DE2030271A1

DE2030271A1 - Isolierkörper mit eingebeten Zuleitungen für Mikroschaltkreise

Info

Publication number: DE2030271A1
Application number: DE19702030271
Authority: DE
Inventors: Paul E Smith
Original assignee: U S ELECTRONIC SERVICES CORP
Current assignee: U S ELECTRONIC SERVICES CORP
Priority date: 1969-06-25
Filing date: 1970-06-19
Publication date: 1971-01-14
Also published as: GB1321282A; CH531242A; NL7009395A; FR2051332A5

Description

PATENTANWALT DR. HANS-GUNTHER EGGERT, DIPLOMCHEMIKER

5 KDLN-UNDENTHAL peter-kintgen-steasse 2 2030271

Köln, den 15. Juni 1970 Rö/Cl/152

U.S. Electronic Services Corporation, Holgar Industrial Park, Clifton Heights, Pennsylvania 19018, U.S.A.

Isolierkörper mit eingebetteten Zuleitungen für Mikroschaltkreise

Die vorliegende Erfindung betrifft Plastikisolierkörper mit den notwendigen eingebetteten MetallZuleitungen, die sich dazu eignen, elektrische bzw. elektronische Bauelemente aufzunehmen und mit den Zuleitungsanschlüssen zu verbinden.

Bisher wurden derartige Einbettungen nur mit Hilfe von Keramikmaterial vorgenommen. Dies geschah im allgemeinen durch Pressen und Sintern. Ein vorgeformtes Glas wurde auf die Keramikmasse gelegt, danach folgte der Zuleitungsrahmen und anschließend ein anderes vorgeformtes Glas und entweder ein Metall oder Keramik- Λ ring. Das ganze wurde dann gebrannt und die Zuleitungen anschliessend zur Herstellung guter Verbindungen und zum Schutz gegen Korrosion vergoldet. Die Betriebssicherheit ließ aber infolge ■ des nach dem Brennen vorgenommenen Vergoldens zu wünschen übrig, da ein schmaler Spalt zwischen dem Keramikmaterial und dem Zuleitungsmetall rund um das letztere die an dieser Stelle nicht vergoldete Zuleitung atmosphärischen Einflüssen aussetzt, so daß die Zuleitungen korrodieren können.

Hinzu kommt, daß es aufgrund der hohen Brenntemperaturen außerordentlich schwierig ist, die Einbettungskörper mit nur geringen Toleranzen herzustellen.

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Ebenso schwierig ist es, sie infolge der hohen Brenntemperaturen und außerdem wegen der allgemeinen Eigenschaften des Keramikmaterials, das stoßempfindlich ist und rauhe Oberflächen besitzt, genügend flach auszubilden.

Zur Vermeidung dieser Nachteile wird erfindungsgemäß ein Einbettungskörper aus Plastik für Mikroschaltkreise vorgeschlagen, der die erforderliche Flachheit und nur geringe Toleranzen in den Abmessungen besitzt, sowie eine bessere Schockcharakteristik gegenüber den. Keramikkörpern besitzt.

Gegenstand der Erfindung ist weiterhin ein Verfahren zum Herstellen dieser Plastikeinbettungskörper mit den oben genannten Bedingungen. Insbesondere können Plastikeinbettungskörper verschiedener Form und Abmessungen im Preßspritzverfahren hergestellt werden in denen die Zuleitungen in einer Plastikunterlage während des Gießens eingebettet werden, so daß der Einbettungskörper in steinen Abmaßen genauer, flacher, ohne Grat oder übergeflossenes Material und zudem in seinen Herstellungskosten billiger ist.

Die Zuleitungen können vor dem Gießvorgang beschichtet werden, da das Gießen bei einer Temperatur von l6o bis 185° C vorgenommen wird, d.h. einen Bereich, der genügend unterhalb der Schmelztemperatur des Goldbelags liegt, so daß dieser daher unversehrt bleibt, bis der integrierte Schaltkreis in den Einbettungskörper eingebracht und mit den Zuleitungen verbunden ist.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der in den beigefügten Darstellungen gezeigten Ausführungsbeispiele näher erläutert.

