DE2026766B2 - Verfahren zur herstellung eines satzes von treiberleitungen mit magnetischer abschirmung fuer einen magnetspeicher - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Satzes von Treiberleitungen mit magnetischer Abschirmung für einen Magnetspeicher, dessen Treiberleitungen und Magnetspeicherleitungen je aus einem Leiter und einem mit diesem gekoppelten magnetischen Film gebildet und zueinander orthogonal angeordnet sind.

In einer magnetischen Speichermatrixfläche, in der eine Vielzahl ferromagnetischer dünner Filme angeordnet ist, sind für die Miniaturisierung und für die Erhöhung der Speicherkapazität magnetische Abschirmungen von Vorteil, da magnetische Beeinflussung zwischen benachbarten Speicherzellen durch diese Abschirmungen wirksam verringert werden können. Außerdem haben diese magnetischen Abschirmungen den Vorteil, daß die Treiberstromstärke, die durch die Treiberleitungen hindurchgeführt werden muß, verringert werden kann, da das magnetische Feld, das durch den Treiberstrom verursacht wird, tatsächlich nur den Speicherzellen zugeführt wird. Es werden deshalb oft bei magnetischen Matrixfachspeichern von hoher Speicherdichte magnetische Abschirmungen verwendet. Es ist jedoch sehr schwierig, in äußerst kleingebauten magnetischen Flachspeichern diese Abschirmungen unterzubringen. Dies bedeutet bis heute noch ein Hindernis, äußerst kleingebaute magnetische Flachspeichermatrizen zu bauen.

Zum Beispiel sind bei einem bekannten Speicher der Satz von Treiberleitungen mit magnetischen Abschirmungen durch eine Anzahl Leiter gebildet, die in einer Anzahl paralleler Rillen in einer Ferritplatte untergebracht sind. Diese Rillen werden üblicherweise in die Platte eingeschnitten. Die Breite dieser Rillen und der Abstand zwischen benachbarten Rillen müssen besonders genau sein, um eine sehr kleine magnetische Flachspeichermatrix zu erhalten. Ein Schneidwerkzeug jedoch, das eine so schmale Schneide haben muß, wie es hier erforderlich ist, biegt sich leicht aus, so daß die erforderliche Genauigkeit bei der Herstellung der Rillen nur sehr schwer zu erzielen ist. Ist aber die Anordnung der Rillen mit der gewünschten Genauigkeit tatsächlich erzielt, so ergeben sich wiederum Schwierigkeiten, in diesen engen Rillen die Leiter unterzubringen, was bei der Herstellung der Flachspeichermatrix ein weiterer Nachteil ist. Es ist deshalb sehr schwer, eine sehr klein bauende Flachspeichermatrix von hoher Speicherdichte mit der herkömmlichen Art und Weise zu bauen. Die Schwierigkeiten treten genauso auf bei der in der DT-AS 12 77 928 beschriebenen magnetischen Speichermatrix.

Aufgabe der Erfindung Bakelitplatte, es, ein Verfahren zu schaffen, mit dem in wirtschaftlicher Weise ein Satz von Treiberleitungen mit einer magnetischen Abschirmung hergestellt werden kann, der in einer magnetischen Miniaturflachspeichermatrix hoher Speicherdichte verwendet werden kann.

Nach den Merkmalen der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß auf einem flexiblen, isolierfähigen Träger eine Anzahl mit Abstand zueinander paralleler, zusammengesetzter Streifen gebildet wird, die aus einem leitfähigen Streifen und aus einem ersten magnetischen Streifen bestehen, der zwischen dem Träger und dem leitfähigen Streifen liegt, und danach ein zweites magnetisches Material wenigstens auf den Seitenflächen der zusammengesetzten Streifen elektrisch aufplattiert wird, so daß unmittelbar um den leitfähigen Streifen eine magnetische Abschirmung gebildet wird, die aus dem zweiten magnetischen Material und aus dem ersten magnetischen Streifen besteht.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung nun

nochmals im einzelnen beschrieben. Es zeigen:

F i g. IA, IB, IC, ID und IE perspektivische Teilbilder bzw. Schnitte zur Erläuterung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung;

F i g. 2A, 2B und 2C ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung in perspektivischer Ansicht bzw. im Schnitt;

F i g. 3A, 3B, 3C und 3D Schnitt- und Ansichtsdarstellungen eines dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung; und

F i g. 4 in perspektivischer Ansicht eine magnetische Flachspeichermatrix, in der Treiberleitungen mit magnetischer Abschirmung verwendet werden, die nach der Erfindung hergestellt sind.

