einlassende (14i) vom Ventilsitz (16) verdrängbar ist, um den Durchgang des gasförmigen Mediums vom Einlaßende (14i) zum Auslassende (14e) zu ermöglichen.
Ventil nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Kugel (18) aus einem Metall, einem Polymer oder einem Keramikwerkstoff hergestellt ist.
Ventil nach Anspruch 3, wobei die Kugel (18) mit einem nicht haftenden Material beschichtet ist, um ein Anhaften an dem Ventilsitz (16) zu verhindern.
Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Einsatz O-Ring ist.
Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Einsatz aus einem Fluorelastomer oder einem Perfluorelastomer hergestellt ist.
Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Ventilgehäuse ein Gussteil ist.
Vakuumpumpen-Rückschlagventil, das ein Gussgehäuseteil (12) mit einem Einlaß (14i), einem Auslaß (14e), und einer Aufnahmestelle zur Aufnahme eines Einsatzes, gekennzeichnet durch einen aus einem elastomerischen Material hergestellten Einsatz, der an der Aufnahmestelle angeordnet ist, und eine Kugel (18) wobei der Einsatz einen Ventilsitz (16) bildet und die Kugel (18) so angeordnet ist, daß sie sich an den Ventilsitz (16) anlegt, um den Durchgang von gasförmigen Medien vom Auslaß (14e) zum Einlaß (14i) zu verhindern, und im Betrieb durch Gasdruck, der auf eine stromaufwärts weisende Seite desselben wirkt, vom Ventilsitz (16) verdrängbar ist, um das gasförmige Medium von Einlaß (14i) zum Auslaß (14e) durchtreten zu lassen.
Vakuumpumpe mit einem Rückschlagventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
Vakuumpumpe (28) mit einem Rückschlagventil (10) in einem Strömungsweg für gasförmige Medien, die von der Pumpe (28) ausgestoßen werden, wobei das Ventil (10) einen Ventilsitzeinsatz (16) und eine Kugel (18) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitzeinsatz (16) aus einem elastomerischen Material hergestellt und relativ zum Strömungspfad so positioniert ist, daß im Betrieb die Kugel (18) sich an dem Ventilsitzeinsatz (16) anlegt, und die Strömung gasförmiger Medien in dem Strömungspfad verhindert wird, und wenn ein vorgegebener Gasdruck in dem Strömungspfad stromauf der Kugel (18) vorhanden ist, die Kugel vom Ventilsitzeinsatz (16) durch den Gas druck wegbewegt wird, so daß das gasförmige Medium in den Strömungspfad stromab der Kugel (18) strömen kann.
Pumpe nach Anspruch 10, wobei der Einsatz ein ringförmiger elastomerischer Einsatz ist, der zwischen einem Einlassende (14i) und einem Auslassende (14e) des Strömungswegs angeordnet ist.