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Pig. 1 zeigt auseinandergezogen eine perspektivische Ansicht der Vorrichtung zum Preßspritzen einer Anzahl von Einbettungskörpern.

Fig. 2 zeigt einen Schnitt längs der Linie 2-2 von Fig. 1.

Fig. 3 zeigt teilweise eine perspektivische Ansicht der oberen Form von unten.

Fig. 4 zeigt auseinandergezogen eine perspektivische Ansicht der inneren Teile von unten, die eine einzelne obere Formeinheit bilden.

Fig·. 5 zeigt eine auseinandergezogene teilweise perspektivische Ansicht der unteren Form, des quadratischen Abdruckstempels und des Metallrahmens.

Fig. 6 zeigt teilweise im Schnitt die obere und untere Form während der Herstellung von Eindrücken in die Tefloneinlage der oberen Form als vorangehenden und vorformenden Schritt.

Fig. 7 zeigt einen Schnitt längs der Linie 7-7 von Fig. 6 in der die gebildeten Eindrücke in der oberen Form dargestellt sind.

Fig. 8 zeigt den geformten Einbettungskörper, der den Metallrahmen von Fig. 9 enthält.

Fig. 9 zeigt den Metallrahmen, der bei der Herstellung des Einbettungskörpers nach Fig. 8 benutzt wurde.

Fig. 10 zeigt einen geformten Isolierkörper mit eingebetteten Zuleitungen mit dem Rahmen von Fig. 11.

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Fig. 11 zeigt den Metallrahmen, der für den Isolierkörper nach Fig. 10 benutzt wurde.

Fig. 12 und 13 zeigen zusätzliche Ausbildungen des erfindungsgemäßen Isolierkörpers.

Die Preßspritzvorrichtung besitzt eine obere Form oder

Patrize 10 und eine untere Form oder Matrize 12, die bett», wegbar zueinander sind und durch Pass-Stifte l4, die durch entsprechende Bohrungen 16 und 18 an den Oberseiten 20 und 22 der oberen und unteren Form zu deren Ausfluchtung geführt werden können, ausgerichtet werden.

Der Aufbau der oberen Form ist im einzelnen in den Fig. 2 bis 4 wiedergegeben und enthält eine Vielzahl von verschachtelten miteinander verbundenen Einsätzen. Jede Formeinheit besitzt 8 Einsätze (sh. Fig. 4). Der mittlere Einsatz 24 besteht aus Metall und ist im wesentlichen U-förmig, wobei sein Steg 26 eine Durchbohrung 28 und seine Schenkel 30 Abkantungen 32 besitzen.

φ Ein weiterer Metallteil oder Einsatz 34 paßt in den mittleren Einsatz 24 und besitzt eine Durchbohrung 36, die mit der Bohrung 28 ausgerichtet ist. Die Höhe des Einsatzes ist so bemessen, daß seine Unterseite 38 beim Einsetzen in das.Teil 24 gegenüber der des Teils 2^ übersteht. Ein Ausdrückstift 40, der an einer geeigneten zurückziehbaren Stange 42 befestigt ist, ist durch die ausgerichteten Bohrungen 28 und 36 geführt. Hierbei ist entsprechend der Anzahl der Formeinheiten jeweils ein Ausdruckstift 40 vorgesehen.