Es werden zunächst die Fig. IA bis IE betrachtet. Eine magnetische Filmschicht 5 z. B. Permalloy, ist auf eine Trägerschicht 4 aufgeklebt, welche beispielsweise aus Polyäthylentelephtalat besteht, die sowohl biegsam als auch isolierend ist. Auf die magnetische Filmschicht 5 wird durch Elektroplattierung oder durch Aufdampfen eine leitfähige Schicht 6 (z. B. Kupfer) gelagert, die wiederum von einem lichtempfindlichen Material 7 überdeckt wird. Danach wird das lichtempfindliche Material 7 unter einer Maske mit regelmäßigen parallelen Linien belichtet und entwickelt, wodurch ein Parallelstreifenmuster des lichtempfindlichen Materials 7a auf der leitfähigen Schicht 6 erhalten wird, wie dies Fig. IB zeigt. Die leitfähige Schicht 6 und die magnetische Filmschicht 5 werden dann in einem elektrolytischen Verfahren oder nach einem chemischen Verfahren geätzt, wodurch sich eine Anzahl paralleler zusammengesetzter Streifen 9 ergibt, von denen jeder einen leitfähigen Streifen 6a und einen Magnetstreifen 5a enthält, welche auf dem isolierenden Träger 4 aufgebaut sind, wie dies Fig. IC zeigt. Das lichtempfindliche Material 7a befindet sich in diesem Fall noch auf dem Streifen 9. Danach werden magnetische Schichten 8 (z. B. ein Ferrit) auf den Seitenflächen jedes parallelen Streifenleiters 9 mittels Elektrophorese oder einem ähnlichen brauchbaren Verfahren aufgetragen, wie dies F i g. ID zeigt. Die Kanten dieser magnetischen Schichten erstrecken sich auch noch über die Seitenränder der Streifen von lichtempfindlichem Material 7a.

In diesem Fall ist die Dicke der Streifen aus lichtempfindlichem Material 7a von Nutzen, wenn nämlich die Anordnung mit Speicherstreifen zusammengebracht wird, die orthogonal zu diesen parallelen Streifen 9 liegen, was später noch beschrieben wird, da die durch kapazitive Kopplung zwischen den parallelen Streifen 9 und den Speicherstreifen bedingte Rauschspannung verringert wird, wogegen die Wirksamkeit der Treiberströme, die durch die leitfähigen Streifen 6a fließen, gegenüber den Speicherstreifen noch keine Einbuße erleidet.

Wenn erforderlich, können die obersten Flächen der parallelen Streifenleiter 9 auf ihrer Fläche A-A poliert werden, so daß zwischen den Treiberleitungen und dem Satz von Speicherstreifen ein gleichmäßiger Kontakt entsteht. Es können auch die Streifen von fotoempfindlichem Material 7a entfernt werden.

Es kann dann ein Filmmaterial 10 in die Zwischenräume zwischen benachbarte parallele Streifen 9 eingebracht werden, wie dies Fig. IE zeigt. Es wird dann auch die Oberseite dieses Filmmaterials 10 poliert, damit eine glatte Fläche entsteht, und die leitfähigen Streifen 6a können nach dem Entfernen der Streifen aus lichtempfindlichem Material 7a weiter geätzt werden.

Ein Satz von Treiberleitungen mit magnetischen Abschirmungen, der nach dem Verfahren nach der Erfindung hergestellt worden ist, kann mit der Fläche eines Flachstreifenspeichers gleichmäßig in Berührung gebracht werden, da der isolierfähige Träger 4 etwas flexibel ist, auch wenn der Flachstreifenspeicher eine etwas unebene Oberfläche hat.

In Fig.2A bis 2C ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Bei diesem Beispiel sind die parallelen Streifen 9 in ähnlicher Weise erzeugt, wie dies vorstehend beschrieben wurde, und die Streifen aus lichtempfindlichem Material 7a sind entfernt, wie dies Fig.2A zeigt. Anschließend wird ein Substrat 11, wie etwa eine Bakelitplatte, die gegen Chemikalien beständig ist, auf der Rückseite des Isolierträgers 4 aufgeklebt. Daraufhin wird ein nicht leitfähiges Material 12, wie etwa Ferrit, auf die Oberfläche des Isolierträgers 4 derart aufgetragen, daß es von beiden Seiten an den parallelen Streifen 9 zu liegen kommt, wie dies F i g. 2B zeigt. Die Oberflächen der parallelen Streifen 9 werden geätzt, so daß sie etwas tiefer zu liegen kommen, als die höchste Ebene B-B und das Substrat 11 wird dann wieder entfernt (s. Fig.2C). Bei diesem Ausführungsbeispiel besteht die magnetische Abschirmung aus dem nichtleitenden magnetischen Material 12 und den magnetischen Streifen 5a.