Auf beiden Seiten des Einsatzes 34 ißt ein Paar von im wesentlichen T-förmigen Dichtungsteilen ^4 vorgesehen,

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die den Zweck haben, das Ausfließen von Plastikmaterial auf die Zuleitungsdrähte und damit das Entstehen von Graten o. dergl. durch überfließendes Material zu verhindern. Sie bestehen aus Teflon, d.h. Polytetrafluoräthylen oder einem Copolymerisat dieses Stoffes mit Hexafluorpropylen. Diese Dichtungsteile 44 sind an den Seiten des Einsatzes 55 durch Schultern 46 an den Seiten des Teils J4 eingekeilt. Die Dichtungsteile 44 sind zudem über ihre gesamte Länge mit den Seiten des Teils ^4 eingekeilt. Die Dichtungsteile 44 sind zudem über ihre gesamte Länge mit den Seiten des Teils j54 eingeschwalbt, um ein Verformen der Dichtungsteile unter Hitzeeinwirkung zu verhindern. Wie aus Pig. 2 ersichtlich, haben der Metalleinsatz 34 und die Teflondichtungsteile 44 einen guten Sitz im mittleren Einsatz 24.

Ein Paar stufenförmiger metallischer Einsätze 48 stößt mit seinen flachen Seiten 50 gegen die Diehtungsteile Dichtungsteile 52 aus Teflon in Blockform mit sich zu den Seiten öffnenden Ausnehmungen 54 mit derselben Aufgabe wie die der Teile 44 sind an den Einsätzen 48 durch Zusammenwirken der Ausnehmungen 54 mit Rippen 56 am unteren Teil des Einsatzes 48 festgekeilt. Wenn die Einsätze einer Formeinheit zusammengebaut sind, greifen die oberen Schultern des Metalleinsatzes 48 in entsprechende Schultern anderer Metallblöcke 48 ein, die zweckmäßig in der oberen Form durch vertikale und horizontale Bolzen 60 und 62 festgehalten werden.

Der Aufbau der unteren Form 12 ist in Fig. 1, 2 und 5 dargestellt. Diese Form 1st ebenfalls zerlegbar und enthält Formteile, die jeweils einen Metallblock 64 mit einer mittleren nach oben gerichteten Ausnehmung 66 besitzen, die mit den Abmessungen des Einsatzes 24 der oberen Form

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übereinstimmt, aber ein wenig größer als der Einsatz j4 und von einer entsprechend gewünschten Form ist. Der Metallblock 64 ist ebenfalls mit einer Durchboh-rung versehen, durch die ein Ausdrückstift 68 geführt ist. Entsprechend der Anzahl der Formeinheiten gibt es Ausdrückstifte 68. Positionsstifte 70 sind durch entsprechende Bohrungen in den weiter vorhandenen Blöcken 72 geführt* wobei die Ausdrück- und Positionsstifte durch eine zurückziehbare Stange 74 gesichert sind. Die Blöcke 64 und 72 werden durch entsprechende vertikale und horizontale Bolzen 76 und 78 gehalten. Tefloneinsätze 80, die entsprechend den Tefloneinsätzen 52 der oberen Form ausgeführt sind, sind im Block 64 auf beiden Seiten der Ausnehmung 66 und an deren Ecken anstoßend sowie senkrecht gegenüber den oberen Tefloneinsätzen 52 festgekeilt.

In der unteren Form ist eine Leitung 84 mit Abzweigungen 86 vorgesehen, die mit den Ausnehmungen 66 verbunden sind, um das Plastikmaterial während des Formvorgangs einzuspritzen. Eine Metallplatte 88, die vorzugsweise aus AIuminium besteht, faßt in die Ausnehmung 66 hinein und stimmt mit deren Abmessungen überein. Diese Metallplatte 88 besitzt an zwei Seiten nach oben gerichtete Abkantungen 90, die die gleiche Höhe besitzen wie die Seitenwände 92 der Ausnehmung 66,

Nach einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens werden die Platten 88 in die Ausnehmungen 66 eingefügt und eine Anzahl von miteinander verbundenen Zuleitungsrahmen 94 auf die untere Form 12 gelegt, deren Positionsstifte 70 so angebracht sind;, daß sie durch entsprechen- de Löcher 96 in den Rändern des Rahmens 94 hindurchführen, um die Rahmen in der richtigen Stellung zur unteren Form zu halten» Demgemäß ruhen die Zuleitungen 98 wie aus

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Pig. 2, 5 und 6 ersichtlich, auf den Tefloneinsätzen 80 und den Abkantungen 90 des Bodens 88, wobei sich die inneren ZuIeitungsanschlüsse 100 über die Abkantungen 90 einwärts erstrecken. Anschließend wird die obere Form' auf die untere gesetzt, wobei die Einsätze ^4 in die Platten 88 eintreten und die Unterseiten 38 der Einsätze j4 auf der inneren Oberfläche der Platten aufliegen. Gleichzeitig treten die Positionsstifte 70 in entsprechende Öffnungen 102 im Block 58 der unteren Form ein. Für eine halbe bis 2 Stunden wird bei etwa 177° C ein Druck von 5*6 kp / cm angewandt, wodurch Druckstellen oder Eindrücke 102 (sh. Fig. 7) in den Dichtungsteilen 44 entstehen. ' -

Hierauf wird die Presse wieder geöffnet, wobei mit Hilfe der Ausdrückstifte die Metallplatte 88 ebenso wie die Bodenschließer 52 aus Teflon entfernt werden. Da die Bodenschließer sich während dieses Vorgangs ausdehnen, ist es wünschenswert, diese vor dem erneuten Hineinlegen in die Presse entsprechend abzuschneiden. Eventuell können die Zuleitungsrahmen in die untere Form zusammen mit der Aluminiumplatte 88 zurückgelegt werden.

Hierbei soll die Platte 88 aus irgendeinem Material gefertigt sein, das weicher als das Metall der Einsätze oder Blöcke in den Pressen aber härter als die Teflonteile und 52 ist. Die Zuleitungsrahmen sind ebenfalls härter als die Tefloneinsätze, so daß die Eindrücke 102 in den Teflonteilen gebildet werden können, ohne daß die Zuleitungen der Rahmen verbogen werden, wenn sie während der Druckausübung fest auf der Platte liegen. Für den Zuleitungsrahmen kann man eine ganze Reihe von verschiedenen leitenden Legierungen wie etwa Kovar, eine Ni-Fe-Co-Legierung benutzen. Eine Platte 88 aus Aluminium ergab sich für die erfindungsgemäße Benutzung als äußerst zweckmäßig.

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Das gleiche gilt für die Tefloneinsätze wegen der von ihnen geforderten Weichheit und niedrigen Reibungskoeffizienten oder ihrer praktisch nicht vorhandenen Adhäsionseigenschaft zu Metallen, andere deformierbare Substanzen mit niedrigem Reibungskoeffizienten wie etwa Difluorcarbonpolymere, wie sie in Kap. 16 des "Textbook of Polymer Science" von Fred W. Billmeyer, Jr., Interscience Publishers, I962, können auch benutzt werden. Ebenso kann man aber auch mit Kautschuk und Teflon überzogenen Stahl verwenden.

Nachdem die zugeschnittenen Tefloneinsätze 52 wieder in die Presse eingebracht und die Platten 88 entfernt worden sind, werden die Zuleitungsrahmen erneut in die Presse eingesetzt und letztere geschlossen, so daß die Zuleitungen 98 in den vorgeformten Eindrücken der Einsätze 44 und 52 sitzen. Danach wird ein geeignetes Harz in die Ausnehmungen 66 eingebracht, in denen eine plattenartige Plastikeinheit 104 entsprechend der Form der Ausnehmung 66 erzeugt wird. Die sich ergebende Plastikeinheit besitzt eine Bodenwand 106 und eine am Rand hochstehende Lippe oder Abkantung, deren Seiten I08 die Zuleitungsrahmen in der Nähe ihrer Enden 100 ohne Grat einbetten. Der Zuleitungsrahmen selbst ist in Fig. 11 dargestellt. Hitzehärtbare Silicone oder Epoxyharze werden hierbei bevor- zugt, obwohl andere hitzehärtbare Harze wie Phenolharze ebenso benutzt werden können.