F i g. 3A bis 3D zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Hierin wird ein leitfähiger Film 13 (z. B. Kupfer) durch Aufdampfen auf eine flexible, isolierfähige Trägerschicht 4 aufgebracht, die gegen Chemikalien beständig ist (z. B. eine Plastiktafel aus Polyäthylentelephtalat). Die leitfähige Filmschicht 13 wird im Fotoätzverfahren derart geätzt, daß sie eine Anzahl paralleler Streifen 13a bildet (Fig. 3B). Danach wird ein Permalloystreifen 5Zj und ein Kupferstreifen 6Zj im Elektroplattierverfahren auf den leitfähigen Streifen 13a aufgebracht, wie dies F i g. 3C zeigt. In diesem Fall wird das Material der Permalloystreifen 5Zj auch über die Seitenflächen der leitfähigen Streifen 13a plattiert, während das Material der leitfähigen Streifen 6b auf die Seitenflächen der leitfähigen Streifen 13a und der Permalloystreifen 5b plattiert wird. Dieses überflüssige Material wird durch Fotoätzen mit Hilfe eines Parallelstreifenmusters von fotoresistivem Material 7Zj wieder beseitigt, so daß eine Anzahl paralleler zusammengesetzter Streifen 9 entsteht. Das fotoresistive Material 7Zj ist noch erhalten. Die leitfähigen Streifen 13a werden dazu verwendet, auf dem Isolierträger 4 die Permalloystreifen 5Zj und leitfähigen Streifen 6Zj zu bilden. Es ist deshalb erforderlich, daß die leitfähigen Streifen 13a genügend fest auf dem Isolierträger 4 haften. Als nächstes werden Ferritschichten 8 auf den Seitenflächen der parallelen Streifen 9 mit einem Elektrophoreseverfahren aufgebracht. Das Ergebnis zeigt Fig.3D. Wenn nötig, können die Streifen aus photoresistivem Material 7Zj wieder entfernt werden. Außerdem können die Zwischenräume benachbarter Streifen 9 mit einem Filmmaterial ausgefüllt werden, wie dies bereits an früherer Stelle gezeigt ist.

Ein Satz von Treiberleitungen mit magnetischer Abschirmung, wie sie nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt sind, sind in der Speichermatrix in Fig.4 gezeigt. Mit diesem Beispiel befindet sich der Satz von Treiberleitungen 23 mit magnetischer Abschirmung 24 auf einem isolierfähigen Träger 21, während die magnetischen Streifen 22, die aus einem leitfähigen Streifen bestehen, der von ferromagnetischen dünnen Filmschichten eingeschlossen ist, auf einem isolierfähigen Träger 27 untergebracht sind. Die isolierfähige

Trägerschicht 21 und der Träger 27 werden so zusammengefügt, daß die Treiberleitungen 23 und die magnetischen Streifen 22 zueinander orhtogonal gerichtet sind. Als Rückleiter für die Treiberleitungen 23 und die magnetischen Streifen 22 dienen Leiterstreifen 25 bzw. 26.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung eines Satzes von Treiberleitungen mit magnetischer Abschirmung für einen Magnetspeicher, dessen Treiberleitungen und Magnetspeicherleitungen je aus einem Leiter und einem mit diesem gekoppelten magnetischen Film gebildet und zueinander orthogonal angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem flexiblen, isolierfähigen Träger (4) eine Anzahl mit Abstand zueinander paralleler, zusammengesetzter Streifen (9) gebildet wird, die aus einem leitfähigen Streifen (6a, 6b) und aus einem ersten magnetischen Streifen (5a, 5b) bestehen, der zwischen dem Träger (4) und dem leitfähigen Streifen (6a, 6b) liegt, und danach ein zweites magnetisches Material (8) wenigstens auf den Seitenflächen der zusammengesetzten Streifen (9) elektrisch aufplattiert wird, so daß unmittelbar um den leitfähigen Streifen (6a, 6b) eine magnetische Abschirmung gebildet wird, die aus dem zweiten magnetischen Material (8) und aus dem ersten magnetischen Streifen (5a, 5b) besteht.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im ersten Schritt eine erste magnetische dünne Schicht (5) und eine leitfähige Schicht (6) auf dem flexiblen isolierfähigen Träger (4), der gegen chemische Einwirkungen resistent ist, aufgebracht werden und die erste magnetische Filmschicht (5) und die leitfähige Schicht (6) im Fotoätzverfahren zu einer Anzahl paralleler zusammengesetzter Streifen (9) geätzt wird, welche aus einem Streifen der ersten magnetischen dünnen Filmschicht (5a) und einem Streifen der leitfähigen Schicht (6a) bestehen, welch letzterer eine Treiberleitung bildet.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im zweiten Schritt ein nicht leitendes magnetisches Material (12) in jeden Zwischenraum zwei parallelen zusammengesetzten Streifen (9) eingebracht wird, so daß das nicht leitende magnetische Material (12) und die parallelen Streifen (9) eine ebene Fläche bilden.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß im zweiten Schritt die parallelen zusammengesetzten Streifen (9) geätzt werden, so daß ihre Oberseiten geringfügig unter der ebenen Fläche liegen.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im ersten Schritt auf einem flexiblen isolierfähigen Träger (4), der gegen chemische Einflüsse resistent ist, eine leitfähige Schicht (13) gleichmäßig aufgebracht wird und die erste leitfähige Schicht durch Fotoätzen in eine Anzahl paralleler Streifen (13a) unterteilt wird, worauf durch Elektroplattieren ein erster magnetischer Streifen (5b) und ein zweiter leitfähiger Streifen (6Zj) auf jeden der parallelen Streifen (13a) der ersten leitfähigen Schicht (13) zur Bildung einer Anzahl paralleler zusammengesetzter Streifen (9) aufgebracht werden.