Nach dem Entfernen des Bodens 88 kann, falls gewünscht, ein schmales flaches Plastikstück auf den Boden der Ausnehmung 66 gelegt werden, wobei ein Zwischenraum zwischen diesem Stück und den Seiten der Ausnehmung 66 übrig bleibt, so daß während des Einspritzvorganges nur die Lippe I08 gebildet wird, die sich dabei von selbst mit diesem Plastikstück verbindet. Hierbei ist es wünschenswert, daß

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das Plastikstück und die Lippe aus demselben Kunststoff bestehen.

Die benutzten Silicone, Epoxy- und Phenolharze sind die beim Preßspritzverfahren üblicher Weise benutzten, wie sie in dem oben erwähnten "Textbook of Polymer Science", von Fred W. Billmeyer, Jr., insbesondere S. 463-469, 475-477 und 479-482 und Kapitel 20, S. 487-489 aufgeführt sind. Bei dem vorliegenden Preßspritzverfahren zur Herstellung der Einbettungskörper werden normalerweise Temperaturen von etwa 149 bis 185⁰ C und Drucke von etwa 28 bis 703 kp/cm² benutzt.

Wenn .die Enden 100 der Zuleitungen 98 nach oben gebogen sind, können die Tefloneinsätze 44 weggelassen und der Einbettungskörper wie beschrieben hergestellt werden.

Das endgültige Produkt kann viele verschiedene Formen besitzen, die von ihren Anwendungen abhängen. In Fig. 8 und 9 ist ein Rahmen 110 mit insgesamt 14 Zuleitungen 112 dargestellt, die sich von den Seiten des Rahmens einwärts erstrecken und in verbreiterten zum Mittelpunkt hinzeigenden Anschlüssen 114 enden. Durch den Preßspritzvorgang wurde ein Einbettungskörper II6 gebildet, wobei sich die Anschlüsse 114 von allen Seiten einwärts hiervon erstrecke! und die verbleibenden ebenfalls verbreiterten Teile II8 der Zuleitungen 112 in dem Plastikkörper II6 voneinander isoliert eingebettet sind.

In Fig, 10 und 11 ist ein Rahmen mit l6 Zuleitungen ähnlich dem in Fig. 9 und 10 dargestellten gezeigt, wobei lediglich die Anschlüsse der Zuleitungen parallel zueinander angeordnet sind und der die Zuleitungen einbettende Plastikkörper größer und von aiiclorer Form ist»

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Fig. 12 zeigt einen Rahmen 120 mit 14 Zuleitungen 122 und einen Einbettungskörper, der hergestellt wurde, indem ein schmales flaches Plastikstück zunächst in die Ausnehmung 66 gelegt wurde und anschließend die Lippe zur Bildung der gesamten Einheit gespritzt wurde. Der Rahmen 120 besitzt eine Reihe von gegenüberliegenden sich nach innen erstreckenden Zuleitungen 122, die teilweise in der gespritzten Lippe 124 eingebettet sind, wobei die Lippe sich während des Preßspritzens mit dem Bodenteil 126 verbindet, das das schmale flache Plastikstück war, das vorher in die Ausnehmung 66 gelegt wurde. Die Anschlüsse 128 der Zuleitungen erstrecken sich hierbei ebenfalls von den Seitenteilen der Lippe 124 aus einwärts .

Bei dem in Fig. 13 dargestellten Formteil sind viele parallele Zuleitungen 130, die sieh von einem Rahmen einwärts erstrecken, in einen Plastikkörper 134 eingebettet und führen durch diesen hindurch, so daß sich entsprechend viel Anschlüsse 136 ergeben, die in eine Aussparung 138 des Plastikkörpers von allen vier Seiten hineinragen. In dieser Aussparung 138 befindet sich eine metallische Montierplatte l4o, die auf zwei Seiten an den Stellen 142 jeweils mit einer Zuleitung verbunden ist.

Wenn diese Bauteile gebraucht werden, werden sie mit den gewünschten elektrischen bzw. elektronischen Schaltkreisen oder Bauelementen versehen, die beispielsweise in einer Platte oder auf einer Unterlage enthalten sind, die in die Ausnehmung in der Mitte des Plastikkörpers, in den die Zuleitungen eingebettet sind, gelegt und mit den Enden der Zuleitungen verbunden wird. Die Verbindung der Enden der Zuleitungsdrähte mit dem Mikroschaltkreis. kann mittels Ultraschall oder durch sin© eutektische Bindung mittels Thermokompression hergestellt warden. Letztere

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wird durch Einlegen der Platte oder Unterlage in die Aussparung des Plastikkörpers zwischen die Enden der Zuleitungen gebildet, die vorher bereits vergoldet wurden · (oder auf eine vergoldete Platte l4o, wie in Fig. Ij5 gezeigt, gelegt), indem während einer Maximalzeit von etwa 30 Sek. Hitzeeinwirkung bei ca. 300° C erfolgt.

Der Schaltkreis kann ebenfalls durch Herabfallenlassen von Epoxyharzperlen auf den Einbettungskörper eingekapselt werden, so daß der leitende Bereich bedeckt wird, j oder aber es kann eine Kappe auf die Lippe aufgeschweißt werden, die die Zuleitungen einbettet und so den Rand der mittleren Ausnehmung bildet, in dem der Schaltkreis angebracht wurde.

Ferner ist es möglich, gleich einen integrierten Schaltkreis mit seinen Zuleitungen in einem Einbettungskörper einzukapseln. Hierzu benötigt man eine Form, die an den ' Stellen, an denen die Zuleitungen nicht von Plastikmaterial umgeben sein sollen, mit Teflon oder einem eindrückbaren, genügend hitzebeständigen Werkstoff ausgelegt ist.

Die Formen zum Erzeugen dieser gratfreien Einbettungskörper, in denen Mikroschaltkreise samt Zuleitungen einge- ä bettet sind, brauchen nicht so kompliziert gebaut zu sein," wie beispielsweise die in Fig. 1 dargestellten Formen. Im allgemeinen genügt eine Vertiefung in der Mitte der Form, die etwas größer als der einzubettende Mikroschaltkreis ist sowie rechts und links davon sowohl in der oberen als auch in der unteren Formhälfte angeordnete Teflonstreifen.

Es ist außerdem möglich, beispielsweise Widerstände herzustellen, indem man eine Form benutzt, deren Ausnehmung der Form des zu erzeugenden Widerstandes entspricht. An den Stellen, an denen die Zuleitungen zu dem Widerstand führen, sind Formteile aus Kunststoff mit genügender

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Rückstellkraft und Hitzebeständigkeit anzubringen, zwischen die die Zuleitungen gelegt werden, woraufhin die Form geschlossen wird und der Widerstand im Preßspritzverfahren hergestellt wird. Hierbei wird das Kunststoffmaterial durch die Zuleitungen eingedrückt und bildet gleichzeitig einen dichten Verschluß an den Zuleitungsdrähten, so daß beim Preßspritzen kein Material ausfließen und Grate bilden kann.

Ein vorheriges Einspressen der Zuleitungen in die weicheren Kunststoffteile der Form zur Erzeugung von Eindrücken und zum späteren Hineinlegen der Zuleitungen ist bei der Einbettung von Widerständen oder integrierten Schaltkreisen mit Zuleitungen nicht zwingend notwendig.

Erfindungsgemäß können sowohl thermoplastische als auch hitzehärtbare Kunstharze zur Herstellung der Einbettungskörper benutzt werden.

Thermoplaste können mit Drucken von etwa 28 bis 1^00 kp/cm eingespritzt werden, um den die Zuleitungen einbettenden Körper 104 zu bilden. Es können Polystyrol, Polyäthylen, Polypropylen und Polyamide wie Nylon, Polysulfonamid usw. verwendet werden,.siehe das oben genannte Buch von Billmeyer, S. 10.

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Claims

-13 Patent a n Sprüche

. 1. Isolierkörper mit Zuleitungen für Mikroschaltkreise, gekennzeichnet durch gratfrei eingebettete Zuleitungen (98, 118, 122, 130) und eine mittlere Ausnehmung/ in der die inneren Anschlüsse (100, 114, 128, 136) der Zuleitungen (98, II8, 122, 130) zum Verbinden mit einem Mikroschaltkreis liegen.
2. Isolierkörper nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß er einen Boden (I06, 126) und wenigstens an zwei gegenüberliegenden Seiten hochstehende Ränder (108, 124) besitzt, durch die die Zuleitungen (98, 122) hin-durchgehen.
3. Isolierkörper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuleitungen (98, II8, 122, IjX)) vergoldet sind.
4. Isolierkörper nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeich net, daß er aus einem hitzehärtbaren Silicon- oder Epoxyharz besteht,
5. Isolierkörper nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mikroschaltkreis mit eingebettet ist.
6. Verfahren zur Herstellung eines Isolierkörpers mit Zuleitungen für Mikroschal tkreise ,dadurch gekennzeichnet, daß ein Rahmen, (94, 110, 120, 132) mit einer Vielzahl sich einwärts erstreckender Zuleitungen (98, II8, 122, 130) in eine zweiteilige Form (10, 12) gebracht wird, die an den Stellen, an denen die Zuleitungen (98, 118, 122, 130) frei bleiben sollen, mit einem eindrückbaren

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genügend hitzebeständigen Material ausgelegt ist, und die Einbettung nach Schließen der Form vorgenommen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß man in die Form zunächst eine Platte (88) einlegt, deren Material weicher als das des Rahmens (94, 110, 120, 152) und der Form (10, 12), jedoch härter als das des eindrückbaren Materials ist, dann den Rahmen auflegt und in dem eindrückbaren Material Eindrücke in Form der Zuleitungen erzeugt, und den Rahmen und die Platte (88) wieder aus der Form entnimmt.
8. Verfahren nach Anspruch 7* dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (88) aus Metall _f insbesondere Aluminium besteht.
9. Verfahren nach Anspruch 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß hitzehärtbares Silicon- oder Epoxyharz im Preßspritzvorgang in die Form eingebracht wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Druck von etwa 28 bis l400 kp/cm und eine Temperatur von etwa 149 bis I85⁰ C während einer Zeit von 0,5-2 Stunden angewendet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das eindrückbare, hitzebeständige Material aus einem Fluorkarbonharz besteht.
12. Verfahren nach Anspruch 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Preßspritzvorgang ein Plastikboden (126) in die Form (10, 12) eingebracht wird und der Isolierkörper durch Anspritzen γοη hochstehenden Rän-

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dern (124) an mindestens zwei gegenüberliegenden Seiten des Plastikbodens (126) gebildet wird.
13. Verfahren nach Anspruch 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuleitungen 98, II8, 122, I30) vor dem Einbetten vergoldet werden.
14. Zweiteilige Spritzform zur Herstellung eines Isolierkörpers mit gratfrei eingebetteten Zuleitungen für Mikroschaltkreise, gekennzeichnet durch in der oberen und unteren Form (10, 12) einander entsprechend angebrachte Einsätze (44, 52* 80) aus eindrückbarem, genügend hitzebeständigem Material an den Stellen, an denen die Zuleitungen (98, 118, 122, lj50) frei bleiben sollen.

15· Spritzform nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß ■ die Einsätze (44, 52, 80) aus einem Fluorkarbonharz bestehen.

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